| 【発明の名称】 |
表面形状測定装置および測定方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】山本 正樹
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| 【要約】 |
【課題】機械部品の材質、表面形状によらず、また、加工装置から取り外すことなく、機械部品の微小加工形状計測を可能とする。
【解決手段】支持基板６に並行に取り付けられた顕微鏡１と共振周波数付近で振動させる微細触針２を有し、支持基板６を取り付けシャフト７を介してワーク加工装置３１のＺステージ３６に取り付けることにより、ワーク加工装置３１により加工したワーク３４の微細加工表面形状を測定することができる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ワーク加工装置に着脱可能な取り付け部を有する支持基板と、前記支持基板に並行に取り付けられた微細表面形状を測定するための顕微鏡および触針とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。
【請求項２】 前記顕微鏡が、長焦点距離の対物レンズを使用し、その焦点位置が前記触針先端より突出することを特徴とする請求項１記載の表面形状測定装置。
【請求項３】 前記触針が、共振状態に励振されるとともに、その振動状態を検出され、その共振状態が変化することにより測定対象に対する接触を検出することを特徴とする請求項１または２記載の表面形状測定装置。
【請求項４】 非測定時には前記触針より突出し、かつ、前記顕微鏡の焦点位置よりは突出せず、測定時には前記触針より退避して前記触針を露出可能な保護部材を備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の表面形状測定装置。
【請求項５】 前記触針が、前記支持基板に着脱可能な触針カートリッジに取り付けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の表面形状測定装置。
【請求項６】 前記触針が、基端部を幅広とした触針基板の先端部に一体に形成され、前記触針基板を前記触針カートリッジに固定したことを特徴とする請求項５記載の表面形状測定装置。
【請求項７】 前記支持基板が、前記触針カートリッジを着脱可能に保持する保持手段を備えたことを特徴とする請求項５または６記載の表面形状測定装置。
【請求項８】 前記保持手段が、前記触針が測定対象に接触したことを検出した場合には、前記触針を前記測定対象から退避させる手段を備えたことを特徴とする請求項７記載の表面形状測定装置。
【請求項９】 基端部が幅広で先端部に触針を一体に形成した触針基板と、前記触針基板に設けられた圧電薄膜と、前記触針基板を圧電素子を介して固定した絶縁基板と、前記絶縁基板上に設けられて、前記触針基板と前記圧電薄膜と前記圧電素子とにそれぞれ接続された接続用電極とを備えた触針カートリッジ。
【請求項１０】 顕微鏡と触針を並行して一体に備えた表面形状測定装置をワーク加工装置に取り付け、測定対象位置を前記顕微鏡にて合焦の後に確認し、その後、特定の移動量だけ前記ワーク加工装置のステージを動かし、さらにステージを微小送りしながら前記触針の測定対象表面との接触を検出することで測定対象表面の座標位置を検出することを特徴とする表面形状測定方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロマシン用部品の微細構造の形状計測や内燃機関の燃料噴噴射ノズルやインクジェットプリンタノズルの内面形状測定といった、機械部品のサブミリオーダの３次元形状を、加工した直後に機上で測定するために用いられる表面形状測定装置およびそれを用いた測定法に関するもので、測定対象面を観察する顕微鏡と触針を用いた接触式の微細加工形状測定技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小形状の接触式による測定には、特開平５−２６４２１４号公報や特開平８−０７５４４５号公報に記載されたものに代表される構成が知られている。両者とも微細加工された微細構造の内部に触針あるいはプローブが挿入できるようになっている構成を有するものであるが、以下具体的に説明する。
【０００３】まず、図８に特開平５−２６４２１４号公報に代表される第１の従来例の構成図を示す。図８において、触針１０１は、アクチュエータ１０２により図中矢印方向に振動させられる。測定対象１０３は、Ｚ方向に移動自在なＺステージ１０４およびＸ軸方向に移動自在なＸステージ１０５上に載置され、Ｚステージ１０４はＺ軸駆動機構１０６、Ｘステージ１０５はＸ軸駆動機構１０７にそれぞれ連結されている。さらに、Ｚ軸駆動機構１０６、Ｘ軸駆動機構１０７およびデューティサイクル測定装置１０８は、コンピュータ１０９により制御されている。
【０００４】このような構成において、アクチュエータ１０２は、触針１０１を一定位置で図中矢印の如く一定振幅で振動させる。そして、この状態で、触針１０１と測定対象１０３の電気伝導を、直流電圧を印加して短絡電流を見ることで検出し、導通時間の振動周期に対する比率をデューティサイクル測定装置１０８により検出することになる。
【０００５】例えば、図９を参照すると、図９（ａ）に示されるように振動する触針１０１がある変位Ｓを越えると、図９（ｂ）に示されるように触針１０１と測定対象１０３の測定対象面の間で電気的導通が確保されることになる。そして、触針１０１と測定対象１０３の測定対象面の相対距離の変化とデューティサイクルは、図１０のような関係を呈する。よって、デューティサイクルを記録しながらＺ軸送り機構１０５を動作させることにより測定対象１０３の表面形状を検出することができる。
【０００６】なお、図１０から分かるように、両者の関係は完全に比例はしていないが、触針１０１の振動をサイン波から三角波に変更することにより、比例の度合いを高めることも可能である。また、測定対象１０３の測定対象面の凹凸が、触針１０１の振幅を上回る場合は、Ｘ軸駆動機構１０７を動作させ、測定対象１０３を再位置決めすることにより、測定対象１０３の表面形状を計測することもできる。
【０００７】次に、図１１に示す第２の従来例は、図８に示した第１の従来例を改良したもので、顕微鏡２４２と触針２３４の組み合わせにより、測定装置としての使い勝手を向上させたものである。まず、図１１において顕微鏡２４２と触針２３４とは同軸の位置関係に設定されている。つまり、顕微鏡２４２の画像のほぼ中心部に触針２３４が存在する。顕微鏡２４２の画像は画像処理部２４４に導かれ、画像処理部２４４の表示部に表示される。そして、その表示部に表示された画像を見ながら、XYステージ２２６AをX軸方向やY軸方向に移動し、ワーク２２８の微細穴２２９を画像中央に位置決めする。その後にZステージ２２６Bによりワーク２２８を上方に移動させることにより、触針２３４が微細穴２２９の内部に挿入される。この状態で、再度XYステージ２２６Aを微小送りしながら、触針２３４と微細穴表面２２９Ａの接触を、第１の従来例と同様な方法にて行うことで、微細穴表面２２９Ａの座標を求めることができる。このようにして求めた座標値から、触針２３４の直径を補正することで、微細穴２２９の内径を知ることができる。ちなみに、触針２３４の先端部２３４Ａは図１２のような菱形形状に加工されており、X、Y方向の穴内径を正確に測定できるよう工夫されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上の２つの従来例は、ノズル穴や微細溝形状等の加工形状測定に利用できる可能性を有するとはいえ、次のような課題を有する。初めに、特開平５−２６４２１４号公報に代表される前者では、接触状態の検出が触針１０１と測定対象１０３の電気導通に頼っているため、まず、非導電体の計測ができないこと、また、測定対象１０３が導体であったとしても、表面に酸化膜やほこりの堆積がある場合には、正確な測定が妨げられるという課題もある。
【０００９】次に、特開平８−７５４４５号公報に代表される後者では、前者と同様な問題点があると同時に、加工対象物を加工直後に測定できないという問題点がある。つまり、測定専用の装置に測定対象物を載せ換えて測定を行うため、測定のためにワーク加工装置上の段取りを崩す必要がある。このため、測定対象物の加工形状が測定の結果不良であることが判明し、追加工が必要になる場合、再度、ワーク加工装置に載せ換えて、段取りを行わなければならない。微細加工の場合は、微細加工形状をワーク加工装置上で計測できないため、この再段取りが極めて困難であるという課題を有する。
【００１０】本発明は、上記のような課題を解決し、機械部品の材質、表面形状によらず、また、機械部品を加工するワーク加工装置から取り外すことなく、機械部品の微小加工形状計測を可能とする表面形状測定装置およびその測定方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明の表面形状測定装置は、ワーク加工装置に着脱可能な取り付け部を有する支持基板と、前記支持基板に並行に取り付けられた微細表面形状を測定するための顕微鏡および触針とを備えたことを特徴とする。このような構成により、支持基板をワーク加工装置に取り付けることにより、ワーク加工装置上にて微細加工形状を測定できるようになり、測定対象を加工装置から取り外すことなく、加工形状の評価を行うことができる。
【００１２】また、本発明の表面形状測定装置は、前記顕微鏡が、長焦点距離の対物レンズを使用し、その焦点位置が前記触針先端より突出することを特徴とするものである。これにより、微細触針の折損を防止することができる。
【００１３】また、本発明の表面形状測定装置は、前記触針が、共振状態に励振されるとともに、その振動状態を検出され、その共振状態が変化することにより測定対象に対する接触を検出することを特徴とする。これにより、測定対象の電気的特性にかかわらず安定した計測を行うことができる。
【００１４】また、本発明の表面形状測定装置は、非測定時には前記触針より突出し、かつ、前記顕微鏡の焦点位置よりは突出せず、測定時には前記触針より退避して前記触針を露出可能な保護部材を備えたことを特徴とする。これにより、取り扱い時の触針の折損を防止することができる。
【００１５】また、本発明の表面形状測定装置は、前記触針が、前記支持基板に着脱可能な触針カートリッジに取り付けられていることを特徴とする。これにより、触針の交換を容易に行うことができる。
【００１６】また、本発明の表面形状測定装置は、前記触針が、基端部を幅広とした触針基板の先端部に一体に形成され、前記触針基板を前記触針カートリッジに固定したことを特徴とする。これにより、触針の加工を容易に行うことができる。
【００１７】また、本発明の表面形状測定装置は、前記支持基板が、前記触針カートリッジを着脱可能に保持する保持手段を備えたことを特徴とする。これにより、触針の着脱を容易に行うことができる。
【００１８】また、本発明の表面形状測定装置は、前記保持手段が、前記触針が測定対象に接触したことを検出した場合には、前記触針を前記測定対象から退避させる手段を備えたことを特徴とする。これにより、触針の寿命を延ばすことができる。
【００１９】また、本発明の触針カートリッジは、基端部が幅広で先端部に触針を一体に形成した触針基板と、前記触針基板に設けられた圧電薄膜と、前記触針基板を圧電素子を介して固定した絶縁基板と、前記絶縁基板上に設けられて、前記触針基板と前記圧電薄膜と前記圧電素子とにそれぞれ接続された接続用電極とを備えたものである。これにより、触針を含めた検出部をユニット化することができる。
【００２０】また、本発明の表面形状測定方法は、顕微鏡と触針を並行して一体に備えた表面形状測定装置をワーク加工装置に取り付け、測定対象位置を前記顕微鏡にて合焦の後に確認し、その後、特定の移動量だけ前記ワーク加工装置のステージを動かし、さらにステージを微小送りしながら前記触針の測定対象表面との接触を検出することで測定対象表面の座標位置を検出することを特徴とする。これにより、加工装置上で加工形状を評価することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。
（実施の形態１）図１は本発明の実施の形態１における表面形状測定装置としてのオンマシン微細加工形状測定アッタッチメントを示している。図１において、顕微鏡１は、作動距離Ｌの先端に焦点８を有する。触針２は触針カートリッジ３の先端部に形成され、触針カートリッジ３は触針保持部４に着脱可能に装着される。触針２は、その先端部が焦点８から高さオフセット量αだけ引っ込んだ位置に先端がくるように配置され、保護カバー５により折損から保護されている。触針保持部４と顕微鏡１は同一の支持基板６に並行に取り付けられ、支持基板６は取り付けシャフト７により後述するワーク加工装置の主軸取付部に取り付けられる。なお、顕微鏡１は、特開平８−０７５４４５号公報に記載されているように画像処理手段に接続されている。
【００２２】次に、上記のように構成されたオンマシン微細加工形状測定アタッチメント９の動作について説明する。まず顕微鏡１の働きについて説明すると、微細加工形状は一般に肉眼では観察できないため、顕微鏡１に内臓された図示しないCCDなどの撮像素子により撮像した映像を拡大した像を見ながら作業者は測定対象を観察することになる。測定対象点を顕微鏡１の視野内でフォーカスしたとき、測定対象点は顕微鏡焦点８の位置にある。この時、触針２は測定対象に接触しないように高さオフセット量αだけ離れて配置されているが、このオフセット量αができるだけ大きいことが、接触による折損防止の観点から望ましいので、顕微鏡１の対物レンズの作動距離Ｌはできるだけ長いことが望ましい。また、顕微鏡１の倍率が高く、視野がφ500μm以下になると、測定対象のどの部分を観察しているかが分かりにくく、これを解決する目的で、顕微鏡１を倍率切り替え式、つまり、高倍率と低倍率の組み合わせ、またはズーム式とすることは利便性を高める。
【００２３】次に、触針２は、先端が測定対象との接触を検出する能力を有し、その太さは100μm以下となっている。このため、作業者が誤って触れたり、あるいは測定対象があやまって接触したりすると、容易に折損してしまう。これを防止するために保護カバー５を設け、測定時以外は触針２を覆うようにする。ただし、保護カバー５が顕微鏡焦点８より突出すると、顕微鏡観察に支障がでるので、突出量が調整されている。測定時には、保護カバー５を上方にスライドして、触針２を露出させる。ここで、保護カバー５は機械的なものが単純で好ましいが、これに代えて、電気的に物体の接近を検出するセンサが警報を発生するようなものであってもかまわない。
【００２４】触針保持部４は、触針２を着脱可能に保持するという第一の役目がある。触針２は長時間の使用に従って、磨耗および折損する可能性がある。また、測定対象の形状によっては最適形状の触針２を選択の上で使用する必要がある。このため、触針２は触針カートリッジ３と一体に形成され、触針保持部４に対し容易に着脱できるコネクタ状の構造を持っている。さらに、第二の役目として、触針寿命を延ばす目的で、触針２が接触検出をしたときに、触針２を接触方向とは逆側に逃がす機能を触針保持部４に持たせてもよい。つまり、触針２の接触信号を検出した時には、触針２を測定対象とは逆方向に高速で微小量移動させる。この目的のためには、例えば、PIポリテック株式会社が製造販売するピエゾ式微動ステージ、あるいは、ボイスコイル式微動ステージが、その応答性の高さから使用できる。なお、両ステージともオープンループで駆動すると位置決め精度が低いため、差動トランスや静電容量ギャップセンサなどの同時組み込みが必要である。
【００２５】支持基板６は、顕微鏡焦点８と触針２の位置関係を常に一定に保つ働きを持つものであり、熱膨張や振動などの少ない、機械的に安定な設計によるものである。さらに、これを加工機に取り付ける取り付けシャフト７は、例えば、加工装置側のコレットチャックに挟み込まれるようなものであってもよいし、あるいは、ねじ止め、マグネットによる固定などさまざまな方法が考えられる。
【００２６】図２は触針２を触針保持部４に着脱するときに利用する触針カートリッジ３の構成を示した図である。まず、触針２は、基端部が幅広の超硬合金製の触針基板１０の先端部として、後述の方法により加工される。触針２は、圧電素子１２によりその共振状態で振動方向１６に励振され、その振動状態は、圧電薄膜１１により、ワイヤ配線１３を通して電気信号として検出される。微細触針２の先端に物体が接触すると、共振状態がくずれるため、振幅が減少し、接触を検出することができる。全体を保持するセラミック基板１４には、電極１５が形成され、触針カートリッジ全体の着脱時に信号の結合を行う役目がある。セラミック基板１４は、前述した図１中の触針保持部４のコネクタ部にはめ込まれ、機械的に保持されるとともに、電気的接触が確保される。
【００２７】次に、図３を用いて、図２の触針カートリッジ３を構成する触針基板１０の構造についてより詳しく説明する。なお、同時に図４を用いて触針２の先端部の説明も行う。触針基板１０は、図３（ａ）の平面図に示すように、微細軸先端部１０ａ、微細軸部１０ｂ、曲げ検出部１０ｃ、感度増大切り欠き部１０ｄ、ベース部１０ｅからなる。なお、微細軸先端部１０ａ、微細軸部１０ｂは、図１、図２における触針２と同一のものの別称である。微細軸部１０ｂは回転対称で、通常、直径５０μｍ、長さ１ｍｍ程度となっており、微細軸先端部１０ａは、図４（ａ）に示すように回転対称の逆テーパ型に仕上げられている。テーパの端面外周が接触を検出するポイントとなり、この外周部での最小極率半径は1μｍ程度である。なお、微細軸先端部１０ａの形状は、図４（ａ）に限ったものではなく、図４（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すようなさまざまな形状が適用可能である。どの形状を用いるかは、測定対象がどのような形をしているかによって決定される。また、触針先端２ａの形状は回転対象であることが基本であるが、必要に応じて図４（ｅ）のように非対称形状なものも使用可能である。
【００２８】図３に戻って、曲げ検出部１０ｃは、幅および厚さを500μｍ、50μｍ程度とした部分であり、さらに感度増大用切り欠き部１０ｄを設けることにより、曲げ剛性を低下させ、その表面に形成した圧電薄膜１１にかかるひずみ量を高めている。この結果、触針２あるいは微細軸部１０ｂの梁状の振動状態の検出感度が高まり、たとえば、微細軸先端部１０ａの０．１μｍ程度の振動をＳ／Ｎ比高く検出することができる。圧電薄膜１１は、ＲＦスパッタ法などにより形成されるＰＺＴなどの圧電材料で、３μｍ程度の厚さであり、歪量に比例した電荷を発生する。ベース部１０ｅは、触針基板１０全体を固定するための場所で、通常、接着等により触針カートリッジ３上の圧電素子１２に固定される。
【００２９】図５は触針基板１０を加工するために用いる微細放電加工機ＭＧ−ＥＤ７２（松下電器産業（株）製）をベースにした触針製造機の構成を示す。図５において、ベッド２１上に配置されたＸＹステージ２２上には、加工液を貯めるための加工槽２３が配置され、この加工槽２３には、支持台２４を介してワイヤガイド２５が設置されている。そして、このワイヤガイド２５の先端には、直径１００μｍの真鍮製のワイヤ２６が掛けられて、触針基板１０を加工する電極の働きをする。一方、ベッド２１の後部から立ち上がるコラム２７の上端部には、Ｚステージ２８を介して回転テーブル２９が設けられ、この回転テーブル２９の下部に、触針基板１０が、加工槽２３の加工液中に浸漬されて、加工される部分がワイヤ２６と近接するように取り付けられる。触針基板１０とワイヤガイド２５に掛けられたワイヤ２６との間には、電源３０が接続されている。
【００３０】このような構成において、放電加工は、電源３０により電圧を印加することにより進行するが、同時にワイヤ２６も放電により摩耗するので紙面に垂直な方向に常に新しいワイヤが供給されるような仕組みになっており、サブμｍの加工精度が可能ないわゆるＷＥＤＧ法で行われる。そして、回転テーブル２９の役目は触針基板１０を加工中に回転させ、正確な回転対象形状を加工することである。放電加工は基本的には熱加工であるため、加工後の表面は引っ張り応力を持つことになる。この結果、数十ミクロンの直径となる微細軸部１０ｂは加工応力により容易に反ったり、曲がったりする。回転しながら微細軸部１０ｂを加工することにより、加工応力をバランスさせ、加工応力による触針２の反りを防ぐことができる。なお、曲げ感度増大用切り欠き部１０ｄの加工は片側からの加工になるため、若干の反りはさけられない（通常1/100ラジアン程度）。このため、触針２の微細軸部１０ｂに対する平行度を厳密に確保するためには、まず、曲げ検出部１０ｃの加工を行い、発生した加工応力を開放した後に、微細軸部１０ｂの加工を行う等の工夫が必要である。
【００３１】さて、以上説明したオンマシン微細加工形状測定アタッチメント９および触針２を用いた表面形状の測定について、具体的に説明する。図６は、オンマシン微細加工形状測定アタッチメント９を機械部品を加工するためのワーク加工装置３１に取り付けた状態の全体構成を示す。図６において、ベッド３２上にはＸＹステージ３３が配置され、その上に測定対象となる加工済みのワーク３４が固定されている。またコラム３５の上部にはＸＹステージ３３と同軸上にＺステージ３６が取り付けられ、このＺステージ３６に、オンマシン微細加工形状測定アタッチメント９の取り付けシャフト７が装着されている。
【００３２】ワーク３４を加工する場合は、Ｚステージ３６主軸取り付け部に工具を取り付け、ＸＹステージ３３およびＺステージ３６をステージ内蔵のリニアスケールにより位置をモニターしながら移動し、希望の加工形状を実現する。
【００３３】一方、ワーク３４加工後のオンマシン計測を行うにあたっては、Ｚステージ３６から工具を取り外した後、代わりにオンマシン微細加工形状測定アタッチメント９を取り付け、再度ＸＹステージ３３およびＺステージ３６をステージ内蔵のリニアスケールにより位置をモニターしながら移動し、加工形状の三次元座標測定を行う。図７はその手順を示しており、図６におけるオンマシン微細加工形状測定アタッチメント９とワーク３４を取り出して図示したものである。まず、図７（ａ）において、測定対象である微細な測定対象穴３４ａの輪郭の一点を顕微鏡１にて観察する。ここで、顕微鏡焦点８から触針２の先端までの三次元位置ずれベクトルを触針オフセットＡとし、その大きさを（Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐｚ）と表すことにする。このとき、ＸＹステージ３３を（Ｐｘ，Ｐｙ）から予め決まった微小量だけ増減した分移動する。さらに、Ｚステージ３６をＰｚから予め決まった深さ分増やした量移動させることにより、触針２は測定対象穴３４ａに挿入され、その先端は測定対象穴３４ａの内面ときわめて接近した状態となる。続いて、図７（ｂ）のように、触針２が測定対象穴３４ａの内壁に接触するまでＸＹステージ３３を微小送りする。接触を検出した段階で、ＸＹステージ３３の座標を読み取る。図７（ｃ）、（ｄ）では、図７（ａ）、（ｂ）の操作を測定対象穴３４ａの輪郭上の反対側の点にて行っている。図７（ｂ）と図７（ｄ）で求めた２組のＸＹ座標間の相対距離は測定対象穴３４ａの内径から触針２の外径を差し引いたものであるから、予め求めておいた触針２の外径２ａを補正することにより、測定対象穴３４ａの内径を求めることができる。
【００３４】以上のように、上記実施の形態によれば、顕微鏡とその共振周波数付近で励振される触針を有したオンマシン微細表面形状測定アッタッチメントをワーク加工装置に取り付けることにより、加工物をワーク加工装置から取り外すことなく、その加工形状を評価することができる。従って、測定対象である加工物の導電性／非導電性のいかんを問わず、その表面の酸化膜やゴミ、ほこりの影響を受けない、安定した微細形状のオンマシン測定が可能となり、必要に応じて工作物の追加工を行い、加工精度を高めることができる。
【００３５】なお、上記実施の形態では、内径を求める手順を示したが、同様にして、穴の任意断面や、円筒度、傾きなども調べることができる。穴以外にもスリットや微細部品外形測定にも同じような手段が適用できる。
【００３６】また、ワーク加工装置３１は通常の加工機に限らない。つまり、３次元測定機などの測定専用装置において接触プローブの代わりに本発明のオンマシン微細加工形状測定アタッチメントを取り付ければ、微細形状測定に特化した３次元測定機を構成できる。
【００３７】また、測定対象となるワーク３４が導電体に限定される場合には、上記した触針の共振状態の変化を検出する表面形状測定方法に代えて、特開平５−２６４２１４号公報や特開平８−０７５４４５号公報に記載されたような触針と測定対象との電気伝導を測定する方法を用いてもよい。
【００３８】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ワーク加工装置に着脱可能な取り付け部を有する支持基板と、この支持基板に並行に取り付けられた微細表面形状を測定するための顕微鏡および触針とを備えているので、支持基板をワーク加工装置に取り付けることにより、ワーク加工装置上にて微細加工形状を測定できるようになり、測定対象を加工装置から取り外すことなく、加工形状の評価を行うことができる。
【００３９】また、顕微鏡とその共振周波数付近で励振される触針を有したオンマシン微細表面形状測定アッタッチメントとして構成し、これをワーク加工装置に取り付けることにより、加工物をワーク加工装置から取り外すことなく、その加工形状を評価することができるとともに、測定対象である加工物の導電性／非導電性のいかんを問わず、その表面の酸化膜やゴミ、ほこりの影響を受けない、安定した微細形状のオンマシン測定が可能となり、必要に応じて工作物の追加工を行い、加工精度を高めることができるという有利な効果が得られる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】３９００１００２１
【氏名又は名称】松下技研株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年１２月１６日（１９９９．１２．１６） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８２６９２
【弁理士】
【氏名又は名称】蔵合 正博
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| 【公開番号】 |
特開２００１−１７４２１１（Ｐ２００１−１７４２１１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年６月２９日（２００１．６．２９） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−３５８１８３ |
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