| 【発明の名称】 |
ガス供給装置とそのガス供給方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】菅原 一郎
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| 【要約】 |
【課題】半導体製造装置に用いられるガス充填容器交換時のパージ用不活性ガスの消費量を極力抑えると共に、充填管脱着時の自由度と作業性を損なわずに充填管内への大気流入の防止を可能にしたガス供給装置を提供する。
【解決手段】自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインと、逆止弁４、開閉弁５を備えた不活性ガスパージラインと、逆止弁７、開閉弁６を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管１４とで構成したガス供給装置において、前記充填管１４に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、前記第２のポートに連通し且つ容器元栓８の口金接続用の第３のポートとを設け、前記第１のポートと第２のポートとの間に開閉可能な分流弁１０を設けたことを特徴とする。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の常時開放の第２のポートと、前記第２のポートに連通し且つ容器元栓の口金接続用の常時開放の第３のポートとを設け、前記第１のポートと第２のポートとの間に開閉可能な分流弁を設けたことを特徴とするガス供給装置。
【請求項２】 前記充填管の第2のポートに、不活性ガスパージラインへのガスの流入を阻止する逆止弁を一体的に設けたことを特徴とする請求項１記載のガス供給装置。
【請求項３】 実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設けると共に、前記第３のポートに対し、前記第１のポートと第２のポートとを選択的に切換える切換弁を一体的に設けたことを特徴とするガス供給装置。
【請求項４】 実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設け、前記第１のポートに実ガス送気方向にのみ開く第１の逆止弁を一体的に設けると共に、前記第２のポートに不活性ガスパージラインへのガスの流入を阻止する第２の逆止弁を一体的に設けたことを特徴とするガス供給装置。
【請求項５】 前記排気ラインは、実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁より前記ガス充填容器側の実ガス送気ラインから分岐して設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のガス供給装置。
【請求項６】 実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成し、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設けたガス供給装置のガス供給方法であって、前記充填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の前記実ガス送気ラインを不活性ガスでパージ置換する第１の工程と、前記充填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の実ガス送気ライン内の不活性ガスを実ガス送気ライン内に閉じ込める第２の工程と、前記充填管の第３のポートを前記ガス充填容器から取り外すと共に、前記第３のポートに不活性ガスを供給する第３の工程と、前記充填管の第３のポートを交換用のガス充填容器に接続する第４の工程と、前記充填管の第３のポートと実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の実ガス送気ラインを真空にする第５の工程と、前記交換用のガス充填容器から所定のガスを前記実ガス送気ラインに供給する第６の工程と、を含むことを特徴とするガス供給装置のガス供給方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造に用いられる特殊材料ガスのガス供給装置とそのガス供給方法に係り、特に、ガス充填容器交換の際に、取り外した充填管の口金接続部の開口部より配管内に大気の流入を防止する機能を備えるガス供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体用特殊材料ガスのガス供給装置は、図８に示す通り、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するためのパージ逆止弁４、パージ開閉弁５、止め弁２１を備えた不活性ガスパージラインと、配管内の残ガス及びパージガスの排気をするための排気開閉弁６、排気逆止弁７を備えた排気ラインと、これらのガス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を接続する止め弁付二重充填管１８を有している。
【０００３】この止め弁付二重充填管１８の口金接続部はガス充填容器９の交換の際に取り付け取り外しがあるため、固定配管ではなくある程度自由度をもたせた構造にしている。そして、その口金接続部は、図９に示すように不活性ガスパージラインの止め弁２１の部分を含めた溶接一体構造のものが多い。半導体用特殊材料ガスには可燃性や毒性、腐食性といった危険性の高いガスが多くあり、ガス充填容器９の交換においては、容器元栓８を閉めた後に止め弁付二重充填管１８内部の残ガスを不活性ガスにて排気ラインにパージ置換し安全な状態にしてから口金接続部を外している。
【０００４】そして、新しいガス充填容器に交換する場合、外した口金接続部を再度接続し、気密試験後に再び止め弁付二重充填管１８内部に侵入した大気を不活性ガスにて排気ラインにパージ置換し、更には排気ラインより配管内を真空引きしてから容器元栓８を開けて実ガス置換後に送気に切り替えるといった操作手順が一般的である。
【０００５】また、半導体用特殊材料ガスは極めて高純度のガスが求められているために、ガス充填容器交換の際の脱着により大気に曝露される止め弁付二重充填管１８の口金接続部の口元配管内部においても、大気が侵入して内壁に大気中の水分や汚染物質、パーティクル等が吸着されないように、開放中は図９の太い実線矢印で示すように不活性ガスパージラインから口金接続部の開口部に向けて不活性ガスをパージしている。不活性ガスとしては、窒素ガスやアルゴンガスが一般的に用いられている。
【０００６】図１０は、特開平２−２０３１００号公報をもとにした従来のガス供給装置（以下、公知例１という）の構成図である。実ガス送気ラインには自動遮断弁１が設けられ、不活性ガスパージラインにはパージ逆止弁４、パージ開閉弁５、更にバイパス開閉弁２２が設けられている。尚、排気ラインは省略している。
【０００７】そして、図１１に示すように、前記したガス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部にガス流路を接続する二重充填管１９は、溶接一体構造になっている。この例の場合、ガス充填容器９の交換の際に取り外した二重充填管１９の口金接続部の開口部より配管内に大気の流入を防止するため、取り外している間は不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５とバイパス開閉弁２２の両方を開き、二重充填管１９を構成する２つのガス流路から図１１の太い実線矢印で示すように口金接続部の開口部に向けて不活性ガスをパージしている。
【０００８】図１２は、特開平７−２２２３号公報をもとにした従来のガス供給装置（以下、公知例２という）の構成図である。実ガス送気ラインには自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３が設けられ、不活性ガスパージラインにはパージ開閉弁５、充填管パージ逆止弁１１が設けられている。排気ラインへの単独の開閉弁はなく、切換逆止弁付充填管２０に組み込まれた切換弁１２がこのラインへの開閉機能を司っている。
【０００９】そして、これらのガス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を接続する切換逆止弁付充填管２０もまた充填管パージ逆止弁１１を含め切換弁１２を組み込んだ溶接一体構造のものが多い。この例の場合、ガス充填容器９の交換の際に取り外した切換逆止弁付充填管２０の口金接続部の開口部より配管内に大気の流入を防止するため、取り外している間は切換逆止弁付充填管２０に組み込まれた切換弁１２が排気ライン側に開放され、実ガス送気ライン側が閉じる。また、不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５が開き、図１３の太い実線矢印で示すように口金接続部の開口部と排気ラインの２方向に向けて不活性ガスをパージしている。
【００１０】しかし、上記した従来の装置では、以下のような問題があった。第１の問題点は、公知例１及び公知例２の場合においては、ガス充填容器交換の際の不活性ガスパージ量が多くなり不経済なことである。その理由は、図１０の公知例１の場合では大気解放されるガス流路が２つあり、不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５とバイパス開閉弁２２の両方を開きパージするため、配管内に大気が逆拡散しない流量は２流路分必要となるからである。叉、図１２の公知例２の場合では不活性ガスをパージしても通常陰圧になっている排気ラインに不活性ガスが引き込まれるため、口金接続部の開口部側にも流れるようにするには排気ラインの排気能力以上の量を流す必要があるからである。
【００１１】第２の問題点は、公知例１の場合、不活性ガスパージラインにバイパス開閉弁２２が追加されるため、配管構成及びその操作や制御系の構成が複雑になることである。第３の問題点は、公知例２の場合、ガス充填容器交換の際の切換逆止弁付充填管２０の口金接続部の脱着取扱い振り回しが困難になることである。
【００１２】その理由は、切換逆止弁付充填管２０に集合するガス流路配管が実ガス送気ラインと不活性ガスパージラインと排気ラインの３つになるからである。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を改良し、特に、半導体製造装置に用いられるガス充填容器の交換の際にパージする不活性ガスの消費量を極力抑えると共に、充填管脱着時の自由度と作業性を損なわずに充填管の配管内に大気の流入を防止することを可能にした新規なガス供給装置とそのガス供給方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を達成するため、基本的には、以下に記載されたような技術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わるガス供給装置の第１態様は、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の常時開放の第２のポートと、前記第２のポートに連通し且つ容器元栓の口金接続用の常時開放の第３のポートとを設け、前記第１のポートと第２のポートとの間に開閉可能な分流弁を設けたことを特徴とするものであり、叉、第２態様は、前記充填管の第２のポートに、不活性ガスパージラインへのガスの流入を阻止する逆止弁を一体的に設けたことを特徴とするものであり、叉、第３態様は、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設けると共に、前記第３のポートに対し、前記第１のポートと第２のポートとを選択的に切換える切換弁を一体的に設けたことを特徴とするものであり、叉、第４態様は、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設け、前記第１のポートに実ガス送気方向にのみ開く第１の逆止弁を一体的に設けると共に、前記第２のポートに不活性ガスパージラインへのガスの流入を阻止する第２の逆止弁を一体的に設けたことを特徴とするものであり、叉、第５態様は、前記排気ラインは、実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁より前記ガス充填容器側の実ガス送気ラインから分岐して設けられていることを特徴とするものである。
【００１５】叉、本発明に係わるガス供給装置のガス供給方法の態様は、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管とで構成し、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設けたガス供給装置のガス供給方法であって、前記充填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の前記実ガス送気ラインを不活性ガスでパージ置換する第１の工程と、前記充填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の実ガス送気ライン内の不活性ガスを実ガス送気ライン内に閉じ込める第２の工程と、前記充填管の第３のポートを前記ガス充填容器から取り外すと共に、前記第３のポートに不活性ガスを供給する第３の工程と、前記充填管の第３のポートを交換用のガス充填容器に接続する第４の工程と、前記充填管の第３のポートと実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の実ガス送気ラインを真空にする第５の工程と、前記交換用のガス充填容器から所定のガスを前記実ガス送気ラインに供給する第６の工程と、を含むことを特徴とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係わるガス供給装置の実施の形態について説明する。図１を参照すると、本発明の形態は実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するためのパージ逆止弁４、パージ開閉弁５を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための排気逆止弁７、排気開閉弁６を備えた排気ラインと、これらのガス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を接続する分流弁付充填管１４を有する。分流弁付充填管１４は実ガス送気ラインと不活性ガスパージラインの２本の自由度をもったガス流路配管と容器元栓８の口金接続部直近に分流弁１０を設けて合流する。
【００１７】分流弁１０の３つのポートは、図２に示すように２つの常時開放ポートを不活性ガスパージライン側と容器元栓８の口金接続部側に設け、分流開閉ポートを実ガス送気ライン側に設ける。尚、排気ラインは分流弁付充填管１４の実ガス送気ラインから実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインに入る直前で分岐して構成する。
【００１８】このように構成したガス供給装置の動作について、図３を参照して説明する。ガス充填容器交換の際には、まず始めに分流弁付充填管１４の配管内の実ガスを図３（ｂ）に示すように不活性ガスでパージ置換する。即ち、排気ラインの排気開閉弁６と分流弁付充填管１４にある分流弁１０を開き、配管内の残ガスを排気すると同時に、内圧が抜けると不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５を開き、図３（ｂ）の太い実線で示す配管内に不活性ガスを流し、配管内を不活性ガスで置換する。その後、排気ラインの排気開閉弁６を閉じ、次に分流弁付充填管１４にある分流弁１０を閉じて配管内に不活性ガスを封じ込める。この状態で図３（ｃ）に示すように、分流弁付充填管１４の口金接続部を取り外す。不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５が開いているため、口金接続部を外している間は不活性ガスが口金接続部の開口部に向けて図３（ｃ）の太い実線で示す配管内を流れるので口金接続部の開口部の配管から大気が侵入するのを防ぐことができる。図３（ｃ）に示す状態で、新しいガス充填容器に交換して分流弁付充填管１４の口金接続部を再度接続する。その後、接続部の気密試験を経て再び図３（ｂ）の配管内パージ置換を行う。
【００１９】このようにして、本発明では、大気侵入の防止を可能にしている。
【００２０】
【実施例】以下に、本発明に係わるガス供給装置とそのガスの供給方法の具体例を図面を参照しながら詳細に説明する。
（第１の具体例）図１は、本発明に係わるガス供給装置の具体例の構造を示す図であって、図１には、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁４、開閉弁５を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁７、開閉弁６を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管１４とで構成したガス供給装置において、前記充填管１４に実ガス送気ライン接続用の第１のポート３１と、不活性ガスパージライン接続用の常時開放の第２のポート３２と、前記第２のポート３２に連通し且つ容器元栓８の口金接続用の常時開放の第３のポート３３とを設け、前記第１のポート３１と第２のポート３２との間に開閉可能な分流弁１０を設けたガス供給装置が示されている。
【００２１】叉、前記排気ラインは、実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁１より前記ガス充填容器９側の実ガス送気ラインから分岐して設けられているガス供給装置が示されている。以下に、図１〜図３を用いて更に詳細に説明する。図１は本発明の配管系統図、図２は図１における口金接続部開放時の不活性ガス流路を示す断面図、図３は本発明の動作を説明する図である。
【００２２】本発明の第１の具体例の構成は、実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するためのパージ逆止弁４、パージ開閉弁５を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするための排気逆止弁７、排気開閉弁６を備えた排気ラインと、これらのガス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を接続する分流弁付充填管１４とで構成したものである。
【００２３】分流弁付充填管１４は実ガス送気ラインと不活性ガスパージラインの２本の自由度をもったガス流路配管と容器元栓８の口金接続部と、この口金接続部直近に設けた分流弁とからなり、図２に示すように、分流弁１０の３つのポートの内、第２のポート３２は、不活性ガスパージラインに接続する不活性ガスパージライン側の常時開放ポートであり、第３のポート３３は、容器元栓８の口金接続部に接続する口金接続部側の常時開放ポートであり、第１のポート３１は、上記第２のポート３２及び第３のポート３３から分流弁１０を介して設けられた実ガス送気ライン側のポートである。
【００２４】尚、排気ラインは分流弁付充填管１４の実ガス送気ラインから実ガスを消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ラインに入る直前で分岐して設けられている。不活性ガスとしては高純度の窒素ガスまたはアルゴンガスを用いる。また、排気ラインは排気設備や除害設備、真空ポンプ等に繋がっており、配管系の一連の動作に対して対応できるようになっている。
【００２５】次に、この具体例の動作について図２及び図３を参照して説明する。図３（ａ）はガス供給装置が停止スタンバイの状態を示すもので、すべての開閉弁が閉じており配管内にガスは流れていない。ガス充填容器９の交換の際には、まず始めに分流弁付充填管１４の配管内の実ガスを、図３（ｂ）に示すように、不活性ガスでパージ置換する。排気ラインの排気開閉弁６と分流弁付充填管１４にある分流弁１０を開き、配管内の残ガスを排気すると同時に、内圧が抜けると不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５を開き、図３（ｂ）の太い実線で示す配管内に不活性ガスを流す。排気ラインからの真空引きと不活性ガスを流すことを交互に繰り返す回分パージ等により太い実線で示す配管内は不活性ガスに置換される。その後、排気ラインの排気開閉弁６を閉じ、次に分流弁付充填管１４にある分流弁１０を閉じて配管内に不活性ガスを封じ込める。この状態で図３（ｃ）に示すように分流弁付充填管１４の口金接続部を取り外す。不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５が開いているため、口金接続部を外している間は、図３（ｃ）の太い実線で示すように、不活性ガスが口金接続部の開口部に向けて配管内を流れる。この場合、公知例と異なり、不活性ガスパージラインは１本であり、また通常、分流弁付充填管１４の配管内径は１．８ｍｍ程度と小さいため、ごく少量の不活性ガス流量（毎分１０リットル程度）で口金接続部の開口部の配管から大気が侵入するのを防ぐことができる。
【００２６】そして、図３（ｃ）に示す状態で新しいガス充填容器に交換して分流弁付充填管１４の口金接続部を再度接続する。その後、接続部の気密試験を経て、再び図３（ｂ）の配管内のガスのパージ置換を行うが、大気侵入がほとんどないので回分パージ等は簡略化できる。不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５を閉じ、排気ラインの排気開閉弁６と分流弁付充填管１４にある分流弁１０を開け、排気ラインより配管内を真空引きした後、排気ラインの排気開閉弁６を閉じて配管内を真空状態にする。その後、容器元栓８を開けて実ガス置換後に実ガス送気ラインの自動遮断弁１と送気弁３を開けると、図３（ｄ）の太い実線で示す配管内に実ガスが入り送気状態となる。
【００２７】（第２の具体例）次に、本発明の第２の具体例について図４の配管系統図を参照して説明する。第２の具体例では、前記した第１の具体例の図１の構成において、分流弁１０の不活性ガスパージライン側に充填管パージ逆止弁１１を一体的に設けたタイプの分流逆止弁付充填管１５で構成するものである。
【００２８】動作については、基本的には第１の具体例と同じであるが、実ガス送気時に、分流逆止弁付充填管１５の不活性ガスパージライン側へは充填管パージ逆止弁１１により実ガスが入らないように構成したものである。実ガスに曝される配管の範囲が少なくなる分、不活性ガスでのパージ置換特性が向上する利点を有する。
（第３の具体例）次に、本発明の第３の具体例について図５、図６を参照して説明する。
【００２９】第３の具体例では、前記した第１の具体例の図１の構成において、分流弁１０を切換弁１２に置き換えたタイプの切換弁付充填管１６で構成したものである。動作については基本的には、第１の具体例と同じであるが、配管内パージ置換においての動作が、まず切換弁１２を実ガス送気ライン側に流れるよう（不活性ガスパージライン側が閉）にしてから不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５を開けて切換弁１２の閉位置まで不活性ガスを流れる状態にし、排気ラインの排気開閉弁６を開けて真空引きしながら切換弁１２を実ガス送気ラインと不活性ガスパージラインに交互に切り換える回分パージにすることで口金接続部と切換弁１２の間を不活性ガスに置換するという方法になる。
【００３０】口金接続部を外している間は不活性ガスが口金接続部の開口部に向けて図６の太い実線で示す配管内を流れる。実ガス送気時においては第２の具体例と同様に、切換弁付充填管１６の不活性ガスパージライン側が閉止状態になるので実ガスは入らないため、実ガスに曝される配管の範囲が少なくなる分、不活性ガスでのパージ置換特性が向上する利点を有する。
【００３１】（第４の具体例）図７は、本発明の第４の具体例の配管系統図である。本発明の第２の具体例の図４の分流弁１０を充填管送気逆止弁１３に置き換え、実ガス送気方向に一方通行にしたタイプの二連逆止弁付充填管１７で構成するものである。
【００３２】動作については基本的には第1の具体例と同じであるが、配管内パージ置換、口金接続部取り外し、実ガス送気の各状態での第１の具体例における分流弁１０の開閉動作が不要になる。更に、実ガス送気時においては、第２の具体例と同様に充填管パージ逆止弁１１により二連逆止弁付充填管１７の不活性ガスパージライン側へは実ガスは入らないため、実ガスに曝される配管の範囲が少なくなる分、不活性ガスでのパージ置換特性が向上する利点を有すると共に、開閉操作の必要な分流弁や切換弁がないので操作性も向上する利点を有する。
【００３３】
【発明の効果】本発明に係わるガス供給装置とそのガス供給方法は上述のように構成したので、以下のような効果を奏する。
（１） 口金接続部を外している間の不活性ガス流路は、不活性ガスパージラインから口金接続部の開口部に向けての一経路になるから、ガス充填容器交換の際に、パージする不活性ガスの消費量を抑えることができ、しかも、充填管の配管内に大気の流入を防止することができる。
【００３４】（２） 配管経路を増やさない構成であるから、充填管脱着時の自由度と作業性を損なわずに、充填管の配管内に大気の流入を防止することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】３９０００１９１５
【氏名又は名称】山形日本電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年７月２８日（１９９８．７．２８） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７０５３０
【弁理士】
【氏名又は名称】畑 泰之
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| 【公開番号】 |
特開２０００−４６３００（Ｐ２０００−４６３００Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年２月１８日（２０００．２．１８） |
| 【出願番号】 |
特願平１０−２１２２９２ |
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