| 【発明の名称】 |
半導体集積回路装置の検査方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】林 浩
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| 【要約】 |
【課題】複数のテストモードを用いて、の機能試験を行う場合に、テストモード用のベクタで試験を実施することでロットあたりのテスト時間を短縮する手法を提供する。
【解決手段】まずテストで実行する複数のテストモード設定の為に必要なテストモード用試験のテストベクタを作る。機能試験開始時にテストモード設定の為のテストモード試験を実行して、テストモード移行で不良となるＬＳＩはここで除外する。その後の本来の機能試験では、ランダムな不良発生となるために対象となる試験のゲート数の多い順序、または面積の大きい順序でファンクション試験を実行する。これによりロットあたりテスト時間の少ないテストが実現できる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 半導体集積回路装置の検査方法において、各機能の回路をテスト回路を用いて選択する場合に、全機能回路のテストベクタの中から、テスト回路を通して各機能回路の選択が正常に行われるまでのベクタを取り出し、正規の機能試験が実行される前に、その取り出されたベクタを集めて試験を行うことを特徴とする半導体集積回路装置の検査方法。
【請求項２】 正規の機能試験をチップ内に占める機能回路の面積比率の高い順序で行うことを特徴とする半導体集積回路装置の検査方法。
【請求項３】 正規の機能試験を機能回路のゲート数の多い順序で行うことを特徴とする半導体集積回路装置の検査方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テスト回路により選択される複数の機能回路の機能試験を行うための半導体集積回路装置の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に３つの機能回路とテスト回路を有した集積回路の構造を示す。ここで、テスト回路４０１の出力が機能回路（１）４０２、機能回路（２）４０３、機能回路（３）４０４に接続され、いずれかの機能回路を選択テストできるものである。テスト回路への入力信号４０５と各機能試験回路の入出力信号４０６を持ち、機能回路のテストベクタで試験を行う。
【０００３】また、この機能回路は面積の大きい方から機能回路（３）４０４＞機能回路（２）４０３＞機能回路（１）４０２となり、ゲート数の多い方から、機能回路（２）４０３＞機能回路（３）４０４＞機能回路（１）４０２となっている。
【０００４】図３に従来の検査方法で、図４の場合での機能試験の流れの構造を示しており、機能試験開始３０１で機能試験が開始され、機能試験（１）３０２、機能試験（２）３０５、機能試験（３）３０８のテストベクタは、テスト回路セレクトベクタ（１）３０３、テスト回路セレクトベクタ（２）３０６、テスト回路セレクトベクタ（３）３０９と、それに続く本機能試験ベクタ（１）３０４、本機能試験ベクタ（２）３０７、本機能試験ベクタ（３）３１０で構成されている。機能試験開始３０１から機能試験（１）３０２、機能試験（２）３０５、機能試験（３）３０８と実行して、機能試験終了３１１で終了する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】テスト回路セレクトベクタにおいて検出される不良率が高いにも関わらず、従来では、１つの機能試験が不良検出無く終了しなければ、２番目、３番目の機能試験に移行できない。したがって、２番目、３番目のテスト回路セレクトベクタで不良検出されるとそこまでに要した試験時間が無駄になってしまうことになる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するために本発明は、機能試験開始以前ですべてのテスト回路セレクトベクタを予め実行してから本来の機能試験を実行するようにしたものである。これにより、不良率の高いテスト回路セレクトベクタに対する不良を除去することができるので残りの不良は本機能試験ベクタに起因するランダム発生の高いものとなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明は、複数の機能を持つ集積回路が形成されたチップのテストで、各機能の回路をテスト回路を用いて選択する場合に、全機能回路のテストベクタの中から、テスト回路を通して各機能回路の選択が正常に行われるまでのベクタを取り出し、正規の機能試験が実行される前に、その取り出されたベクタを集めて試験を行うことを特徴とする半導体集積回路装置の検査方法としたものであり、不良率の高いテスト回路セレクトベクタの不良を正規の機能試験が実施される前に除去できるという作用を有する。
【０００８】本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１記載の半導体集積回路装置の検査方法を実施する検査であって、正規の機能試験をチップ内に占める機能回路の面積比率の高い順序で行うことを特徴とする半導体集積回路装置の検査方法としたものであって、これにより不良率の高い機能回路から検査を実施できるという作用を有する。
【０００９】本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１記載の半導体集積回路装置の検査方法を実施する検査であって、正規の機能試験を機能回路のゲート数の多い順序で実施することを特徴とする半導体集積回路装置の検査方法としたものであって、これにより不良率の高い機能回路から検査を実施できるという作用を有する。
【００１０】以下、本発明の実施の形態について、図１から図２を用いて説明する。
【００１１】（実施の形態１）図１は、本発明の第１の実施の形態における図４の回路構成の機能試験の流れを示したものである。
【００１２】図１において、機能試験開始１０１で試験が開始され、テスト回路セレクトベクタ（１）１０２、テスト回路セレクトベクタ（２）１０３とテスト回路セレクトベクタ（３）１０４から構成されるテスト回路セレクトベクタ群１０５の試験が実施され、続いて機能回路の面積の大きい順に機能試験を実施する。
【００１３】まず、テスト回路セレクトベクタ（３）１０４と本機能試験ベクタ（３）１０６で構成される機能試験（３）１０７が実施され、以下テスト回路セレクトベクタ（２）１０３と本機能試験ベクタ（２）１０８で構成される機能試験（２）１０９、テスト回路セレクトベクタ（１）１０２と本機能試験ベクタ（１）１１０で構成される機能試験（１）１１１と試験が実施され機能試験終了１１２で終了する。
【００１４】（実施の形態２）図２は、本発明の第２の実施の形態における図４の回路構成の機能試験の流れを示したものである。
【００１５】図２において、機能試験開始２０１で試験が開始され、テスト回路セレクトベクタ（１）２０２、テスト回路セレクトベクタ（２）２０３とテスト回路セレクトベクタ（３）２０４から構成されるテスト回路セレクトベクタ群２０５の試験が実施され、続いて機能回路のゲート数の大きい順に機能試験を実施する。
【００１６】まず、テスト回路セレクトベクタ（２）２０３と本機能試験ベクタ（２）２０６で構成される機能試験（２）２０７が実施され、以下テスト回路セレクトベクタ（３）２０４と本機能試験ベクタ（３）２０８で構成される機能試験（３）２０９、テスト回路セレクトベクタ（１）２０２と本機能試験ベクタ（１）２１０で構成される機能試験（１）２１１と試験が実施され、機能試験終了２１２で終了する。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、不良率の高いテスト回路セレクトベクタでの不良を予め除去でき、単位ロットあたりのテストにかかる時間を短縮することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００５８２１
【氏名又は名称】松下電器産業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年１月２２日（１９９９．１．２２） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００９７４４５
【弁理士】
【氏名又は名称】岩橋 文雄 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２０００−２１４２３５（Ｐ２０００−２１４２３５Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年８月４日（２０００．８．４） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−１３８７０ |
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