| 【発明の名称】 |
真空シール構造 |
| 【発明者】 |
【氏名】森田 晋作
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| 【要約】 |
【課題】真空を内在する配管をフランジに溶接する必要がなく、製造ならびに保守・交換が容易な真空シール構造を提供する。
【解決手段】接続部材１３、４３の端部に、軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部１３ａ、４３ａを形成し、鍔部の接続面側に、外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面１３ｂ、４３ｂを形成し、ガスケット当接面間にガスケットを配置し、フランジ２１、２１′でそのガスケットを挟圧保持する。接続部材４３、１３とフランジ間を相互に固定する必要がないので、固定のための溶接、封着時のトラブルが生じることがなく、また、接続部材が破損した場合にはそれ自身のみを交換すればよくメンテナンスが容易である。溶接性、放出ガス等の高度の特性が要求される真空用材料は、接続部材のみの使用でよく、フランジの材質は限定されないため、安価に製作でき、接続部材と支持部材を溶接する必要がないため、支持部材は再利用可能である。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 第１の接続部材と第２の接続部材を有し、前記第１及び第２の接続部材の間にガスケットを設け、該ガスケットを第１及び第２の支持部材により挟圧することにより、それら第１及び第２の接続部材の接続部をシールする真空シール構造において、前記第１及び第２の接続部材の端部に、当該管の軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部を環状に形成し、該鍔部の接続面側に、該鍔部の外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面をそれぞれ形成し、前記第１及び第２の接続部材のガスケット当接面間に前記ガスケットを配置すると共に、前記第１の支持部材と第２の支持部材間に前記第１及び第２の接続部材の鍔部を前記ガスケットと共に配置し、前記第１及び第２の支持部材を締め付け部材にて締め付けることにより、前記第１及び第２の接続部材のガスケット当接面間に前記ガスケットを挟圧保持してなる真空シール構造。
【請求項２】 第１の接続部材と第２の接続部材を有し、前記第１及び第２の接続部材の間にガスケットを設け、該ガスケットを第１及び第２の支持部材により挟圧することにより、それら第１及び第２の接続部材の接続部をシールする真空シール構造において、前記第１又は第２の接続部材の端部に、当該管の軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部を環状に形成し、該鍔部の接続面側に、該鍔部の外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面をそれぞれ形成し、前記第１の支持部材と第２の支持部材間に前記鍔部の形成された接続部材の鍔部を前記ガスケットと共に配置し、前記第１及び第２の支持部材を締め付け部材にて締め付けることにより、前記鍔部の形成された接続部材のガスケット当接面と該ガスケット当接面と対向する支持部材間に前記ガスケットを挟圧保持してなる真空シール構造。
【請求項３】 前記第１又は第２の接続部材の鍔部の、ガスケット当接面の反対側に支持部材当接面を、前記接続部材の軸心方向に直角な方向に平行に形成して構成した請求項１又は２記載の真空シール構造。
【請求項４】 前記第１又は第２の接続部材の鍔部には、ナイフエッジが形成されている、請求項１又は２記載の真空シール構造。
【請求項５】 前記支持部材当接面が形成された前記接続部材に対応する支持部材には、前記接続部材の軸心方向に直角な方向に平行に側壁が、前記支持部材当接面と当接係合し得る形で形成されている、請求項３記載の真空シール構造。
【請求項６】 前記第１の接続部材は、前記鍔部が形成された側と反対側の端部が閉塞されたブランク体である、請求項１記載の真空シール構造。
【請求項７】 前記第１又は第２の支持部材には、該支持部材を該支持部材に対応する前記第１又は第２の接続部材に対して固定する固定手段が設けられている、請求項１又は２記載の真空シール構造。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、大気に対して真空状態を維持する真空シール構造に係り、詳しくは、真空槽と他の部材又は、接続部材と接続部材を真空状態を維持して連結する際などに有用な真空シール構造に関する。
【従来の技術】真空蒸着装置、スパッタリング装置、プラズマ発生装置、高真空実験装置などの各種真空装置に、フランジを介して監視窓（ビユーイングポート）などの部品を真空シールして取り付けることが従来から行なわれている。
【０００２】第１７図は、従来のビユーイングポート４１′の取り付け構造を示す断面図である。
【０００３】図中、１３は真空シール構造に連結される配管であり、その下端は図示を省略する真空槽に溶接され、その上端は真空シール構造の一部を構成するナイフエッジ型の本体側フランジ１１の内周に突出した突出部１１ｅと溶接（１３ａは溶接部を示す。）されている。前記本体側フランジ１１の上面には、ナイフエッジ１１ｄが形成されている。
【０００４】一方、ビユーイングポート４１′は、ナイフエッジ型の外側フランジ２３にコバール製の円筒体７１を溶接（７３は溶接部を示す。）し、この円筒体７１にガラス板４５を封着（４７は封着部を示す。）してなり、このガラス板４５を通して真空室の内部を観察する。ビユーイングポート４１′は、前記外側フランジ２３と本体側フランジ１１との間に金属ガスケット３３を挟み込んで圧締することによりナイフエッジ１１ｄを金属ガスケット３３にくい込まさせて真空シールを実現している。
【０００５】このように、ビユーイングポート等の、異種の部品又は異種の材料（被真空シール体）を真空シールして取り付ける際には、フランジとガスケツトとを用いたシール構造を利用し、外側フランジ２３に異種の部品又は異種の材料を溶接又は封着することにより真空シールを実現している。
【０００６】第１８図は、従来の接続部材と接続部材を真空状態を維持して連結する構造を示す断面図である。
【０００７】図中、１３’及び７１’は真空シール構造に連結される配管であり、それらの端は、フランジ２３及び２３’に溶接され、該フランジ２３及び２３’の各端には、真空シール構造の一部を構成するナイフエッジ２３ｄ及び２３ｄ’が各々形成されている。そして、前記フランジ２３及びフランジ２３’との間に金属ガスケット３３′を挟み込んで圧締することによりナイフエッジ２３ｄ及び２３ｄ’を金属ガスケット３３′にくい込まさせて真空シールを実現している。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述のシール構造の場合には、フランジと配管や円筒体などの間での溶接工程又は封着工程を必要とするためコストの上昇を招き、更に、溶接や封着の際に部品の損傷を発生する可能性があった。そして、真空装置の装着後、ガラス板４５等の部品の一部を破損したときは、外側フランジ２３、該外側フランジ２３と溶接した円筒体７１及び該円筒体７１と封着したガラス板４５により構成されるビユーイングポート４１’ごと、又は管７１’とフランジ２３ごと交換しなければならないため、メンテナンス費用が増大していた。
【０００８】従って、本発明は、真空を内在する配管をフランジに溶接する必要がなく、製造ならびに保守・交換が容易な真空部品等のシール構造を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、第１の接続部材（４３）と第２の接続部材（１３）を有し、前記第１及び第２の接続部材の間にガスケット（３１）を設け、該ガスケットを第１及び第２の支持部材（２１、２１′）により挟圧することにより、それら第１及び第２の接続部材の接続部をシールする真空シール構造において、前記第１及び第２の接続部材の端部に、当該接続部材の軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部（１３ａ、４３ａ）を環状に形成し、該鍔部の接続面側に、該鍔部の外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面（１３ｂ、４３ｂ）をそれぞれ形成し、前記第１及び第２の接続部材のガスケット当接面間に前記ガスケットを配置すると共に、前記第１の支持部材と第２の支持部材間に前記第１及び第２の接続部材の鍔部を前記ガスケットと共に配置し、前記第１及び第２の支持部材を締め付け部材（１５）にて締め付けることにより、前記第１及び第２の接続部材のガスケット当接面間に前記ガスケットを挟圧保持して構成される。
【０００９】請求項２の発明は（図１５及び図１６参照）、第１の接続部材（７１）と第２の接続部材（１３）を有し、前記第１及び第２の接続部材の間にガスケット（３１、３３）を設け、該ガスケットを第１及び第２の支持部材（２３、２１′）により挟圧することにより、それら第１及び第２の接続部材の接続部をシールする真空シール構造において、前記第１又は第２の接続部材の端部に、当該管の軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部（１３ａ）を環状に形成し、該鍔部の接続面側に、該鍔部の外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面（１３ｂ）をそれぞれ形成し、前記第１の支持部材と第２の支持部材間に前記鍔部の形成された接続部材の鍔部（１３ａ）を前記ガスケット（３１、３３）と共に配置し、前記第１及び第２の支持部材を締め付け部材にて締め付けることにより、前記鍔部の形成された接続部材（１３）のガスケット当接面（１３ｂ）と該ガスケット当接面と対向する支持部材（２３）間に前記ガスケットを挟圧保持して構成される。
【００１０】請求項３の発明は、前記第１又は第２の接続部材の鍔部の、ガスケット当接面の反対側に支持部材当接面（１３ｄ、４３ｄ）を、前記接続部材の軸心方向に直角な方向に平行に形成して構成される。
【００１１】請求項４の発明は、前記第１又は第２の接続部材の鍔部には、ナイフエッジ（１４）が形成されて構成される。
【００１２】請求項５の発明は、前記支持部材当接面が形成された前記接続部材に対応する支持部材（２１、２１′）には、前記接続部材の軸心方向に直角な方向に平行に側壁（２１ｈ、２１ｈ′）が、前記支持部材当接面と当接係合し得る形で形成されて構成される。
【００１３】請求項６の発明は、前記第１の接続部材（４３）は、前記鍔部が形成された側と反対側の端部が閉塞されたブランク体（４９）で構成される。
【００１４】請求項７の発明は、前記第１又は第２の支持部材（２１、２１′）には、該支持部材を該支持部材に対応する前記第１又は第２の接続部材に対して固定する固定手段（２１ｎ）が設けられて構成される。
【００１５】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、第１及び第２の接続部材の環状の鍔部（１３ａ、４３ａ）のガスケット当接面（１３ｂ、４３ｂ）間にガスケット（３１）を配置して、それらを第１及び第２の支持部材（２１、２１′）で締め付けることにより、簡単にシール構造を得ることが出来る。
【００１６】また、この真空シール構造によれば、第１の接続部材（４３）と第２の接続部材（１３）と第１及び第２の支持部材（２１、２１′）を相互に固定する必要がないので、固定のための溶接、封着時のトラブルが生じることがなく、また、第１の接続部材（４３）と第２の接続部材（１３）が破損した場合にはそれ自身のみを交換すればよくメンテナンスが容易である。
【００１７】更に、溶接性、放出ガス等の高度の特性が要求され高価である真空用材料は、接続部材のみの使用でよく、支持部材（２１、２１′）の材質は限定されないため、真空シール構造が安価に製作できると共に、接続部材と支持部材を溶接する必要がないため、支持部材は再利用可能であり、経済的である。
【００１８】また、ガスケットが当接するガスケット当接面（１３ｂ、４３ｂ）は、第１及び第２の接続部材（１３、４３）に形成されるので、第１及び第２の支持部材（２１、２１′）側にテーパ加工などの精密加工を行う必要がない。特に、第１及び第２の支持部材（２１、２１′）を、図２及び図５に示すような複数に分割した構成にした場合に、分割状態の支持部材（２１、２１′）に対してそうした精密加工を行わずに済むので、加工手間やコストの面で極めて有効である。
【００１９】請求項２の発明によると、請求項１と同様の効果を達成することが出来るが、鍔部（１３ａ）を第１又は第２の接続部材のどちら一方に形成されれば足りるので、既存の配管に対して、本発明によるシール構造を用いた更新が容易になる。
【００２０】請求項３の発明によると、接続部材（１３、４３）を締め付ける支持部材側の当接部分を、単純な平面形状に加工するだけで済むので、支持部材の形状の単純化が図れると共に、加工が容易になる。
【００２１】請求項４の発明によると、ナイフエッジ（１４）により、従来タイプのガスケットを使用可能となるので、従来タイプのガスケットのみを使用している既存設備などの補修用などに使用することが可能となり、利便性の向上に寄与することが出来る。
【００２２】請求項５の発明によると、側壁（２１ｈ、２１ｈ′）により円滑に接続部材を締圧保持することが出来る。
【００２３】請求項６の発明によると、ブランク体（４９）により、ブランク体（４９）と支持部材（２１）を分離することが出来るので、従来支持部材とブランク体が一体的に形成されていたブランク部材と異なり、真空に曝されない支持部材（２１）には、ステンレスなどの通常の金属を使用することが出来、貴重な金属の使用量を抑え省資源に寄与することが出来る。
【００２４】請求項７の発明によると、固定手段（２１ｎ）により、支持部材（２１、２１′）を接続部材に対して固定することが出来るので、支持部材の締め付け作業などを容易に行うことが出来る。
【００２５】なお、括弧内の番号等は、図面における対応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述は図面上の記載に限定拘束されるものではない。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、図面に沿って本発明の実施の形態について説明する。尚、第１図は本発明の構成を示しているが、従来例と同一機能を有するものは同一符号、同一名称を使用して説明する。
【００２７】第１図は真空シール構造の実施の形態を示す正面断面図であり、被真空シール体（真空シール部品）として円形のビユーイングポート４１を用いた場合を示すものである。ビユーイングポート４１は、覗き窓として機能するガラス板４５と、前記ガラス４５と熱膨張係数が近いコバール等の金属製の円筒体４３とからなり、ガラス板４５と円筒体４３の上端部は、ガラスにより封着（４７は封着部を示す）されて真空シールされている。円筒体４３の他端部である図中下方部は、円筒の軸心方向である矢印Ａ、Ｂ方向に対して直角な放射方向外側に約９０°屈曲形成され、図６に示すように円弧状の屈曲部４３ｃが形成されており、さらにその先端側には円環状の鍔部４３ａが形成されている。鍔部４３ａの管接続面側である図６下面側の、外周部には、図６及び図７に示すように、その外周部の肉厚ｔ１が外側にゆく程小さくなる形の勾配αが全周にわたり形成されており、当該勾配α部分によりガスケット当接面４３ｂが形成されている。勾配αは、通常１５°〜２５°程度で形成されるが、典型的には２０°である。また、ガスケット当接面４３ｂの反対側には、フランジ当接面４３ｄが、円筒体４３の軸心方向である矢印Ａ、Ｂ方向に直角な方向に平行に形成されている。
【００２８】円筒体４３の周囲にはフランジ２１が、円筒体４３に対して矢印Ａ、Ｂ方向に移動可能な形で嵌入係合しており、フランジ２１は、図２に示すように、全体が円環状に形成された本体２１ａを有している。本体２１ａは、図２に示すように、全体が４個の円弧状のパーツ２１ｂに分割されており、各パーツ２１ｂには、各４個のボルト穴２１ｃが貫通穿設されている。各パーツ２１ｂは、図５に示すように、その両端部に肉厚が他の部分の半分に形成されたオーバーラップ部２１ｄ、２１ｅが、両端部でその突出位置が上下にずれた形で形成されており、オーバーラップ部２１ｄは、隣接するパーツ２１ｂのオーバーラップ部２１ｅと、互いのボルト穴２１ｃを整合させる形で係合することが出来る。このように、互いに隣接するパーツ２１ｂのオーバーラップ部２１ｄ、２１ｅを重ねて接続することにより、全体的には図２に示す円環状の本体２１ａが形成される。
【００２９】フランジ２１の本体２１ａの図１下部のシール面２１ｆ側には、図６及び図７に示すように、シール溝２１ｇが形成されており、シール溝２１ｇはフランジ２１、従って、円筒体４３の軸心方向である矢印Ａ、Ｂ方向に直角な方向に平行に形成された円盤状の内周側壁２１ｈと、該軸心方向に平行に形成された短円筒状の外周側壁２１ｉを有している。内周側壁２１ｈの内側とフランジ２１の内壁２１ｋとの間には、円筒体４３の屈曲部４３ｃの曲率に対応した曲率で面取り部２１ｍが両者を連絡する形で形成されている。シール溝２１ｇには、前述の円筒体４３の鍔部４３ａが、鍔部４３ａのガスケット当接面４３ｂとは反対側に形成されたフランジ当接面４３ｄを内周側壁２１ｈに当接係合させる形で嵌入係合している。
【００３０】また、ビューングポート４１の図１下部には、真空装置本体（不図示）もしくは真空槽（不図示）から伸延する配管１３が、本発明による真空シール構造により真空シールされる形で接続されており、配管１３の図１上部、即ち先端部は、円筒体４３と同様に、配管１３の軸心方向である図１矢印Ａ、Ｂ方向に直角な方向である放射方向外側に約９０°屈曲形成され、図６に示すように円弧状の屈曲部１３ｃが形成されており、さらにその先端側には円環状の鍔部１３ａが形成されている。鍔部１３ａの接続面側である図６上面側の、外周部には、図６及び図７に示すように、その外周部の肉厚ｔ１が外側にゆく程小さくなる形の勾配αが全周にわたり形成されており、当該勾配α部分によりガスケット当接面１３ｂが形成されている。勾配αは、通常１５°〜２５°程度で形成されるが、典型的には２０°である。
【００３１】配管１３の周囲には、フランジ２１と同様な構成のフランジ２１′が、矢印Ａ、Ｂ方向に移動可能な形で嵌入係合している。なお、フランジ２１と同様な部分は、既にフランジ２１で説明した部分に付した記号に単に記号「′」を付して、当該部分の説明を省略する。シール溝２１ｇ′には、前述の鋼管１３の鍔部１３ａが、鍔部１３ａのガスケット当接面１３ｂとは反対側に形成されたフランジ当接面１３ｄを内周側壁２１ｈ′に当接係合させる形で嵌入係合している。
【００３２】フランジ２１、２１′は、図１に示すように、各ボルト穴２１ｃ、２１ｃ′に貫通挿入された締結用ボルトナット１５で締結されており、それら締結されたフランジ２１、２１′間のシール溝２１ｇ、２１ｇ′に嵌入された円筒体４３及び配管１３の鍔部４３ａ、１３ａの間には、円環状のガスケット３１が、図６に示すように、鍔部４３ａ、１３ａのガスケット当接面４３ｂ、１３ｂにボルトナット１５の締結力による所定のシール圧で図中上下方向に挟圧保持された形で設けられている。ガスケット３１は、ガスケット当接面４３ｂ、１３ｂに形成された勾配により、未使用状態の図４に示す四角形状の断面が、点Ｘ及びＹでガスケット当接面４３ｂ、１３ｂと当接することにより塑性変形し、また、その外周部３１ａが各フランジ２１、２１′のシール溝２１ｇ、２１ｇ′の外周側壁２１ｉ、２１ｉ′と所定の押圧力で当接する状態で配置され、これにより、円筒体４３のガスケット当接面４３ｂとガスケット３１との圧接部Ａ（第６図）、および配管１３のガスケット当接面１３ｂとガスケット３１の圧接部Ｂで両者間がシールされ、ガスケット３１の内周面側３１ｃが外部に対して真空シールされる。尚、圧接部Ａ及び圧接部Ｂは、既に述べたように、ガスケット３１の内側の角部Ｘ及びＹ（第４図）が圧締されることにより塑性変形して、円筒体４３のガスケット当接面４３ｂ及び配管１３のガスケット当接面１３ｂの勾配に倣って変形された状態になったものである。
【００３３】また、第１図、第６図及び第７図では外周側壁２１ｉ、２１ｉ′は垂直面としたがテーパ面としてもよい。更に、第１図及び第６図では、鍔部１３ａ、４３ａのガスケット当接面１３ｂ、４３ｂを鍔部外側に下る勾配面（鍔部１３ａ、４３ａ全体で見ると、緩いテーパ面となる）のみで形成したが、図８に示すように、勾配面の内方にナイフエッジ１４を環状に形成し、該ナイフエッジ１４により、従来型のガスケットでも、図１４に示すように、当該ナイフエッジ１４で図中上下から挟み込む形で使用可能なように構成することもできる。
【００３４】なお、配管１３及び円筒体４３の屈曲部１３ｃ、４３ｃの曲率はフランジ２１、２１′側の面取り部２１ｍ、２１ｍ′の曲率と一致している必要はない。更に、曲率の大小は無関係であり、曲率が小さい場合には、屈曲部１３ｃ、４３ｃは、折り曲げたような外観を呈する。また、各鍔部１３ａ、４３ａのフランジ当接面１３ｄ、４３ｄとフランジ２１、２１′の内周側壁２１ｈ、２１ｈ′とは面接触している必要はない。
【００３５】各部材の素材は特に問わないが、その一例を挙げればフランジ２１、２１′がステンレス、金属ガスケツト３１が無酸素銅、鍔部４３ａを含めて円筒体４３がコバールなどの金属である。なお、コバールはガラス板４５との封着を前提として選定されているので、被真空シール体がビューイングポート４１以外のものとなれば、それに応じて他の封着可能な素材が選択される。
【００３６】ビューイングポート４１は上記のような構成を有するので、ビューングポート４１の組立に際しては、まず円筒体４３及び配管１３の周囲に、フランジ２１、２１′を、各４個のパーツ２１ｂを図５に示す形で相互に接続してボルトナット１５（締付手段）により図１に示すように締め付ける。すると、フランジ２１、２１′が図１上下方向に相互に接近する形で移動し、フランジ２１、２１′間のシール溝２１ｇ、２１ｇ′間に嵌入している円筒体４３及び配管１３の鍔部１３ａ、４３ａが互いに接近し、その間に配置されたガスケット３１が、図６に示すように、ガスケット当接面１３ｂ、４３ｂと点Ｘ及びＹで当接して圧接部Ａ、Ｂとなる形で塑性変形し、更にガスケット３１の外周部３１ａをフランジ２１、２１′のシール溝２１ｇ、２１ｇ′の外周側壁２１ｉ、２１ｉ′に押し付ける形で塑性変形して、円筒体４３、配管１３はガスケット３１によりシールされる。
【００３７】第３図、第１１図及び第１２図は、被真空シール体の一例について示す説明図であり、第３図は既に示したビューイングポート４１を示す部分切欠き断面図である。ガラス板４５に対して、鍔部４３ａを有する円筒体４３がガラスからなる封着部４７により封着されている。
【００３８】第１１図は、電流導入端子５１に対して、鍔部４３ａを有する円筒体４３が封着されている。
【００３９】第１２図は、ベローズ６１の一端側に対して、鍔部４３ａを有する円筒体４３が封着（６１ａは封着）されている。なお、ベローズ６１の他端側には所望の部材、装置、真空室等が真空シールされて結合される。
【００４０】次いで、第９図に沿って一部変更した実施の形態について説明する。尚、先の実施の形態において既に説明した同一部分は、同一符号を付して説明を省略する。図９の実施の形態は、真空を内在する配管である円筒体４３、配管１３などを真空状態を維持して連結する真空シール構造体１であり、第９図は、その正面断面図を示している。なお、図中上部のフランジ２１には、フランジ２１を円筒体４３に固定するための止めネジじ２１ｎがフランジ２１外周側から螺合しており、その先端が円筒体４３の外周部に当接係合し、フランジ２１が円筒体４３に対して移動することを防止している。
【００４１】また、図１０に示す実施例は、円筒体として、鍔部４３ａが形成された側と反対側の端部である図中上端部が閉鎖されたブランク体４７を使用したブランクフランジ５０を示すものであり、その他の構成は、図１と同様である。この場合、ブランク体４９とフランジ２１が分離されるので、従来フランジとブランク体が一体的に形成されていたブランクフランジと異なり、真空に曝されないフランジ２１には、ステンレスなどの通常の金属を使用することが出来る。
【００４２】なお、本装置に使用されるガスケット３１としては、図４に示す断面が正方形に近い、矩形ガスケットの外に、図１３に示す断面が円形のメタルＯリングや、図１４で述べたように、従来の断面が扁平な長方形のものも使用することが出来る。
【００４３】更に、図１５に示すように、従来型のフランジ２３及び断面が扁平なガスケット３３に対して、本発明によるフランジ２１′及び配管１３を接続して真空シールを実現することもできる。これにより、既設配管の一部を本発明による配管１３及びフランジ２１′などに容易に変更することが出来、補修などに有効である。また、その際に、図１６に示すように、図１５の従来型のガスケット３３の代わりに、図４に示す断面が正方形に近い、矩形ガスケット３１を使用することも当然可能である。
【００４４】なお、本発明に係る真空シール構造は、真空蒸着装置、スパッタリング装置、プラズマ発生装置、高真空実験装置などの各種真空装置に、フランジを介して監視窓（ビユーイングポート）などの部品を真空シールして取り付ける場合に利用することができる。この場合、監視窓（ビユーイングポート）などの部品を交換する際、フランジは交換せずに経費の節減ができると共に、監視窓（ビユーイングポート）とフランジとの溶接も不要になるため、フランジの材質が監視窓（ビユーイングポート）との溶接に基づく制約を受けることなく自由に選定することができる。
【００４５】また、前記監視窓（ビユーイングポート）に換えて、電流導入端子に利用して真空中にある電装部材、アクチュエータに電流を導入する場合の真空シール構造に利用することができる。
【００４６】更に、大気中の回転を真空中に伝達する場合、ベローズの端に鍔状部を形成した真空シール構造を利用することができる。
【００４７】そして、真空を内在する配管を連結する場合、連結部に本発明の真空シール構造を利用することができる。この場合、接続部材である円筒体を交換する際、フランジは交換せずに経費の節減ができると共に、円筒体とフランジとの溶接も不要になるため、フランジの材質が円筒体との溶接に基づく制約を受けることなく自由に選定することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】５９９１５２１５３
【氏名又は名称】株式会社バックス・エスイーブイ
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| 【出願日】 |
平成１１年１０月２８日（１９９９．１０．２８） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８３１３８
【弁理士】
【氏名又は名称】相田 伸二 （外１名）
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| 【公開番号】 |
特開２００１−１２４２０８（Ｐ２００１−１２４２０８Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年５月１１日（２００１．５．１１） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−３０６９６９ |
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