| 【発明の名称】 |
Ｃリングガスケット保持具、Ｃリングガスケット組立体およびＣリングガスケット保持具の製造方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】森 英明
【氏名】花島 完治
【氏名】柴田 秀史
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| 【要約】 |
【課題】Ｃリングガスケットの脱落や位置ずれが起こりにくく、かつ装着が容易なＣリングガスケット保持具を提供する。
【解決手段】保持具Ａ1を構成する弾性変形可能な金属薄板１０にＣリングガスケットＢを保持するための受け穴１１と、この受け穴１１より充分大きくて、通路穴１３を経て連結するＣリングガスケットの取り込み穴１２を開け、受け穴１１はＣリングガスケットＢの湾曲部１５と相似形状の曲線部分７５％となし、取り込み穴１２に取り込んだＣリングガスケットＢをずらして受け穴１１に押し込ませて保持させる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴より大きく、かつ受け穴に連絡するＣリングガスケットの取り込み穴が開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされていることを特徴とするＣリングガスケット保持具。
【請求項２】 前記取り込み穴がその一部で金属薄板の外に開放されている請求項１に記載のＣリングガスケット保持具。
【請求項３】 弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴の直径線分の延長上に連絡する放射穴とが開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされていることを特徴とするＣリングガスケット保持具。
【請求項４】 弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴より大きく、かつ受け穴に連絡するＣリングガスケットの取り込み穴が開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされ、前記受け穴にＣリングガスケットが保持されていることを特徴とするＣリングガスケット組立体。
【請求項５】 弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴の直径線分の延長上に連絡する放射穴とが開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされ、前記受け穴にＣリングガスケットが保持されていることを特徴とするＣリングガスケット組立体。
【請求項６】 弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴およびボルト穴等をフォトレジスト加工によって開けることを特徴とするＣリングガスケット保持具の製造方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や原子力装置などに使用される超高真空機器において、フランジ等の接合部分からの流体の漏れを防ぐために用いる金属Ｃリングガスケットをフランジ間の所定位置に配置するのに好適なＣリングガスケット保持具およびその製造方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置等では高い機密性を得る目的で各種の金属ガスケットが使用されている。これらのガスケットのなかにはフランジ等の隣接する２つの構成部材の接合部分からの流体の漏れを防ぐため、構成部材に設けられた凹部等に金属Ｃリングガスケットを配置して２つの構成部材を連結させるものがある。
【０００３】ところが、このようなＣリングガスケットは半導体製造装置の構成部品の小型化に対応して外径の大きさが１０ｍｍ程度の小型のものが多く、フランジの凹部にＣリングガスケットを設置するときに位置がずれて、Ｃリングガスケットの締め付けが不均一になり、漏れが発生したり、Ｃリングガスケット取り付け時にＣリングガスケットに不純物が付着したり、微少な傷が入るなどの不具合が生じることがある。
【０００４】そこで、Ｃリングガスケットに直接触れることなく、装置からＣリングガスケットを脱着するためにＣリングガスケット保持具を用いるようになってきている。このＣリングガスケット保持具は主に弾性変形可能な金属薄板より成り、Ｃリングガスケットが入る受け穴と、Ｃリングガスケットを保持する腕状の保持部分から構成されている。また、１つのＣリングガスケット保持具に複数のＣリングガスケットを保持できるものも知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記Ｃリングガスケット保持具の一例として、図９に示す保持具が知られている（特開平１０−２０９３１２号公報参照）。図９において、Ａは保持具、１は保持具を構成する弾性変形可能な金属薄板であり、この金属薄板１には、Ｃリングガスケットの受け穴２と、前記受け穴の中心に向けて張り出す腕状をした複数本の保持部分３およびボルト穴４が所要の切り抜き加工手段によって形成されている。
【０００６】図１０（イ），（ロ）に、前記保持具Ａに金属ＣリングガスケットＢを保持する組み付け方法を示している。即ち、金属薄板１を受け穴の直径線分の部位で曲げて保持部分３を立ち上がらせ、その保持部分３の先端の間にＣリングガスケットＢを位置づけた状態で金属薄板に加える曲げ力を弱めてゆき、最後に保持部分３の先端をＣリングガスケットＢの湾曲部５に係合させることで、Ｃリングガスケットを受け穴２の位置に保持するものである。
【０００７】図１１に、前記ＣリングガスケットＢを保持した保持具Ａをフランジ６，６間に配設した状態を示している。
【０００８】しかし、前記Ｃリングガスケット保持具では、ＣリングガスケットＢの湾曲部５を点で支持しているため、保持力が不充分であり、Ｃリングガスケットの湾曲部が真円から多少でもずれると脱落や位置ずれが起こりやすくなり、位置ずれが起きフランジ凹部からずれた位置でＣリングガスケットが締め付けられると漏れが発生する。
【０００９】また上記構造のＣリングガスケット保持具は金属薄板１を変形させてＣリングガスケットを組み付けるので、装着に時間がかかる上に、受け穴２に突き出た保持部分３がＣリングガスケット表面のシール面に傷を付けてしまうという不具合がある。
【００１０】本発明は、以上のような従来のＣリングガスケット保持具の問題点を解消するためになされたものであって、Ｃリングガスケットの脱落や位置ずれが起こりにくく、Ｃリングガスケットの装着が容易なＣリングガスケット保持具、Ｃリングガスケット組立体およびＣリングガスケット保持具の製造方法を提供することを主たる目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１の発明によるＣリングガスケット保持具は、弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴より大きく、かつ受け穴に連絡するＣリングガスケットの取り込み穴が開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされていることを要旨としている。
【００１２】また、請求項２の発明は、請求項１において、前記取り込み穴がその一部で金属薄板の外に開放されていることを要旨としている。
【００１３】また、請求項３の発明によるＣリングガスケット保持具は、弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴の直径線分の延長上に連絡する放射穴とが開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされていることを要旨としている。
【００１４】さらに請求項４の発明によるＣリングガスケット組立体は、弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴より大きく、かつ受け穴に連絡するＣリングガスケットの取り込み穴が開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされ、前記受け穴にＣリングガスケットが保持されていることを要旨としている。
【００１５】さらに請求項５の発明によるＣリングガスケット組立体は、弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴と、その受け穴の直径線分の延長上に連絡する放射穴とが開けられ、前記受け穴はＣリングガスケットの湾曲部と相似形状の曲線部分の５５〜８５％とされ、前記受け穴にＣリングガスケットが保持されていることを要旨としている。
【００１６】さらに、また請求項６の発明によるＣリングガスケットの製造方法は、弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための穴およびボルト穴等をフォトレジスト加工によって開けることを要旨としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態としては、図１（イ），（ロ），（ハ），（ニ）に示すように、Ｃリングガスケット保持具Ａ1を構成するための受け穴１１と、この受け穴より充分大きくて、通路穴１３を経て連絡するＣリングガスケットの取り込み穴１２を開け、受け穴１１はＣリングガスケットＢの湾曲部１５の相似形状の曲線部分の７５％となし、取り込み穴１２に取り込んだＣリングガスケットＢをずらして受け穴１１に押し込ませて保持させる構成とする。また、上記Ｃリングガスケット保持具は、厚さ０．１０ｍｍのＳＵＳ製金属薄板を用い、フォトレジスト加工して製作した。
【００１８】
【実施例】実施例１本実施例は、図１（イ），（ロ），（ハ），（ニ）に示す。同図において、Ａ1はＣリングガスケット保持具、１０は保持具を構成する弾性変形可能な金属薄板（厚さ０．１０ｍｍのＳＵＳ３０４製）である。上記金属薄板１０には、ＣリングガスケットＢ（外径１０ｍｍ程度の小型Ｃリングガスケット）を保持するための受け穴１１と、この受け穴１１の近くにあって、受け穴１１より充分大きなＣリングガスケット取り込み穴１２と、両穴を連絡する通路穴１３と、ボルト穴１４とが、所要の切り抜き加工手段によって開けられている。
【００１９】前記受け穴１１は、ＣリングガスケットＢの湾曲部１５と相似形状の曲線部分の７５％とされている。Ｈはその曲線部分の範囲を示している。これは、ＣリングガスケットＢの湾曲部が受け穴１１の７５％の曲線部分で保持されることを意味する。
【００２０】上記保持具Ａ1にＣリングガスケットＢを保持させるには、図１０（ロ）に示すように、まずＣリングガスケットＢを取り込み穴１２に入れ、そこから矢印の方向にずらし、図（ハ），（ニ）に示すように、受け穴１１に押し込ませる。
【００２１】この場合、ＣリングガスケットＢが、その湾曲部１５の外径より幅のせまい前記通路穴１３と、受け穴１１の受入部を通る際に受ける移動抵抗は、金属薄板の弾性変形により低減されるので、ＣリングガスケットＢを受け穴１１に円滑に押し込ませることができる。そして受け穴１１でのＣリングガスケットＢはその湾曲部１５の部分で受け穴１１に保持される。また、いちど受け穴１１に保持された後のＣリングガスケットＢは受け穴から抜け出ることはない。
【００２２】上記保持具の構成によれば、Ｃリングガスケットの湾曲部を受け穴の円形曲線部分で保持するので、Ｃリングガスケットの脱落や位置ずれを起こすおそれはなく、かつＣリングガスケットの装着も容易である。
【００２３】実施例２本実施例は、図２に示す保持具Ａ2である。この保持具は、取り込み穴１２の両側に受け穴１１を開け、２つのＣリングガスケットＢを保持可能に構成されている。各受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は７５％である。
【００２４】実施例３本実施例は、図３に示す保持具Ａ3である。この保持具は、実施例１の取り込み穴１２を長方形に変え、受け穴１１の周囲にも穴１６を開けた構成とされている。受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は８０％である。
【００２５】実施例４本実施例は、図４に示す保持具Ａ4である。この保持具は、２つの受け穴１１とそれぞれに連結する長方形の取り込み穴１２とを開けた構成とされている。受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は７８％である。
【００２６】実施例５本実施例は、図５に示す保持具Ａ5である。この保持具は、実施例１の取り込み穴１２の形状を変えた構成とされている。受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は７５％である。
【００２７】実施例６本実施例は、図６に示す保持具Ａ6である。この保持具は、実施例１の取り込み穴１２の一部を金属薄板の外に開放し、Ｃリングガスケットを取り込み易くした構成とされている。受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は７５％である。
【００２８】実施例７本実施例は、図７に示す保持具Ａ7である。この保持具は、受け穴１１と、その受け穴１１の直径線分の延長上に連絡する比較的広幅の放射穴１７を開けた構成とされている。上記受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は８０％である。
【００２９】上記構成の保持具Ａ7では、放射穴１７を通るＸ−Ｘ線で金属薄板１０を折り曲げて受け穴１０を拡開させ、この拡開した受け穴にＣリングガスケットを位置づけた状態で折り曲げ力を解除して金属薄板を元に戻し、Ｃリングガスケットの湾曲部に受け穴を係合させ、Ｃリングガスケットを受け穴で保持する。
【００３０】実施例８本実施例は、図８に示す保持具Ａ8である。この保持具は、受け穴１１と、これと直交する２つの直径部分の延長上に開けられた放射穴１７を有する構成とされている。上記受け穴１１で保持する曲線部分Ｈの割合は５６％である。
【００３１】上記構成の保持具Ａ8では、２組の放射穴１７を通るＸ−Ｘ線のいずれかで金属薄板１０を折り曲げ可能であり、実施例７と同様な操作によりＣリングガスケットを受け穴で保持することができる。
【００３２】比較例１比較例１は、図９に示すように、受け穴２に向けて張り出す腕状の保持成分３でＣリングガスケットを保持する従来のＣリングガスケット保持具である。
【００３３】上記実施例１〜８および比較例１のＣリングガスケット保持具の位置ずれのし易さと装着性を比較するために、金属Ｃリングガスケット１０個を１０枚のＣリングガスケット保持具に各々装着した時に、最も位置ずれが大きかったときのずれ量と最も時間がかかった装着時間を測定した。試験結果を表１に示す。
【００３４】
【表１】
【００３５】表１から明らかなように、実施例１〜８は比較例１に比べてＣリングガスケットの位置ずれ量が小さく、装着時間も短いことが認められた。
【００３６】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のＣリングガスケット保持具によれば、半導体製造装置などの超真空機器に使用しても、Ｃリングガスケットの脱落や位置ずれが起こりにくく、Ｃリングガスケットの装着が容易であるという効果が得られる。
【００３７】また、本発明のＣリングガスケット保持具の製造方法によれば、弾性変形可能な金属薄板に、Ｃリングガスケットを保持するための受け穴や取り込み穴やボルト穴などを高精度で形成することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１０８０４
【氏名又は名称】ニチアス株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年１１月１２日（１９９９．１１．１２） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７２３８３
【弁理士】
【氏名又は名称】永田 武三郎
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| 【公開番号】 |
特開２００１−１４１０６２（Ｐ２００１−１４１０６２Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年５月２５日（２００１．５．２５） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−３２２３５６ |
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