| 【発明の名称】 |
光源装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】新豊 剛
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| 【要約】 |
【課題】光源ランプの経時的照度低下に対して一定以上の照度を維持し、照度を適宜に可変調整可能とする。
【解決手段】絞り機構１４Ａを含むシャッタ機構１４により、光源ランプ１０と反射板１２との間の光路を開閉するとともに、開閉量を可変調整する。シャッタ機構１４が閉じた状態では、光源ランプ１０から直接被照射領域に供給される光によって被照射領域が照射される。シャッタ機構１４が開いた状態では、光源ランプ１０から直接被照射領域に供給される光と、光源ランプ１０から反射板１２に反射して被照射領域に供給される光とにより、被照射領域が照射される。そして、シャッタ機構１４における絞り機構１４Ａの開閉量を制御機構２０によって可変調整することにより、反射板１２に反射して被照射領域に供給される光の量を調整できる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 被照射領域に臨む状態で配置される光源ランプと、前記光源ランプの被照射領域と反対側に配置され、前記光源ランプからの光を反射させて前記被照射領域側に供給する反射板と、前記光源ランプと反射板との間に配置され、光源ランプと反射板との間の光路を開閉するとともに、開閉量を可変調整可能に構成されたシャッタ機構と、前記被照射領域における照度を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出される照度に応じて前記シャッタ機構の開閉量を可変制御する照度制御手段と、を有することを特徴とする光源装置。
【請求項２】 前記シャッタ機構は絞り機構を有し、前記絞り機構によって開閉量を可変調整可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項３】 前記光源ランプは、ハロゲンランプであることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項４】 固体撮像素子の検査用光源として設けられることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項５】 前記固体撮像素子が電荷結合素子を用いたものであることを特徴とする請求項４記載の光源装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＣＣＤ（電荷結合素子）等の固体撮像素子の検査用光源等として設けられる光源装置に関し、特に光源ランプの経時的照度低下に対して一定の照度を得ることができる光源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＣＣＤ撮像素子の評価、検査、判定を行うための光源装置では、光源ランプとして用いているハロゲンランプの経時的な照度劣化に対し、必要な一定の照度を得るために、反射板による反射光を用いるようにしたものが知られている。すなわち、この光源装置では、被照射領域に臨む状態でハロゲンランプを配置し、その被照射領域と反対側に反射板を配置し、さらに、ハロゲンランプと反射板との間にシャッタ板を配置する。
【０００３】そして、被照射領域における照度を検出し、ハロゲンランプによる照度が十分に高い状態では、シャッタ板を閉じて反射板の反射光を用いることなく被照射領域への照射を行う。また、ハロゲンランプの経時的な照度劣化が検出されると、シャッタ板を開いてハロゲンランプからの光を反射させて被照射領域に供給する。これにより、ハロゲンランプから直接被照射領域に供給される光と、ハロゲンランプから反射板に反射して被照射領域に供給される光により、十分な照度を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した従来技術では、単にシャッタ板を開閉する機構によってハロゲンランプの照度劣化に対応する構成であるため、照度をある一定値に保持するような制御は行えないという問題がある。
【０００５】そこで本発明の目的は、光源ランプの経時的照度低下に対して一定以上の照度を維持し得るとともに、必要となる照度を適宜に可変調整可能な光源装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成するため、被照射領域に臨む状態で配置される光源ランプと、前記光源ランプの被照射領域と反対側に配置され、前記光源ランプからの光を反射させて前記被照射領域側に供給する反射板と、前記光源ランプと反射板との間に配置され、光源ランプと反射板との間の光路を開閉するとともに、開閉量を可変調整可能に構成されたシャッタ機構と、前記被照射領域における照度を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出される照度に応じて前記シャッタ機構の開閉量を可変制御する照度制御手段とを有することを特徴とする。
【０００７】本発明の光源装置において、シャッタ機構が閉じた状態では、光源ランプから直接被照射領域に供給される光によって被照射領域が照射される。また、シャッタ機構が開いた状態では、光源ランプから直接被照射領域に供給される光と、光源ランプから反射板に反射して被照射領域に供給される光とにより、被照射領域が照射される。そして、シャッタ機構における開閉量を可変調整することにより、反射板に反射して被照射領域に供給される光の量を調整できる。したがって、光源ランプの経時的劣化等により、光源ランプから直接被照射領域に供給される光の量が減少した場合等には、必要に応じて、シャッタ機構における開閉量を可変調整することにより、必要十分な光量を被照射領域に供給し、照度を一定に制御できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明による光源装置の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態による光源装置の構成例を示す斜視図であり、図２は、図１に示す光源装置の制御系を示すブロック図である。この光源装置は、例えばＣＣＤ撮像素子の評価、検査、判定を行うための光源装置として設けられたものであり、光源ランプ１０としてハロゲンランプを用いたものである。
【０００９】光源ランプ１０の矢線Ａで示す光の射出方向の前方には被照射領域が設けられており、例えばＣＣＤ撮像素子の受光面が配置されている。また、光源ランプ１０の被照射領域と反対側には、反射板（ミラー）１２が配置されている。この反射板１２は、曲率を有する反射面を備えたものであり、光源ランプ１０からの光を反射させて、被照射領域側に供給するものである。また、光源ランプ１０と反射板１２との間には、シャッタ機構１４が配置されている。
【００１０】このシャッタ機構１４は、光源ランプ１０と反射板１２との間の光路を開閉するとともに、開閉量を可変調整可能な絞り機構１４Ａを含むものである。このような絞り機構１４Ａを含むシャッタ機構１４としては、カメラ等に設けられるシャッタ兼用絞り装置を用いることが可能である。すなわち、このシャッタ兼用絞り装置では、絞り羽根とシャッタ羽根とを兼用したものであり、環状の絞りカム板と絞り回し板の間に、複数枚の羽根を配置し、絞りカム板と絞り回し板との相対的な回転動作によって、各羽根の角度を変位させることにより、中央の開口部における口径を変化させて絞り機構として機能させるとともに、各羽根によって完全な遮蔽状態を得ることにより、シャッタとして機能させるようになっている。
【００１１】本例では、このような絞り機構１４Ａを含むシャッタ機構１４により、光源ランプ１０と反射板１２との間の光路を開閉するとともに、開閉量を可変調整するものであり、図２に示すように、この開閉制御及び開閉量の制御を行う制御機構２０が設けられている。また、被照射領域側には、被照射領域における照度を検出する検出手段となる照度センサ２２が設けられている。この照度センサの出力により、被照射領域における照度レベルを検出する。また、本例の光源装置を制御する制御回路２４は、照度センサ２２によって検出される照度に応じて制御機構２０を制御し、シャッタ機構の開閉量を可変制御する照度制御手段が含まれている。
【００１２】以上のような構成の光源装置において、シャッタ機構１４が閉じた状態では、光源ランプ１０から直接被照射領域に供給される光によって被照射領域が照射される。また、シャッタ機構１４が開いた状態では、光源ランプ１０から直接被照射領域に供給される光と、光源ランプ１０から反射板１２に反射して被照射領域に供給される光とにより、被照射領域が照射される。そして、シャッタ機構１４における絞り機構１４Ａの開閉量を制御機構２０によって可変調整することにより、反射板１２に反射して被照射領域に供給される光の量を調整できる。
【００１３】したがって、光源ランプ１０の経時的劣化等により、光源ランプ１０から直接被照射領域に供給される光の量が減少した場合等には、必要に応じて、シャッタ機構１４における絞り機構１４Ａの開閉量を可変調整することにより、必要十分な光量を被照射領域に供給し、照度を一定に制御できる。また、シャッタ機構１４における絞り機構１４Ａの開閉量を最大にすれば、従来のシャッタ板と同様の使い方をすることができる。
【００１４】なお、以上の例はＣＣＤ撮像素子の検査等を行うための光源装置として説明したが、他の光源装置にも同様に適用し得ることは勿論である。また、光源ランプとしては、ハロゲンランプを例に説明したが、他の白熱ランプ等を用いたシステムにおいても同様に適用し得るものである。また、シャッタ機構の構成についても、上述のようなシャッタ兼用絞り装置に限らず、より簡易な構成、例えばシャッタ板の傾斜角度によって開閉量を制御するような構成のものを用いてもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光源装置では、光源ランプと反射板との間に配置されるシャッタ機構に、開閉量を可変調整する機能を設け、被照射領域における照度に応じてシャッタ機構の開閉量を可変制御するようにした。このため、光源ランプの経時的劣化等により、光源ランプから直接被照射領域に供給される光の量が減少した場合等に、シャッタ機構における開閉量を可変調整することにより、反射板に反射して被照射領域に供給される光の量を調整できるので、必要十分な光量を被照射領域に供給し、照度を一定に制御できる。したがって、従来のように単にシャッタ板を開閉する構成に比べて、照度を最適値に制御できる効果がある。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００２１８５
【氏名又は名称】ソニー株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年５月２６日（１９９９．５．２６） |
| 【代理人】 |
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| 【公開番号】 |
特開２０００−３４０００２（Ｐ２０００−３４０００２Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年１２月８日（２０００．１２．８） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−１４６３３６ |
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