| 【発明の名称】 |
逆止弁 |
| 【発明者】 |
【氏名】木村 美良
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| 【要約】 |
【課題】長期間に亘って確実に弁体を開閉することができ、また、弁体の開閉時にパーティクルの発生を抑制することができ、また、低流量時におけるチャタリングの発生を防止してパーティクルの発生、圧力変動を抑制することができる。
【解決手段】弁体１は一側にガス流入通路１１を有し、他側にガス流出通路２０を有し、中間部に空所２５を有する。空所２５におけるガス流入通路１１の大径の出口側周縁部に弁座２７を設ける。空所２５に弁座２７と対向するように円盤状の弁体２９を設ける。弁本体１と弁体２９との間に前記弁体２９を片持ち式で弁座２７に押圧してガス流入通路１１を開放可能に閉塞するコバルト合金製の板ばねから成る押圧部材３１を設ける。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ガス流入通路およびガス流出通路を有するとともに、これらガス流入通路、ガス流出通路間に空所を有する弁本体と、前記空所における前記ガス流入通路の出口側周縁部に設けられた弁座と、前記空所に前記弁座と対向するように設けられた弁体と、前記弁本体と前記弁体との間に設けられ、前記弁体を片持ち式で前記弁座に押圧して前記ガス流入通路を開放可能に閉塞する板ばね材から成る押圧部材とを備えた逆止弁。
【請求項２】 弁体が円盤状に形成され、ガス流入通路の出口側が大径に形成されて前記弁体の流入ガスによる受圧面積が大きくなるように構成された請求項１記載の逆止弁。
【請求項３】 押圧部材が、弁体との固定部から離隔するに従い、次第に弁体から離隔するように緩やかに傾斜する緩傾斜部と、この緩傾斜部から離隔するに従い、前記緩傾斜部よりも少し急な角度で次第に前記弁体から離隔するように傾斜する急傾斜部とを有し、前記急傾斜部が弁本体の傾斜面に当接され、前記緩傾斜部が前記弁本体の傾斜面の角部を支点として撓み得るように構成された請求項１または２記載の逆止弁。
【請求項４】 押圧部材がコバルト合金から成り、その板厚が約０．０８ｍｍであり、緩傾斜部の弁体に対する傾斜角度が約１０度に設定された請求項３記載の逆止弁。
【請求項５】 押圧部材の先端部がその穴により弁体の背面側の筒状突出部に嵌合され、前記筒状突出部に押さえリングが嵌合されて前記押圧部材の先端部が前記弁体に対して押さえられ、前記筒状突出部の先端部が前記押さえリングにかしめられて前記押さえリングが前記筒状突出部に対して抜止めされ、前記押圧部材の先端部が前記弁体に固定された請求項１ないし４のいずれかに記載の逆止弁。
【請求項６】 押圧部材の基部が溶接により弁本体に固定された請求項１ないし５のいずれかに記載の逆止弁。
【請求項７】 押圧部材の基部が弁本体に挟持されて固定された請求項１ないし５のいずれかに記載の逆止弁。
【請求項８】 押圧部材の基部が弁本体に押さえ部材により押さえられた状態で、この押さえ部材と共に前記弁本体にねじ止めにより固定された請求項１ないし５のいずれかに記載の逆止弁。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に、半導体製造装置における高純度ガス供給系の集積化ガス制御装置に組み込み、若しくはガス配管の途中に接続するなどにより使用するのに適する逆止弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置における高純度ガス供給系で使用されている一般的な逆止弁について図７を参照しながら概略説明すると、以下のように構成されている。本体１０１の一側と他側にガス流入通路１０２とガス流出通路１０３が形成され、本体１０１の中間部にガス流入通路１０２とガス流出通路１０３とに連通する空所１０４が形成され、この空所１０４におけるガス流入通路１０３の出口側周縁部にゴム製の弁座１０５が設けられ、空所１０４に弁体（ポペット）１０６が軸方向に移動可能に設けられ、空所１０４に弁体１０６を弁座１０５に押圧する圧縮ばね１０７が設けられている。
【０００３】そして、ガス流入通路１０２に流入した高純度ガスは、弁体１０６を圧縮ばね１０７の弾性に抗して弁座１０５から離隔させ、空所１０４を通り、ガス流出通路１０３から流出する。何らかのトラブルでガスがガス流出通路１０３に逆流すると、このガスは弁体１０６を圧縮ばね１０７の反撥力と共に弁座１０５に加圧してガス流入通路１０２を閉じ、ガス流入通路１０２側へ流入するのを阻止される。
【０００４】しかしながら、前記従来例の構成では、弁体１０６の開閉時に弁体１０６と圧縮ばね１０７とがこすれ、パーティクルが発生し、高純度ガスに混入してその純度を低下させる。また、弁体１０６はそのガス受圧面積が小さく、ガス流量の影響を受けやすいため、ガスの低流量時に弁体がに円滑に開閉作動せず、チャタリングが発生し、この弁体１０６の振動によりパーティクルが発生して高純度ガスの純度を低下させるばかりでなく、圧力変動によりガス供給流量が不安定となる。
【０００５】そこで、前記従来例の問題を解消すべく、従来の他の逆止弁として、ダイヤフラムを用いて無摺動化した構成が提案されている（特許第２６６８１６７号公報、特開平６−２３５４６９号公報、特開平６−２６５０３５号公報、特開平７−４５４２号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記のような無摺動化逆止弁の構成では、ガスの供給、逆流時の圧力をダイヤフラムが直接受けて撓むため、長時間の使用によりダイヤフラムがへたる。したがって、信頼性および耐久性に難点がある。
【０００７】本発明の目的は、長期間に亘って確実に弁体を開閉することができ、したがって、信頼性および耐久性を向上させることができ、また、弁体の開閉時のパーティクルの発生を抑制することができ、したがって、供給ガスの純度低下を防止することができるようにした逆止弁を提供するにある。
【０００８】本発明の他の目的は、低流量時におけるチャタリングの発生を防止することができてパーティクルの発生を抑制することができるとともに、圧力変動を防止することができ、したがって、更に一層、供給ガスの高純度低下を防止することができるとともに、ガス供給系の流量を安定させることができるようにした逆止弁を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために本発明の逆止弁は、ガス流入通路およびガス流出通路を有するとともに、これらガス流入通路、ガス流出通路間に空所を有する弁本体と、前記空所における前記ガス流入通路の出口側周縁部に設けられた弁座と、前記空所に前記弁座と対向するように設けられた弁体と、前記弁本体と前記弁体との間に設けられ、前記弁体を片持ち式で前記弁座に押圧して前記ガス流入通路を開放可能に閉塞する板ばね材から成る押圧部材とを備えたものである。
【００１０】上記課題を解決するために本発明の他の逆止弁は、前記構成において、弁体が円盤状に形成され、ガス流入通路の出口側が大径に形成されて前記弁体の流入ガスによる受圧面積が大きくなるように構成されたものである。
【００１１】前記各構成において、押圧部材が、弁体との固定部から離隔するに従い、次第に弁体から離隔するように緩やかに傾斜する緩傾斜部と、この緩傾斜部から離隔するに従い、前記緩傾斜部よりも少し急な角度で次第に前記弁体から離隔するように傾斜する急傾斜部とを有し、前記急傾斜部を弁本体の傾斜面に当接させ、前記緩傾斜部を前記弁本体の傾斜面の角部が支点となって撓み得るように構成することができ、この場合、押圧部材をコバルト合金によりその板厚が約０．０８ｍｍとなるように形成するとともに、前記緩傾斜部の前記弁体に対する傾斜角度を約１０度に設定するのが好ましい。
【００１２】前記各構成において、押圧部材の先端部をその穴により弁体の背面側の筒状突出部に嵌合し、前記筒状突出部に押さえリングを嵌合して前記押圧部材の先端部を前記弁体に対して押さえ、前記筒状突出部の先端部を前記押さえリングにかしめて前記押さえリングを前記筒状突出部に対して抜止めし、前記押圧部材の先端部を前記弁体に固定することができる。
【００１３】前記各構成において、押圧部材の基部を溶接により弁本体に固定し、または押圧部材の基部を弁本体に挟持させて固定し、または押圧部材の基部を弁本体の押さえ部材により押さえた状態で、この押さえ部材と共に前記弁本体にねじ止めにより固定することができる。
【００１４】前記のように構成された本発明によれば、弁体を片持ち式に支持し、弁体の開閉に用いる押圧部材を板ばねにより形成し、しかも、この押圧部材は弁体を開く際に撓み、弁体を閉じる際に弾性復元するだけであり、圧力を直接受けることがないので、圧力を直接受ける従来例のダイヤフラムのように部分的に無理な力が加わらないようにし、長期間に亘って確実に弁体を開閉することができる。また、板ばねから成る押圧部材により弁体を片持ち式に支持して弁体を全体としてスイング式に回動させてガス流入通路を開閉するようにしているので、弁体開閉時のこすれを抑制してパーティクルの発生を抑制することができる。
【００１５】また、弁体を円盤状に形成し、ガス流入通路の出口側を大径に形成して弁体の流入ガスによる受圧面積を大きくなるように構成することにより、ガスの低流量時においても弁体を安定状態で確実に開閉することができるので、チャタリングの発生を防止することができてパーティクルの発生を抑制することができるとともに、圧力変動を防止することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１は本発明の第１の実施形態に係る逆止弁を示し、弁体を弁座に当接させてガス流入通路を閉じた状態の縦断面図である。
【００１７】図１に示すように、弁本体１はステンレス等から成るガス流入側本体２、ステンレス等から成るガス流出側本体３、ステンレス等から成る締付具４等から構成されている。ガス流入側本体２は一側部に小径部５が形成され、中間部に中間径部６が形成され、他側部に大径部７が形成されている。小径部５の外周にはねじ８が形成され、中間径部６の外面には位置合わせ用溝９が形成され、大径部７の外周にはねじ１０が形成されている。小径部５の端面から大径部７に至るガス流入通路１１が軸心に沿うように形成され、このガス流入通路８が大径部側において大径１２に拡開されている。大径部７の内側はガス流入通路８の大径部１２が開放される更に大径の凹入部１３が形成されている。
【００１８】ガス流出側本体３は一側部に小径部１４が形成され、中間部に中間径部１５が形成され、他側部に大径部１６が形成されている。小径部１４の外周にはねじ１７が形成され、中間径部１５の外面には位置合わせ用溝１８が形成され、大径部１６の外周には環状の係止部１９が突設されている。ガス流出側本体３の内側にはガス流出通路２０が形成されている。このガス流出通路２０は大径部１６および中間径部１５においては大径部１６の端面外周部から小径部１４側の軸心部に至る間で傾斜され、小径部１４の内側で軸心に沿うように形成されている。大径部１６の端面においてガス流出通路２０の開放側とは反対側に突出部２１が形成され、突出部２１における外周側は外縁側に至るに従い、次第に中間径部１５側に後退する傾斜面２１ａに形成されている。
【００１９】締付具４は環状に形成され、一側内周にねじ２２が形成され、他側端部内周には小径となる環状の係止部２３が形成されている。ガス流入側本体２の大径部７における凹入部１３の開放側にはガス流出側本体２の大径部１６における端部側が挿入され、大径部７の端面と係止部１９との間にステンレス等から成るガスケット２４が介在されている。ガス流入側本体２の大径部７とガス流出側本体３の大径部１６との外周において、締付具４の係止部２３がガス流出側本体３の係止部１９に係止された状態で締付具４のねじ２２がガス流入側本体２のねじ１０に螺合されて締付けられ、ガス流入側本体２とガス流出側本体３とがガスケット２４を介してシール状態に接続されている。
【００２０】前記のように構成された弁本体１の内側にはガス流入側本体２の大径部７とガス流出側本体３の大径部１６との間で、ガス流入通路１１とガス流出通路２０とに連通する空所（弁室）２５が形成されている。ガス流入側本体２のガス流入通路１１の大径部１２の出口側外周部において段差状の環状溝２６が形成され、この環状溝２６における外周側の浅い部分にゴム製の弁座２７の基部側が挿入され、環状溝２６における内周側の深い部分にステンレス等から成る保持筒２８が圧入され、保持筒２８の先端部が弁座２７に対してかしめられて弁座２７はその先端部側が空所２５内に突出された状態で固定されている。空所２５内には弁体（フラッパー）２９が設けられる。この弁体２９はステンレス等により円盤状に形成され、背面側中央部に筒状部３０が一体に設けられている。筒状部３０には板ばね材、好ましくは、耐食性、ばね性に優れたコバルト合金から成る押圧部材３１の先端部がこの先端部に形成された穴３１ａにより嵌合されている。筒状部３０の外側には押さえリング３２が嵌合されて押圧部材３１の先端部が弁体２９に対して押さえられ、筒状部３０の先端部が押さえリング３２に対してかしめられ、押さえリング３２が抜止めされた状態で、押圧部材３１の先端部が弁体２９と押さえリング３２とで挟持されて固定されている。
【００２１】押圧部材３１は弁体２９との固定部から離隔するに従い、次第に弁体２９から離隔するように緩やかに傾斜する緩傾斜部と、この緩傾斜部から離隔するに従い、前記緩傾斜部よりも少し急な角度で次第に弁体２９から離隔するように傾斜する急傾斜部とを有し、急傾斜部がガス流出側本体３の傾斜面２１ａに当接されてスポット溶接３３により固定され、緩傾斜面が傾斜面２１ａの角部２１ｂを支点として撓み得るようになっている。このような状態で弁体２９は板ばね材から成る押圧部材３１により片持ち式に支持され、押圧部材３１により弁座２７に当接されてガス流入通路１１が閉じられ、ガス流入通路１１から流入するガスの圧力により押圧部材３１の弾性に抗して弁座２７から離隔され、ガス流入通路１１が空所２５に開放されるようになっている。そして、前記のように押圧部材３１は緩傾斜部と急傾斜部との折曲げ部が傾斜面２１ａの角部２１ｂに位置され、この角部２１ｂを支点として撓むようにしているので、弁体２９が弁座２７から離角する際に無理なく撓み、また比較的強い復元弾性により弁体２９を弁座２７に押圧することができる。
【００２２】弁体２９の開放状態については、図示していないが、全体的には板ばねから成る片持ち式の押圧部材３１によりスイング式の開閉動作を行うことになるが、弁体２９が弁座２７から離れる際、若しくは弁座２７に当接する直前において、軸心方向に短い距離で平行移動させ、弁体２９が弁座２７を全くこすることなく離隔し、また、弁体２９がその全周に亘って弁座２７の全周に均等な圧力で当接し、更に、弁体２９の弁座２７に対する適度な加圧力（クラッキング力）を得るようにするには、押圧部材３１の材質、板厚、緩傾斜部のセッティング角度等を適宜選択することにより達成することができる。
【００２３】前記のように構成された逆止弁は、高純度ガス供給ラインの途中にねじ８、１７により接続して使用する。そして、ガスがガス流入通路１１に流入して大径部１２に至ると、そのガス圧力により弁体２９が板ばねから成る押圧部材３１の弾性に抗してスイング式に回動され、ガス流入通路１１が空所２５に連通される。これに伴い、ガスはガス流入通路１１から空所２５を経てガス流出通路２０へ流出する。ここで何らかのトラブルでガスがガス流出通路２０、空所２５に逆流すると、このガスの圧力と押圧部材３１の反撥弾性とにより弁体２９がスイング式に回動されて弁座２７に押圧され、ガス流入通路１１を空所２５に対して閉じる。これによりガス流入通路１１へ逆流するのを防止することができる。
【００２４】このように本実施形態に係る逆止弁によれば、弁体２９を板ばねから成る片持ち式の押圧部材３１により弁座２７に押圧するようにしているので、長期間使用しても押圧部材３１がへたるおそれがなく、弁体２９の押圧力を安定させることができ、耐久性および信頼性を向上させることができる。特に、押圧部材３１の折曲げ部をガス流出側本体３の傾斜面２１ａの角部２１ｂに位置させ、押圧部材３１の緩傾斜部を角部２１ｂを支点として撓むようにすることにより、弁体２９を開く際に押圧部材３１を無理なく撓ませ、弁体２９を閉じる際に比較的強い反撥力によりを弁座２７に押圧することができる。また、押圧部材３１として、耐食性、ばね性の高いコバルト合金を用いることにより、更に一層、弁体２９の押圧力を安定させ、耐久性および信頼性を向上させることができる。また、板ばねから成る片持ち式の押圧部材３１により弁体２９スイング式に回動させるようにし、こすれる部分がほとんどなく、パーティクルの発生を抑制することができるので、供給ガスの純度低下を防止することができる。
【００２５】また、前記のように弁体２９が弁座２７から離れる際、若しくは弁座２７に当接する直前において、弁体２９を平行に移動させることにより、こする部分が全くなくなる無摺動化を図ることができ、更に一層、パーティクルの発生を抑制して供給ガスの純度低下を防止することができ、しかも、確実にガス流入通路１１を閉塞することができる。また、弁体２９を円盤状に形成し、ガス流入通路１１の出口側を大径部１２に形成して弁体２９における流入ガスの受圧面積が大きくなるように構成することにより、ガスの低流量時においても、ガス流の影響をほとんど受けないようにしてチャタリングの発生を防止することができ、更に一層、パーティクルの発生を防止することができて供給ガスの純度低下を防止することができ、しかも、ガス供給系の流量を安定化させることができる。
【００２６】次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図２は本発明の第２の実施形態に係る逆止弁を示す要部の断面図である。
【００２７】本実施例においては、図２に示すように、押圧部材３１の基部がガス流入側本体２の大径部７の端面とガスケット２４との間に挟持状態で固定されたものであり、その他の構成および作用については前記第１実施形態と同様である。
【００２８】次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図３は本発明の第３の実施形態に係る逆止弁を示す要部の断面図である。
【００２９】本実施例においては、図３に示すように、押圧部材３１の基部がガス流出側本体３の傾斜面２１ａに挟持部材３４により挟まれ、押圧部材３１の基部が挟持部材３４と共にねじ３５により傾斜面２１ａに螺着されることにより、押圧部材３１の基部が固定されたものであり、その他の構成および作用については前記第１実施形態と同様である。
【００３０】次に、本発明の第４の実施形態について説明する。図４（ａ）は本発明の第４の実施形態に係る逆止弁を示す要部の断面図である。同図（ｂ）は同逆上弁に用いる押圧部材を示す側面図である。
【００３１】本実施例においては、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、押圧部材３１がリング状に形成され、このリング状の基部がガス流出側本体２の大径部７の端面とガスケット２４との間に挟持状態で固定されたものであり、その他の構成および作用については前記第１の実施形態と同様である。
【００３２】
【実施例】本発明の実施例として、図１の構成において、弁体２９にＳＵＳ３１６Ｌを用い、押圧部材３１にコバルト合金を用いた。そして、押圧部材３１の板厚を約０．０８ｍｍに設定し、押圧部材３１の緩傾斜部を弁体２９、すなわち、軸心と直角の面に対して約１０度となるように設定した。このように設定するとともに、弁体２９のガス受圧面積が大きくなるように設定することにより、弁体２９が弁座２７から離れ、若しくは当接する際に、弁体２９を１ｍｍ程度、平行移動させ、弁座２７とは全くこすらないように、しかも、弁体２９をその全周に亘って弁座２７の全周に均等に加圧した状態で閉塞することができた。そして、図５に示すパーティクル試験ラインのように、高純度ガス供給源４１から高純度窒素ガスを圧力調整弁４２、空圧弁４３、マスフローメータ４４、フィルタ４５を介して本発明実施例における逆止弁４６のガス流入通路１１に流入させ、ガス流出通路２０から流出する高純度窒素ガスをサンプリング管４７に流入させ、ここでレーザパーティクルカウンタで高純度窒素ガス中に含まれるパーティクル数を測定した。レーザパーティクルカウンタの測定粒径は０．０５〜１．００μｍである。なお、前記測定に際し、マスフローメータ４４の上流の空圧弁４３を全開したスタティック状態で測定した。
【００３３】前記パーティクル試験における本発明実施例の逆止弁４６の測定結果と、図５のパーティクル試験ラインにおいて本発明実施例の逆止弁４６に替えて配管を取付けたバックグラウンドの測定結果を図６のグラフに示す。図６から明らかなように、本発明実施例の逆止弁４６を用いた場合には、初期のみパーティクルがＭＡＸで２７個／ｍｉｎ発生したが、その後、５個／ｍｉｎ以下で、ほとんどは０〜１個／ｍｉｎであった。これに対し、図７に示す従来例では、開閉時、０．１μｍ以上のパーティクルが１００〜２００個／ｍｉｎ発生することが知られている。したがって、この試験結果からも本発明実施例の逆止弁４６によれば、パーティクルの発生が激減していることは明らかである。
【００３４】なお、押圧部材３１の基部はこの基部に形成した穴をガス流出側本体３の傾斜面２１ａに突設した突出部に嵌合し、かしめ加工により押圧部材３１の基部を突出部に対して固定するなど、種々の固定方式を採用することができる。また、ガス流入側本体２の大径部７とガス流出側本体３の大径部１６を締付けて接続する手段も前記実施形態の構成に限定されるものではない。また、ガス流入側本体２とガス流出側本体３とを溶接するなど、弁本体１も種々の構成を採用することができる。このほか、本発明は、その基本的技術思想を逸脱しない範囲で種々設計変更することができる。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明したように本発明によれば、弁体を片持ち式に支持し、弁体の開閉に用いる押圧部材を板ばねにより形成し、しかも、この押圧部材は弁体を開く際に撓み、弁体を閉じる際に弾性復元するだけであり、圧力を直接受けることがないので、圧力を直接受ける従来例のダイヤフラムのように部分的に無理な力が加わらないようにし、長期間に亘って確実に弁体を開閉することができる。したがって、信頼性および耐久性を向上させることができる。また、板ばねから成る押圧部材により弁体を片持ち式に支持して弁体を全体としてスイング式に回動させてガス流入通路を開閉するようにしているので、弁体開閉時のこすれを抑制してパーティクルの発生を抑制することができる。したがって、供給ガスの純度低下を防止することができる。
【００３６】弁体を円盤状に形成し、ガス流入通路の出口側を大径に形成して弁体の流入ガスによる受圧面積を大きくなるように構成することにより、ガスの低流量時においても弁体を安定状態で確実に開閉することができるので、チャタリングの発生を防止することができてパーティクルの発生を抑制することができるとともに、圧力変動を防止することができる。したがって、更に一層、供給ガスの純度低下を防止することができるとともに、ガス供給系の流量を安定させることができる。
【００３７】押圧部材が、弁体との固定部から離隔するに従い、次第に弁体から離隔するように緩やかに傾斜する緩傾斜部と、この緩傾斜部から離隔するに従い、前記緩傾斜部よりも少し急な角度で次第に前記弁体から離隔するように傾斜する急傾斜部とを有し、前記急傾斜部を弁本体の傾斜面に当接させ、前記緩傾斜部を前記弁本体の傾斜面の角部を支点として撓み得るように構成することにより、押圧部材を円滑に撓ませて弁体を開くことができ、押圧部材の比較的強い反撥弾性により弁座に対して押圧して確実に閉じることができる。そして、前記押圧部材の材質、板厚、緩傾斜部の弁体（軸心と直角な面）に対する傾斜角度を適宜選択することにより、弁体が弁座から離れる際、若しくは弁座に当接する直前において弁体を平行に移動させ、弁体が弁座と全くこすらない無摺動化を図ってパーティクルの発生を防止することができ、しかも、弁体をその全周に亘って弁座の周囲に均等に当接させて確実にガス流入通路を閉塞することができる。このように弁体を平行移動させるには、押圧部材として、例えば、コバルト合金に用いた場合、その板厚を０．０８ｍｍに設定し、緩傾斜部を弁体に対して約１０度の角度に設定することにより達成することができる。また、押圧部材として耐食性、ばね性に優れたコバルト合金を用いることにより、更に一層、耐久性と信頼性を向上させることができる。
【００３８】押圧部材の先端部をその穴により弁体の背面側の筒状突出部に嵌合し、前記筒状突出部に押さえリングを嵌合して前記押圧部材の先端部を前記弁体に対して押さえ、前記筒状突出部の先端部を前記押さえリングにかしめて前記押さえリングを前記筒状突出部に対して抜止めし、前記押圧部材の先端部を前記弁体に固定することにより、製作時におけるパーティクルの発生の原因を解消することができる。
【００３９】押圧部材の基部を溶接により弁本体に固定し、または押圧部材の基部を弁本体に挟持させて固定し、または押圧部材の基部を弁本体に押さえ部材により押さえた状態で、この押さえ部材と共に前記弁本体にねじ止めにより固定することにより、製作時におけるパーティクルの発生の原因を解消することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００２３２７２６
【氏名又は名称】株式会社ベンカン
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| 【出願日】 |
平成１１年５月７日（１９９９．５．７） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７１５１５
【弁理士】
【氏名又は名称】三宅 景介
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| 【公開番号】 |
特開２０００−３２０７０１（Ｐ２０００−３２０７０１Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年１１月２４日（２０００．１１．２４） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−１２７４６８ |
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