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【発明の名称】 照明装置および該照明装置を用いた検査方法
【発明者】 【氏名】作田 博伸
【要約】 【課題】被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができ、且つランプ交換の作業性の向上した照明装置。

【解決手段】光源（１）からの光束を集光する集光光学系（２）と、集光光学系の集光位置の近傍に位置決めされた入射端を有するファイバーバンドル（３１）と、該ファイバーバンドルの射出端からの光束を被照射面（５）へ導くためのコンデンサー光学系（４）とを備えている。ファイバーバンドル（３１）を構成する多数のファイバー素線の各々は、入射端から射出端までほぼ線形的に大きさが変化する断面を有する。ファイバーバンドル（３１）は、他のファイバーバンドル（３２、３３）と交換可能に構成されている。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 照明光束を供給するための光源と、該光源から射出された光束を集光するための集光光学系と、多数のファイバー素線を束ねて構成され、前記集光光学系の集光位置の近傍に位置決めされた入射端を有するファイバーバンドルと、該ファイバーバンドルの射出端からの光束を被照射面へ導くためのコンデンサー光学系とを備え、前記ファイバーバンドルを構成する前記多数のファイバー素線の各々は、入射端から射出端までほぼ線形的に大きさが変化する断面を有し、前記ファイバーバンドルは、他のファイバーバンドルと交換可能に構成されていることを特徴とする照明装置。
【請求項２】 各ファイバー素線の射出端面の直径と入射端面の直径との比率が互いに異なる複数のファイバーバンドルが設けられ、該複数のファイバーバンドルから選択された１つのファイバーバンドルが前記集光光学系と前記コンデンサー光学系との間の光路中に挿脱可能に装着されていることを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】 前記ファイバーバンドルを構成する各ファイバー素線の入射端面の直径をＤｉとし、各ファイバー素線の射出端面の直径をＤｏとするとき、０．５≦Ｄｏ／Ｄｉ≦２の条件を満足することを特徴とする請求項１または２に記載の照明装置。
【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の照明装置を用いて検査すべき二次元受光素子の受光面を照明し、前記照明装置で照明された前記二次元受光素子の各受光領域の出力に基づいて前記二次元受光素子の出力均一性を検査することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は照明装置および該照明装置を用いた検査方法に関し、特にＣＣＤのような２次元受光素子の出力均一性の検査に好適な照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえばＣＣＤの受光面を照明し、各微小画素の出力に基づいてＣＣＤの出力均一性を検査するために、被照射面において光量均一性の高い照明装置が用いられている。図２は、この種の従来の照明装置の構成を概略的に示す図である。図２において、たとえばハロゲンランプのような光源２１から射出された光束は、コリメータレンズ２２を介して平行な光束に変換された後、フライアイインテグレータ２３に入射する。フライアイインテグレータ２３に入射した光束は、フライアイインテグレータ２３を構成する多数のレンズエレメントにより二次元的に分割され、その後側焦点位置（すなわち射出端の近傍）に多数の光源像を形成する。
【０００３】フライアイインテグレータ２３の後側焦点位置に形成された多数の光源像からの光束は、コンデンサーレンズ２４により平行光束に変換され、検査すべきＣＣＤの受光面のような被照射面２５を重畳的に照明する。なお、コンデンサーレンズ２４は、フライアイインテグレータ２３の後側焦点位置に形成された多数の光源像を二次光源として被照射面２５をいわゆるケーラー照明するように配置されている。こうして、図２に示す照明装置では、被照射面２５がほぼ均一な光量で照明される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述のような従来の照明装置では、被照射領域の大きさがフライアイインテグレータ２３の各レンズエレメントのＦナンバーとコンデンサーレンズ２４の焦点距離とで一義的に決まってしまうため、被照射領域の大きさを容易に変更することができなかった。また、同様の理由により、被照射面２５への入射光束の開口数、すなわち被照射ＮＡを容易に変更することができなかった。その結果、検査すべきＣＣＤのサイズによっては、検査そのものが不可能になったり、大きな光量損失が発生するという不都合があった。
【０００５】さらに、上述のような従来の照明装置では、光源２１からコンデンサーレンズ２４までの構成要素が１つのボックス内に一体的に収容されている。したがって、光源２１を構成するランプの寿命によりその交換が必要になると、装置全体を所定の作業場所へ移動させた後にランプを取り外して新たなランプを取り付け、装置全体を再び元の位置へ戻す必要があった。すなわち、従来の照明装置では、ランプ交換の作業性が悪いという不都合があった。
【０００６】なお、上述のような従来の照明装置において、コンデンサーレンズ２４をズームレンズで構成することにより、コンデンサーレンズ２４の焦点距離を変化させて被照射領域の大きさを変化させる手法が採用されることがある。しかしながら、この場合には、照明のテレセントリシティが崩れてしまうのが一般的であり、被照射面において光量の均一性が低下してしまう。
【０００７】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成により光量損失することなく均一な光量で照明することができるだけでなく、被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができ、且つランプ交換の作業性の向上した照明装置を提供することを目的とする。また、本発明の照明装置を用いてＣＣＤのような２次元受光素子の出力均一性の検査を精度良く且つ迅速に行うことのできる検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するために、本発明では、照明光束を供給するための光源と、該光源から射出された光束を集光するための集光光学系と、多数のファイバー素線を束ねて構成され、前記集光光学系の集光位置の近傍に位置決めされた入射端を有するファイバーバンドルと、該ファイバーバンドルの射出端からの光束を被照射面へ導くためのコンデンサー光学系とを備え、前記ファイバーバンドルを構成する前記多数のファイバー素線の各々は、入射端から射出端までほぼ線形的に大きさが変化する断面を有し、前記ファイバーバンドルは、他のファイバーバンドルと交換可能に構成されていることを特徴とする照明装置を提供する。
【０００９】本発明の好ましい態様によれば、各ファイバー素線の射出端面の直径と入射端面の直径との比率が互いに異なる複数のファイバーバンドルが設けられ、該複数のファイバーバンドルから選択された１つのファイバーバンドルが前記集光光学系と前記コンデンサー光学系との間の光路中に挿脱可能に装着されている。また、前記ファイバーバンドルは、前記多数のファイバー素線をランダムに束ねて構成されていることが好ましい。さらに、前記ファイバーバンドルを構成する各ファイバー素線の入射端面の直径をＤｉとし、各ファイバー素線の射出端面の直径をＤｏとするとき、０．５≦Ｄｏ／Ｄｉ≦２の条件を満足することが好ましい。
【００１０】また、本発明の別の局面によれば、本発明の照明装置を用いて検査すべき二次元受光素子の受光面を照明し、前記照明装置で照明された前記二次元受光素子の各受光領域の出力に基づいて前記二次元受光素子の出力均一性を検査することを特徴とする検査方法を提供する。この場合、前記照明装置は、前記二次元受光素子の受光面をケーラー照明することが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明では、たとえばコレクタレンズのような集光光学系により光源から射出された光束が集光され、その集光位置に光源像が形成される。この集光位置すなわち光源像の形成位置の近傍には、多数のファイバー素線を束ねて構成されたファイバーバンドル（ファイバー束）の入射端が配置されている。すなわち、集光光学系は、ファイバーバンドルの入射端面に応じた所望の大きさおよび各ファイバー素線の特性に応じた所望のＮＡ（光源像からファイバーバンドルへの入射光束の開口数）を有する光源像を形成する。
【００１２】なお、本発明では、ファイバーバンドルを構成する各ファイバー素線は、入射端から射出端までほぼ線形的に大きさが変化する断面を有する。また、本発明では、ファイバーバンドルは他のファイバーバンドルと交換可能に構成されている。具体的には、各ファイバー素線の射出端面の直径Ｄo と入射端面の直径Ｄi との比率Ｄo ／Ｄi が互いに異なる複数のファイバーバンドルが設けられ、複数のファイバーバンドルから選択された１つのファイバーバンドルが集光光学系とコンデンサー光学系との間の光路中に挿脱可能に装着されている。ここで、複数のファイバーバンドルには、比率Ｄo ／Ｄi ＝１のファイバーバンドル、すなわち入射端から射出端まで一定の断面を有するファイバー素線からなる通常のファイバーバンドルを含んでいてもよい。
【００１３】ファイバーバンドルの入射端面の近傍に形成された光源像からの光束は、各ファイバー素線の内部で全反射を繰り返した後に、各ファイバー素線の射出端すなわちファイバーバンドルの射出端に達する。こうして、ファイバーバンドルの射出端面には、所定の大きさおよびＮＡを有する光源像が形成される。ファイバーバンドルを構成する各ファイバー素線の射出端から射出された光束は、コンデンサー光学系を介して被照射面へ導かれる。具体的には、各ファイバー素線の射出端からの光束は、コンデンサー光学系によりほぼ平行な光束に変換され、被照射面を重畳的に照明する。こうして、本発明の照明装置では、簡易な構成により、光量損失することなく、均一な光量で被照射面を照明することができる。
【００１４】本発明では、集光光学系を介してファイバーバンドルの入射端面の近傍に形成される光源像の直径Ｉi および開口数ＮＡi （ファイバーバンドルへの入射光束の開口数）と、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の直径Ｉo および開口数ＮＡo （ファイバーバンドルからの射出光束の開口数）との間には、ファイバの伝送損失を無視すると次の式（１）で示す関係が成立する。
Ｉｉ・ＮＡi ＝Ｉo ・ＮＡo （１）
この関係はファイバの各素線にも当然成り立つので、式（１）の関係を次の式（２）で表現しても等価である。
Ｄｉ・ＮＡi ＝Ｄo ・ＮＡo （２）
【００１５】このように、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の直径Ｉo は、ファイバーバンドルの入射端面の近傍に形成される光源像の直径Ｉi のＤo ／Ｄｉ倍に変化する。また、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の開口数すなわちファイバーバンドルからの射出光束の開口数ＮＡo は、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の開口数すなわちファイバーバンドルへの入射光束の開口数ＮＡi のＤｉ／Ｄo 倍に変化する。
【００１６】一方、被照射領域の大きさは、ファイバーバンドルからの射出光束の開口数ＮＡo とコンデンサー光学系の焦点距離ｆとに依存して決定される。すなわち、被照射領域の大きさは、ファイバーバンドルへの入射光束の開口数ＮＡi と、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉと、コンデンサー光学系の焦点距離ｆとに依存して決定される。ここで、ファイバーバンドルへの入射光束の開口数ＮＡi およびコンデンサーレンズの焦点距離ｆの値は通常は装置に固有の固定値であり、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉはファイバーバンドルの交換により変化する値である。したがって、被照射領域の大きさは、ファイバーバンドルの交換により、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉの変化に依存して変更されることになる。具体的には、被照射領域の大きさは、ファイバーバンドルからの射出光束の開口数ＮＡo に比例するので、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉに逆比例することになる。
【００１７】また、被照射面への入射光束の開口数すなわち被照射ＮＡは、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の直径Ｉo とコンデンサーレンズの焦点距離ｆとに依存して決定される。すなわち、被照射ＮＡは、ファイバーバンドルの入射端面の近傍に形成される光源像の直径Ｉi と、ファイバーバンドルの比率Ｄo／Ｄｉと、コンデンサーレンズの焦点距離ｆとに依存して決定される。ここで、ファイバーバンドルの入射端面の近傍に形成される光源像の直径Ｉi およびコンデンサーレンズの焦点距離ｆの値は通常は装置に固有の固定値であり、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉはファイバーバンドルの交換により変化する値である。したがって、被照射ＮＡも被照射領域の大きさと同様に、ファイバーバンドルの交換により、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉの変化に依存して変更されることになる。具体的には、被照射ＮＡは、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の直径Ｉo に比例するので、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉに比例することになる。
【００１８】以上のように、本発明では、比率Ｄo ／Ｄｉの互いに異なる複数のファイバーバンドルの間で使用するファイバーバンドルを適宜切り換えるだけで、被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができる。なお、本発明では光均一化素子としてファイバーバンドルを用いているが、このファイバーバンドルの入射端面の近傍に形成された光源像の輝度ムラを分散させるために、入射端面の各ファイバー素線と射出端面の各ファイバー素線との位置関係が対応することがないように多数のファイバー素線をランダムに束ねてファイバーバンドルを構成することが好ましい。
【００１９】また、本発明では、光源と集光光学系とからなる光源部と、コンデンサー光学系からなる照射部との間の光路中に、ファイバーバンドルを挿脱可能に装着している。このため、本発明の照明装置を実際に構成する際に、光源部を収容する光源ボックスと照射部を収容する照射ボックスとを機械的に分離させることができる。したがって、光源を構成するランプの寿命によりその交換が必要になっても、装置全体を移動させることなく、比較的小型で軽量の光源ボックスだけを所定の作業場所へ移動させ、ランプを交換した後に再び元の位置へ戻せばよいことになる。すなわち、本発明の照明装置では、ランプ交換の作業性が著しく向上する。以上のように、本発明の照明装置では、簡易な構成により光量損失することなく均一な光量で照明することができるだけでなく、被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができ、且つランプ交換の作業性が向上する。
【００２０】したがって、本発明の照明装置を用いて、たとえばＣＣＤのような２次元受光素子の受光面を均一な光量でケーラー照明することによって、ＣＣＤの各微小画素の出力に基づいて出力均一性の検査を精度良く行うことができる。特にＣＣＤの場合には様々なサイズが存在するが、本発明の照明装置では被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができるので、検査すべきＣＣＤのサイズの変化に応じて被照射領域の大きさなどを適宜変化させ、光量損失のない均一な光量照明により出力均一性の検査を精度良く且つ迅速に行うことができる。
【００２１】以下、本発明の各実施例を、添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施例にかかる照明装置の構成を概略的に示す図である。図１の照明装置において、たとえばハロゲンランプのような光源１から射出された光束は、コレクタレンズ２により集光され、所定の大きさおよびＮＡを有する光源像を形成する。この光源像の形成位置には、多数のファイバー素線をランダムに束ねて構成されたファイバーバンドル３１の入射端が配置されている。
【００２２】ファイバーバンドル３１の入射端面に形成された光源像からの光束は、ファイバーバンドル３１を構成する各ファイバー素線内に入射する。各ファイバー素線内に入射した光束は、その内部で全反射を繰り返した後に、各ファイバー素線の射出端すなわちファイバーバンドル３１の射出端に達する。こうして、ファイバーバンドル３１の射出端面には、所定の大きさおよびＮＡを有する光源像が形成される。
【００２３】ファイバーバンドル３１を構成する各ファイバー素線の射出端から射出された光束は、コンデンサーレンズ４により平行光束に変換され、被照射面５を重畳的に照明する。ここで、コンデンサーレンズ４は、ファイバーバンドル３１の射出端面に形成された光源像を二次光源として被照射面５をいわゆるケーラー照明するように配置されている。こうして、本実施例の照明装置では、簡易な構成により、光量損失することなく、均一な光量で被照射面５をケーラー照明することができる。
【００２４】なお、ファイバーバンドル３１は、コレクタレンズ２とコンデンサーレンズ４との間の光路中において挿脱可能に装着されている。すなわち、ファイバーバンドル３１は、他のファイバーバンドルと交換可能に構成されている。本実施例では、ファイバーバンドル３１と交換可能なファイバーバンドルとして、２つのファイバーバンドル３２および３３を備えている。ここで、ファイバーバンドル３１〜３３はともに多数のファイバー素線をランダムに束ねて構成されているが、比率Ｄo ／Ｄi が互いに異なっている。そして、ファイバーバンドル３１および３２を構成する各ファイバー素線の直径は入射端から射出端にかけて線形的に増大し、ファイバーバンドル３３を構成する各ファイバー素線の直径は入射端から射出端にかけて線形的に減少している。
【００２５】ただし、各ファイバーバンドル３１〜３３を構成するファイバー素線の本数は互いに同じである。また、各ファイバーバンドル３１〜３３において、ファイバー素線の入射端面の直径は互いに等しい。したがって、ファイバーバンドル３１〜３３の入射端面の大きさは互いに等しい。そして、コレクタレンズ２により形成される光源像の大きさは、ファイバーバンドル３１〜３３の入射端面の大きさよりもわずかに小さく設定されている。以下、本実施例の作用を数値的に説明するために、ファイバーバンドル３１の比率Ｄo ／Ｄi が１．５であり、ファイバーバンドル３２の比率Ｄo ／Ｄi が２であり、ファイバーバンドル３３の比率Ｄo ／Ｄi が１／２であるものとする。
【００２６】まず、コレクタレンズ２とコンデンサーレンズ４との間の光路中においてファイバーバンドル３１が装着されている場合、その比率Ｄo ／Ｄi は１．５であるから、前述の式（１）、（２）を参照すると、ファイバーバンドル３１の射出端面に形成される光源像の大きさは、ファイバーバンドル３１の入射端面に形成された光源像の大きさの１．５倍となる。また、前述の式（１）を参照すると、ファイバーバンドル３１の射出端面に形成される光源像からの光束のＮＡは、ファイバーバンドル３１の入射端面に形成された光源像からの光束のＮＡの１／１．５≒０．６７倍となる。
【００２７】次いで、コレクタレンズ２とコンデンサーレンズ４との間の光路中において、ファイバーバンドル３１に代えてファイバーバンドル３２または３３を装着すると、その比率Ｄo ／Ｄi は２または１／２であるから、ファイバーバンドル３２または３３の射出端面に形成される光源像の大きさは、ファイバーバンドル３２または３３の入射端面に形成された光源像の大きさの２倍または１／２倍となる。また、ファイバーバンドル３２または３３の射出端面に形成される光源像からの光束のＮＡは、ファイバーバンドル３２または３３の入射端面に形成された光源像からの光束のＮＡの１／２＝０．５倍または２／１＝２倍となる。
【００２８】前述したように、被照射領域の大きさは、各ファイバーバンドル３１〜３３への入射光束の開口数ＮＡi と、各ファイバーバンドル３１〜３３の比率Ｄo ／Ｄｉと、コンデンサーレンズ４の焦点距離ｆとに依存して決定される。ただし、本実施例では、各ファイバーバンドル３１〜３３の入射端面に形成される光源像の開口数すなわち各ファイバーバンドル３１〜３３への入射光束の開口数ＮＡi は一定であり、且つコンデンサーレンズ４の焦点距離ｆの値も一定である。したがって、被照射領域の大きさは、ファイバーバンドルの交換により、各ファイバーバンドル３１〜３３の比率Ｄo ／Ｄｉの変化に依存して変更されることになる。
【００２９】また、前述したように、被照射ＮＡは、各ファイバーバンドル３１〜３３の入射端面に形成される光源像の直径Ｉi と、各ファイバーバンドル３１〜３３の比率Ｄo ／Ｄｉと、コンデンサーレンズ４の焦点距離ｆとに依存して決定される。ただし、本実施例では、各ファイバーバンドル３１〜３３の入射端面に形成される光源像の大きさすなわちその直径Ｉi は一定であり、且つコンデンサーレンズ４の焦点距離ｆの値も一定である。したがって、被照射ＮＡも被照射領域の大きさと同様に、ファイバーバンドルの交換により、各ファイバーバンドル３１〜３３の比率Ｄo ／Ｄｉの変化に依存して変更されることになる。
【００３０】以上のように、本実施例では、比率Ｄo ／Ｄｉの互いに異なる３つのファイバーバンドル３１〜３３の間で光路中に装着するファイバーバンドルを適宜切り換えるだけで、換言するとファイバーバンドルを適宜交換するだけで、被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができる。具体的には、被照射領域の大きさは、ファイバーバンドルからの射出光束の開口数ＮＡo に比例するので、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉに逆比例することになる。また、被照射ＮＡは、ファイバーバンドルの射出端面に形成される光源像の直径Ｉo に比例するので、ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉに比例することになる。
【００３１】また、本実施例では、光源１とコレクタレンズ２とを一体的に収容する光源ボックスと、コンデンサーレンズ４を収容する照射ボックスと、２つのボックスを交換可能に接続する３つのファイバーバンドル３１〜３３とで照明装置を構成することができる。すなわち、光源１を収容する光源ボックスと照射ボックスとを機械的に分離させることができる。したがって、光源１を構成するランプの寿命によりその交換が必要になっても、装置全体を移動させることなく、比較的小型で軽量の光源ボックスだけを所定の作業場所へ移動させ、ランプを交換した後に再び元の位置へ戻せばよいことになる。すなわち、本実施例の照明装置では、ランプ交換の作業性が著しく向上する。
【００３２】以上のように、本実施例の照明装置では、簡易な構成により光量損失することなく均一な光量で照明することができるだけでなく、被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができ、且つランプ交換の作業性が向上する。
【００３３】したがって、本実施例の照明装置を用いて、たとえばＣＣＤのような固体撮像素子の受光面を均一な光量でケーラー照明することによって、ＣＣＤの各微小画素の出力に基づいて出力均一性の検査を精度良く行うことができる。特にＣＣＤの場合には、たとえば１／５インチ、１／４インチ、１／２インチ、２／３インチ、１インチなど様々なサイズが存在するが、本実施例の照明装置では被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができるので、検査すべきＣＣＤのサイズの変化に応じて被照射領域の大きさなどを適宜変化させ、光量損失のない均一な光量照明により出力均一性の検査を精度良く且つ迅速に行うことができる。
【００３４】なお、上述の実施例では、比率Ｄo ／Ｄｉが１．５、２および１／２の３つのファイバーバンドル３１〜３３を備えているが、検査すべき２次元受光素子の受光面のサイズおよびその種類などに応じて適当な比率Ｄo ／Ｄｉを有する適当数のファイバーバンドルを設ければよい。この場合、各ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉは、次の条件式（３）を満足することが好ましい。
０．５≦Ｄｏ／Ｄｉ≦２ （３）
【００３５】条件式（３）の上限値および下限値で規定される範囲を逸脱すると、ファイバーバンドルを構成する各ファイバー素線の製造が困難になるので好ましくない。条件式（３）の範囲を満足するように各ファイバーバンドルの比率Ｄo ／Ｄｉを規定しても、たとえば１／４インチ〜１インチまでの広範囲なサイズのＣＣＤの検査に対応することができる。なお、交換可能な複数のファイバーバンドルには、比率Ｄo ／Ｄi ＝１のファイバーバンドル、すなわち入射端から射出端まで一定の断面を有するファイバー素線からなる通常のファイバーバンドルを含んでいてもよい。
【００３６】また、上述の実施例では、光源１からの光束に基づいてコレクタレンズ２により形成される光源像の大きさおよびＮＡが一定である場合について説明しているが、コレクタレンズ２をズームレンズとして構成することにより、あるいは焦点距離の異なる複数のコレクタレンズを切り換えることにより、光源像の大きさおよびＮＡをある程度変化させることもできる。ただし、この場合には、コレクタレンズ２の焦点距離の変化に応じて光源１の配置を変更しなけばならないことはいうまでもない。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の照明装置では、簡易な構成により、光量損失することなく、均一な光量で被照射面を照明することができる。また、比率Ｄo ／Ｄｉの互いに異なる複数のファイバーバンドルの間で使用するファイバーバンドルを適宜切り換えるだけで、被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができる。さらに、装置全体を移動させることなく、比較的小型で軽量の光源ボックスだけを所定の作業場所へ移動させ、ランプを交換した後に再び元の位置へ戻せばよいので、ランプ交換の作業性が著しく向上する。
【００３８】また、本発明の照明装置では被照射領域の大きさおよび被照射ＮＡを容易に変更することができるので、検査すべきＣＣＤのサイズの変化に応じて被照射領域の大きさなどを適宜変化させ、光量損失のない均一な光量照明により出力均一性の検査を精度良く且つ迅速に行うことができる。
【出願人】 【識別番号】０００００４１１２
【氏名又は名称】株式会社ニコン
【出願日】 平成１０年１１月１０日（１９９８．１１．１０）
【代理人】 【識別番号】１０００９５２５６
【弁理士】
【氏名又は名称】山口 孝雄
【公開番号】 特開２０００−１４９６０７（Ｐ２０００−１４９６０７Ａ）
【公開日】 平成１２年５月３０日（２０００．５．３０）
【出願番号】 特願平１０−３１８４５１