トップ :: G 物理学 :: G01 測定;試験

【発明の名称】 光線追跡方法
【発明者】 【氏名】橋本 純夫
【課題】内部応力分布による屈折率変動が僅かな場合、光軸方向と媒質の境界面の法線方向が異なる場合でも、精度良く光線の軌跡を求める方法を提供する。

【解決手段】ステップS11で、波面法線ベクトルを仮定する。そして、ステップS12で、仮定した波面ベクトル方向の屈折率nを、仮定した波面法線ベクトルの関数として表すと共に、屈折率の、波面法線ベクトルの各成分に対する微分値を求める。そして、ステップS13で、近似誤差の値を求め、これが十分小さな値になっているかどうかを判定する。十分小さな値となっていれば、そこで収束計算を打ち切り、その値を求めるべき波面法線ベクトルとする。そして、その値より、波面法線ベクトル方向の屈折率を計算する。近似誤差が小さいときは、ステップS14、ステップS15、S16でニュートン法により、新しい波面法線ベクトルを求めて、ステップS11に戻る。
【特許請求の範囲】
【請求項1】 屈折率異方性のある媒質に入射して屈折する光線の軌跡を求める光線追跡方法であって、屈折前後の波面法線ベクトルと、屈折後の波面法線ベクトル方向の屈折率と、境界面の法線ベクトルに関するベクトル方程式を、屈折後の波面法線ベクトルの成分の関数として表し、ニュートン法で解くことにより、光線の波面法線ベクトルと、その方向の屈折率を求める工程を有することを特徴とする光線追跡方法。
【請求項2】 請求項1に記載の光線追跡方法であって、波面法線ベクトルの方向の屈折率nを表す方法は、波面法線ベクトルに垂直な電気変位ベクトルの方向の単位ベクトル【数1】

の成分di、dj(i,j=x,y,z)により、請求項1に記載の屈折後の媒質が内部応力のある等方性媒質の場合、【数2】

(但し、C1、C2は光弾性定数、n0は、応力がかからる前の屈折率)
請求項1に記載の屈折後の媒質が非等方性結晶の場合、【数3】

(但し、βijは、屈折率楕円体【数4】

(xi,xj、=x,y,z)の係数)とし、波面法線ベクトルに直交し、それ自体が直交する2つの単位ベクトルを【数5】

とするとき、【数6】

で計算されるαより、前記【数7】

を、【数8】

βijを、【数9】

(ただし、【数10】

でμは透磁率である)で表すことにより、波面法線ベクトルの成分の関数として表す方法であることを特徴とする光線追跡方法。
【請求項3】 内部応力のある媒質内の光線の軌跡を求める光線追跡方法であって、波面の進行に関する微分方程式を変形した、光軸をx軸としたときの波面法線ベクトルの方向余弦(Srx,Sry,Srz)に関する微分方程式【数11】

(但し、【数12】

)、及び光線ベクトル【数13】

を電気ベクトル【数14】

の単位方向ベクトル【数15】

と、磁気ベクトル【数16】

の方向の単位ベクトル【数17】とから求める方程式【数18】

を、Runge-Kutta法により求める工程を有することを特徴とする光線追跡方法。
【発明の詳細な説明】【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、偏光を利用する光学系または、半導体素子製造用の投影光学系や、天体観測用の光学系等において、特に光線通過部材の、熱応力等の内部応力による光線の偏光分離が問題となるような光学系において、光線の軌跡を求める光線追跡方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、複屈折がある硝材を光線が透過する場合の光線追跡は、例えば、1軸結晶を光線が入射する場合の屈折光線の屈折率と波面放線方向を求める方法については、M.C.Simonによって、“Ray tracing formulas for monoaxial opticalcomponents“という題名の文献で紹介されている。(Appl.Opt.(1983)pp354-360)
【0003】また、一般的に2軸結晶に光線が入射する場合の屈折光線の屈折率と波面法線ベクトルを求める方法の原理については、ボルン・ウオルフ著:「光学の原理III」(邦訳:東海大学出版会)において、Fresnelの公式(同文献、p.980参照)を利用して求める方法が示されている。(同文献、P.999〜p.1000参照)
さらに、逐次近似を使用して2軸結晶内の光線追跡をする方法が、早水良定により示されている。(光学、23(1994)P.431-P.438)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、一般的に2軸結晶や内部応力のある媒質に光線が入射する場合、屈折光線の屈折率と波面法線ベクトルを求める方法は、1軸結晶において求めらるように、解析的に求められない。「光学の原理III」(P.999-P.1000)に示されたような方法で求めるためには、屈折光線の波面法線ベクトルのうち方向余弦の境界面に垂直な方向成分Srxを、位相速度uで割ったX=Srx/uに関する4次方程式をニュートン法により計算する必要がある。(「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」:光学26、12(1997)P.677-P.684参照)
しかし前記のように4次方程式をニュートン法により計算する場合、計算機の計算精度が充分でないために、内部応力分布による屈折率変動が僅かな場合、それによる屈折光線の変動が精度よく計算できない場合があることが分かった。
【0005】すなわち、従来の4次方程式をニュートン法により計算する方法では、4次方程式にするためには、屈折境界の法線方向に座標変換し、かつ応力の主軸方向に座標変換する必要がある。座標変換を行うためには、平方根の計算が必要であるが、平方根の計算をすると、計算機の有する有効数字が16桁であっても、計算後の有効数字は8桁に減少する。従って、波面法線の方向余弦を座標変換したものの有効数字は8桁程度であるが、応力による方向余弦の変動は微小なので、この程度の有効数字では不充分である。
【0006】また、Fresnelの公式を適用するためには屈折率楕円体の主軸方向に座標軸を回転する必要があるが、特に一般のレンズのように、光軸方向と媒質の境界面の法線方向が異なる場合は、座標軸をさらに回転する必要があり、計算誤差がさらに蓄積されることが分かった。
【0007】また、内部応力のある媒質内での光線追跡を、前掲著「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」では、波面に関する微分方程式を単純に差分化して計算しているが、応力集中のある媒質内でも高い精度を得るためには、差分の分割数をかなり多くしなければならないという問題点があった。
【0008】本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、内部応力分布による屈折率変動が僅かな場合、特にレンズのように光軸方向と媒質の境界面の法線方向が異なる場合でも、精度良く屈折光線の波面法線ベクトルの方向余弦と、その方向の屈折率の両方を求め、それにより精度良く光線の軌跡を求める方法を提供することを第1の課題とする。
【0009】また、前掲著「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」に示された内部応力のある媒質内での光線追跡の計算方法よりも、さらに高精度の計算方法を提供することを第2の課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するための第1の手段は、屈折率異方性のある媒質に入射して屈折する光線の奇跡を求める光線追跡方法であって、屈折前後の波面法線ベクトルと、屈折後の波面法線ベクトル方向の屈折率と、境界面の法線ベクトルに関するベクトル方程式を、屈折後の波面法線ベクトルの成分の関数として表し、ニュートン法で解くことにより、光線の波面法線ベクトルと、その方向の屈折率を求める工程を有することを特徴とする光線追跡方法(請求項1)である。先ず、光線追跡し易いようにスネルの法則をベクトルで表わして用いる方法について説明する。即ち、【0011】
【数19】

【0012】を入射光線の方向の、【0013】
【数20】

【0014】を屈折後の波面法線方向の単位ベクトルとし、境界面の法線ベクトルを【0015】
【数21】

【0016】とし、【0017】
【数22】

【0018】と【0019】
【数23】

【0020】とのなす角度をそれぞれθ0、θとし、屈折媒質に入射する前の媒質(空気等)の屈折率をnB、入射後の媒質の屈折率をnとすると、【0021】
【数24】

【0022】但し、【0023】
【数25】

【0024】となる。(1)式の両辺に【0025】
【数26】

【0026】をベクトル積すると、ベクトルの公式により、【0027】
【数27】

【0028】となる。
【0029】
【数28】

【0030】と置いて、屈折前後の波面法線ベクトルと、その方向の屈折率と、境界面の法線ベクトルに関するベクトル方程式【0031】
【数29】

【0032】を、屈折後の波面法線ベクトル【0033】
【数30】

【0034】の関数としてニュートン法で解くことにより求める。その際、屈折後の屈折率nは、屈折後の波面法線ベクトルの関数として、【0035】
【数31】

【0036】で表しておく。
【0037】ニュートン法で解くためには、光軸をx軸とし、x軸に垂直で互いに垂直な軸をy軸、z軸とし、波面法線ベクトル【0038】
【数32】

【0039】の近似値【0040】
【数33】

【0041】のy成分、z成分をそれぞれSy、Sz、それらよりもさらに良い近似値をSy+δSy、Sz+δSz【0042】
【数34】

【0043】のy成分、z成分をそれぞれfy、fzとすると、【0044】
【数35】

【0045】となる。(6)式、(7)式をδSy、δSzに関する連立方程式として解いて、(4)式の波面法線ベクトル【0046】
【数36】

【0047】に、ベクトル【0048】
【数37】

【0049】即ち、S'y=Sy+δSy、S'z=Sz+δSz、S'x=(1-S'y2-S'z2)1/2を代入して、再び(6)式、(7)式の連立方程式をδSy、δSzに関して解くことを次々と繰り返すことにより、波面法線ベクトルの近似値【0050】
【数38】

【0051】を真の値【0052】
【数39】

【0053】に収束させていくことになる。波面法線ベクトルが求まれば、その方向の屈折率【0054】
【数40】

【0055】も求められる。(6)式、(7)式の【0056】
【数41】

【0057】は、Sx=(1-Sy2-Sz2)1/2より、【0058】
【数42】

【0059】であることに注意すれば、【0060】
【数43】

【0061】となる。(但し、i,j=y,zで、i=jのときδij=1、 i≠jのときδij=0 )
以上の工程を、図1にまとめて示す。まず、ステップS11で、波面法線ベクトルを仮定する。そして、ステップS12で、仮定した波面ベクトル方向の屈折率nを、仮定した波面法線ベクトルの関数として表すと共に、屈折率の、波面法線ベクトルの各成分に対する微分値を求める。そして、ステップS13で、(4)式の値を求め、これが十分小さな値になっているかどうかを判定する。十分小さな値となっていれば、そこで収束計算を打ち切り、その値を求めるべき波面法線ベクトルとする。そして、その値より、波面法線ベクトル方向の屈折率を計算する。
【0062】(4)式の値が十分小さな値になっていないときは、ステップS14に移り、(9)式により、【0063】
【数44】

【0064】を計算する。そして、ステップS15で、この値に基づき、連立方程式(6)、(7)式を解いて、δSy、δSzを求め、ステップS16で、新しい波面法線ベクトル【0065】
【数45】

【0066】を求めて、これを新しい波面法線ベクトルとしてステップS11に戻る。
【0067】なお、以上の計算過程の説明は、本手段の内容を説明するための例として用いたものである。本手段の範囲は、あくまでも特許請求の範囲の文言範囲ととその均等範囲に及ぶものである。
【0068】本手段においては、屈折前後の波面法線ベクトルと、その方向の屈折率と、境界面の法線ベクトルに関するベクトル方程式を、屈折後の波面法線ベクトルの成分の関数として表しているので、ニュートン法を利用することができ、これにより、屈折前後の波面法線ベクトル、さらにはその方向の屈折率を正確に求めるkとができる。
【0069】また、前述のように、従来の4次方程式をニュートン法により計算する方法では、波面法線の方向余弦を座標変換したものの有効数字は8桁程度であるが、応力による方向余弦の変動は微小なので、この程度の有効数字では不充分である。これに対し、本手段においては、波面法線の方向余弦を座標変換しないで済むので、有効数字は16桁に保たれ、高精度の計算が可能になる。
【0070】前記課題を解決するための第2の手段は、前記第1の手段であって、波面法線ベクトルの方向の屈折率nを表す方法が、波面法線ベクトルに垂直な電気変位ベクトルの方向の単位ベクトル【0071】
【数46】

【0072】の成分di、dj(i,j=x,y,z)により、前記第1の手段における屈折後の媒質が内部応力のある等方性媒質の場合、【0073】
【数47】

【0074】(但し、C1、C2は光弾性定数、n0は、応力がかかる前の屈折率)
請求項1に記載の屈折後の媒質が非等方性結晶の場合、【0075】
【数48】

【0076】(但し、βijは、屈折率楕円体【0077】
【数49】

【0078】(xi,xj、=x,y,z)の係数)とし、波面法線ベクトルに直交し、それ自体が直交する2つの単位ベクトルを【0079】
【数50】

【0080】とするとき、【0081】
【数51】

【0082】で計算されるαより、前記【0083】
【数52】

【0084】を、【0085】
【数53】

【0086】βijを、【0087】
【数54】

【0088】(ただし、【0089】
【数55】

【0090】でμは透磁率である)で表すことで、波面法線ベクトルの成分の関数として表す方法であることを特徴とするもの(請求項2)である。
【0091】本手段においては、Fresnelの公式を適用して屈折率楕円体の主軸方向に座標軸を回転することによって計算の誤差が出ることを抑える為に、波面法線ベクトルの方向余弦が与えられた場合、座標軸を回転させないで、波面法線方向の屈折率を求める方法を採用している。
【0092】すなわち、「波面法線楕円体を考えて、波面法線楕円体の原点を通り、波面法線ベクトルと直交する平面と楕円体の交線は楕円になるこのときこの楕円の主軸の長さは位相速度vの逆数に比例しその主軸の方向は電気変位ベクトル【0093】
【数56】

【0094】の振動方向に一致している」(ボルン・ウオルフ著:「光学の原理III」、邦訳:東海大学出版会P.984)という原理を利用する。つまり、波面法線ベクトルに直交する面と波面法線楕円体の交線である楕円の主軸を電気変位ベクトル【0095】
【数57】

【0096】の方向とし、【0097】
【数58】

【0098】の単位ベクトルの成分から、波面法線方向の屈折率を求める。この方法は、前掲著「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」にあるように、Gradient Index光線追跡の場合のように、波面法線ベクトルの方向余弦が最初に与えられている場合に対して用いられた。しかし、本発明では、複屈折媒質に光線が入射して屈折する場合のように、波面法線ベクトルが未知の場合に対しても適用できるようにした。即ち、屈折前後の波面法線ベクトルと、屈折後の波面法線ベクトル方向の屈折率と、境界面の法線ベクトルに関するベクトル方程式を、屈折後の波面法線ベクトルの関数としてニュートン法で解くことにより求める。
【0099】まず、座標軸を回転させないで、波面法線方向の屈折率を求める方法を簡単に述べる。そのためには、前掲著「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」で述べられた方法を用いる。まず、応力光学定数q11、q12(ボルン・ウオルフ著「光学の原理III」P.1026〜P.1029参照)と、光弾性定数C1、C2との関係は、【0100】
【数59】

【0101】である。
【0102】直交変換しなくて、楕円の主軸が座標軸に一致しない一般の屈折率楕円体の式を、【0103】
【数60】

【0104】とすると、前掲著「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」で述べられているように、βijとq11、q12の関係式は、応力が加わる前の屈折率n0と、境界面と入射光線の交点上の応力分布σij(i,j=x,y,z)により、【0105】
【数61】

【0106】である。
【0107】また、波面法線方向の単位ベクトルを【0108】
【数62】

【0109】とし、それに直交する単位ベクトルを【0110】
【数63】

【0111】とし、【0112】
【数64】

【0113】とも互いに直交するとする。
【0114】
【数65】

【0115】をyz平面上のベクトルになるように選ぶと、【0116】
【数66】

【0117】となり、【0118】
【数67】

【0119】は、互いに直交する。なお、ここで、【0120】
【数68】

【0121】をyz平面上のベクトルになるように選んだが、【0122】
【数69】

【0123】は波面方線方向の単位ベクトル【0124】
【数70】

【0125】に垂直で、互いに垂直なベクトルであれば、任意のベクトルでよい。
【0126】次に、(x,y,z) を【0127】
【数71】

【0128】を直交座標軸とする座標上の点(s、p、r)に変換する場合【0129】
【数72】

【0130】であるので、【0131】
【数73】

【0132】に垂直な平面は、(15)式でs=0とおいて、これを、【0133】
【数74】

【0134】と表わす。(16)式を(11)式に代入すると、この式は、pr平面上で「波面法線ベクトルと直交する平面と楕円体の交線」すなわち、楕円を表わしている。この楕円を、【0135】
【数75】

【0136】とおくと、【0137】
【数76】

【0138】となる。
【0139】
【数77】

【0140】の座標軸を角度αだけ回転して、【0141】
【数78】

【0142】になったとすると、【0143】
【数79】

【0144】の座標軸による座標値、u,tは、【0145】
【数80】

【0146】となる。よって、p,rは、【0147】
【数81】

【0148】となる。
【0149】
【数82】

【0150】が楕円の主軸となるためには、(22)式を(17)式に代入して、utの係数をゼロにする必要がある。utの係数をゼロとすることにより、角度αの満たすべき条件は、【0151】
【数83】

【0152】となる。「光学の原理III」P.984により、楕円の主軸【0153】
【数84】

【0154】は2つの直交する電気変位ベクトル【0155】
【数85】

【0156】の方向に一致するので、【0157】
【数86】

【0158】の方向の単位ベクトルを【0159】
【数87】

【0160】とすると、【0161】
【数88】

【0162】となる。
【0163】次に、波面法線方向の屈折率nを求める。
【0164】
【数89】

【0165】をまとめて、【0166】
【数90】

【0167】と表わし、【0168】
【数91】

【0169】の単位ベクトル【0170】
【数92】

【0171】の成分をdx,dy,dzとする。
【0172】n=c/v (cは光速、vは前述の位相速度)である。前述のように、波面法線楕円体を考えて、波面法線楕円体の原点を通り、波面法線ベクトルと直交する平面と楕円体の交線は楕円になるこのときこの楕円の主軸の長さは位相速度vの逆数に比例しその主軸の方向は電気変位ベクトルの振動方向に一致している(ボルン・ウオルフ著:「光学の原理III」、邦訳:東海大学出版会P.984)から、(24)式で求めた【0173】
【数93】

【0174】による波面法線楕円体を1/μ倍に比例した屈折率楕円体の主軸の長さは、屈折後の波面法線方向の屈折率n=c/vそのものとなる。よって、【0175】
【数94】

【0176】による主軸のベクトル【0177】
【数95】

【0178】を(11)式に代入することにより、i,j=x,y,zとすると、【0179】
【数96】

【0180】が得られるので、これから、波面法線方向の屈折率nは、【0181】
【数97】

【0182】となる。(26)式に、(24)式を代入すれば、波面法線方向の屈折率nを求められる。
【0183】内部応力によって屈折率が変化して、【0184】
【数98】

【0185】が微小変化する場合(26)式に平方根の計算があるために、計算誤差が出るので、(26)式の平方根をベキ級数展開して近似する。
【0186】すなわち、|x|<|a|のとき、(a+x)-1/2= 1/a1/2{1-x/(2a)+3x2/(8a3)-…} …(27)である。1/n0はq11σii/μ等に対して十分大きいので、(27)式の第2項までをとって近似すると、【0187】
【数99】

【0188】が得られる。(28)式に(10)式を代入し、【0189】
【数100】

【0190】を考慮すると、【0191】
【数101】

【0192】となる。この式が、内部応力のある場合、主軸に変換しないで波面法線方向の屈折率を与える式になる。(屈折率異方性の媒質が2軸結晶の場合、波面法線方向の屈折率nは(26)式で与えられる。)
以上が座標軸を回転させないで、波面法線方向の屈折率を求める方法である。これらの式を利用すれば、屈折後の波面法線方向の屈折率を屈折後の波面法線ベクトルの成分の関数として表すことができるので、前記第1の手段に利用することができる。本手段においては、座標軸を回転させないで波面法線方向の屈折率を求めることができるので、計算精度を上げることができる。
【0193】屈折後の波面法線方向の屈折率を屈折後の波面法線ベクトルの成分の関数として表す手順をまとめて図2に示す。空気とガラスのように異なった媒質の境界での屈折の状態を計算する場合、波面法線ベクトルとその方向の屈折率の両方が未知数であるので、図2に示す方法だけでは屈折率を求めることはできない。そこで、前記第1の手段の一部分として使用し、収束計算により波面法線ベクトルを求めれば、それから、図2に示す工程により、その方向の屈折率を求めることができるようになる。
【0194】内部応力のある媒質に光線が入射して屈折する場合の、波面法線ベクトル【0195】
【数102】

【0196】の方向の屈折率【0197】
【数103】

【0198】は、(29)式のdi、djに、(24)式を代入することにより求める。(24)式の【0199】
【数104】

【0200】は(13)、(14)式から、αは(18)〜(20)式と(23)式から求める。βijは(12)式から求められる。このようにすれば、屈折後の波面法線ベクトル方向の屈折率を、屈折後の波面法線ベクトルの関数として表すことができる。
【0201】また、これらの方向余弦による微分【0202】
【数105】

【0203】は、(29)式により、【0204】
【数106】

【0205】となる。(但し、k=y,z)
(24)式により、【0206】
【数107】

【0207】または、【0208】
【数108】

【0209】となる。(但し、i=x,y,z、 k=y,z)
また、(13)、(14)式の微分は、(8)式により、(但し、k=y、z)
【0210】
【数109】

【0211】
【数110】

【0212】また、(18)〜(20)式、(23)式より、 cosα、sinαの微分は、【0213】
【数111】

【0214】
【数112】

【0215】となる。内部応力のある媒質に光線が入射して屈折する場合、波面法線ベクトル【0216】
【数113】

【0217】の方向の屈折率【0218】
【数114】

【0219】の微分【0220】
【数115】は、(30)式に(31)式から(40)式を代入することにより求められる。また、一般に2軸結晶に光線が入射して屈折する場合、波面法線ベクトル
【0221】
【数116】の方向の屈折率【0222】
【数117】

【0223】の方向余弦による微分【0224】
【数118】

【0225】は、(26)式を微分して、【0226】
【数119】

【0227】となるので(但し、k=y,z)、(41)式に(31)式から(40)式を代入することにより求められる。
【0228】以上をまとめると、波面法線ベクトルの方向の屈折率【0229】
【数120】

【0230】およびその波面法線ベクトルの方向余弦による微分【0231】
【数121】

【0232】は、それぞれ、内部応力のある媒質の場合、(29)式および(30)式で、一般の2軸結晶の場合、(26)式および(41)式で与えられる。
【0233】前記課題を解決する第3の手段は、内部応力のある媒質内の光線の軌跡を求める光線追跡方法であって、波面の進行に関する微分方程式を変形した、光軸をx軸としたときの波面法線ベクトルの方向余弦(Srx,Sry,Srz)に関する微分方程式【0234】
【数122】

【0235】(但し、【0236】
【数123】

【0237】)、及び光線ベクトル【0238】
【数124】

【0239】を電気ベクトル【0240】
【数125】

【0241】の単位方向ベクトル【0242】
【数126】

【0243】と、磁気ベクトル【0244】
【数127】

【0245】の方向の単位ベクトル【0246】
【数128】

【0247】とから求める方程式【0248】
【数129】

【0249】を、Runge-Kutta法により求める工程を有することを特徴とする光線追跡方法(請求項3)である。
【0250】内部応力のある媒質内での光線追跡の計算方法は、「位相が同じ位置をプロットしていくと波面が形成され、その波面に垂直な方向に、光波の位相が進行していく」という 考え方によって、以下の(37)式、(38)式のような波面の進行に関する微分方程式を立てることができる。(前掲著「内部応力分布があるガラス内の光線追跡」参照)
【0251】
【数130】

【0252】これを波面法線ベクトルの方向余弦に関する微分方程式になるように変形する。即ち、【0253】
【数131】

【0254】及び、Srx2+Sry2+Srz2= 1 …(45)より微分方程式を変形すると、【0255】
【数132】

【0256】と置けば、【0257】
【数133】

【0258】のような、波面法線ベクトルの方向余弦に関する微分方程式になる。
【0259】ところで、(48)式、(49)式を単純に差分化して計算するためには、x軸方向に微小距離Δx進んだときの波面法方向余弦Sr'y,Sr'zを、進む前の波面法線ベクトルSry,Srzにより、【0260】
【数134】

【0261】とすればよいが、本発明では、少ない分割数でも高精度に計算できるように、 Runge-Kutta法を利用する。(48)式、(49)式の微分方程式を4次のRunge-Kutta法で解くには、【0262】
【数135】

【0263】とおく。ただし、【0264】
【数136】

【0265】である。(53)式における【0266】
【数137】

【0267】は光線ベクトル(単位ベクトル)であり、r1x,r2x,r3xは、それぞれ【0268】
【数138】

【0269】のx軸方向成分である。
【0270】また実際に、波面がx軸方向に微小距離Δxだけ進行後に光線が到達する位置【0271】
【数139】

【0272】は、(53)式の【0273】
【数140】

【0274】より、【0275】
【数141】

【0276】となる。
【0277】以上の計算においては、光線ベクトル【0278】
【数142】

【0279】を求める必要がある。光線ベクトルの方向は、実際に光線が進む方向、即ち、ポインティングベクトルの方向である。これを求めるためには、電気ベクトル【0280】
【数143】

【0281】を求める必要があるが、その成分Eiは、【0282】
【数144】

【0283】である。これは、以下のようにして証明される。
【0284】一般の、主軸が座標軸と一致しない屈折率楕円体【0285】
【数145】

【0286】が座標変換【0287】
【数146】

【0288】によって楕円体の主軸と座標軸が一致するように直交変換された場合、すなわち、屈折率楕円体が【0289】
【数147】

【0290】という形に直交変換された場合を考える。(58)式に(57)式を代入して、iとjを入れ替えて、【0291】
【数148】

【0292】(56)式と比較して、【0293】
【数149】

【0294】また、(56)式の座標系に相当する電気ベクトル、および電気変位ベクトルの成分を【0295】
【数150】

【0296】(58)式の座標系に相当する電気ベクトルおよび電気変位ベクトルの成分を【0297】
【数151】

【0298】とし、また、直交変換マトリックスでは【0299】
【数152】

【0300】が成立するので、【0301】
【数153】

【0302】となる。屈折率楕円体の主軸と座標軸が一致している場合、(58)式において、【0303】
【数154】

【0304】であり、また、【0305】
【数155】

【0306】であるので、【0307】
【数156】

【0308】となる。(64)式に、(68)式、(61)式を代入して、【0309】
【数157】

【0310】よって、(60)式より、【0311】
【数158】

【0312】が成立する。
【0313】従って、電気ベクトル【0314】
【数159】

【0315】の方向の単位ベクトル【0316】
【数160】

【0317】の成分eiは、【0318】
【数161】

【0319】となる。一方、磁気ベクトル【0320】
【数162】

【0321】の方向の単位ベクトル【0322】
【数163】

【0323】は、【0324】
【数164】

【0325】に垂直である。複屈折の媒質内では、(24)式の【0326】
【数165】

【0327】の2つのベクトル【0328】
【数166】

【0329】において、【0330】
【数167】

【0331】なので、【0332】
【数168】

【0333】となる。光線ベクトル【0334】
【数169】

【0335】の方向は、ポインティングベクトルの方向なので、【0336】
【数170】

【0337】となる。(72)式に、(70)式、(71)式を代入することにより、光線方向の単位ベクトル【0338】
【数171】

【0339】が求めらる。
【0340】以上述べた、波面法線ベクトルの方向余弦に関する微分方程式および、光線方向の単位ベクトルを求める手順を図3に示す。
【0341】まず、内部応力σij、光線位置(x,y,z)を仮定して、図2に示したステップS21により、q11、q12、βii、βijを求める。そして、波面法線ベクトルの初期値(Sx,Sy,Sz)を仮定して、図2に示したステップS22により、Px,Py,Pz,Rx,Ry,Rzを求める。そして、これらの値を使用して、図2に示したステップS23によりA,B,Cを求め、これからαを求める。次に、Px,Py,Pz,Rx,Ry,Rz,αを使用して、図2に示したステップS24により、【0342】
【数172】

【0343】を求め、ステップS31において、この値と内部応力σijより、(29)式によりnを求め、さらにこれより【0344】
【数173】

【0345】を求める。そして、以上求まった値に基づいて、ステップS32において、(46)、(47)式よりDy,Dzを求め、これより、(48)、(49)式で示される微分連立方程式をたてる。
【0346】一方、ステップS33において、ステップS21で求めたβijとステップS24で求めた【0347】
【数174】

【0348】により、(70)式を使用してeiを求める。
【0349】
【数175】

【0350】からは、ステップS34において(71)式より【0351】
【数176】

【0352】が求まり、ステップS35で、【0353】
【数177】

【0354】により光線方向の単位ベクトルが求まる。(48)、(49)式で示される微分連立方程式と(72)式を(52),(53),(54)式で示されるRunge-Kutta法により解き、波面法線ベクトルと光線ベクトルを求め、これを使用して、光線の軌跡を求める。
【0355】本手段においては、Runge-Kutta法により微分方程式を解いているので、差分法によるよりも、要素の分割数を少なくすることができる。
【0356】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0357】(実施例1)図4に示されたような構成を有する、全て石英で構成されたフィゾーレンズ(平行光束をほぼ一点に結像させるレンズで、球面収差のみが補正されたレンズ)に波長248nm、外半径25mm、全照射量1Wの光線が入射し続けて平衡状態に達した場合について、内部応力による球面収差変動を計算する。レンズの縁の部分からのみ熱が流出して、縁の部分の温度上昇はゼロであるとし、レンズの側面からは熱が流出しないと仮定して計算した。
【0358】各レンズの各面の諸元を表1に示す。表1においてG番号は、図4に示すレンズの番号であり、面番号は、各レンズ面を図4の左側から数えた番号である。間隔は次(右側)の面との間隔(面番号8については焦点までの距離)であり、媒質はその面の右側の媒質で、屈折率は当該媒質の屈折率を示す。なお、表1の曲率半径、間隔、および外半径の単位は全てmmである。
【0359】
【表1】

【0360】石英の熱伝導率は0.00138W/mm℃、吸収率は0.02/cm、ヤング率は0.72×105N/mm2、ポアソン比は0.164、熱膨張率は5.5×10-7/℃,光弾性定数は、C1= 6.495×10-7mm2/N、C2= 4.176×10-6mm2/Nとする。
【0361】有限要素法により計算されたレンズの中心の温度上昇および中心応力(ラジアル方向の主応力:σr、光軸方向の主応力 :σz)は表2のようになる。温度上昇の単位は℃であり、応力の単位は N/mm2である。
【0362】
【表2】

【0363】上記の照射条件により照射する前と、照射して熱平衡状態に達して、表2のような熱応力状態になった場合について、半径50mmの平行光束を透過させたときの球面収差の差をとることにより、球面収差変動を算出した。その際各G番号毎の変動と、全レンズが変動した場合の変動(単位:μm)を計算した。その結果を、表3、表4に示す。表3は電気変位ベクトルが子午面内に垂直な偏光によるもので、表4は電気変位ベクトルが子午面内にある偏光によるものである。なお、表3、表4に示した光線の高さは、子午面内での高さである。
【0364】
【表3】

【0365】
【表4】

【0366】表3のように、電気変位ベクトルが子午面内に垂直な偏光で、10割の光線を各G番号のレンズに入射させる場合、図1のようなアルゴリズムの方法で波面法線ベクトルとその方向の屈折率を求めた場合の反復の回数iと、第i段階で計算された波面法線ベクトルのy成分Sy'と、第(i−1)段階で計算された波面法線ベクトルのy成分Syとの差の絶対値|Sy'-Sy|、即ち収束の程度を表5に示す。
【0367】表5を参照すると、どのレンズに入射する場合でも、すでに第2段階で|Sy'-Sy|≦1×10-16となり、充分に収束していることが分かる。なお、G1、G2、G3、G4に入射した直後の波面法線方向の屈折率は、それぞれ、1.50840+0.149×10-9、1.50840+0.268×10-9、1.50840+0.823×10-9、1.50840+0.855×10-9であった。
【0368】
【表5】

【0369】また、この実施例において、レンズ内部での光線追跡を、(50)式、(51)式のような単純な差分法によって計算した場合と、(52)式から(54)式のような4次のRunge-Kutta法によって計算した場合とを比較すると、後者は前者の4分の1以内の分割数で良いことが分かった。
【0370】(実施例2)1軸結晶の方解石の内部に光線が入射する場合について屈折率を求めた実施例について以下に説明する。
【0371】1軸結晶の屈折率楕円体は、常光線の屈折率をno、異常光線の屈折率をneとすると、【0372】
【数178】

【0373】であり、方解石の場合、波長244.58nm、温度15℃において、no=1.77966、ne=1.53731である。子午線方向をY軸、光軸をX軸とし、結晶軸がY軸方向で、厚さ20mmの方解石に、Y軸方向の方向余弦が-0.04994、Z軸方向の方向余弦が0.00000の光線を入射させた場合の異常光線の波面法線方向の屈折率を求めた。「光学の原理III」(P.992〜p.993)によれば、結晶軸がY軸方向の場合、波面法線がX軸となす角度をθとすると、波面法線方向の位相速度νは、結晶軸方向の位相速度ν0と結晶軸に垂直な方向の位相速度νeにより、【0374】
【数179】

【0375】となる。空気中の光線の速度をc0とすると、空気中から入射する場合、、νe=c0/neであるので、これらを(74)式に代入し、また、入射する光線の光軸(X軸)となす角度をθoとすると、スネルの法則より、sinθo = nsinθ …(75)となるので、これらを(74)式に代入してnについて解くと、【0376】
【数180】

【0377】となる。(76)式にno=1.77966、ne=1.53731、sinθo=-0.04994を代入すると、異常光線の波面法線方向の屈折率は、n=1.537516となる。
【0378】この実施例において、図1に示すような方法で波面法線ベクトルとその方向の屈折率を求めた場合の反復の回数iと、第i段階で計算された波面法線ベクトルのy成分Sy'と、第(i−1)段階で計算された波面法線ベクトルのy成分Syとの差の絶対値|Sy'-Sy|、即ち収束の程度を表6に示す。第5段階までいくと、≦1×10-16で、充分に収束していることが分かる。
【0379】
【表6】

【0380】また、比較のために、逐次近似による方法(光学、23(1994)P.431-P.438参照)、即ち(3)式で【0381】
【数181】
【0382】

の近似値を代入して波面法線ベクトル【0383】
【数182】

【0384】の近似値【0385】
【数183】

【0386】を求め、その【0387】
【数184】

【0388】の方向の屈折率【0389】
【数185】

【0390】を求め、また(3)式にその屈折率【0391】
【数186】

【0392】を代入することを繰り返す方法で、前記の例を計算して、収束の程度を調べたものを表7に示す。表6と表7を比較すると、ニュートン法を用いる本発明の方が収束の程度が若干速いことがわかる。しかし、ニュートン法を用いる本発明では、波面法線ベクトルの方向余弦による微分を計算するのに時間がかかるので、一概にどちらが有利かはいえない。
【0393】
【表7】

【0394】この実施例では、1軸結晶に光線が入射する場合の屈折光線の波面法線ベクトルと、その方向の屈折率の両方を求めたが、もっと一般的に2軸結晶でも同じ方法で求めることができる。
【0395】なお、第1実施例では、硝材内の温度の不均一な分布による応力分布、いわゆる熱応力分布を扱ったが、本発明は、それ以外でも、外気圧や外力、または重力、遠心力等によって、硝材内に不均一な応力分布が存在して屈折率異方性が存在するあらゆる媒質に光線が入射する場合において、波面法線方向の方向余弦と、その方向の屈折率の両方を求める方法として有用である。
【0396】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求項1に係る発明においては、屈折前後の波面法線ベクトルと、その方向の屈折率と、境界面の法線ベクトルに関するベクトル方程式を、屈折後の波面法線ベクトルの成分の関数として表しているので、ニュートン法を利用することができ、これにより、屈折前後の波面法線ベクトル、さらにはその方向の屈折率を正確に求めることができる。
【0397】また、波面法線の方向余弦を座標変換しないで済むので、有効数字はそのままに保たれ、高精度の計算が可能になる。
【0398】請求項2に係る発明においては、座標軸を回転させないで波面法線方向の屈折率を求めることができるので、計算精度を上げることができる。よって、内部応力分布による屈折率変動が僅かな場合や、またレンズのように光軸方向と、媒質の境界面の法線方向が異なる場合でも、精度良く屈折光線の波面放線ベクトルと、その方向の屈折率の両方を、正確に求めることが可能になる。
【0399】請求項3に係る発明においては、Runge-Kutta法により微分方程式を解いているので、内部応力のある媒質内の光線追跡においても、差分法によるより要素の分割数を少なくすることができる。
【出願人】 【識別番号】000004112
【氏名又は名称】株式会社ニコン
【出願日】 平成11年3月8日(1999.3.8)
【代理人】 【識別番号】100094846
【弁理士】
【氏名又は名称】細江 利昭
【公開番号】 特開2000−258298(P2000−258298A)
【公開日】 平成12年9月22日(2000.9.22)
【出願番号】 特願平11−60295