| 【発明の名称】 |
熱交換器 |
| 【発明者】 |
【氏名】浦谷 昌夫
|
| 【要約】 |
【課題】本発明は液体温度の精密な調整を容易にすることを目的とする。
【解決手段】熱交管用伝熱管を収納する容器内に電気ヒーター、冷却用蛇管及び撹拌機を装置した熱交換器 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】液体温度を精密に調整する目的のために、伝熱管を収納する容器内に電気ヒーター、冷却用蛇管及び撹拌機を装置した熱交換器。
|
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】半導体集積回路を製造する過程で多くの種類の薬品を使用するが、加工精度の進歩にあわせ、薬品の精密な温度管理が要求される。本装置はその要求を容易に実現することに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は熱交管用の伝熱管と、電気ヒーター及び冷却用蛇管を別の容器に収納し、熱交換用の伝熱管が必要とする温度の液体を液送ポンプにより双方の容器のあいだを循環させていた。
【０００３】従来の方法では液送ポンプの送液量により熱交換用伝熱管を収納している容器内温度のばらつきが決まってしまうため、精密な温度管理をするためには大流量のポンプを必要とした。
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
【課題を解決するための手段】図１は新しい熱交換器の構造を示したものである。容器中央に円筒を配置し円筒内に冷却用蛇管、電気ヒーター及び撹拌機を取り付け、円筒外に伝熱管を取り付ける。ただし、撹拌機は容器内温度分布にばらつきが生じない、十分な能力のものを使用する。
【０００５】
【発明実施の形態】伝熱管を収納している容器内の熱伝達用液体を十分撹拌し容器内の温度分布に、できるだけばらつきをなくすことが、精密な温度管理をするための最も重要なことであり、従来の液送ポンプを使う方法に比べ、容器内を直接撹拌する本方法は容易に、容器内の熱伝達用液体の温度分布のばらつきを少なくできる。
【０００６】
【発明の効果】従来の方法に比較し容易に同じ性能を得ることができ、かつ、冷却用蛇管や電気ヒーターを収納していた容器が不要になること、液送ポンプ及びその配管も全く必要がなくことで、設備としておおいに簡略化され、コストダウンに大きく寄与する。
|
| 【出願人】 |
【識別番号】５９３０４２３７３
【氏名又は名称】浦谷 昌夫
|
| 【出願日】 |
平成１１年９月１４日（１９９９．９．１４） |
| 【代理人】 |
|
| 【公開番号】 |
特開２００１−８２８８５（Ｐ２００１−８２８８５Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年３月３０日（２００１．３．３０） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−３０００３５ |
|