| 【発明の名称】 |
半導体製造装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】吉川 雅章
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| 【要約】 |
【課題】蓋開閉時の人体への危険性を除き、蓋開閉機構を簡単にまた安価にする。
【解決手段】成膜チャンバ１２に回転自在に支持されている軸１４と一体に回転するように一端が連結されており、他端が成膜チャンバ１２に開閉可能に蓋１８に連結されている一対のアーム１６に、それぞれガススプリング２２を取付け、それぞれのガススプリング２２のシャフト２２ａを成膜チャンバ１２に連結し、軸１４には、これと一体回転するように軸心が連結されているウォームホイール２８と、ウォームホイール２８とセルフロックするようにかみ合っている円筒ウォーム３０とにより構成されるウォームギア２６を収納するギアボックス２４を設け、円筒ウォーム３０の軸心にはギアボックス２４外に突出する蓋開閉ハンドル３２を一体に回転するように連結する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 チャンバに回転自在に支持されている軸と一体に回転するように連結されたアームを介して前記チャンバに開閉可能に蓋が設けられている半導体製造装置において、前記蓋は、前記アームを回転可能なガススプリングと前記軸を回転可能なウォームギアとにより開閉するように構成されていることを特徴とする半導体製造装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チャンバに回転自在に支持されている軸に一体に回転するように連結されているアームを介して前記チャンバに開閉可能に蓋が設けられている半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５及び図６は従来の半導体製造装置を示しており、半導体製造装置５０及び７０は図５に示されるように、チャンバ５２に回転自在に支持されている軸５４に一体に回転するようにアーム５６の一端が連結されており、アーム５６の他端はチャンバ５２の蓋５８に取付けられている。チャンバ５２にはガススプリング６０の一端が、アーム５６にはガススプリング６０の他端がそれぞれ取付けられており、ガススプリング６０のシャフト６０ａが伸縮することによりアーム５６が回転して蓋５８が開閉するように構成されている。蓋５８には把手６２が設けられている。
【０００３】蓋５８を開閉する際には、まず、ガスプリング６０により蓋５８の開閉を行うが、ガススプリング６０の力のみでは完全に蓋５８が開閉しないので、足りない分は、作業者が手６４で把手６２を持って行う。
【０００４】また、図６に示されるものは、チャンバ７２に回転自在に支持されている軸７４に一体に回転するようにアーム８３の一端が連結されており、アーム８３の他端はチャンバ７２の蓋８４に取付けられている。また、軸７４にはこれと一体に回転するようにシリンダアーム７６の一端が連結されており、シリンダアーム７６の他端はエアシリンダ７８のシャフト７８ａにこれと一体に上下動するように連結されている。エアシリンダ７８には、これを駆動させる弁の開閉を電気信号によって制御する電磁弁８０と、エアシリンダ７８の駆動状況を検知するセンサ８２とが設けられている。
【０００５】蓋８４を開く際には、まず、電磁弁８０により弁を開いてエアシリンダ７８のシャフト７８ａを上方へ駆動させて、シリンダアーム７６の他端を上昇させることによりシリンダアーム７６の一端を反時計方向へ回転させる。これにより、シリンダアーム７６と一体に軸７４が回転し、これと一体にアーム８３の一端が回転するため蓋８４が開く。また、蓋８４を閉じる際には、エアシリンダ７８のシャフト７８ａを下方へ駆動させ、各部材を上記とは逆方向へ回転させることにより行うことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来のものでは次のような課題がある。すなわち、図５に示されるものでは、蓋５８の開閉時に手６４で把手６２を持つため、蓋５８の近くに手を近づけることになり、蓋５８に手が挟まれる危険がある。また、作業者は、蓋５８開時に蓋５８の近くにいなければならないため、蓋５８を開けた際にチャンバ５２内からＮ２ガスが流出し、人体へ悪影響を及ぼす危険性がある。
【０００７】また、図６に示されるものでは、エアシリンダ７８、センサ８２及び電磁弁８０などを使用するため、コストが高くなるとともに機構が複雑になるという問題がある。
【０００８】本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、安全で、低コストで、且つ構造の簡単な半導体製造装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成するために、本発明は、チャンバに回転自在に支持されている軸と一体に回転するように連結されたアームを介して前記チャンバに開閉可能に蓋が設けられている半導体製造装置において、前記蓋は、前記アームを回転可能なガススプリングと前記軸を回転可能なウォームギアとにより開閉するように構成されていることを特徴とするものである。
【００１０】これにより、蓋開閉に要する力の上限近くまでをガススプリングの力を使い、残りの力をウォームギアの力を使うことによって蓋の開閉を行うことができる。
【００１１】また、ガススプリングを用いて蓋の開閉を行う際、蓋閉モーメント＞ガススプリングの蓋開モーメントの場合は蓋が閉まる動作が行われ、蓋閉モーメント＜ガススプリングの蓋開モーメントの場合は蓋が開く動作が行われるが、ウォームギアを、ウォームホイールの方からウォームを回そうとしてもウォームが回転しない（この作用をセルフロックという）ように構成すれば、上記状態時であっても蓋を静止状態に保持しておくことができるので、あらゆる角度（０〜９０°）の蓋開閉状態で蓋を静止させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明を実施したの半導体製造装置１０の正面図を示し、図２は図１の側面図を示す。搬送チャンバ１１に隣接して設けられる成膜チャンバ（チャンバ）１２に、軸１４が回転自在に支持されており、軸１４には、これと一体に回転するように軸方向に所定間隔をあけて一対のアーム１６の一端が連結されている。一対のアーム１６の他端は蓋１８に連結されており、蓋１８は、軸１４と一体に回転するアーム１６とともに回転して成膜チャンバ１２を開閉する。
【００１３】一対のアーム１６には、それぞれガススプリング２２が取付けられており、それぞれのガススプリング２２のシャフト２２ａは成膜チャンバ１２に連結されている。軸１４の右端部には、ギアボックス２４が設けられており、ギアボックス２４内には、図３及び図４に示されるような、軸１４を回転可能なウォームギア２６が収納されている。
【００１４】ウォームギア２６は、軸１４と一体回転するように軸心が連結されているウォームホイール２８と、ウォームホイール２８とセルフロックするようにかみ合っている円筒ウォーム３０とにより構成されており、円筒ウォーム３０の軸心にはギアボックス２４外に突出する蓋開閉ハンドル３２が一体に回転するように連結されている。
【００１５】次に、本実施の形態の蓋開閉方法について説明する。蓋を開く際には、まず、ガススプリング２２を駆動させシャフト２２ａを延ばしてアーム１６の他端を上方に押上げる。これにより、アーム１６は軸１４を中心として回転し、蓋１８が開く。ガススプリング２２の力が上限まで使われた時点で、ウォームギア２６のセルフロックにより蓋１８が静止し、蓋１８を開く残りの動作は、蓋開閉ハンドル３２を蓋１８開方向に回転させてウォームギア２６を駆動させ、軸１４を回転させることにより行う。
【００１６】次に、蓋１８を閉じる際には、まず、ガススプリング２２を駆動させシャフト２２ａを縮めてアーム１６の他端を下方に引き下げる。これにより、アーム１６は軸１４を中心として回転し、蓋１８が閉じる。ガススプリング２２の力が上限まで使われた時点で、ウォームギア２６のセルフロックにより蓋１８が静止し、蓋１８を閉じる残りの動作は、蓋開閉ハンドル３２を蓋１８閉方向に回転させてウォームギアを駆動させ、軸１４を回転させることにより行う。
【００１７】このように、電気的な制御がなくてもウォームギア２６のセルフロックにより蓋１８を開けたい角度で静止させることができるので、蓋１８の開閉に限っては電気的な故障は一切起こらない。
【００１８】また、蓋１８の重量の変化には、ガススプリング２２を交換することによって対応することができる。
【００１９】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明のうち請求項１記載の発明は、蓋開閉に要する力の上限近くまでをガススプリングの力を使い、残りの力をウォームギアの力を使うことによって蓋の開閉を行うことができるので、蓋に手を触れることがなく、また蓋から体を遠ざけることができるので、危険を回避することができる。
【００２０】また、蓋の開閉に限っては電気的制御を行わないため、コストを低減することができる。
【００２１】 また、蓋の開閉を行う機構を構成するのに、アーム及び成膜チャンバへのガススプリングの取付けとシャフトへのウォームギアの取付けだけで済むので、製造を簡略化することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００１１２２
【氏名又は名称】株式会社日立国際電気
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| 【出願日】 |
平成１１年７月７日（１９９９．７．７） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００９７２５０
【弁理士】
【氏名又は名称】石戸 久子 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２００１−２１０３９（Ｐ２００１−２１０３９Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１３年１月２６日（２００１．１．２６） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−１９３３０７ |
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