| 【発明の名称】 |
ランプアクチュエータ機構を有するゲートバルブ |
| 【発明者】 |
【氏名】スティーブン ヤング
【氏名】ヴァクラヴ ミスリヴェック
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| 【要約】 |
【課題】振動や衝撃が少なく、動作寿命が長く、粉塵発生を少なくすること。
【解決手段】バルブ１０は、流体導管１４とバルブ座部１６とを有するバルブハウジング１２と、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを案内するための傾斜面を有する封止プレートを備えた封止プレートアセンブリ３０と、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを移動させるためのアクチュエータアセンブリ３２と、封止プレートを後退位置に向かって付勢するための装置とを含む。アクチュエータアセンブリは、アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子に設けたローラ素子とを含む。ローラ素子は、封止プレートの傾斜面に係合し、封止プレートに対するアクチュエータ素子の移動に伴って傾斜面に沿って移動し、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを移動させる。傾斜面は、後退位置と閉鎖位置との間での急激でないスムーズな移動を提供するような輪郭を有する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】流体導管を有し、バルブ座部を形成するバルブハウジングと、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを案内するための傾斜面を有する封止プレートを備え、前記傾斜面が、後退位置と閉鎖位置との間の急激でないスムーズな移動を提供するような輪郭を有する封止プレートアセンブリと、前記封止プレートをバルブ座部から後退させた後退位置と前記封止プレートをバルブ座部に封止係合させる閉鎖位置との間で前記封止プレートを移動させるためのアクチュエータアセンブリであって、アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子に設けたローラ素子とを含み、前記ローラ素子が、前記傾斜面に係合し、前記封止プレートに対する前記アクチュエータ素子の移動に伴って前記傾斜面に沿って移動して、後退位置と閉鎖位置との間で前記封止プレートを移動させるアクチュエータアセンブリと、前記封止プレートを後退位置に向かって付勢するための装置とを含むバルブ。
【請求項２】前記ローラ素子がボールである請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】前記ローラ素子が円柱状ローラである請求項１に記載のバルブ。
【請求項４】前記封止プレートが、複数の傾斜面を含み、前記アクチュエータアセンブリが、上記傾斜面にそれぞれ係合する対応する複数のローラ素子を含んでいる請求項１に記載のバルブ。
【請求項５】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭は、後退位置付近においては勾配が大きく、閉鎖位置付近においては勾配が小さくなっている請求項１に記載のバルブ。
【請求項６】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭が、凸状半径部を含んでいる請求項１に記載のバルブ。
【請求項７】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭が、直線状部分を含んでいる請求項１に記載のバルブ。
【請求項８】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭が、断片的な直線状部分を含んでいる請求項１に記載のバルブ。
【請求項９】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭が、断片的な曲線状部分を含んでいる請求項１に記載のバルブ。
【請求項１０】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭が、封止プレートの閉鎖位置に対応する部位を有し、この部位が、前記封止プレートの表面から後退している請求項１に記載のバルブ。
【請求項１１】ローラ素子移動方向の前記傾斜面の輪郭が、種々の勾配部を含んでいる請求項１に記載のバルブ。
【請求項１２】前記傾斜面が、前記封止プレートに対して前記アクチュエータ素子を直線移動させる請求項１に記載のバルブ。
【請求項１３】前記傾斜面が、前記封止プレートに対して前記アクチュエータ素子を回転運動させる請求項１に記載のバルブ。
【請求項１４】前記封止プレートを付勢するための前記装置が、１以上のバネを含む請求項１に記載のバルブ。
【請求項１５】前記封止プレートを付勢するための前記装置が、１以上の板バネを含む請求項１に記載のバルブ。
【請求項１６】前記アクチュエータアセンブリが、後退位置と開放位置のと間で前記封止プレートを移動させる請求項１に記載のバルブ。
【請求項１７】前記傾斜面は、ローラ素子移動方向に直交する方向の形状がローラ素子の形状に整合している請求項１に記載のバルブ。
【請求項１８】前記傾斜面が、封止プレートの後退位置に対応する深端部と、封止プレートの閉鎖位置に対応する浅端部と、前記深端部と前記浅端部との間の移行部とを含む請求項１に記載のバルブ。
【請求項１９】流体導管を有し、バルブ座部を形成するバルブハウジングと、複数の封止プレート傾斜面を有する封止プレートと、複数の対向プレート傾斜面を有する対向プレートであって、前記封止プレート傾斜面および前記対向プレート傾斜面が、それぞれ後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートおよび対向プレートを案内し、後退位置と閉鎖位置との間の急激でないスムーズな移動を提供するような輪郭を有する対向プレートと、開放位置と、前記封止プレートを前記バルブ座部から後退させた後退位置と、前記封止プレートをバルブ座部に封止係合させる閉鎖位置との間で前記封止プレートおよび前記対向プレートを移動させるためのアクチュエータアセンブリであって、アクチュエータ素子と、前記アクチュエータ素子に設けたローラ素子とを含み、前記ローラ素子が、前記封止プレート傾斜面および前記対向プレート傾斜面に係合し、前記封止プレートおよび前記対向プレートに対する前記アクチュエータ素子の移動に伴って前記封止プレート傾斜面および前記対向プレート傾斜面に沿って移動して、後退位置と閉鎖位置との間で前記封止プレートを移動させるアクチュエータアセンブリと、前記封止プレートおよび前記対向プレートを後退位置に向かって付勢するための１以上のバネとを含むバルブ。
【請求項２０】前記ローラ素子がボールである請求項１９に記載のバルブ。
【請求項２１】ローラ素子移動方向の前記各傾斜面の輪郭は、後退位置付近においては勾配が大きく、閉鎖位置付近においては勾配が小さくなっている請求項１９に記載のバルブ。
【請求項２２】ローラ素子移動方向の前記各傾斜面の輪郭が、凸状半径部を含んでいる請求項１９に記載のバルブ。
【請求項２３】前記各傾斜面は、ローラ素子移動方向に直交する方向の形状がローラ素子の形状に整合している請求項１９に記載のバルブ。
【請求項２４】ローラ素子移動方向の前記各傾斜面の輪郭が、封止プレートの閉鎖位置に対応する部位を有し、この部位が、封止プレートの表面から後退している請求項２３に記載のバルブ。
【請求項２５】前記各傾斜面が、封止プレートの後退位置に対応する深端部と、封止プレートの閉鎖位置に対応する浅端部と、前記深端部と前記浅端部との間の急激でない比較的スムーズな移行部とを含む請求項１９に記載のバルブ。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の分野】本発明は、バルブ構造に関し、特に、振動や衝撃が少なく、動作寿命が長く、粉塵発生が少ないことを特徴とするゲートバルブ構造に関する。
【０００２】
【発明の背景】従来のゲートバルブ構造は、流体導管とバルブ座部とを有するバルブハウジングと、流体導管内において開放位置と閉鎖位置との間を移動可能な封止プレートと、開放位置と閉鎖位置との間で封止プレートを移動させるアクチュエータ機構とを備えている。封止プレートは、閉鎖位置においてバルブ座部と係合して流体導管を封止するようになっている。封止プレートは、閉鎖位置から後退位置へと移動し、そして開放位置へと直線移動するものであってもよい。
【０００３】ゲートバルブと、スロットバルブなどの関連バルブ構造は、広範な用途に使用されている。様々な用途には、液体、気体、真空に関わるものがある。用途の中には、開放位置と閉鎖位置間の頻繁なサイクル動作を伴い、長動作寿命および低粉塵発生を必要とするものがある。この様な用途の一例として、半導体ウェハの真空処理用設備におけるものがある。半導体装置の形状寸法の小型化と回路密度の増加に伴って、半導体ウェハは益々粉塵汚染に敏感になっている。処理チャンバの真空密封容器内の構成部材、例えば、真空ライン内のゲートバルブなどは、潜在的な粉塵汚染源である。さらに、ゲートバルブの故障により、半導体製造ラインの一部あるいは全体の停止の必要に迫られる場合もあるから、生産性に悪影響を及ぼす。したがって、長動作寿命と低粉塵発生は、ゲートバルブの重要な特性である。
【０００４】ゲートバルブに関わる別の問題として、バルブの開閉時に発生するノイズや衝撃、振動がある。ノイズ、衝撃および振動は、ゲートバルブ付近の繊細な装置の動作を損なったり、乱したりする。また、従来のゲートバルブの動作により発生した衝撃によって、深冷真空ポンプの内部からチャコールが振動剥離することが観察されている。したがって、ゲートバルブにより発生するノイズ、衝撃および振動を抑制することが望まれる。
【０００５】直線移動可能な封止プレートを有するゲートバルブは、１９７７年１０月４日にＳｃｈｅｒｔｌｅｒに付与された米国特許Ｎｏ．４，０５２，０３６に開示されている。封止プレートと対向プレートが、板バネによってアクチュエータに向かって付勢されている。アクチュエータは、封止プレートおよび対向プレートの凹部に係合する一連のボールを担持している。封止プレートおよび対向プレートが停止位置に到達すると、アクチュエータは移動し続け、凹部からボールを押し出し、封止プレートおよび対向プレートを閉鎖位置に向かって移動させる。ボールが凹部から押し出されるとき、移行が急激に起こり、システムに機械的な衝撃を与え、粉塵汚染と摩耗が発生する。
【０００６】公知の従来型ゲートバルブ構造は、何れも、ノイズ、振動および衝撃の発生、動作寿命の制約、高粉塵発生を含む１以上の短所がある。したがって、改良型ゲートバルブ構造が必要とされる。
【０００７】
【発明の要旨】本発明の第１の態様によれば、バルブが提供される。バルブは、流体導管を有しバルブ座部を形成するバルブハウジングと、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを案内するための傾斜面（ｒａｍｐ：ランプ）を有する封止プレートを備えた封止プレートアセンブリと、封止プレートをバルブ座部から後退させた後退位置と封止プレートをバルブ座部と封止係合させる閉鎖位置との間で封止プレートを移動させるためのアクチュエータアセンブリと、封止プレートを後退位置に向かって付勢するための装置とを含む。アクチュエータアセンブリは、アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子に設けたローラ素子とを含む。ローラ素子は、封止プレートの傾斜面に係合し、封止プレートに対するアクチュエータ素子の移動に伴って傾斜面に沿って移動して、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを移動させる。傾斜面は、後退位置と閉鎖位置との間での急激でないスムーズな移動を提供するような輪郭を有する。
【０００８】ある実施形態においては、ローラ素子はボールである。また、別の実施形態においては、ローラ素子は円柱状ローラである。封止プレートは、複数の傾斜面を含んでいてもよく、アクチュエータアセンブリは、それらの傾斜面にそれぞれ係合する対応する複数のローラ素子を含んでいてもよい。ローラ素子移動方向の傾斜面の輪郭は、一定勾配を有していてもよいし、種々の勾配を有していてもよい。また、ローラ素子移動方向の傾斜面の輪郭は、後退位置付近においては勾配が大きく、閉鎖位置付近においては勾配が小さくなっていてもよい。さらに、ローラ素子移動方向の傾斜面の輪郭は、凸状半径部を有していてもよい。更に別の実施形態において、ローラ素子移動方向の傾斜面の輪郭は、直線状部分を含んでいる。更に別の実施形態において、ローラ素子移動方向の傾斜面の輪郭は、断片的に直線状であってもよいし、断片的に曲線状であってもよい。ローラ素子移動方向に直交する方向の傾斜面の輪郭は、低摩耗、低粉塵汚染のために、ローラ素子の形状に整合する形状を有することが好ましい。封止プレートの閉鎖位置に対応する傾斜面の部位は、封止プレートの表面から後退（ｒｅｃｅｓｓｅｄ）していることが好ましい。
【０００９】あるバルブ構成において、傾斜面は、封止プレートに対してアクチュエータ素子を直線移動させる。別のバルブ構成において、傾斜面は、封止プレートに対してアクチュエータ素子を回転運動させる。封止プレートアセンブリは、１以上の傾斜面を有する対向プレートを更に含んでいてもよく、アクチュエータアセンブリは、対向プレート傾斜面に係合するローラ素子を含んでいてもよい。封止プレートおよび対向プレートは、アクチュエータ素子の両側に位置し、１以上のバネによって後退位置に向かって付勢されている。封止プレートおよび対向プレートに対するアクチュエータ素子の移動に伴って、ローラ素子は傾斜面に沿って移動し、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートを移動させる。
【００１０】
【詳細な説明】本発明をより良く理解するために、参照によってここに組み込まれている添付の図面を参照する。本発明の特徴を組み込んだゲートバルブの第１の実施形態を図１〜図７Ｃに示す。図１〜図７Ｃにおいて、同様の部材は、同じ参照番号を有する。ゲートバルブ１０は、気体または液体の通過のための流体導管１４を有するバルブハウジング１２を備えている。ゲートバルブを真空で適用する場合には、気体圧は低圧である。バルブハウジング１２は、以下に示す封止プレートに係合するバルブ座部１６を形成する。流体導管１４は、ほぼ円筒形、正方形、長方形、その他適切な形状であり、バルブ座部１６は、流体導管１４を取り囲む表面の形態である。
【００１１】ゲートバルブ１０は、封止プレートアセンブリ３０と、アクチュエータアセンブリ３２とを更に備えており、エアシリンダなどのバルブアクチュエータ３４を備えていてもよい。アクチュエータアセンブリ３２およびバルブアクチュエータ３４の制御のもとで、封止プレートアセンブリ３０は、図１に示す開放位置と、図２および図５に示す後退位置と、図３および図６に示す閉鎖位置との間を移動可能である。開放位置において、封止プレートアセンブリ３０は、バルブ座部１６および流体導管１４から離れて移動させられていて、液体または気体の通過を許容する。後退位置においては、封止プレートアセンブリ３０は、流体導管１４内において流体導管１４に対して整合しているが、バルブ座部１６からは離隔している。閉鎖位置において、封止プレートアセンブリ３０は、後退位置から移動してバルブ座部１６に封止係合し、これにより流体導管１４を封止する。別の構成において、アクチュエータ３４は、ゲートバルブの手動操作のために、ハンドルまたはその他の適切な装置に置き換えられる。
【００１２】アクチュエータアセンブリ３２は、一端においてシャフト封止部４２を介してバルブアクチュエータ３４に接続されているシャフト４０を備えている。シャフト４０の他端は、アクチュエータ素子４４に接続されている。図５、図６によく示されているように、アクチュエータ素子４４には、ボール５０などのローラ素子を受けるための開口部４６、４８が設けられている。後述のように、ボール５０は、封止プレートアセンブリ上の傾斜面と協働して、後退位置と閉鎖位置との間で封止プレートアセンブリ３０を移動させる。
【００１３】封止プレートアセンブリ３０は、アクチュエータ素子４４の両側に配置された封止プレート６０および対向プレート６２を備えている。バルブ閉鎖時にバルブ座部１６と封止プレート６０との間を真空気密にするための弾性体リング６４が、封止プレート６０の溝に装着されている。対向プレート６２は、図５に示す後退位置においてはバルブハウジング１２から離隔されており、図６に示す閉鎖位置においてはバルブハウジング１２に接触している。封止プレートアセンブリ３０は、板バネ７０および板バネ７２を更に備えている（図４）。各板バネ７０、７２は、その一端が封止プレート６０に取り付けられており、その他端が対向プレート６２に取り付けられている。板バネ７０、７２は、封止プレート６０および対向プレート６２を後退位置に向かって互いに近接する方向に付勢している。バルブ閉鎖時には、板バネ７０、７２は、図３に示すように変形し、封止プレート６０と対向プレート６２を後退位置へと戻す復元力を生じる。本発明の範囲において、皿バネ、コイルバネ、その他の適切なバネも使用できるものと解釈される。
【００１４】封止プレート６０には、傾斜面８０と傾斜面８２とが設けられている。同様に、対向プレート６２にも、傾斜面８４と傾斜面８６とが設けられている。各傾斜面８０、８２、８４、８６は、各プレートに溝あるいは凹部の形態で設けられている。傾斜面８０、８２、８４、８６は、各ボール５０に係合できるような位置および形状である。好適な傾斜面の構成を以下に詳述する。各傾斜面は、封止プレート６０および対向プレート６２の後退位置に対応する深端部と、封止プレート６０および対向プレート６２の閉鎖位置に対応する浅端部とを有する。
【００１５】動作時に、シャフト４０は、封止プレートアセンブリ３０とアクチュエータアセンブリ３２とを、図１に示す開放位置から図２および図５に示す後退位置へと移動させる。この移動中には、封止プレート６０および対向プレート６２は、板バネ７０、７２によってアクチュエータ素子４４に対して付勢され、図５によく示されているように、ボール５０は各傾斜面８０、８２、８４、８６の深端部に係合している。封止プレートアセンブリ３０が後退位置に到達すると、封止プレート６０は、バルブハウジング１２に当接して移動停止する。シャフト４０によって、アクチュエータ素子４４は、（図６において右方向に）移動し続ける。封止プレート６０および対向プレート６２に対するアクチュエータ素子４４の移動によって、ボール５０は、傾斜面８０、８２、８４、８６に沿って傾斜面の浅端部に向かって移動して、封止プレート６０をバルブ座部１６に向かって上方に変位させ、対向プレート６２を下方に変位させる。図６に示す閉鎖位置において、ボール５０は、各傾斜面の右端付近に位置し、封止プレート６０および対向プレート６２を閉位置に保持する。
【００１６】図７Ａ〜図７Ｃに傾斜面８０の一例を示す。傾斜面８２、８４、８６も同じ構成を有していてもよい。前述のように、傾斜面８０は、封止プレート６０に溝または凹部として形成されている。傾斜面８０は、封止プレート６０の後退位置に対応する深端部１１０と、封止プレート６０閉鎖位置に対応する浅端部１１２と、深端部１１０と浅端部１１２とを連結する移行部１１４とを備えている。傾斜面８０は、ボールの形態のローラ素子に係合するような形状をしている。深端部１１０には、ボール５０に整合する形状の底部が形成されている（図５、図６）。浅端部１１２は、ボール５０の移動方向に沿って平坦であってもよく、図７Ｃに示すように、ボール５０の移動方向に直交する方向に沿ってボール５０の形状に整合するような輪郭であってもよい。移行部１１４は、深端部１１０と浅端部１１２との間で移動方向に沿ってスムーズに湾曲していてもよく、図７Ｃに示すように、ボール５０の移動方向に直交する方向に沿ってボール５０の形状に整合するような輪郭であってもよい。特に、移行部１１４は、深端部１１０付近では大きく浅端部１１２付近では小さくなる局部的な勾配を有する凸状半径部を有していてもよい。したがって、ボール５０は、傾斜面８０に沿って深端部１１０から浅端部１１２へと移動するに伴い、移行部１１４の最初の部分においてより迅速に閉鎖位置へと移動し、そして、閉鎖位置に近づくに従い低速となる。この様に、後退位置と閉鎖位置との間の封止プレート６０の移動は、急激ではなくスムーズであり、衝撃や振動を殆どあるいは全く生じない。さらに、傾斜面８０はボール移動方向の直交方向に関して形取られているので、ボール５０は、深端部１１０から浅端部１１２にあるいはその逆に移動する際に、円弧に沿って傾斜面８０と接触する。点接触ではなく円弧に沿った接触は、接触力を分散し、これにより摩耗や粉塵発生を低減する。
【００１７】後退位置と閉鎖位置との間で封止プレート６０および対向プレート６２を案内する傾斜面は、本発明の範囲内において様々な形状を有することができる。一般に、傾斜面は、後退位置および閉鎖位置への移動やこれらの間の移動が急激でなく比較的スムーズに行えるような形状である。傾斜面は、摩耗や粉塵発生を低減するために、ボール、ローラ、その他のローラ素子の形状に整合するような、ローラ素子移動方向に直交する輪郭を有していてもよい。ローラ素子がバルブの閉鎖位置に静止する傾斜面の浅端部は、封止プレートの表面から後退しており、移動方向に直交する輪郭を有するようになっていることが好ましい。結果的に、従来のバルブと比較して、ノイズや機械的衝撃を低減し、粉塵汚染を低減し、バルブの動作寿命が延びる。
【００１８】図８Ａ〜図８Ｃに傾斜面の第２の例を示す。傾斜面１２０は、ボールではなく円柱状ローラを用いた動作用に構成されている。したがって、傾斜面１２０は、ローラの形状に整合した輪郭を有する。傾斜面１２０は、封止プレートの後退位置に対応する深端部１３０と、封止プレートの閉鎖位置に対応する浅端部１３２と、深端部１３０と浅端部１３２との間の移行部１３４とを有する。ローラ移動方向の輪郭は、図７Ａ〜図７Ｃに示す上記の傾斜面８０の輪郭と同様であってもよい。ただし、傾斜面１２０は、図８Ｃに示すように、ローラ移動方向に直交する方向に平坦な輪郭を有し、円柱状ローラを収容するようになっていてもよい。
【００１９】図９に傾斜面の第３の例を示す。傾斜面１４０は、封止プレートの後退位置に対応する深端部１５０と、封止プレートの閉鎖位置に対応する浅端部１５２と、深端部１５０と浅端部１５２との間の移行部１５４とを有する。図９の構成では、移行部１５４の輪郭は、一定勾配の直線的な傾斜面である。傾斜面１４０は、ローラ素子移動方向の直交方向については、図７Ｃに示すようにボールの形状に整合するような、あるいは、図８Ｃに示すように円柱状ローラの形状に整合するような輪郭となっていてもよい。浅端部１５２は、封止プレートの表面から後退しており、その底面を形取るようになっていることが好ましい。
【００２０】図１０に傾斜面の第４の例を示す。傾斜面１６０は、封止プレートの後退位置に対応する深端部１７０と、封止プレートの閉鎖位置に対応する浅端部１７２と、深端部１７０と浅端部１７２との間の移行部１７４とを有する。図１０の構成では、移行部１７４は、２以上の直線状あるいは曲線状の断続的な輪郭、例えば、輪郭１８０、１８２を備えている。湾曲部１８０、１８２は、線１８４に沿って交わっている。このように、移行部１７４は、深端部１７０と浅端部１７２との間において、ローラ素子移動方向に沿って断片的に直線状または断片的に曲線状であってもよく、あるいは、直線状と曲線状の混ざったものであってもよい。面の交わりによって、ローラ素子の速度あるいは方向の急激な変化が起こらないようにすることが好ましい。ローラ素子移動方向の直交方向に関しては、傾斜面１６は、図７Ｃに示すようにボールに整合する形状としてもよいし、図８Ｃに示すように円柱状ローラに整合する形状としてもよい。
【００２１】本発明に係るゲートバルブの第２の実施形態を図１１および図１２に示す。ゲートバルブ２１０は、流体導管２１４およびバルブ座部２１６を有するバルブハウジング２１２を備えている。ゲートバルブ２１０は、封止プレートアセンブリ２３０とアクチュエータアセンブリ２３２とを更に備えている。アクチュエータアセンブリ２３２は、一端においてアクチュエータ（図示せず）に連結され、他端において連結部２４２を介してアクチュエータ素子２４４に連結されているシャフト２４０を備えている。アクチュエータ素子２４４には、ボール２５０などのローラ素子を受けるための開口部２４６が設けられている。
【００２２】封止プレートアセンブリ２３０は、封止プレート２６０と対向プレート２６２とを備えていてもよい。封止プレート２６０とバルブ座部２１６との封止係合を確保するために、封止プレート２６０には弾性体リング２６４が装着されている。封止プレート２６０および対向プレート２６２を、バネ（図示せず）によってアクチュエータ素子２４４に対して後退位置に向かって付勢してもよい。封止プレート２６０および対向プレート２６２には、ボール２５０に係合するような位置および形状の傾斜面２８０が設けられている。図１１および図１２の実施形態において、傾斜面２８０は、図１２に最も良く示されているように、封止プレート２６０に対してアクチュエータ素子２４４を回転運動させるような形状となっている。封止プレート２６０は、ヨーク２７０内に取り付けられており、このヨークは、シャフト２４０の直線移動に応答して封止プレート２６０を回転運動に限定する。
【００２３】動作時において、シャフト２４０の直線運動は、封止プレート２６０に対するアクチュエータ素子２４４の回転運動に変換されるので、ボール２５０は傾斜面２８０に沿って移動し、これにより封止プレート２６０はバルブの閉鎖位置に対して近接／離反移動する。バルブが開放位置にあるとき、アクチュエータアセンブリ２３２および封止プレートアセンブリ２３０を含むアセンブリ全体が、バルブハウジング２１２の低部位へと移動するようにしてもよい。傾斜面２８０の形状は、上述の何れの形状であってもよい。
【００２４】現時点において本発明の好適な実施形態と考えられるものについて、図示、説明してきたが、特許請求の範囲により定義される本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変更、修正が可能であることは、当業者にとって明白であろう。
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| 【出願人】 |
【識別番号】５９９０６０９２８
【氏名又は名称】ヴァリアン インコーポレーテッド
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| 【出願日】 |
平成１２年３月１６日（２０００．３．１６） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８７７０１
【弁理士】
【氏名又は名称】稲岡 耕作 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２００１−２１０４８（Ｐ２００１−２１０４８Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年１月２６日（２００１．１．２６） |
| 【出願番号】 |
特願２０００−７４３２２（Ｐ２０００−７４３２２） |
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