| 【発明の名称】 |
バタフライバルブ |
| 【発明者】 |
【氏名】クリストファー Ｍ．キーン
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| 【要約】 |
【課題】動作寿命が長く、粉塵発生の少ないバタフライバルブ機構を提供する。
【解決手段】閉鎖体３２は、バルブハウジング１２内に取り付けられた、開放位置と中間位置との間で長手軸４２回りに回転可能な主軸４０と、開放位置と閉鎖位置との間で長手軸４２回りに回転可能なクランク軸１１０と、主軸４０に取り付けられ、封止プレート体３０に移動可能に連結されてハブ６０に対する封止プレート体３０の並進移動を許容するハブ６０と、封止プレート体３０に係合し、長手軸４２回りに偏心回転可能なようにクランク軸１１０に取り付けられたボール軸受１２２と、封止プレート７０を中間位置へと付勢するために封止プレート体３０とハブ６０とを連結する１以上のバネ９０，９２を含む。バタフライバルブ１０は、開放位置と閉鎖位置との間で長手軸４２回りにクランク軸１１０を回転させるバルブアクチュエータ３４を備えていてもよい。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】流体導管を有し、バルブ座部が形成されたバルブハウジングと、封止プレートを備えた封止プレート体と、開放位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部から後退した中間位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部と封止係合する閉鎖位置との間で前記封止プレートを移動させる閉鎖体とを含むバタフライバルブであって、前記閉鎖体が、前記バルブハウジング内に取り付けられた、長手軸回りに回転可能な主軸と、前記主軸内に同軸に配置された、前記長手軸回りに回転可能なクランク軸と、前記主軸に取り付けられた、前記主軸と共回転可能なハブであって、前記封止プレート体に移動可能に連結されて前記ハブに対する前記封止プレート体の並進移動を許容するハブと、前記長手軸回りに偏心回転可能なように前記クランク軸に取り付けられたローラであって、前記封止プレート体に係合するローラと、前記封止プレートを中間位置へと付勢するために前記封止プレート体と前記ハブとの間に取り付けられた１以上のバネを含むことを特徴とするバタフライバルブ。
【請求項２】前記主軸が、平坦面を備えており、前記バタフライバルブが、前記封止プレートの開放位置に相当する第１の位置へと前記主軸が回転した時に前記主軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付けられた第１のストップ部と、前記封止プレートの中間位置に相当する第２の位置へと前記主軸が回転した時に前記主軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付けられた第２のストップ部とを更に含む請求項１に記載のバタフライバルブ。
【請求項３】前記第１、第２のストップ部が調節可能である請求項２に記載のバタフライバルブ。
【請求項４】前記主軸の平坦面が前記第２のストップ部と接触すると、前記クランク軸が前記主軸に対して相対回転可能となる請求項２に記載のバタフライバルブ。
【請求項５】前記主軸と前記クランク軸が、前記第１の位置と前記第２の位置との間を約９０゜に亘り回転し、前記クランク軸が、前記主軸の平坦面を前記第２のストップ部に接触させた状態で、前記主軸に対して約１８０゜相対回転し、これによって前記封止プレートを前記中間位置から前記閉鎖位置へと移動させるようになっている請求項２に記載のバタフライバルブ。
【請求項６】前記ローラが、ボール軸受で構成されている請求項１に記載のバタフライバルブ。
【請求項７】前記主軸が、前記ハブの一方側に連結され、前記バルブハウジングに回転可能に取り付けられた中実軸と、前記ハブの他方側に連結され、前記バルブハウジングに回転可能に取り付けられた中空軸とを含んでおり、前記クランク軸が、前記中空軸の内部に取り付けられている請求項１に記載のバタフライバルブ。
【請求項８】前記中実軸が、平坦面を備えており、前記バタフライバルブが、前記封止プレートの開放位置に相当する第１の位置へと前記主軸が回転した時に前記中実軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付けられた第１のストップ部と、前記封止プレートの中間位置に相当する第２の位置へと前記主軸が回転した時に前記中実軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付けられた第２のストップ部とを更に含む請求項７に記載のバタフライバルブ。
【請求項９】前記封止プレート体が、前記ハブに対する前記封止プレートの並進移動の際に前記ハブの孔内を摺動するガイドピンを備えている請求項１に記載のバタフライバルブ。
【請求項１０】前記封止プレート体が、前記バネを保持するための保持プレートを更に含んでいる請求項９に記載のバタフライバルブ。
【請求項１１】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転させるために前記クランク軸に接続されたバルブアクチュエータを更に含み、前記封止プレートが、前記主軸と前記ハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転し、前記封止プレートが、前記主軸に対する前記クランク軸の相対回転および前記長手軸回りの前記ローラの偏心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになっている請求項１に記載のバタフライバルブ。
【請求項１２】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転させるために前記クランク軸に接続されたハンドルを更に含み、前記封止プレートが、前記主軸と前記ハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転し、前記封止プレートが、前記主軸に対する前記クランク軸の相対回転および前記長手軸回りの前記ローラの偏心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになっている請求項１に記載のバタフライバルブ。
【請求項１３】流体導管を有し、バルブ座部が形成されたバルブハウジングと、封止プレートを備え、空洞部が形成された封止プレート体と、開放位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部から後退した中間位置と、前記封止プレートが前記バルブ座部と封止係合する閉鎖位置との間で前記封止プレートを移動させる閉鎖体とを含むバタフライバルブであって、前記閉鎖体が、前記バルブハウジング内に取り付けられた、開放位置と中間位置との間で長手軸回りに回転可能な主軸と、前記バルブハウジング内に取り付けられた、開放位置と閉鎖位置との間で前記長手軸回りに回転可能なクランク軸と、前記主軸に取り付けられ、前記封止プレート体に移動可能に連結されて前記ハブに対する前記封止プレート体の並進移動を許容するハブと、前記長手軸回りに偏心回転可能なように前記クランク軸に取り付けられたローラであって、前記封止プレート体の内部に位置するローラと、前記封止プレートを中間位置へと付勢するために前記封止プレート体と前記ハブとの間に取り付けられたバネ手段とを含むことを特徴とするバタフライバルブ。
【請求項１４】前記主軸が、前記ハブの一方側に連結され、前記バルブハウジングに回転可能に取り付けられた中実軸と、前記ハブの他方側に連結され、前記バルブハウジングに回転可能に取り付けられた中空軸とを含んでおり、前記クランク軸が、前記中空軸の内部に取り付けられている請求項１３に記載のバタフライバルブ。
【請求項１５】前記中実軸が、平坦面を備えており、前記バタフライバルブが、前記封止プレートの開放位置に相当する第１の位置へと前記主軸が回転した時に前記中実軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付けられた第１のストップ部と、前記封止プレートの中間位置に相当する第２の位置へと前記主軸が回転した時に前記中実軸の平坦面に係合するように前記バルブハウジングに取り付けられた第２のストップ部とを更に含む請求項１４に記載のバタフライバルブ。
【請求項１６】前記封止プレート体が、保持プレートを更に含み、前記バネ手段が、前記保持プレートと前記ハブとの間に取り付けられた第１、第２のバネを含む請求項１３に記載のバタフライバルブ。
【請求項１７】前記封止プレート体が、前記ハブに対する前記封止プレート体の並進移動の際に前記ハブの孔内を摺動するガイドピンを更に含む請求項１６に記載のバタフライバルブ。
【請求項１８】前記ローラが、前記長手軸に対して偏心配置された前記クランク軸の延長部に設けられたボール軸受で構成される含む請求項１３に記載のバタフライバルブ。
【請求項１９】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転させるために前記クランク軸に接続されたバルブアクチュエータを更に含み、前記封止プレートが、前記主軸と前記ハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転し、前記封止プレートが、前記主軸に対する前記クランク軸の相対回転および前記長手軸回りの前記ローラの偏心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになっている請求項１３に記載のバタフライバルブ。
【請求項２０】前記長手軸回りに前記クランク軸を回転させるために前記クランク軸に接続されたハンドルを更に含み、前記封止プレートが、前記主軸と前記ハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転し、前記封止プレートが、前記主軸に対する前記クランク軸の相対回転および前記長手軸回りの前記ローラの偏心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになっている請求項１３に記載のバタフライバルブ。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バタフライバルブに関し、特に、動作寿命が長く、粉塵発生の少ないバタフライバルブ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のバタフライバルブ構造は、流体導管とバルブ座部を有するバルブハウジングと、流体導管内で開放位置と閉鎖位置との間を移動可能な封止部材と、開放位置と閉鎖位置との間で封止部材を回転させる機構とを含む。封止部材は、通常、開放位置においては流体の流動方向に平行であり、閉鎖位置においては流体の流動方向に垂直に回転するプレートである。閉鎖位置において、封止部材は、バルブ座部と係合して流体導管を封止する。
【０００３】バタフライバルブは、広範な用途において使用されている。様々な用途には、液体、気体、真空に関わるものがある。用途の中には、開放位置と閉鎖位置間の頻繁なサイクル動作を伴い、長動作寿命および低粉塵発生を必要とするものがある。この様な用途の一例として、半導体ウェハの真空処理用設備におけるものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】半導体装置の形状寸法の小型化と回路密度の増加に伴って、半導体ウェハは益々粉塵汚染に敏感になっている。処理チャンバの真空密封容器内の構成部材、例えば、真空ライン内のバタフライバルブなどは、潜在的な粉塵汚染源である。さらに、バタフライバルブの故障は、半導体製造ラインの一部あるいは全体を停止しなければならず、生産性に悪影響を及ぼす。したがって、長動作寿命と低粉塵発生は、バタフライバルブの重要な特性である。
【０００５】バルブ座部に対して係合、脱離する封止部材の動作は、粉塵汚染と摩耗の潜在的な原因となる。この様な問題を軽減するために、従来のバタフライバルブ設計では、封止部材の回転動作と直線動作を組み合わせて利用してきた。開放位置から封止部材を回転させてバルブ座部に整合させ、直線動作で封止部材をバルブ座部と係合させることによって動作するバタフライバルブが、１９８９年４月４日にＲａｗｓｔｒｏｎに付与された米国特許第４，８１７，９１６号、１９９０年５月１日にｄｅＱｕａｙに付与された米国特許第４，９２１，２１２号、１９９４年７月１９日にＤｅｒｎらに付与された米国特許第５，３３０，１５７号各明細書に開示されている。開示されたバタフライバルブは、それぞれカム構造を備えている。また、シフタロッド／摺動ガイド閉鎖機構を備えた遮断バルブが、１９８７年１月６日にＧｅｉｓｅｒに付与された米国特許第４，６３４，０９４号明細書に開示されている。公知の従来型バタフライバルブ構成は、何れも、動作寿命の制約や高粉塵発生を含む１以上の短所がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、次のバタフライバルブが提供される。このバタフライバルブは、流体導管を有しバルブ座部を形成したバルブハウジングと、封止プレートを備えた封止プレート体と、閉鎖体とを含む。閉鎖体は、開放位置と、封止プレートがバルブ座部から後退した中間位置と、封止プレートがバルブ座部に封止係合する閉鎖位置との間で封止プレートを移動させる。
【０００７】閉鎖体は、バルブハウジング内に取り付けられた、長手軸回りに回転可能な主軸と、主軸内に同軸に配置された、長手軸回りに回転可能なクランク軸と、主軸に取り付けられた、主軸と共回転可能なハブであって、封止プレート体に移動可能に連結されてハブに対する封止プレート体の並進移動を許容するハブと、長手軸回りに偏心回転可能なようにクランク軸に取り付けられた、封止プレート体に係合するローラと、封止プレートを中間位置へと付勢するために封止プレート体とハブとを連結する１以上のバネを含む。
【０００８】バタフライバルブは、バルブアクチュエータが設けられていてもよく、あるいは、手動操作のためのハンドルが設けられていてもよい。バルブアクチュエータは、長手軸回りにクランク軸を回転させるためにクランク軸に接続され、封止プレートは、主軸とハブの回転によって開放位置から中間位置へと回転し、封止プレートは、主軸に対するクランク軸の相対回転および長手軸回りのローラの偏心回転によって中間位置から閉鎖位置へと並進移動するようになっていてもよい。
【０００９】主軸は、ハブの一方側に連結され、バルブハウジングに回転可能に取り付けられた中実軸と、ハブの他方側に連結され、バルブハウジングに回転可能に取り付けられた中空軸とを含んでいてもよい。クランク軸は、偏心構造を有する中実軸であり、中空軸の内部に取り付けられていてもよい。中実軸は、平坦面を備えていてもよい。バタフライバルブは、封止プレートの開放位置に相当する第１の位置へと主軸が回転した時に中実軸の平坦面に係合するようにバルブハウジングに取り付けられた第１のストップ部と、封止プレートの中間位置に相当する第２の位置へと主軸が回転した時に中実軸の平坦面に係合するようにバルブハウジングに取り付けられた第２のストップ部とを更に含んでいてもよい。主軸とクランク軸は、第１の位置と第２の位置との間を約９０゜に亘り回転するようになっていてもよい。クランク軸は、中実軸の平坦面を第２のストップ部に接触させた状態で、主軸に対して約１８０゜相対回転し、これによって封止プレートを中間位置から閉鎖位置へと移動させるようにしてもよい。
【００１０】封止プレート体は、ハブに対する封止プレートの並進移動の際にハブの孔内を摺動するガイドピンを備えていてもよい。封止プレート体は、バネを保持するための保持プレートを更に含んでいてもよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の特徴を組み込んだバタフライバルブの一実施形態を図１〜図８に示す。図１〜図８中の同様の部材は、同じ参照番号を有する。バタフライバルブ１０は、気体または液体の通過のための流体導管１４を有するバルブハウジング１２を備えている。バタフライバルブが真空用途の場合、気体圧は低い。バルブハウジング１２は、下記のように封止プレートとの係合のためのバルブ座部１６が形成されている。流体導管１４を略円筒形とし、バルブ座部１６を円錐台形としてもよい。好ましくは、バルブ座部１６は、封止プレートとバルブ座部との間の流体密封止を確保するために弾性体Ｏリング２０が設けられている。バルブハウジング１２は、複数の取付孔２２（図４）を更に備えていてもよい。
【００１２】バタフライバルブ１０は、封止プレート体３０と、閉鎖体３２（図４〜図６によく示されている）とを更に備えている。バタフライバルブ１０は、バルブアクチュエータ３４を備えていてもよい。閉鎖体３２とバルブアクチュエータ３４の制御の下で、封止プレート体３０は、図１に示す開放位置と、図２、図５に示す中間位置と、図３、図６に示す閉鎖位置との間で移動可能である。開放位置において、封止プレート体３０は、バルブ座部１６と流体導管１４から離反する方向に回転し、液体や気体を通過させる。中間位置（図２）において、封止プレート体３０は、回転してバルブ座部１６と整合するが、バルブ座部１６から離隔している。閉鎖位置（図３）において、封止プレート体３０は、中間位置から並進してバルブ座部１６と係合し、流体導管１４を封止する。閉鎖位置においては、バタフライバルブ１０は閉鎖される。別の構成において、アクチュエータ３４は、バタフライバルブの手動操作のためのハンドルまたはその他の適切な装置と置き換えられる。もちろん、封止プレート体３０は、閉鎖位置から開放位置へと逆方向にも移動可能である。開放と閉鎖の両方において、封止プレート体は中間位置を通過する。
【００１３】閉鎖体３２は、主軸４０、クランク軸１１０、中心ハブ６０、ボール軸受１２２、バネ９０、９２とを備えている。下記のように、閉鎖体３２は、アクチュエータ３４と封止プレート体３０との間に連結され、開放位置と閉鎖位置との間で封止プレート体を移動させる。主軸４０は、バルブハウジング１２内に取り付けられ、主軸４０の長手軸４２回りに回転可能である。図４〜図６によく示されているように、主軸４０は、ボール軸受４６内で回転可能に取り付けられた中実軸４４と、ボール軸受５２内で回転可能に取り付けられた中空軸５０とを含む２つの部材を有する。中実軸４４と中空軸５０は、中心ハブ６０の両側に固定されている。したがって、中実軸４４、中空軸５０、中心ハブ６０は、長手軸４２回りに一体的に回転する。
【００１４】中実軸４４は、中心ハブ６０の一方側の孔に挿入され、ピン６２で固定されている。中空軸５０は、中心ハブ６０の他方側の孔に挿入され、固定ネジ６４で所定位置に固定されている。この様にして、中心ハブ６０は、中実軸４４と中空軸５０に対して所定の相対位置に固定される。中心ハブ６０は、封止プレート体３０と連結されて、下記のように、中心ハブ６０との封止プレート体３０の共回転および中心ハブ６０に対する封止プレート体３０の並進移動を許容する。
【００１５】図１〜図３によく示されているように、封止プレート体３０は、閉鎖位置においてバルブ座部１６とＯリング２０に係合するフランジ７２をその外周部に有する略ディスク形状の封止プレート７０を備えている。封止プレート７０は、バルブが閉鎖された時に流体導管１４を遮断封止する閉鎖部材である。封止プレート体３０は、保持プレート７４とガイドピン７６、７８を更に備えている。保持プレート７４は、ガイドピン７６、７８によって封止プレート７０から離隔され、空洞部８０を形成する。封止プレート７０、保持プレート７４、ガイドピン７６、７８は、機械ネジ８２によって一体的に固定されている。封止プレート７０には、空洞部８０に対向し、ボール軸受１２２に対する接触面を提供する当接部８４が設けられている。
【００１６】バネ９０、９２は、封止プレート体３０を中間位置へと付勢するために、封止プレート体３０と中心ハブ６０との間に配置されている。すなわち、バネ９０、９２は、中心ハブ６０によって形成される各スリーブ９４、９６および保持プレート７４の凹部内に取り付けられている。バネ９０、９２は、封止プレート体３０が図３に示す閉鎖位置にある時には圧縮され、封止プレート体３０が図２に示す中間位置にある時には伸長する。中心ハブ６０には、更に、ガイドピン７６を受けるスリーブ１００およびガイドピン７８を受けるスリーブ１０２が形成されている。ガイドピン７６、７８は、それぞれ、スリーブ１００、１０２内を摺動し、中間位置と閉鎖位置との間において中心ハブ６０に対して封止プレート体３０を直線的に並進移動させる。
【００１７】図４〜図６によく示されているように、クランク軸１１０は、中空軸５０内に取り付けられ、長手軸４２回りに回転可能となっている。クランク軸１１０は、ボール軸受１１２によってバルブハウジング１０内に回転可能に取り付けられており、ニードル軸受１１４によって中心ハブ６０内に回転可能に取り付けられている。クランク軸１１０は、中実であることが好ましい。アクチュエータ３４は、クランク軸１１０の一端に取り付けられているので、アクチュエータ３４に通電すると、クランクシャフト１１０は長手軸４２回りに回転する。上述の別の構成においては、ハンドルがクランク軸１１０の一端に取り付けられていてもよい。弾性体リング１１６が、クランク軸１１０とバルブハウジング１２との間の封止を提供する。クランク軸１１０は、中心ハブ６０内の端部において、長手軸４２に対して偏心配置された延長ピン１２０を備えている。偏心延長ピン１２０によって、クランク軸１１０は、偏心シャフトとしての機能を果たす。通常ボール軸受１２２として実施されるローラが、延長ピン１２０上に取り付けられている。ボール軸受１２２の外側レースは、長手軸４２と平行に離隔されているローラ軸１２４回りに回転するようにしてもよい。さらに、クランク軸１１０の回転に伴って、ボール軸受１２２全体が、長手軸４２から偏心して回転する。下記のように、ボール軸受１２２の偏心動作によって、封止プレート体３０は、中間位置と閉鎖位置との間を移動する。
【００１８】図４〜図８に示すように、軸受キャップ１３０がバルブハウジング１２に取り付けられている。軸受キャップ１３０は、バルブハウジング１２内でボール軸受４６を保持し、中実軸４４の拡張端１３４を受けるための凹部１３２を備えている。弾性体リング１３６が、軸受キャップ１３０とバルブハウジング１２との間の封止を提供し、弾性体リング１３８が、軸受キャップ１３０と中実軸４４との間の封止を提供する。図７、図８に示すように、軸端１３４は、図７に示すように第１のストップ部１４２と係合したり図８に示すように第２のストップ部１４４と係合する平坦面１４０が設けられている。ストップ部１４２、１４４は、それぞれ、軸受キャップ１３０と螺合し軸受キャップ１３０の凹部１３２内へと延びる固定ネジとして実施してもよい。図７、図８を参照して、主軸４４は、図７に示すように第１のストップ部１４２によって規定される第１の位置と図８に示すように第２のストップ部１４４によって規定される第２の位置との間で回転するようにしてもよい。第１の位置において、第１のストップ部１４２が平坦面１４０に接触し、第２の位置において、第２のストップ部１４４が平坦面１４０に接触する。第１のストップ部１４２によって規定される第１の位置は、図２に示すように、封止プレート体３０の開放位置に対応する。第２のストップ部１４４によって規定される中実軸４４の第２の位置は、図１に示すように封止プレート体３０の中間位置に対応する。さらに、封止プレート体３０がクランク軸１１０の回転によって閉鎖位置へと並進移動する時、中実軸４４は第２のストップ部１４４によって規定される第２の位置に留まる。ストップ部１４２、１４４は、封止プレート体３０の開放位置と中間位置をそれぞれ調節できるように調節されるものと理解される。中実軸４４は、第１のストップ部１４２と第２のストップ部１４４との間で９０゜回転することが好ましい。
【００１９】次に、バタフライバルブの動作について説明する。図１に示す開放位置と図２に示す中間位置との間を移動する際、アクチュエータ３４は、軸４２回りにクランク軸１１０を回転させる。開放位置と中間位置との間で、主軸４０は自由回転し、バネ９０、９２は、封止プレート体３０と中心ハブ６０との固定関係を維持する。さらに、ボール軸受１２２とクランク軸１１０は、開放位置と中間位置との間で、封止プレート体３０および中心ハブ６０に対して固定関係に維持される。この様にして、クランク軸１１０が開放位置から中間位置へと回転すると同時に、主軸４０、中心ハブ６０、封止プレート体３０は、クランク軸１１０と共回転する。結果的に、封止プレート７０は、図１に示す開放位置と図２に示す中間位置との間で約９０゜に亘り回転する。図１、図２に更に示すように、ボール軸受１２２は、開放位置と中間位置との間で軸４２回りに９０゜偏心回転する。
【００２０】閉鎖体３２が中間位置に到達すると、中実軸４４の平坦面１４０（図７）は、第２のストップ部１４４に接触して、主軸４０の更なる回転を防止する。しかし、クランク軸１１０は、アクチュエータ３４によって引き続き回転させられるので、この時点で静止している主軸４０に対して相対回転する。ボール軸受１２２は、軸４２回りに偏心回転し続け、封止プレート７０上の当接部８４に当接する。アクチュエータ３４がクランク軸１１０とボール軸受１２２を介して及ぼす力によって、バネ９０、９２は圧縮され、封止プレート体３０は中心ハブ６０に対して直線的に並進移動する。すなわち、封止プレート体３０は、中心ハブ６０のスリーブ１００、１０２内におけるガイドピン７６、７８の摺動によって並進移動する。図２、図３に示すように、ボール軸受１２２は、中間位置と閉鎖位置との間で軸４２回りに約１８０゜回転する。結果的に、封止プレート７０は、中心ハブ６０および主軸４０に対して相対的に並進移動し、バルブ座部１６とＯリング２０と係合し、流体導管１４を閉鎖封止する。
【００２１】バタフライバルブ１０を開放する際には、単に上述の動作を逆の順序で行う。すなわち、アクチュエータ３４がクランク軸１１０を回転させ、ボール軸受１２２が軸４２回りに偏心回転して保持プレート７４に当接し、封止プレート体３０がバルブ座部１６とＯリング２０から中間位置へと後退する。封止プレート体３０を閉鎖位置から後退させる際には、バネ９０、９２の力を保持プレート７４上のボール軸受１２２の力と合わせて封止プレート７０を後退させ、これによって、封止プレート７０が閉鎖位置に留まろうとする傾向に打ち勝つ。主軸４０は、中間位置から開放位置へと軸４２回りに自由回転する。この様にして、封止プレート体３０、中心ハブ６０、主軸４０、ボール軸受１２２、クランク軸１１０を含む閉鎖体は、中間位置と開放位置との間を一体的に回転する。中実軸４４の平坦面１４０（図８）が第１のストップ部１４２と接触すると、封止プレート７０は図１に示す開放位置にあり、閉鎖体３２の更なる回転が防止される。
【００２２】開示されたバタフライバルブは、動作寿命が長く、粉塵汚染が少ない。閉鎖体は、中間位置と閉鎖位置との間の直線的な並進移動のためにボール軸受１２２を利用するので、ボール軸受１２２と空洞部８０の内面との摺擦接触は最小であり、粉塵発生は非常に少ない。上述の図１〜図８に示すような構成のバタフライバルブは、百万回のサイクルテストに成功している。現時点において本発明の好適な実施形態と考えられるものについて、図示、説明してきたが、添付の請求項により定義される本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変更、修正が可能であることは、当業者にとって明白であろう。
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| 【出願人】 |
【識別番号】５９９０６０９２８
【氏名又は名称】ヴァリアン インコーポレーテッド
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| 【出願日】 |
平成１１年１２月１０日（１９９９．１２．１０） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８７７０１
【弁理士】
【氏名又は名称】稲岡 耕作 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２０００−２４０８１６（Ｐ２０００−２４０８１６Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年９月８日（２０００．９．８） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−３５２１２７ |
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