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【発明の名称】 内側測定用基準器、その内側測定用基準器の製造方法、および、その内側測定用基準器を保持する保持装置
【発明者】 【氏名】猿木 義雄

【氏名】大塚 行治

【氏名】鈴木 浩二

【氏名】川辺 隆夫

【氏名】小須田 哲夫
【要約】 【課題】内側測定機の原点設定や校正時に使用する２内側面間の距離を光波干渉計で直接測定できる構成とすることにより、高精度で信頼性の高い内側測定用基準器、その製造方法および保持装置を提供する。

【解決手段】基準ゲージブロック１０と、基準ゲージブロックの一端面にリンギングされ内面に第１内側基準面１１Ａを有する第１ジョウブロック１１と、基準ゲージブロックの他端面にリンギングされ内面に第２内側基準面１２Ａを有する第２ジョウブロック１２と、この第２内側基準面１２Ａにリンギングされ測定用ゲージブロック１３とを備える。基準ゲージブロックの他端面方向から見たとき、第１内側基準面１１Ａおよび測定用ゲージブロック１３の外側基準面１３Ａを視認可能に構成する。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 内側測定機の校正または原点設定を行うために利用される内側測定用基準器であって、互いに平行でかつ所定間隔離れて対向する第１内側基準面および第２内側基準面と、前記第２内側基準面と同一面内に形成された外側基準面とを有し、前記第１および第２内側基準面と直交する方向からかつ前記外側基準面側から見たとき、前記第１内側基準面および外側基準面が視認可能に構成されていることを特徴とする内側測定用基準器。
【請求項２】 請求項１に記載の内側測定用基準器において、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、前記基準ゲージブロックの一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、前記基準ゲージブロックの他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面を有する第２ジョウブロックと、この第２ジョウブロックの第２内側基準面にリンギングされそのリンギングされた面に前記外側基準面を有する測定用ゲージブロックとを備え、前記基準ゲージブロックの他端面方向から見たとき、前記第１ジョウブロックの第１内側基準面および測定用ゲージブロックの外側基準面が視認可能に構成されていることを特徴とする内側測定用基準器。
【請求項３】 請求項１に記載の内側測定用基準器において、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、前記基準ゲージブロックに一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、前記基準ゲージブロックの他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面を有する第２ジョウブロックとを備え、前記第２ジョウブロックの中央部には、前記基準ゲージブロックの他端面を露出させる開口が形成されていることを特徴とする内側測定用基準器。
【請求項４】 請求項１に記載の内側測定用基準器において、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、前記基準ゲージブロックの一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、前記基準ゲージブロックの他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面を有する第２ジョウブロックとを備え、前記第２ジョウブロックの周縁には、前記基準ゲージブロックの他端面を露出させる切欠部が形成されていることを特徴とする内側測定用基準器。
【請求項５】 請求項１に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、本体に、互いに平行でかつ所定間隔離れて対向する第１内側基準面および第２内側基準面を形成する工程と、本体に、前記第２内側基準面と同一面内に外側基準面を形成する工程とを備えていることを特徴とする内側測定用基準器の製造方法。
【請求項６】 請求項２に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、第２内側基準面を有する第２ジョウブロックと、外側基準面を有する測定用ゲージブロックとを用意しておき、前記基準ゲージブロックの一端面に第１ジョウブロックをリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロックをリンギングしたのち、第２ジョウブロックの第２内側基準面に測定用ゲージブロックをリンギングして内側測定用基準器を製造することを特徴とする内側測定用基準器の製造方法。
【請求項７】 請求項３に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、第２内側基準面および開口を有する第２ジョウブロックとを用意しておき、前記基準ゲージブロックの一端面に第１ジョウブロックをリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロックをリンギングして内側測定用基準器を製造することを特徴とする内側測定用基準器の製造方法。
【請求項８】 請求項４に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、第２内側基準面および切欠部を有する第２ジョウブロックとを用意しておき、前記基準ゲージブロックの一端面に第１ジョウブロックをリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロックをリンギングして内側測定用基準器を製造することを特徴とする内側測定用基準器の製造方法。
【請求項９】 請求項２〜請求項４のいずれかに記載の内側測定用基準器を保持するための保持装置であって、上面に前記内側測定用基準器を収納するための収納凹部を備え、かつ、収納凹部の底面に前記内側測定用基準器を３点で支持する支持部を有する基台と、この基台の上面に前記収納凹部に跨って設けられた固定部材と、この固定部材と前記内側測定用基準器の上面との間に介在され前記支持部と上下で対応する位置で前記内側測定用基準器の上面を押圧するばね部材とを備え、前記３つの支持部は、前記内側測定用基準器の基準ゲージブロックの長さ寸法をＬとしたとき、基準ゲージブロックの両端から０．２１１３Ｌ内側の位置で内側測定用基準器を支持していることを特徴とする保持装置。
【請求項１０】 請求項９に記載の保持装置において、前記基台には、高さ調整可能な脚が３本設けられていることを特徴とする保持装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、内側測定機、たとえば、内径測定機、内側マイクロメータ、内側ジョウ付きノギス、シリンダゲージなどの内側測定機の校正または原点設定を行うために利用される内側測定用基準器、その内側測定用基準器の製造方法およびその内側測定用基準器の保持装置に関する。
【０００２】
【背景技術】互いに平行でかつ接近、離間する一対の測定子を被測定物の内側面間に当接させ、そのときの一対の測定子間の寸法を変位検出器で検出し、この検出値から被測定物の内側面間の寸法を求める内側測定機、たとえば、内径測定機では、測定に先立って、変位検出器の原点設定、校正作業が行われている。
【０００３】従来、内側測定機の原点設定、校正方法として、次の３つの方法が知られている。
■リングゲージを用いて校正する方法これは、内径が既知のリングゲージの内径を内側測定機によって測定し、その測定値とリングゲージの既知の値との差を求め、この差を基に原点設定、校正作業を行う方法である。
■ゲージブロックを用いて校正する方法これは、両端面間の寸法が既知のゲージブロックの両端面間を内側測定機によって測定し、その測定値とゲージブロックの両端面間の既知の値との差を求め、この差を基に原点設定、校正作業を行う方法である。
■リンギングしたゲージブロックを用いて校正する方法これは、両端面間の寸法が既知のゲージブロックの両端面にそれぞれジョウブロックをリンギングし、その両側のジョウブロックの内面間の寸法を内側測定機によって測定し、その測定値と中央のゲージブロックの両端面間の既知の値との差を求め、この差を基に原点設定、校正作業を行う方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述したいずれの方法においても、リングゲージの内径、ゲージブロックの両端面間、ジョウブロックの内側面間の実際の寸法は不明であるから、測定精度の信頼性については十分とはいえない。そこで、これを解決するためには、ゲージブロックの両端面間やジョウブロックの内側面間の実際の寸法を高精度に測定し、それを基に内側測定機の原点設定、校正作業を行えばよい。
【０００５】しかし、上述した方法では、次のような不具合が考えられる。■の方法では、リングゲージの内径を別の高精度な測定機で測定しなければならないから、つまり、別の高精度な測定機が必要となるから、経済的負担が大きい。■の方法では、ゲージブロックの両端面間の寸法を干渉計などで測定することができるから、高精度な基準が得られる。しかし、実際の測定と原点設定の方向が異なるため、測定系の応力歪みによる撓みの影響がでる。つまり、ゲージブロックの両端面を基準とする場合、原点設定時には、図１０（Ａ）に示すように、測定子１Ａ，１Ｂが外側に撓んだ状態で測定が行われるが、実際の測定時には、図１０（Ｂ）に示すように、測定子１Ａ，１Ｂが内側に撓んだ状態で測定が行われるので、実際の測定と原点設定の方向が異なり、測定系の応力歪みによる撓みの影響がでる。
【０００６】■の方法では、測定現場でリンギングにより基準器を作る場合、図１１に示すように、中央のゲージブロック２を両端からジョウブロック３，４で挟む形になるので、リンギングの不確かさが最低２回含まれ（つまり、ゲージブロック２とジョウブロック３との間、ゲージブロック２とジョウブロック４との間）、誤差成分が大きくなる欠点がある。また、ジョウブロック３，４をねじなどによりゲージブロック２に固定して干渉計で値付けする場合、両側にリンギングするジョウブロック３，４の形状が同一のため、原点設定に使用する内側面の測定でなく、両端面の干渉測定による値Ｌ１から両ジョウブロック３，４を単独に干渉測定した値Ｌ２，Ｌ３を引いた値（Ｌ０＝Ｌ１−Ｌ２−Ｌ３）で代用するため、干渉測定時の不確かさが２回、ジョウブロック３，４のリンギングまたは固定による不確かさが２回余計に含まれるため、誤差成分がさらに大きくなる欠点がある。
【０００７】本発明の目的は、このような従来の課題を解消し、内側測定機の原点設定や校正時に使用する２内側面間の距離を光波干渉計で直接測定できる構成とすることにより、高精度で信頼性の高い内側測定用基準器、その内側測定用基準器の製造方法およびその内側測定用基準器の保持装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の内側測定用基準器、その内側測定用基準器の製造方法およびその内側測定用基準器の保持装置は、上記目的を達成するため、次の構成を採用する。
【０００９】請求項１に記載の発明（内側測定用基準器）は、内側測定機の校正を行うために利用される内側測定用基準器であって、互いに平行でかつ所定間隔離れて対向する第１内側基準面および第２内側基準面と、前記第２内側基準面と同一面内に形成された外側基準面とを有し、前記第１および第２内側基準面と直交する方向からかつ前記外側基準面側から見たとき、前記第１内側基準面および外側基準面が視認可能に構成されていることを特徴とする。この発明によれば、第１内側基準面と対向する第２基準面の同一面内に外側基準面が形成され、その外側基準面および第１内側基準面が、同一方向から視認可能に構成されているから、光波干渉計からの光を直接、第１内側基準面および外側基準面に照射して、第１内側基準面および外側基準面の間隔、つまり、第１および第２内側基準面間の距離を測定できる。従って、高精度で信頼性の高い内側測定用基準器を得ることができる。そのため、実際に測定した基準値を用いて原点設定、校正作業を行うことができるから、より高精度で信頼性の高い原点設定、校正作業を行うことができる。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の内側測定用基準器において、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、前記基準ゲージブロックの一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、前記基準ゲージブロックの他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面を有する第２ジョウブロックと、この第２ジョウブロックの第２内側基準面にリンギングされそのリンギングされた面に前記外側基準面を有する測定用ゲージブロックとを備え、前記基準ゲージブロックの他端面方向から見たとき、前記第１ジョウブロックの第１内側基準面および測定用ゲージブロックの外側基準面が視認可能に構成されていることを特徴とする。この発明によれば、基準ゲージブロックと、第１、第２ジョウブロックと、測定用ゲージブロックとの４つのブロックの組み合わせによって、第１および第２内側基準面、外側基準面を有する内側測定用基準器を構成することができるから、市販のゲージブロックを少なくとも一部組み合わせて構成することもできる。
【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の内側測定用基準器において、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、前記基準ゲージブロックに一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、前記基準ゲージブロックの他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面を有する第２ジョウブロックとを備え、前記第２ジョウブロックの中央部には、前記基準ゲージブロックの他端面を露出させる開口が形成されていることを特徴とする。この発明によれば、３つのブロック（つまり、基準ゲージブロック、第１および第２ジョウブロック）の組み合わせによって、第１および第２内側基準面、外側基準面を有する内側測定用基準器を構成することができるから、請求項２に記載のものより構成部品の数を少なくできる。
【００１２】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の内側測定用基準器において、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、前記基準ゲージブロックの一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、前記基準ゲージブロックの他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面を有する第２ジョウブロックとを備え、前記第２ジョウブロックの周縁には、前記基準ゲージブロックの他端面を露出させる切欠部が形成されていることを特徴とする。この発明によっても、３つのブロック（つまり、基準ゲージブロック、第１および第２ジョウブロック）の組み合わせによって、第１および第２内側基準面、外側基準面を有する内側測定用基準器を構成することができるから、請求項２に記載のものより構成部品の数を少なくできる。この場合には、第２ジョウブロックの周縁に切欠部が形成されているから、請求項３に記載の第２ジョウブロックの加工（中央部に開口を加工）より簡単に加工できる。
【００１３】請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、本体に、互いに平行でかつ所定間隔離れて対向する第１内側基準面および第２内側基準面を形成する工程と、本体に、前記第２内側基準面と同一面内に外側基準面を形成する工程とを備えていることを特徴とする。この発明によれば、本体に、第１内側基準面、第２内側基準面および外側基準面を一体形成するようにしたから、リンギングによる誤差を解消できる。
【００１４】請求項６に記載の発明は、請求項２に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、第２内側基準面を有する第２ジョウブロックと、外側基準面を有する測定用ゲージブロックとを用意しておき、前記基準ゲージブロックの一端面に第１ジョウブロックをリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロックをリンギングしたのち、第２ジョウブロックの第２内側基準面に測定用ゲージブロックをリンギングして内側測定用基準器を製造することを特徴とする。この発明によれば、４つのブロック（つまり、基準ゲージブロック、第１および第２ジョウブロック、測定用ゲージブロック）を用意しておけば、これらをリンギングによって組み合わせるだけで内側測定用基準器を構成することができる。
【００１５】請求項７に記載の発明は、請求項３に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、第２内側基準面および開口を有する第２ジョウブロックとを用意しておき、前記基準ゲージブロックの一端面に第１ジョウブロックをリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロックをリンギングして内側測定用基準器を製造することを特徴とする。この発明によれば、３つのブロック（つまり、基準ゲージブロック、第１および第２ジョウブロック）を用意しておけば、これらをリンギングによって組み合わせるだけで内側測定用基準器を構成することができる。
【００１６】請求項８に記載の発明は、請求項４に記載の内側測定用基準器の製造方法であって、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロックと、第１内側基準面を有する第１ジョウブロックと、第２内側基準面および切欠部を有する第２ジョウブロックとを用意しておき、前記基準ゲージブロックの一端面に第１ジョウブロックをリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロックをリンギングして内側測定用基準器を製造することを特徴とする。この発明によれば、３つのブロック（つまり、基準ゲージブロック、第１および第２ジョウブロック）を用意しておけば、これらをリンギングによって組み合わせるだけで内側測定用基準器を構成することができる。
【００１７】請求項９に記載の発明は、請求項２〜請求項４のいずれかに記載の内側測定用基準器を保持するための保持装置であって、上面に前記内側測定用基準器を収納するための収納凹部を備え、かつ、収納凹部の底面に前記内側測定用基準器を３点で支持する支持部を有する基台と、この基台の上面に前記収納凹部に跨って設けられた固定部材と、この固定部材と前記内側測定用基準器の上面との間に介在され前記支持部と上下で対応する位置で前記内側測定用基準器の上面を押圧するばね部材とを備え、前記３つの支持部は、前記内側測定用基準器の基準ゲージブロックの長さ寸法をＬとしたとき、基準ゲージブロックの両端から０．２１１３Ｌ内側の位置で内側測定用基準器を支持していることを特徴とする。この発明によれば、内側測定用基準器を基台の収納凹部内に収納した状態で使用できるから、この状態で内径測定機などに安定してセットできる。また、内側測定用基準器を基台の収納凹部内に収納した状態では、上下でそれぞれ対応する３点の位置で内側測定用基準器が基台に保持されているから、ずれることがない。しかも、３つの支持部は、いわゆる、アーリ点で内側測定用基準器を支持しているから、基準ゲージブロックの両端面を常に平行に維持でき、そのため、内側測定用基準器の第１および第２内側基準面を平行に維持できる。
【００１８】請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の保持装置において、前記基台には、高さ調整可能な脚が３本設けられていることを特徴とする。この発明によれば、３本の脚を高さ調整すれば、基台の傾きを調整することができるから、第１および第２内側測定用基準面を正しい姿勢に容易にセットすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の内側測定用基準器の一実施形態を示す斜視図、図２はその分解斜視図、図３はその組立状態の断面図である。これらの図に示すように、本実施形態の内側測定用基準器は、内側測定機（内径測定機など）の校正、原点設定を行うために利用される内側測定用基準器Ａと、この内側測定用基準器Ａを収納保持するための保持装置Ｂとから構成されている。
【００２０】前記内側測定用基準器Ａは、基準ゲージブロック１０と、この基準ゲージブロック１０の一端面にリンギングされそのリンギングされた面に第１内側基準面１１Ａを有する第１ジョウブロック１１と、前記基準ゲージブロック１０の他端面にリンギングされそのリンギングされた面に第２内側基準面１２Ａを有する第２ジョウブロック１２と、この第２ジョウブロック１２の第２内側基準面１２Ａにリンギングされそのリンギングされた面に外側基準面１３Ａを有する測定用ゲージブロック１３とを備えている。
【００２１】前記基準ゲージブロック１０は、断面が正方形状の直方体状に形成され、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられている。前記第１ジョウブロック１１は、幅寸法が基準ゲージブロック１０の幅寸法と同じで、高さ寸法が基準ゲージブロック１０より高い長方形板状に形成されている。つまり、基準ゲージブロック１０の上面から第１内側基準面１１Ａが起立した状態で組み合わされている。前記第２ジョウブロック１２は、基準ゲージブロック１０の他端面にリンギングされるリンギング部１２Ｂと、このリンギング部１２Ｂの上面中央から起立した起立片部１２Ｃとを備えた逆Ｔ字形状に形成されている。起立片部１２Ｃは、高さ寸法が前記第１ジョウブロック１１の高さ寸法と同じで、幅寸法がリンギング部１２Ｂより幅狭に形成され、かつ、内面に前記第２内側基準面１２Ａを有する。つまり、第１内側基準面１１Ａおよび第２内側基準面１２Ａは、互いに平行でかつ所定間隔離れて対向配置されている。前記測定用ゲージブロック１３は、長さが基準ゲージブロック１０の幅寸法と同じで、高さ寸法が起立片部１２Ｃの高さ寸法より低い直方体状に形成され、リンギングされた面、つまり、第２内側基準面１２Ａと同一面内に外側基準面１３Ａを有する。これにより、基準ゲージブロック１０の他端面方向から見たとき、前記第１ジョウブロック１１の第１内側基準面１１Ａおよび測定用ゲージブロック１３の外側基準面１３Ａが視認可能に構成されている。
【００２２】前記保持装置Ｂは、前記内側測定用基準器Ａを収納保持する基台２１と、この基台２１の上面に設けられた固定部材としての固定プレート３１Ａ，３１Ｂと、この固定プレート３１Ａ，３１Ｂと前記内側測定用基準器Ａの上面との間に介在され前記内側測定用基準器Ａの上面を押圧するばね部材４１Ａ，４１Ｂとを備えている。
【００２３】前記基台２１は、上面から下面に貫通して形成され前記内側測定用基準器Ａを収納するための収納凹部２２を有する枠体２３と、この枠体２３の下面に固定され前記内側測定用基準器Ａを３点で支持する支持部２４Ａ〜２４Ｃを有する裏面プレート２５とから構成されている。枠体２３の下面には、高さ調整可能な３つの脚２６Ａ〜２６Ｃが直角三角形を描く各角部位置にそれぞれ螺合配置されている。つまり、脚２６Ａが直角部位置に、残りの脚２６Ｂ，２６Ｃが他の角部位置に配置されている。前記固定プレート３１Ａ，３１Ｂは、前記基台２１の収納凹部２２に跨って配置され、かつ、ボルト３２によって基台２１の上面に固定される。下面には前記ばね部材４１Ａ，４１Ｂが保持されている。前記ばね部材４１Ａ，４１Ｂのうちの一方のばね部材４１Ａは、図４に示すように、前記内側測定用基準器Ａを挟んで前記支持部２４Ａ、２４Ｂと上下で対応する位置で前記内側測定用基準器Ａを押圧するように、Ｗ字状に屈曲されている。他方のばね部材４１Ｂは、図５に示すように、前記内側測定用基準器Ａを挟んで前記支持部２４Ｃと上下で対応する位置で前記内側測定用基準器Ａを押圧するように、Ｍ字状に屈曲されている。なお、これら３つの支持部２４Ａ〜２４Ｃおよびばね部材４１Ａ，４１Ｂの押圧点は、図３に示すように、前記内側測定用基準器Ａの基準ゲージブロック１０の長さ寸法をＬとしたとき、基準ゲージブロック１０の両端から０．２１１３Ｌ内側の位置、つまり、アーリ点の位置で内側測定用基準器Ａを支持するように構成されている。
【００２４】次に、本実施形態の使用方法を説明する。まず、内側測定用基準器Ａを組み立てる。これには、基準ゲージブロック１０の一端面に第１ジョウブロック１１をリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロック１２をリンギングしたのち、第２ジョウブロック１２の第２内側基準面１２Ａに測定用ゲージブロック１３をリンギングして内側測定用基準器Ａを組み立てる。
【００２５】このようにして組み立てた内側測定用基準器Ａの第１および第２内側基準面１１Ａ，１２Ａ間の寸法を光波干渉計で測定する。これには、図６および図７に示すように、テーブル５１上に内側測定用基準器Ａをセットしたのち、その上方から光波干渉計からの光を、第１ジョウブロック１１の第１内側基準面１１Ａおよび測定用ゲージブロック１３の外側基準面１３Ａに照射して、第１内側基準面１１Ａおよび外側基準面１３Ａの間の距離を測定する。つまり、第１内側基準面１１Ａと第２内側基準面１２Ａの間の距離Ｌを測定し、これを基準値として求める。
【００２６】次に、この内側測定用基準器Ａを保持装置Ｂにセットしたのち、この保持装置Ｂを内側測定機、たとえば、内径測定機（図示省略）にセットする。このとき、基台２１の下面に配置された脚２６Ａ〜２６Ｃの高さ調整によって、内側測定用基準器Ａの第１および第２内側基準面１１Ａ，１２Ｂの姿勢を調整する。具体的には、脚２６Ｃを高さ調整すると、脚２６Ａ，２６Ｂを結ぶ線を支点として基台２１が傾き（基台２１の長手方向の傾きが調整され）、脚２６Ｂを高さ調整すると、脚２６Ａ，２６Ｃを結ぶ線を支点として基台２１が傾く（基台２１の幅方向の傾きが調整される）。この状態において、内径測定機の一対の測定子を第１内側基準面１１Ａおよび第２内側基準面１２Ａに当接させたのち、そのときの変位検出器の値を読み取る。読み取った測定値と前記基準値との差を求め、この差を基に内径測定機の原点設定、校正作業を行う。
【００２７】従って、本実施形態によれば、基準ゲージブロック１０と、この基準ゲージブロック１０の両端面にリンギングされた第１ジョウブロック１１および第２ジョウブロック１２と、この第２ジョウブロック１２の第２内側基準面１２Ａにリンギングされた測定用ゲージブロック１３とを備え、基準ゲージブロック１０の他端面方向から見たとき、前記第１ジョウブロック１１の第１内側基準面１１Ａおよび測定用ゲージブロック１３の外側基準面１３Ａが視認可能に構成されているから、光波干渉計からの光を直接、第１内側基準面１１Ａおよび外側基準面１３Ａに照射して、第１内側基準面１１Ａおよび外側基準面１３Ａの間隔、つまり、第１および第２内側基準面１１Ａ，１２Ａ間の距離を測定できる。従って、高精度で信頼性の高い内側測定用基準器Ａを得ることができる。そのため、実際に測定した基準値を用いて原点設定、校正作業を行うことができるから、より高精度で信頼性の高い原点設定、校正作業を行うことができる。
【００２８】とくに、本実施形態においては、直方体状の基準ゲージブロック１０と、長方形板状の第１ジョウブロック１１と、逆Ｔ字形板状の第２ジョウブロック１２と、直方体状の測定用ゲージブロック１３との４つのブロックに組み合わせによって、第１および第２内側基準面１１Ａ，１２Ａ、外側基準面１３Ａを有する内側測定用基準器Ａを構成することができるから、市販のゲージブロックを用いて構成できる。
【００２９】また、内側測定用基準器Ａを組み立てるには、これら４つのブロック１０，１１，１２，１３とを用意しておき、基準ゲージブロック１０の一端面に第１ジョウブロック１１をリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロック１２をリンギングしたのち、第２ジョウブロック１２の第２内側基準面１２Ａに測定用ゲージブロック１３をリンギングして内側測定用基準器Ａを組み立てることができる。従って、４つのブロック（つまり、基準ゲージブロック１０、第１および第２ジョウブロック１１，１２、測定用ゲージブロック１３）を用意しておけば、これらをリンギングによって組み合わせることができる。
【００３０】また、内側測定機の原点設定、校正作業にあたっては、内側測定用基準器Ａを保持装置Ｂに収納保持し、この状態で内径測定機などにセットできるから、安定した状態で使用できる。また、内側測定用基準器Ａを保持装置Ｂの基台２１に収納した状態では、上下でそれぞれ対応する３点の位置（支持部２４Ａ〜２４Ｃとばね部材４１Ａ，４１Ｂの押圧点）で内側測定用基準器Ａが基台２１に保持されているから、ずれることがない。しかも、３つの支持部２４Ａ〜２４Ｃは、いわゆる、アーリ点（内側測定用基準器Ａの基準ゲージブロック１０の長さ寸法をＬとしたとき、基準ゲージブロック１０の両端から０．２１１３Ｌ内側の位置）で内側測定用基準器Ａを支持しているから、基準ゲージブロック１０の両端面を常に平行に維持でき、そのため、内側測定用基準器Ａの第１および第２内側基準面１１Ａ，１２Ａを平行に維持できる。
【００３１】また、基台２１には、高さ調整可能な３本の脚２６Ａ〜２６Ｃが設けられているから、これらの脚２６Ａ〜２６Ｃの高さ調整によって、基台２１の傾きを調整することができる。この場合、脚２６Ａ〜２６Ｃが直角三角形を描く各角部位置にそれぞれ螺合配置されているから、脚２６Ｃを高さ調整すると、脚２６Ａ，２６Ｂを結ぶ線を支点として基台２１の長手方向の傾きを調整することができ、また、脚２６Ｂを高さ調整すると、脚２６Ａ，２６Ｃを結ぶ線を支点として基台２１の幅方向の傾きを調整することができる。
【００３２】なお、内側測定用基準器Ａとしては、前記実施形態で説明した構成に限らず、他の構成でもよい。たとえば、図８に示す構成、あるいは、図９に示す構成でもよい。図８に示すものは、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロック１０と、この基準ゲージブロック１０に一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面１１Ａを有する第１ジョウブロック１１と、前記基準ゲージブロック１０の他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面１２Ａを有する長方形板状の第２ジョウブロック１４とを備え、第２ジョウブロック１４の中央部に基準ゲージブロック１０の他端面を露出させる開口１４Ａを形成した構成である。
【００３３】この場合、基準ゲージブロック１０と、第１内側基準面１１Ａを有する第１ジョウブロック１１と、第２内側基準面１２Ａおよび開口１４Ａを有する第２ジョウブロック１４とを用意しておき、基準ゲージブロック１０の一端面に第１ジョウブロック１１をリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロック１４をリンギングすれば、内側測定用基準器Ａを組み立てることができる。これによれば、３つのブロック（つまり、基準ゲージブロック１０、第１および第２ジョウブロック１１，１４）を用意しておけば、これらをリンギングするだけで組み立てることができる。
【００３４】図９に示すものは、所定間隔離れた両端面が互いに平行に仕上げられた基準ゲージブロック１０と、この基準ゲージブロック１０に一端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第１内側基準面１１Ａを有する第１ジョウブロック１１と、前記基準ゲージブロック１０の他端面にリンギングされそのリンギングされた面に前記第２内側基準面１２Ａを有する第２ジョウブロック１５とを備え、第２ジョウブロック１５の周縁に基準ゲージブロック１０の他端面を露出させる切欠部１５Ａを形成した構成である。
【００３５】この場合、基準ゲージブロック１０と、第１内側基準面１１Ａを有する第１ジョウブロック１１と、第２内側基準面１２Ａおよび切欠部１５Ａを有する第２ジョウブロック１５とを用意しておき、基準ゲージブロック１０の一端面に第１ジョウブロック１１をリンギングするとともに、他端面に第２ジョウブロック１５をリンギングすれば、内側測定用基準器Ａを組み立てることができる。これによっても、３つのブロック（つまり、基準ゲージブロック１０、第１および第２ジョウブロック１１，１５）を用意しておけば、これらをリンギングするだけで組み立てることができる。なお、図９に示す内側測定用基準器Ａにおいて、切欠部１５Ａを片側のみ、つまり、第２ジョウブロック１５をＬ字状の形状としてもよい。
【００３６】また、内側測定用基準器Ａの製造方法にあたって、前記実施形態で述べた方法に限らず、本体を機械加工して一体的に形成してもよい。つまり、本体に、互いに平行でかつ所定間隔離れて対向する第１内側基準面１１Ａおよび第２内側基準面１２Ａを形成するとともに、第２内側基準面１２Ａと同一面内に外側基準面１３Ａを形成するようにしてもよい。このようによれば、第１内側基準面１１Ａ、第２内側基準面１２Ａおよび外側基準面１３Ａが一体形成されているから、リンギングによる誤差を解消できる。
【００３７】なお、本発明の内側測定用基準器は、内径測定機に限らず、内側マイクロメータ、内側ジョウ付きノギス、シリンダゲージなどの内側測定機全般に適用できる。
【００３８】
【発明の効果】本発明の内側測定用基準器によれば、内側測定機の原点設定や校正時に使用する２内側面間の距離を光波干渉計で直接測定できる構成とすることにより、高精度で信頼性の高い内側測定用基準器を得ることができる。本発明の内側測定用基準器の製造方法によれば、簡単な構成で高精度で信頼性の高い内側測定用基準器を得ることができる。本発明の内側測定用基準器の保持装置によれば、高精度で信頼性の高い内側測定用基準器を安定して内側測定機にセットして使用することができる。
【出願人】 【識別番号】０００１３７６９４
【氏名又は名称】株式会社ミツトヨ
【出願日】 平成１１年７月１日（１９９９．７．１）
【代理人】 【識別番号】１０００７９０８３
【弁理士】
【氏名又は名称】木下 實三 （外２名）
【公開番号】 特開２００１−１２９４０（Ｐ２００１−１２９４０Ａ）
【公開日】 平成１３年１月１９日（２００１．１．１９）
【出願番号】 特願平１１−１８７５０６