| 【発明の名称】 |
電子部品の位置決め搭載方法及びその装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】水野 亨
【氏名】大津 芳文
【氏名】中山 均
【氏名】厚沢 新次
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| 【要約】 |
【課題】吸着ヘッドを部品供給ステージから基板載置ステージに高速で移動し、電子部品を吸着ヘッドで回路基板の所定の板面位置に高精度に搭載する。
【解決手段】電子部品Ｅを吸持した吸着ヘッド１を基板載置ステージＳ２の予め定められた上方位置まで移動させて停止し、その吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと基板載置ステージＳ２に載置された回路基板Ｐの板面との間に割込み前進する二視野撮像カメラ３により、吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと回路基板Ｐの板面に設けられた部品搭載用位置決め基準Ｍとの相対位置を捉え、この両者間の誤差により基板載置ステージＳ２をＸＹ方向に移動させて吸着ヘッド１による電子部品の搭載位置を補正する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージに移動し、その吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準とから電子部品の搭載位置を補正した後、電子部品を昇降動する吸着ヘッドにより回路基板の位置決めされた板面位置に搭載する電子部品の位置決め搭載方法であって、電子部品を吸持した吸着ヘッドを基板載置ステージの予め定められた上方の位置まで移動させて停止し、その停止した吸着ヘッドで吸持した電子部品と基板載置ステージに載置された回路基板の板面との間に二視野撮像カメラを割り込ませて該吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉え、この二視野撮像カメラで捉えた電子部品と部品搭載用位置決め基準との相対位置から両者間の誤差を画像処理データとして求め、その画像処理データにより基板載置ステージをＸＹ方向に移動させて吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を補正するようにしたことを特徴とする電子部品の位置決め搭載方法。
【請求項２】 電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージまで移動する途上に、反射面を上方に向けて吸着ヘッドの移動方向と同方向に配置したミラーにより吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を映し出すと共に、そのミラーによる反射光を装着ヘッド側に備えた撮像カメラにより映像として捉え、この映像から求められる画像処理データにより電子部品を吸持した吸着ヘッドをθ方向に回転させて吸着ヘッドによる電子部品の吸持姿勢を補正するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の電子部品の位置決め搭載方法。
【請求項３】 電子部品を吸持した吸着ヘッドが基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動する間に、吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置から両者間の誤差を画像処理データとして求め、その画像処理データにより基板載置ステージをＸＹ方向に移動させて吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置に仮合わせするようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品の位置決め搭載方法。
【請求項４】 電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージに移動し、その吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準とから電子部品の搭載位置を補正した後、電子部品を昇降動する吸着ヘッドにより回路基板の位置決めされた板面位置に搭載する電子部品の位置決め搭載装置であって、基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動し停止する電子部品の吸着ヘッドと、その停止した吸着ヘッドで吸持する電子部品と基板載置ステージに載置された回路基板の板面との間に割り込んで該吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉える二視野撮像カメラと、この二視野撮像カメラで捉えた電子部品と部品搭載用位置決め基準との相対位置から両者間の誤差を求める画像処理装置と、その画像処理装置で求めた両者間の誤差によりＸＹ方向に移動する基板載置ステージとを備え、吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を補正可能に構成してなることを特徴とする電子部品の位置決め搭載装置。
【請求項５】 電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージまで移動する途上に、反射面を上方に向けて吸着ヘッドで吸持した電子部品を映し出すミラーを吸着ヘッドの移動方向と同方向に配置すると共に、そのミラーによる反射光を映像として捉える撮像カメラを吸着ヘッド側に備え、この撮像カメラで捉えた映像から吸着ヘッドをθ方向に補正するデータを求める画像処理装置を備え、吸着ヘッドで吸持した電子部品の吸持姿勢をθ方向に補正可能に構成してなることを特徴とする請求項４に記載の電子部品の位置決め搭載装置。
【請求項６】 吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉える撮像カメラと、その撮像カメラで捉えた相対位置から両者間の誤差を求める画像処理装置と、この画像処理装置で求めた両者間の誤差によりＸＹ方向に移動する基板載置ステージとを備え、電子部品を吸持した吸着ヘッドが基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動する間に、吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置に仮合わせ可能に構成してなることを特徴とする請求項４または５に記載の電子部品の位置決め搭載装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージに移動し、その吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準とから電子部品の搭載位置を補正した後、電子部品を昇降動する吸着ヘッドにより回路基板の位置決めされた板面位置に搭載する電子部品の位置決め搭載方法及びその装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、電子部品の位置決め搭載装置においては電子部品を昇降動する吸着ヘッドにより回路基板の板面に高精度に搭載するべく、吸着ヘッド側をサーボモータ等で回動するボールネジによりＸＹ方向に移動し、また、パルスモータで作動するギア等によりθ方向に回動させて吸着ヘッド側を位置調整し、電子部品を回路基板の位置決めされた板面位置に搭載するよう構成されている。
【０００３】従来、その電子部品の位置決め搭載装置としては撮像カメラを吸着ヘッド側に備え、吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージに移動した後、回路基板の板面に設けられた部品搭載位置決めマーク等を撮像カメラで捉え、その映像に基づいて回路基板のズレ量を求めて吸着ヘッド側をＸＹ方向乃至はθ方向に位置調整するよう構成するものがある。
【０００４】その電子部品の位置決め搭載装置では、ボールネジ等の熱膨張による位置ズレ，寸法誤差や走行系のチッピング，ヨーイング或いは撮像カメラの振動による位置ズレ等の電子部品を高精度に搭載するのに妨げとなる誤差要因が多数ある。このため、回路基板の板面に設けられた部品搭載位置決めマーク等を撮像カメラで捉えて回路基板のズレ量を求めることにより吸着ヘッドを位置補正しても、電子部品を回路基板の位置決めされた板面位置に搭載できない事態が生ずる。
【０００５】上述した撮像カメラを吸着ヘッド側に備えるのに代えて、吸着ヘッドが部品供給ステージから基板載置ステージに移動する移動路の途上で、吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を映像で捉える撮像カメラを下方に設置するものがある。
【０００６】この電子部品の位置決め搭載装置でも、上述したと同様な誤差要因から電子部品を回路基板の位置決めされた板面位置に搭載できない事態が生ずるのを避けられないばかりでなく、吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を下方に設置された撮像カメラで捉える必要上、吸着ヘッドを撮像カメラの上方で一旦停止しなければならないから電子部品の搭載に要する時間のロスが生じる。
【０００７】その他に、吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を映し出すミラーと、このミラーの反射面により下方から上方に向かう反射光を映像として捉える撮像カメラとを吸着ヘッドと一体に備え、吸着ヘッドが部品供給ステージから基板載置ステージに移動するときに撮像カメラを一緒に移動すると共に、吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を映像で捉えて吸着ヘッド側を位置補正するものもある。
【０００８】この電子部品の搭載装置でも、上述した誤差要因から電子部品を回路基板の位置決めされた板面位置に搭載できず、また、撮像カメラ，ミラーを共に吸着ヘッドと一体に備えるため、吸着ヘッド側が大型化ししかも重量的にも重くなり、吸着ヘッド側を高速で移動できない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は吸着ヘッドを高速で移動し、尚且つ、電子部品を吸着ヘッドで回路基板の所定の板面位置に高精度に搭載可能な電子部品の位置決め搭載方法及びその装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決する手段】本発明の請求項１に係る電子部品の位置決め搭載方法においては、電子部品を吸持した吸着ヘッドを基板載置ステージの予め定められた上方の位置まで移動させて停止し、その停止した吸着ヘッドで吸持した電子部品と基板載置ステージに載置された回路基板の板面との間に二視野撮像カメラを割り込ませて該吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉え、この二視野撮像カメラで捉えた電子部品と部品搭載用位置決め基準との相対位置から両者間の誤差を画像処理データとして求め、その画像処理データにより基板載置ステージをＸＹ方向に移動させて吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を補正するようにされている。
【００１１】本発明の請求項２に係る電子部品の位置決め搭載方法においては、電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージまで移動する途上に、反射面を上方に向けて吸着ヘッドの移動方向と同方向に配置したミラーにより吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を映し出すと共に、そのミラーによる反射光を装着ヘッド側に備えた撮像カメラにより映像として捉え、この映像から求められる画像処理データにより電子部品を吸持した吸着ヘッドをθ方向に回転させて吸着ヘッドによる電子部品の吸持姿勢を補正するようにされている。
【００１２】本発明の請求項３に係る電子部品の位置決め搭載方法においては、電子部品を吸持した吸着ヘッドが基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動する間に、吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置から両者間の誤差を画像処理データとして求め、その画像処理データにより基板載置ステージをＸＹ方向に移動させて吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置に仮合わせするようにされている。
【００１３】本発明の請求項４に係る電子部品の位置決め搭載装置においては、基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動し停止する電子部品の吸着ヘッドと、その停止した吸着ヘッドで吸持する電子部品と基板載置ステージに載置された回路基板の板面との間に割り込んで該吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉える二視野撮像カメラと、この二視野撮像カメラで捉えた電子部品と部品搭載用位置決め基準との相対位置から両者間の誤差を求める画像処理装置と、その画像処理装置で求めた両者間の誤差によりＸＹ方向に移動する基板載置ステージとを備え、吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を補正するよう構成されている。
【００１４】本発明の請求項５に係る電子部品の位置決め搭載装置においては、電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージまで移動する途上に、反射面を上方に向けて吸着ヘッドで吸持した電子部品を映し出すミラーを吸着ヘッドの移動方向と同方向に配置すると共に、そのミラーによる反射光を映像として捉える撮像カメラを吸着ヘッド側に備え、この撮像カメラで捉えた映像から吸着ヘッドをθ方向に補正するデータを求める画像処理装置を備え、吸着ヘッドで吸持した電子部品の吸持姿勢をθ方向に補正するよう構成されている。
【００１５】本発明の請求項６に係る電子部品の位置決め搭載装置においては、吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉える撮像カメラと、その撮像カメラで捉えた相対位置から両者間の誤差を求める画像処理装置と、この画像処理装置で求めた両者間の誤差によりＸＹ方向に移動する基板載置ステージとを備え、電子部品を吸持した吸着ヘッドが基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動する間に、吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置に仮合わせするよう構成されている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して説明すれば、図示実施の形態に係る電子部品の位置決め搭載装置は回路構成上必要な各種の電子部品を個別に供給するテープフィーダやバルク，パレット等の部品供給機構を複数台備えて部品供給ステージとし、また、プリント基板を載せてＸＹ方向に移動可能な基板搬送テーブルを基板載置ステージとして部品供給ステージより離れた相対側に装備することにより構成されている。
【００１７】その電子部品の位置決め搭載装置は、図１で示すように電子部品の吸着ヘッド１を部品供給ステージＳ１から基板載置ステージＳ２に移動し、吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと回路基板Ｐの板面に設けられた位置決めマーク等の部品搭載用位置決め基準Ｍ(以下、単に「位置決めマークＭ」という。)とから基板載置ステージＳ２をＸＹ方向に位置移動させて電子部品の搭載位置を補正した後、電子部品Ｅを昇降動する吸着ヘッド１により回路基板Ｐの位置決めされた板面位置に搭載するよう構成されている。
【００１８】この電子部品の位置決め搭載装置においては、電子部品の吸着ヘッド１がサーボモータ等で回動するボールネジ２により基板載置ステージＳ２の予め定められた位置の上方まで移動すると共に、その基板載置ステージＳ２の定められた上方の位置で停止させるよう備え付けられている。このため、電子部品の吸着ヘッド１は部品供給ステージＳ１から予め定められた同じ位置まで高速で直線的に移動できると共に、その定められた位置から昇降動させて電子部品Ｅを回路基板Ｐの板面に搭載するよう備え付けられる。
【００１９】その吸着ヘッド１が停止する位置の近傍下方には、二視野撮像カメラ３が吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと基板載置ステージＳ２に載置された回路基板Ｐの板面との間に水平方向から割込み前進，退却動できるよう備えられている。この二視野撮像カメラ３は、図２で示すように吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと回路基板Ｐの板面に設けられた位置決めマークＭとの相対位置を映像で捉えるものとして備え付けられている。
【００２０】その二視野撮像カメラ３は、図３で示すように上方撮像用のＣＣＤカメラ３０，下方撮像用のＣＣＤカメラ３１と、複数個のＬＳＤ３２…による上下各照明用のリングライト若しくは光ファイバーによる上下各照明用の同軸照明３３，３４と、各光路を設ける上下振分け用の中央キューブプリズム３５及び上下反射用のサイドプリズム３６，３７と、各光路を捉えるレンズ３８，３９とを備えて構成されている。また、この二視野撮像カメラ３は各部品の材質や形状から温度変化や振動等に影響されないで安定よく水平方向に前進，退却動可能な基板載置ステージ側の一機構として備えられている。
【００２１】その二視野撮像カメラ３では、複数個のＬＳＤ３２…によるリングライト若しくは光ファイバーによる同軸照明３３，３４で吸着ヘッド１により吸持した電子部品Ｅ，回路基板Ｐの板面に設けられた位置決めマークＭを照明し、上下振分け用の中央キューブプリズム３５及び上下反射用のサイドプリズム３６，３７により各光路を作り、レンズ３８，３９を介して吸着ヘッド１により吸持した電子部品Ｅ，回路基板Ｐの板面に設けられた位置決めマークＭを上方撮像用のＣＣＤカメラ３０，下方撮像用のＣＣＤカメラ３１で映像として捉えられている。
【００２２】その二視野撮像カメラ３には、二視野撮像カメラ３で捉えた吸着ヘッド１による電子部品Ｅと回路基板Ｐの位置決めマークＭとの相対位置から両者間の誤差を求める画像処理装置４が接続されている。また、画像処理装置４には基板載置ステージＳ２の制御装置５が接続されている。この基板載置ステージＳ２としては、画像処理装置４で求めた両者間の誤差に基づく補正分の僅かな量だけＸＹ方向に移動制御可能な高分解性能のものを備え付けられる。
【００２３】このように構成する電子部品の位置決め搭載装置では、電子部品Ｅを吸持した吸着ヘッド１を基板載置ステージＳ２の予め定められた位置の上方で停止し、当該吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと回路基板Ｐの板面との間に割込み前進する二視野撮像カメラ３により該吸着ヘッド１で吸持した電子部品Ｅと回路基板Ｐの位置決めマークＭとの相対位置を捉え、両者間の誤差に基づく補正量を画像処理装置４で求めて基板載置ステージＳ２を制御装置５でＸＹ方向に位置移動することにより電子部品の搭載位置決め補正を行う。
【００２４】その電子部品の搭載位置決め補正は、吸着ヘッド１を停止したままで高分解性能な基板載置ステージＳ２をＸＹ方向に位置移動させて行うから、吸着ヘッド１をサーボモータ等で回動するボールネジ２により部品供給ステージＳ１から基板載置ステージＳ２に移動することと無関係に行える。このため、ボールネジ等の熱膨張による位置ズレ，寸法誤差や走行系のチッピング，ヨーイング等の影響を受けないから、吸着ヘッド１による電子部品の搭載位置を高精度に位置決め補正できる。
【００２５】それと共に、上述したように吸着ヘッド１をサーボモータ等で回動するボールネジ２により部品供給ステージＳ１から基板載置ステージＳ２に移動することは電子部品の搭載位置決め補正とは無関係に行えるから、電子部品Ｅを吸持した吸着ヘッド１を部品供給ステージＳ１から基板載置ステージＳ２の予め定められた上方の停止位置まで高速で移動できる。
【００２６】その基本構成に加えて、この電子部品の位置決め搭載装置には図４で示すように吸着ヘッド１による電子部品Ｅの吸持状態を映像として捉える撮像カメラ６を吸着ヘッド１と一体に備えると共に、吸着ヘッド１による電子部品Ｅの吸持状態を斜め上方に向けて相対する反射面７０，７１で映し出すミラー７を吸着ヘッド１の移動路下方に配置することにより、電子部品を吸持した吸着ヘッド１を部品供給ステージＳ１より基板載置ステージＳ２まで移動する途上でθ方向に位置補正するよう構成することができる。
【００２７】その吸着ヘッド１にはθ方向の位置補正，即ち、吸着ヘッドによる吸持姿勢の補正を行う必要上、ギヤを吸着ヘッドのシリンダ外周に設け、このギヤと駆動モータで回動するピニオンを噛み合わせてなる高精度，高速回転可能なθ方向駆動機構（図示せず）が備えられている。また、吸着ヘッド１による電子部品Ｅの吸持状態を映像として捉える撮像カメラ６の画像から電子部品の正規な搭載姿勢及び位置との誤差を求める画像処理装置８並びにθ方向駆動機構の作動制御装置９が備えられている。
【００２８】ミラー７は反射面７０，７１を斜め上方に向けて相対したレール状のものでなり、吸着ヘッド１の移動路下方で移動方向と同方向に配置されている。即ち、撮像カメラ６を一体に備えた吸着ヘッド１が部品供給ステージＳ１から基板載置ステージＳ２まで直線的に移動する間に、吸着ヘッド１による電子部品の吸持状態を映し出すことにより撮像カメラ６に向けて下方から上方に反射光として屈折できるよう備え付けられている。
【００２９】この電子部品の位置決め搭載装置では、吸着ヘッド１がミラー７の配置位置に移動すると、電子部品の吸持状態全容をミラー７で直ちに映し出せると共に、吸着ヘッド１が基板載置ステージＳ２に移動する間にミラー７による反射光を継続的に撮像カメラ６で捉えられるから吸着ヘッド１のθ方向の補正に要するデータを確実に得ることができる。
【００３０】その撮像カメラ６で捉えた吸着ヘッド１による電子部品Ｅの映像は画像処理装置８で処理し、この画像処理によるデータと当該電子部品の所定の搭載向きとの比較から誤差があるときは吸着ヘッド１の位置補正信号として制御装置９から上述したθ方向駆動機構に送信することにより、吸着ヘッド１が基板載置ステージＳ２の予め定められた停止位置まで移動する間に吸着ヘッド１をθ方向に位置補正することができる。
【００３１】その吸着ヘッド１は電子部品の吸持から基板搭載まで一定の速度を保って高速で行え、また、この吸着ヘッド１が移動する間でも吸着ヘッド１の位置補正に要するデータとして電子部品の映像を確実に捉えられると共に、吸着ヘッド１が基板載置ステージＳ２に移動するまでの間にθ方向の位置補正を行えて時間のロスなくすることができる。
【００３２】また、この電子部品の位置決め搭載装置においては吸着ヘッド１が基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動する間に、吸着ヘッド１による電子部品の搭載位置を吸着ヘッド１の予め定められた移動停止位置に仮合わせするよう構成することができる。
【００３３】その基板載置ステージＳ２の仮合わせは、基板載置ステージＳ２における吸着ヘッド１の予め定められた移動停止位置と、次の電子部品を搭載するのに用いられる回路基板の位置決めマークＭとの相対位置を二視野撮像カメラ３で捉え、両者間の誤差に基づく補正量を画像処理装置４で求めて基板載置ステージＳ２を制御装置５でＸＹ方向に位置移動することにより行える。
【００３４】その基板載置ステージＳ２の仮合わせにより、上述した吸着ヘッド１による電子部品Ｅと回路基板Ｐの位置決めマークＭとの相対位置から画像処理装置４で求める両者間の誤差に基づく基板載置ステージＳ２の補正分をより僅かな量にできる。また、基板載置ステージＳ２より僅かな量だけＸＹ方向に移動制御することから、吸着ヘッド１による電子部品の搭載位置を高精度に位置決め補正できる。
【００３５】
【発明の効果】以上の如く、本発明の請求項１，請求項４に係る電子部品の位置決め搭載方法及び装置に依れば、電子部品を吸持した吸着ヘッドを基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動させて停止し、その吸着ヘッドで吸持した電子部品と基板載置ステージに載置された回路基板の板面との間に割込み前進する二視野撮像カメラにより、吸着ヘッドで吸持した電子部品と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置を捉え、この両者間の誤差により基板載置ステージをＸＹ方向に移動させて吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を補正することから、吸着ヘッドをサーボモータ等で回動するボールネジにより部品供給ステージから基板載置ステージに移動することと無関係に吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を位置決め補正できるから、吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を高精度に位置決め補正することができる。
【００３６】本発明の請求項２，請求項５に係る電子部品の位置決め搭載方法及び装置に依れば、電子部品を吸持した吸着ヘッドを部品供給ステージより基板載置ステージまで移動する途上に、反射面を上方に向けて吸着ヘッドの移動方向と同方向に配置したミラーにより吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態を映し出すと共に、そのミラーによる反射光を装着ヘッド側に備えた撮像カメラにより映像として捉え、この撮像カメラで捉えた映像から求められる画像処理データにより電子部品を吸持した吸着ヘッドをθ方向に補正することから、吸着ヘッドによる電子部品の吸持状態をθ方向に補正するデータを時間のロスなく確実に得ることができる。
【００３７】本発明の請求項３，請求項６に係る電子部品の位置決め搭載方法及び装置に依れば、電子部品を吸持した吸着ヘッドが基板載置ステージの予め定められた上方位置まで移動する間に、吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置と回路基板の板面に設けられた部品搭載用位置決め基準との相対位置から基板載置ステージをＸＹ方向に移動させて吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を吸着ヘッドの予め定められた移動停止位置に仮合わせすることにより、吸着ヘッドによる電子部品と回路基板の部品搭載用位置決め基準との相対位置から求める両者間の誤差に基づく基板載置ステージの補正分をより僅かな量にでき、また、基板載置ステージをより僅かな量だけＸＹ方向に移動制御するだけで吸着ヘッドによる電子部品の搭載位置を高精度に位置決め補正することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００３０６７
【氏名又は名称】ティーディーケイ株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年３月２日（１９９９．３．２） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７７７０２
【弁理士】
【氏名又は名称】竹下 和夫
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| 【公開番号】 |
特開２０００−２５２６９８（Ｐ２０００−２５２６９８Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年９月１４日（２０００．９．１４） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−５４７０４ |
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