| 【発明の名称】 |
クリーンルーム |
| 【発明者】 |
【氏名】田村 義雄
【氏名】篠田 泰嘉
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| 【要約】 |
【課題】吸着と再生とが同時に行え、かつガス状化学物質のほとんどすべてを除去できる浄化空気供給装置を備えたクリーンルームを提供する。
【解決手段】吸着部１６でガス状化学物質を吸着し、吸着したガス状化学物質を再生部１７で脱着するロータ２と、ロータ２を吸着部１６と再生部１７とに駆動する駆動手段４とを含む浄化空気供給装置１を備え、ガス状化学物質を含む空気を吸着部１６でガス状化学物質を吸着除去し、クリーンルーム本体３２へ供給する。また再生部１７へは加熱された再生空気を送り、吸着されたガス状化学物質を脱着する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ガス状化学物質を含む空気を浄化して、清浄度クラスが１０００以下の浄化空気を供給する浄化空気供給装置（１）を備えたクーンルームであって、前記浄化空気供給装置（１）がガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持し、一部が空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部（１６）であり、他部が吸着したガス状化学物質を加熱された空気によって脱着する再生部（１７）であり、吸着部（１６）と再生部（１７）とを切換えて、吸着部（１６）でガス状化学物質を吸着除去した空気をクリーンルーム本体（３２）へ供給することを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】 前記浄化空気供給装置（１）がガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持したハニカム状積層体（２２）と、ハニカム状積層体（２２）を空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部（１６）と、吸着したガス状化学物質を空気中に脱着する再生部（１７）とに分け、ハニカム状積層体（２２）を吸着部（１６）と再生部（１７）との間で移動させる駆動手段（４）と、ガス状化学物質を含む空気をハニカム状積層体（２２）の吸着部（１６）に通して浄化してクリーンルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部（８）と、加熱した空気をハニカム状積層体（２２）の再生部（１７）に送り、吸着部材から吸着されたガス状化学物質を加熱空気中に脱着して排出する再生空気案内部（１５）とを備えることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム。
【請求項３】 前記ハニカム状積層体（２２）を略円筒状に形成し、その軸線方向に空気が通過するように構成したロータ（２）と、ロータ（２）をその軸線まわりに回転する駆動手段（４）と、ロータ（２）の軸線方向両端部で、ロータ（２）の周方向に沿って吸着部（１６）、再生部（１７）および冷却部（１８）にこの順序で仕切って形成される空気案内部であって、ガス状化学物質を含んだ気体を、吸着部（１６）にロータ（２）の軸線方向一方側に供給し、他方側からクリーンルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部（８）と、再生用空気を、再生部（１７）にロータ（２）の軸線方向他方側に供給し、一方側に排出する再生空気案内部（１２）と、冷却用空気を、冷却部（１８）にロータ（２）の軸線方向他方側に供給し、一方側に排出する冷却空気案内部（１５）とから成る空気案内部と、再生部（１７）に供給する空気を加熱する加熱手段（１１）とを含む浄化空気供給装置（１）を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】 前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間に塵埃除去フィルタ（６）を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項５】 前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間に化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項６】 前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間に温湿度調整手段を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項７】 前記ガス状化学物質吸着部材が、弱疎水性ゼオライト１０〜９０％（重量）と強疎水性ゼオライト９０〜１０％（重量）とから成ることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項８】 前記弱疎水性のゼオライトがＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＝５〜７０（モル比）、強疎水性のゼオライトがＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＞７０（モル比）であることを特徴とする請求項７記載のクリーンルーム。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、浄化空気供給装置を備えるクリーンルームに関し、特に空気中のガス状化学物質を浄化し、清浄度クラスが１０００以下の浄化空気が供給されるクリーンルームに関する。
【０００２】ここで清浄度クラスｎの浄化空気とは、１ｆｔ3中に粒径０．１μｍ以上の塵埃をｎ個含む空気をいう。一般の空気は、前記塵埃を１ｆｔ3中に１０8個程度含むから、清浄度クラス１０００の浄化空気は超清浄度状態の空気ということができる。
【０００３】
【従来の技術】従来のクリーンルームは、空気中の塵埃濃度が低い（清浄度クラス１０，０００程度）部屋であり、そのために外気中の塵埃が塵埃フィルタによって除去されクリーンルームに供給されていた。しかし最近は環境中に、アンモニア、硫黄酸化物、有機溶剤などのガス状化学物質が増加し、またクリーンルームに供給えれる浄化空気に対し、これらのガス状化学物質の濃度を数ｐｐｂにすることが求められている。
【０００４】これらのガス状化学物質を除去するために、従来は陽イオン交換繊維を用いてアンモニアなどのアルカリ性物質を吸着したり、陰イオン交換繊維を用いて硫黄酸化物などの酸性物質を吸着するものがあり、これらのイオン交換繊維を併用してアンモニアや硫黄酸化物を除去している。また活性炭に酸性物質やアルカリ性物質を添着して有機溶剤とともにアンモニアや硫黄酸化物を除去している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、イオン交換繊維ならびに酸性物質およびアルカリ性物質を添着させた活性炭フィルタは、再生が難しく、ガス状化学物質の吸着量が一定量以上になれば、通常は１年に１回程度で交換しなければならない。イオン交換繊維や活性炭フィルタは、ガス状化学物質の種類に応じ、たとえば前記２種類を用意せねばならず、またイオン交換繊維や活性炭フィルタは非常に高価である。これに対しイオン交換繊維や活性炭フィルタの寿命を延長するために、水を噴射するスクラバを前段に設置し、水に溶解しやすいアンモニアや硫黄酸化物をある程度除去する方法が提案されているが、これでもイオン交換繊維や活性炭の寿命が２〜２．５倍に延びる程度である。
【０００６】本発明の目的は、吸着と再生とが同時に行えるので、半永久的に使用でき、かつ前記ガス状化学物質のすべてを除去できる浄化空気供給装置を備えたクリーンルームを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガス状化学物質を含む空気を浄化して、清浄度クラスが１０００以下の浄化空気を供給する浄化空気供給装置（１）を備えたクーンルームであって、前記浄化空気供給装置（１）がガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持し、一部が空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部（１６）であり、他部が吸着したガス状化学物質を加熱された空気によって脱着する再生部（１７）であり、吸着部（１６）と再生部（１７）とを切換えて、吸着部（１６）でガス状化学物質を吸着除去した空気をクリーンルーム本体（３２）へ供給することを特徴とするクリーンルームである。
【０００８】本発明に従えば、空気中のガス状化学物質は吸着部（１６）で吸着剤によって吸着除去され、クリーンルーム本体（３２）に供給される。またガス状化学物質を吸着した吸着剤は、再生部（１７）で加熱された空気によって再生される。吸着部（１６）と再生部（１７）とは切換えて使用されるので、吸着剤は半永久的に使用でき、吸着部（１６）は、常にガス状化学物質を充分に吸着し、充分に浄化された空気が、クリーンルーム本体（３２）に供給される。
【０００９】またガス状化学物質は、空気中の微細塵埃の表面に吸着されていることが多く、ガス状化学物質を浄化空気供給装置（１）で浄化すれば、空気中の微細塵埃も同時に除去でき、清浄度クラスが１０００以下、好ましくは１００以下の浄化空気を得ることができる。
【００１０】また本発明は、前記浄化空気供給装置（１）がガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持したハニカム状積層体（２２）と、ハニカム状積層体（２２）を空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部（１６）と、吸着したガス状化学物質を空気中に脱着する再生部（１７）とに分け、ハニカム状積層体（２２）を吸着部（１６）と再生部（１７）との間で移動させる駆動手段（４）と、ガス状化学物質を含む空気をハニカム状積層体（２２）の吸着部（１６）に通して浄化してクリーンルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部（８）と、加熱した空気をハニカム状積層体（２２）の再生部（１７）に送り、吸着部材から吸着されたガス状化学物質を加熱空気中に脱着して排出する再生空気案内部（１５）とを備えることを特徴とする。
【００１１】本発明に従えば、ガス状化学物質を吸脱着する吸着部材はハニカム状積層体（２２）に担持され、吸着部（１６）と再生部（１７）との間を駆動手段（４）によって駆動されるので、吸脱着が効率よく行え、吸着部（１６）は常にガス状化学物質を充分に吸着し、充分に浄化した空気がクリーンルーム本体（３２）に供給される。
【００１２】また本発明は、前記ハニカム状積層体（２２）を略円筒状に形成し、その軸線方向に空気が通過するように構成したロータ（２）と、ロータ（２）をその軸線まわりに回転する駆動手段（４）と、ロータ（２）の軸線方向両端部で、ロータの周方向に沿って吸着部（１６）、再生部（１７）および冷却部（１８）にこの順序で仕切って形成される空気案内部であって、ガス状化学物質を含んだ気体を、吸着部（１６）にロータ（２）の軸線方向一方側に供給し、他方側からクリーンルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部（８）と、再生用空気を、再生部（１７）にロータ（２）の軸線方向他方側に供給し、一方側に排出する再生空気案内部（１２）と、冷却用空気を、冷却部（１８）にロータ（２）の軸線方向他方側に供給し、一方側に排出する冷却空気案内部（１５）とから成る空気案内部と、再生部（１７）に供給する空気を加熱する加熱手段（１１）とを含む浄化空気供給装置（１）を備えることを特徴とする。
【００１３】本発明に従えば、ハニカム状積層体（２２）はロータ（２）として略円筒状に形成され、軸線まわりに吸着部（１６）、再生部（１７）、冷却部（１８）の順に駆動手段（４）によって回転駆動される。吸着部（１６）では、ガス状化学物質を含んだ空気がロータ（２）の軸線方向一方側から、他方側に流過して、空気中のガス状化学物質が吸着除去される。再生部（１７）では、加熱手段（１１）で加熱された空気によって、吸着部（１６）で吸着されたガス状化学物質が脱着され、ロータ（２）が再生される。冷却部（１８）では再生部（１７）で再生用空気で加熱されたロータ（２）が吸着部（１６）でガス状化学物質を吸着するのに適した温度に冷却される。これによって浄化空気は連続的にクリーンルーム本体（３２）に供給される。
【００１４】また本発明は、前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間に塵埃除去フィルタ（６）を設けたことを特徴とする。
【００１５】本発明に従えば、ガス状化学物質を除去された空気は、さらに塵埃フィルタ（６）によって塵埃が除去される。
【００１６】また本発明は、前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間に化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする。
【００１７】本発明に従えば、浄化空気供給装置（１）の吸着部（１６）で吸着除去できなかった微量のガス状化学物質が化学吸着フィルタで吸着される。
【００１８】また本発明は、前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間に温湿度調整手段を設けたことを特徴とする。
【００１９】本発明に従えば、ガス状化学物質に除去された空気は、さらに温湿度が調整される。
【００２０】また本発明は、前記ガス状化学物質吸着部材が、弱疎水性ゼオライト１０〜９０％（重量）と強疎水性ゼオライト９０〜１０％（重量）とから成ることを特徴とする。
【００２１】本発明に従えば、空気中に含まれるガス状化学物質の種類によって用いる吸着部材としてのゼオライトの割合が異なる。すなわち、アンモニアや硫黄酸化物が比較的多く含まれている空気の浄化には、弱疎水性ゼオライトの割合を多くし、有機溶剤が比較的多く含まれている空気の浄化には強疎水性ゼオライトの割合を多くする。各ゼオライトの割合は１０〜９０％（重量）の範囲である。
【００２２】また本発明は、前記弱疎水性のゼオライトがＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＝５〜７０（モル比）、強疎水性のゼオライトがＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＞７０（モル比）であることを特徴とする。
【００２３】一般にゼオライトは、ａＭ2Ｏx・Ａｌ2Ｏ3・ｍＳｉＯ2・ｂＨ2Ｏの分子式で示される。Ｍはアルカリ族またはアルカリ土族の金属であり、ｘはその原子価である。ｍはＳｉＯ2（シリカ）とＡｌ2Ｏ3（アルミナ）とのモル比ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3を表す。ｍが５未満であれば、親水性がゼオライトである。本発明では、ｍが５〜７０の範囲のゼオライトを弱疎水性ゼオライトとして用い、ｍが７０を超えるゼオライトは強疎水性ゼオライトとして用いる。ハニカム積層体に担持させるこれらのゼオライトの量は、ハニカム積層体に対し３０〜９０％（重量）が好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態によって、本発明を具体的に説明する。
【００２５】図１は、本発明の実施の一形態のクリーンルーム（３１）の構成図である。クリーンルーム（３１）は、クリーンルーム本体（３２）と浄化空気供給装置（１）とから成る。クリーンルーム本体（３２）には、天井チャンバ（３３）から多数の吹出口（３４）を介して、浄化空気供給装置（１）で浄化された空気が供給される。クリーンルーム本体（３２）内の空気は、床（３５）に設けられた多数の吸出口（３６）から床下チャンバ（３７）に送風機（３８）によって吸引され、浄化空気供給装置（１）に送られ、浄化されて天井チャンバ（３３）に循環される。送風機（３８）の出口には、外気供給手段（３９）から少量の外気が供給され、クリーンルーム本体（３２）内を正圧に保ち、隙間などから外気が直接クリーンルーム本体（３２）内に侵入するのを防ぐ。
【００２６】図２は、浄化空気供給装置（１）の系統図の一例である。ロータ（２）は、たとえば直径Ｄ＝３００ｍｍ、長さＬ＝４００ｍｍの円筒状に構成され、駆動用モータ（４）によってベルト（５）を介して、軸線（３）まわりに２／ｈｒで回転される。図３は、ロータ（２）の斜視図である。ロータ（２）は、周方向に３００°の範囲が吸着部（１６）とされ、吸着部（１６）の回転方向（１９）下流側には周方向３０°の範囲で再生部（１７）が、また再生部（１７）の回転方向下流側には周方向３０°の範囲で冷却部（１８）がそれぞれ設けられ、中心には回転軸（２０）が設けられる。
【００２７】循環空気および外気は、送風機（３８）および、外気供給手段（３９）によってロータ（２）の吸着部（１６）に浄化空気案内部（１８）を介して供給され、ガス状化学物質はロータ（２）の吸着部（１６）に吸着されて、浄化空気となって浄化空気案内部（８）と塵埃フィルタ（６）とを通って天井チャンバ（３３）に排出される。一方、再生空気は、再生空気送風機（１０）に吸引され、フィルタ（９）を介して、加熱器（１１）で１８０℃に加熱されてロータ（２）の再生部（１７）に再生空気案内部（１２）を介して供給され、ロータ（２）に吸着されたガス状化学物質を脱着して、再生空気案内部（１２）を経て浄化空気供給装置（１）外に排出される。ロータ（２）の再生部（１７）は、１８０℃の再生空気によって、１８０℃近くまで加熱されているので、冷却部（１８）では、冷却部空気によって常温近くまで冷却される。冷却空気は、冷却用送風機（１４）で吸引され、フィルタ（１３）と冷却空気案内部（１５）とを介して、ロータ（２）の冷却部（１８）に供給され、ロータ（２）を冷却して冷却空気案内部（１５）を経て浄化空気供給装置（１）外に排出される。吸着部（１６）に送られる被浄化空気と、再生部（１７）に送られる再生空気および冷却部（１８）に送られる冷却空気とは、ロータ（２）内の流れ方向を逆にすることによって、吸着と脱着・冷却とが効率よく行われるようにしている。
【００２８】本発明の実施の他の形態として、浄化空気供給装置（１）が塵埃フィルタ（６）を備えないものであってもよい。また本発明の実施のさらに他の形態として、図１の符号（６）で示す位置に塵埃フィルタ、化学吸着フィルタおよび湿度調整手段のうちいずれか１つ、２つ、または全部を備えるものであってもよい。
【００２９】図４は、本発明のガス状化学物質吸着体に用いられるハニカム状積層体（２２）の一部拡大平面図である。これを円筒状ロータ（２）に形成するときは、ハニカム状の小孔（２７）が軸線方向に通じるようにする。
【００３０】図５は、ゼオライトを構成するＳｉＯ2とＡｌ2Ｏ3のモル比（ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3）と水およびベンゼンの吸着量との関係を示すグラフである。水とベンゼンとの吸着量は、ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が約７０で交わる。したがって本発明では、ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が前記交点（ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＝７０）以下の弱疎水性ゼオライト１０〜９０％（重量）と、前記交点を超える強疎水性ゼオライト９０〜１０％（重量）とをハニカム状積層体（２２）に担持させた。以下の実施例ではＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3モル比６０の弱疎水性ゼオライトと、前記モル比２００の強疎水性ゼオライトとを等量ハニカム状積層体（２２）に担持させたロータ（２）を用いて、吸着テストを行った。
【００３１】（実施例）被浄化空気は、無機系ガス状化学物質としてアンモニアを６２〜７５ｐｐｂと、有機系ガス状化学部質としてＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）７４０〜８００ｐｐｂとを混入した。この被処理気体を約３ｍ3／ｍｉｎの流量で、前記ロータ（２）を装着した浄化空気供給装置（１）に供給した。また再生は、約０．５ｍ3／ｍｉｎの１７５℃の空気を行った。冷却は、約０．５ｍ3／ｍｉｎの室温（２０℃）の空気で行った。
【００３２】被浄化空気および再生空気が安定して浄化空気供給装置（１）に流れるまでに約１時間を要したので、装置をセット後、１時間してから被浄化空気などのサンプリングを行い分析を行った。アンモニアは、吸収液を入れたインビンジャー（２段連結）を介してダイヤフラム式ミニポンプで各ガスを２Ｌ／ｍｉｎの割合で３時間吸引して吸収液中のアンモニアをイオンクロマトグラフ法で分析し、各ガス中のアンモニア濃度を計算した。ＮＭＰは吸着剤を充填した吸着塔を介してダイヤフラム式ミニポンプでガス吸引し、吸引ガス量を乾式ガスメータで計量しサンプリングした。吸着剤に吸着されたＮＭＰは、吸着剤を加熱しながら不活性ガスで追い出し、不活性ガス中のＮＭＰをＴＣＴ−ＧＣ／ＭＳ法で測定した。測定結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】ＮＭＰは、ほとんど１００％除去され、また再生されている。アンモニアは温度によって除去効率、再生効率ともに変化し、特に再生効率は表１では１００％を超えている。しかし長期間にわたれば、除去効率も再生効率もほとんど１００％となる。また被浄化空気の清浄度クラスは１００程度に保持できた。
【００３５】前記実施の形態では、循環空気を浄化空気供給装置（１）によって浄化したが、別の実施の形態としてクリーンルーム本体（３２）内の空気を循環せず、外気のみを浄化空気供給装置（１）によって浄化してもよい。これによって、外気中に含まれるガス状化学物質を除去することができ、また浄化空気供給装置（１）の容量を小さくできる。さらに循環空気と外気とを、別の浄化空気供給装置（１）で浄化したり、クリーンルーム本体（３２）内の汚染の状態によって、浄化空気供給装置（１）を通す循環空気量を増減できるようにしてもよい。
【００３６】前記実施の形態では、温湿度調整手段を設けていないが、空調装置で一般に用いられている温湿度調整手段を、フィルタ（６）の後流側に設け、クリーンルーム内に温度検出手段および湿度検出手段を設け、これによって温湿度調整手段を制御し、クリーンルームの温湿度を調整してもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明は次の効果を奏する。請求項１に記載の本発明によれは、浄化空気供給装置（１）はガス状化学物質を吸脱着する吸着剤が担持され、吸着部（１６）と再生部（１７）とを有し、吸着部（１６）と再生部（１７）とは切換え使用される。吸着部（１６）で空気中のガス状化学物質が除去されクリーンルーム本体（３２）に供給され、再生部（１７）では、加熱空気によって吸着されたガス状化学物質が脱着再生され、半永久的に充分に浄化された空気がクリーンルーム本体（３２）に供給できる。さらにガス状化学物質は微細塵埃の表面に吸着していることが多く、微細塵埃も同様に除去され、清浄度クラスが１０００以下、好ましくは１００以下の浄化空気が供給できる。
【００３８】また請求項２に記載の本発明によれば、吸着部材がハニカム状積層体（２２）に担持されるので、吸脱着が効率よく行える。
【００３９】また請求項３に記載の本発明によれば、ハニカム状積層体（２２）が略円筒状に形成したロータ（２）であり、このロータ（２）が駆動手段（４）によって吸着部（１６）、再生部（１７）、冷却部（１８）とこの順に回転駆動されるので、吸着部（１６）でガス状化学部質が効率よく吸着され、再生部（１７）と冷却部（１８）とで効率よく脱着と冷却とが行われる。
【００４０】また請求項４に記載の本発明によれば、吸着部材を通過した空気が、吸着部材を通過した塵埃または吸着部材から発生した塵埃を含む場合に、これらの塵埃が塵埃除去フィルタ（６）によって除去されるので、清浄度クラスのさらに高い浄化空気がクリーンルームに供給される。
【００４１】また請求項５に記載の本発明によれば、吸着部（１６）を通過し、またその後さらに塵埃フィルタ（６）を通過した浄化空気は、化学吸着フィルタによって、吸着部（１６）で除去されなかった微量のガス状化学物質が吸着除去される。
【００４２】また請求項６に記載の本発明によれば、吸着部（１６）を通過し、またはその後さらに塵埃フィルタ（６）および／または化学吸着フィルタを通過した浄化空気は、その温度および湿度が調整されてクリーンルーム本体（３２）に供給される。
【００４３】また請求項７に記載の本発明によれば、弱疎水性のゼオライトと強疎水性のゼオライトとを吸着部材として用いるので、アンモニアや硫黄酸化物のような無機系ガス状化学物質も有機溶剤もともによく吸着部で吸着除去される。
【００４４】また請求項８に記載の本発明によれば、弱疎水性ゼオライトはＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が５〜７０（モル比）であり強疎水性ゼオライトはＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が７０を超えるものである。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００２８５３
【氏名又は名称】ダイキン工業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年１１月１２日（１９９９．１１．１２） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７５５５７
【弁理士】
【氏名又は名称】西教 圭一郎
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| 【公開番号】 |
特開２００１−１４１２７４（Ｐ２００１−１４１２７４Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年５月２５日（２００１．５．２５） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−３２２９０２ |
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