| 【発明の名称】 |
薬液用流体機器の連結構造 |
| 【発明者】 |
【氏名】古田 雅樹
【氏名】大杉 滋
【氏名】田中 博
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| 【要約】 |
【課題】薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化を図った薬液用流体機器の連結構造を提供すること。
【解決手段】バルブ１１とレギュレータ１２を連結するために、バルブ１１の第１接合面とレギュレータ１２の第２接合面とを密着して固定させる。これにより、バルブ１１の第１流路の開口部とレギュレータ１２の第２流路の開口部を連接させる。このとき、レギュレータ１２の第２接合面の凸部は、バルブ１１の第１接合面の第１凹部に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面の第１凹部と第２接合面の凸部は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１接合面の第１凹部は第１流路の開口部を囲い巡らしており、第２接合面の凸部は第２流路の開口部を囲い巡らしている。これらにより、バルブ１１の第１流路の開口部とレギュレータ１２の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防止することができる。また、第２接合面の凸部の内周面が第１接合面の第１凹部の内周面に圧接している。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 第１流路の開口部が露呈した第１接合面と、第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、前記第１流路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に設けられた樹脂からなる第１凹部と、前記第２流路の開口部を囲い巡らして前記第２接合面に設けられた樹脂からなる凸部とを備え、前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定させる際に、前記凸部を前記第１凹部に圧接して嵌め込むことによって、前記第１流路の開口部と前記第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止したことを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
【請求項２】 請求項１に記載する薬液用流体機器の連結構造において、前記凸部の内周面が前記第１凹部の内周面に圧接することを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
【請求項３】 第１流路の開口部が露呈した第１接合面と、第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、前記第１流路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に設けられるとともに樹脂からなる第１凹部と、前記第２流路の開口部を囲い巡らして前記第２接合面に設けられるとともに樹脂からなる第２凹部と、樹脂からなるパッキンとを備え、前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定させる際に、前記パッキンを前記第１凹部及び前記第２凹部に圧接して嵌め込むことによって、前記第１流路の開口部と前記第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止したことを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
【請求項４】 請求３に記載する薬液用流体機器の連結構造において、前記パッキンの内周面が前記第１凹部の内周面及び前記第２凹部の内周面に圧接することを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
【請求項５】 請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載する薬液用流体機器の連結構造において、バルブをマニホールドベースに連結する際に使用されることを特徴とする薬液用流体機器の連結構造。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バルブ、レギュレータ、フィルターなどの薬液用流体機器同士を連結するための連結構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、バルブ、レギュレータ、フィルタなどの薬液用流体機器同士を連結する場合には、図１１に示すように、配管１０４、１０５を介して、バルブ１０１、レギュレータ１０２、フィルタ１０３の各薬液用流体機器を連結することにより行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バルブ１０１、レギュレータ１０２、フィルタ１０３の薬液用流体機器同士を配管１０４、１０５を介して連結することは、配管１０４、１０５のスペースを確保する必要があり、薬液用流体機器が使用される分野（例えば、半導体製造などの分野）でコンパクト化が要望されても、それに対応することができなかった。
【０００４】そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化を図った薬液用流体機器の連結構造を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するために成された請求項１に係る薬液用流体機器の連結構造は、第１流路の開口部が露呈した第１接合面と、第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、前記第１流路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に設けられた樹脂からなる第１凹部と、前記第２流路の開口部を囲い巡らして前記第２接合面に設けられた樹脂からなる凸部とを備え、前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定させる際に、前記凸部を前記第１凹部に圧接して嵌め込むことによって、前記第１流路の開口部と前記第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止したことを特徴とする。
【０００６】また、請求項２に係る薬液用流体機器の連結構造は、請求項１に記載する薬液用流体機器の連結構造であって、前記凸部の内周面が前記第１凹部の内周面に圧接することを特徴とする。
【０００７】また、請求項３に係る薬液用流体機器の連結構造は、第１流路の開口部が露呈した第１接合面と、第２流路の開口部が露呈した第２接合面と、前記第１流路の開口部を囲い巡らして前記第１接合面に設けられるとともに樹脂からなる第１凹部と、前記第２流路の開口部を囲い巡らして前記第２接合面に設けられるとともに樹脂からなる第２凹部と、樹脂からなるパッキンを備え、前記第１接合面と前記第２接合面とを密着して固定させる際に、前記パッキンを前記第１凹部及び前記第２凹部に圧接して嵌め込むことによって、前記第１流路の開口部と前記第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止したことを特徴とする。
【０００８】また、請求項４に係る薬液用流体機器の連結構造は、請求３に記載する薬液用流体機器の連結構造であって、前記パッキンの内周面が前記第１凹部の内周面及び前記第２凹部の内周面に圧接することを特徴とする。
【０００９】また、請求項５に係る薬液用流体機器の連結構造は、請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載する薬液用流体機器の連結構造であって、バルブをマニホールドベースに連結する際に使用されることを特徴とする。
【００１０】このような特定事項を有する本発明の薬液用流体機器の連結構造では、薬液用流体機器同士を連結するために、一方の薬液用流体機器の第１接合面と他方の薬液用流体機器の第２接合面とを密着して固定させる。これにより、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部を連接させる。
【００１１】このとき、第２接合面に凸部が設けられている場合には、第２接合面の凸部は第１接合面の第１凹部に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面の第１凹部と第２接合面の凸部は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１接合面の第１凹部は第１流路の開口部を囲い巡らしており、第２接合面の凸部は第２流路の開口部を囲い巡らしている。これらにより、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防止することができる。
【００１２】また、第２接合面に第２凹部が設けられている場合には、第２接合面の第２凹部と第１接合面の第１凹部には、パッキンが圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面の第１凹部と第２接合面の第２凹部とパッキンは、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１流路の開口部を囲い巡らした第１接合面の第１凹部と、第２流路の開口部を囲い巡らした第２接合面の第２凹部とに、パッキンが圧接して嵌め込まれている。これらにより、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防止することができる。
【００１３】すなわち、本発明の薬液用流体機器の連結構造は、一方の薬液用流体機器の第１接合面と他方の薬液用流体機器の第２接合面とを密着して固定させて、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止しており、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化を図ることができる。
【００１４】また、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、配管に対する作業が不要となり、薬液用流体機器同士を連結する際の作業がスムーズとなる。
【００１５】また、凸部の内周面が第１凹部の内周面に圧接したり、又は、パッキンの内周面が第１凹部の内周面及び第２凹部の内周面に圧接する場合には、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部との連接部分に最も近い位置で、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防止することができる。
【００１６】また、本発明の薬液用流体機器の連結構造を、薬液用流体機器のバルブをマニホールド化する構造として使用する場合には、既存の単品用バルブの接続口を加工することによって、凸部、第１凹部または第２凹部を既存の単品用バルブに設けることができるので、既存の単品用バルブの製品又は設計を流用することができるとともに、マニホールド化専用のバルブを単品用バルブとは別に製作する必要がない。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。先ず、本発明の第１実施の形態について説明する。図１に、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で、薬液用流体機器同士が連結された際の外観を示す。但し、図１においては、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してある。また、図１では、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造をもって、バルブ１１、レギュレータ１２、フィルタ１３の薬液用流体機器同士を連結している。
【００１８】先ず、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造であって、バルブ１１とレギュレータ１２を連結するものについて説明する。図２は、バルブ１１とレギュレータ１２を連結する連結構造の断面を示すものである。バルブ１１のボディ２１の内部には第１流路２２が設けられており、かかる第１流路２２の開口部２３が、バルブ１１の第１接合面２４に露呈している。また、バルブ１１の第１接合面２４においては、第１流路２２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部２５が設けられている。尚、バルブ１１のボディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。
【００１９】一方、レギュレータ１２のボディ３１の内部には第２流路３２が設けられており、かかる第２流路３２の開口部３３が、レギュレータ１２の第２接合面３４に露呈している。また、レギュレータ１２の第２接合面３４においては、第２流路３２の開口部３３を囲い巡らすように、環状の凸部３５が設けられている。尚、レギュレータ１２のボディ３１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であり、凸部３５はボディ３１と一体に成形されているので、凸部３５も同じ材質の樹脂からなる。
【００２０】そして、バルブ１１とレギュレータ１２を連結するために、図３に示すように、バルブ１１の第１接合面２４とレギュレータ１２の第２接合面３４とを密着して固定させる。かかる固定には、バルブ１１とレギュレータ１２とを、螺子（図示しない）で締着することによって行う。これにより、バルブ１１の第１流路２２の開口部２３とレギュレータ１２の第２流路３２の開口部３３を連接させる。
【００２１】このとき、図３に示すように、レギュレータ１２の第２接合面３４の凸部３５は、バルブ１１の第１接合面２４の第１凹部２５に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面２４の第１凹部２５と第２接合面３４の凸部３５は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１接合面２４の第１凹部２５は第１流路２２の開口部２３を囲い巡らしており、第２接合面３４の凸部３５は第２流路３２の開口部３３を囲い巡らしている。これらにより、バルブ１１の第１流路２２の開口部２３とレギュレータ１２の第２流路３２の開口部３３との連接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、第２接合面３４の凸部３５の内周面が第１接合面２４の第１凹部２５の内周面に圧接している。
【００２２】次に、第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造であって、レギュレータ１２とフィルタ１３を連結するものについて説明する。図２は、レギュレータ１２とフィルタ１３を連結する連結構造の断面を示すものでもある。レギュレータ１２のボディ２１の内部には第１流路２２が設けられており、かかる第１流路２２の開口部２３が、レギュレータ１２の第１接合面２４に露呈している。また、レギュレータ１２の第１接合面２４においては、第１流路２２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部２５が設けられている。尚、レギュレータ１２のボディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。
【００２３】一方、フィルタ１３のボディ３１の内部には第２流路３２が設けられており、かかる第２流路３２の開口部３３が、フィルタ１３の第２接合面３４に露呈している。また、フィルタ１３の第２接合面３４においては、第２流路３２の開口部３３を囲い巡らすように、環状の凸部３５が設けられている。尚、フィルタ１３のボディ３１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であり、凸部３５はボディ３１と一体に成形されているので、凸部３５も同じ材質の樹脂からなる。
【００２４】そして、レギュレータ１２とフィルタ１３を連結するために、図３に示すように、レギュレータ１２の第１接合面２４とフィルタ１３の第２接合面３４とを密着して固定させる。かかる固定には、レギュレータ１２とフィルタ１３とを、螺子（図示しない）で締着することによって行う。これにより、レギュレータ１２の第１流路２２の開口部２３とフィルタ１３の第２流路３２の開口部３３とを連接させる。
【００２５】このとき、図３に示すように、フィルタ１３の第２接合面３４の凸部３５は、レギュレータ１２の第１接合面２４の第１凹部２５に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面２４の第１凹部２５と第２接合面３４の凸部３５は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１接合面２４の第１凹部２５は第１流路２２の開口部２３を囲い巡らしており、第２接合面３４の凸部３５は第２流路３２の開口部３３を囲い巡らしている。これらにより、レギュレータ１２の第１流路２２の開口部２３とフィルタ１３の第２流路３２の開口部３３との連接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、第２接合面３４の凸部３５の内周面が第１接合面２４の第１凹部２５の内周面に圧接している。
【００２６】次に、本発明の第２実施の形態について説明する。図４に、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で、薬液用流体機器同士が連結された際の外観を示す。但し、図２においては、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してある。また、図２では、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造をもって、バルブ４１、レギュレータ４２、フィルタ４３の薬液用流体機器同士を連結している。
【００２７】先ず、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造であって、バルブ４１とレギュレータ４２を連結するものについて説明する。図５は、バルブ４１とレギュレータ４２を連結する連結構造の断面を示すものである。バルブ４１のボディ５１の内部には第１流路５２が設けられており、かかる第１流路５２の開口部５３が、バルブ４１の第１接合面５４に露呈している。また、バルブ４１の第１接合面５４においては、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らすように、環状の第１凹部５５が設けられている。尚、バルブ４１のボディ５１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１凹部５５も同じ材質の樹脂からなる。
【００２８】同様に、レギュレータ４２のボディ６１の内部には第２流路６２が設けられており、かかる第２流路６２の開口部６３が、レギュレータ４２の第２接合面６４に露呈している。また、レギュレータ４２の第２接合面６４においては、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らすように、環状の第２凹部６５が設けられている。尚、レギュレータ４２のボディ６１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第２凹部６５も同じ材質の樹脂からなる。
【００２９】そして、バルブ４１とレギュレータ４２を連結するために、図６に示すように、バルブ４１の第１接合面５４とレギュレータ４２の第２接合面６４とを密着して固定させる。かかる固定には、バルブ４１とレギュレータ４２とを、螺子（図示しない）で締着することによって行う。これにより、バルブ４１の第１流路５２の開口部５３とレギュレータ４２の第２流路６２の開口部６３を連接させる。
【００３０】このとき、バルブ４１の第１接合面５４の第１凹部５５とレギュレータ４２の第２接合面６４の第２凹部６５には、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂からなる環状のパッキン７０が圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面５４の第１凹部５５と第２接合面６４の第２凹部６５とパッキン７０は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らした第１接合面５４の第１凹部５５と、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らした第２接合面６４の第２凹部６５とに、パッキン７０が圧接して嵌め込まれている。これらにより、バルブ４１の第１流路５２の開口部５３とレギュレータ４２の第２流路６２の開口部６３との連接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、パッキン７０の内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部６５の内周面に圧接している。
【００３１】次に、第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造であって、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結するものについて説明する。図５は、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結する連結構造の断面を示すものでもある。レギュレータ４２のボディ５１の内部には第１流路５２が設けられており、かかる第１流路５２の開口部５３が、レギュレータ４２の第１接合面５４に露呈している。また、レギュレータ４２の第１接合面５４においては、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らすように、環状の第１凹部５５が設けられている。尚、レギュレータ４２のボディ５１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１凹部５５も同じ材質の樹脂からなる。
【００３２】同様に、フィルタ４３のボディ６１の内部には第２流路６２が設けられており、かかる第２流路６２の開口部６３が、フィルタ４３の第２接合面６４に露呈している。また、フィルタ４３の第２接合面６４においては、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らすように、環状の第２凹部６５が設けられている。尚、フィルタ４３のボディ６１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第２凹部６５も同じ材質の樹脂からなる。
【００３３】そして、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結するために、図６に示すように、レギュレータ４２の第１接合面５４とフィルタ４３の第２接合面６４とを密着して固定させる。かかる固定には、レギュレータ４２とフィルタ４３とを、螺子（図示しない）で締着することによって行う。これにより、レギュレータ４２の第１流路５２の開口部５３とフィルタ４３の第２流路６２の開口部６３を連接させる。
【００３４】このとき、レギュレータ４２の第１接合面５４の第１凹部５５とフィルタ４３の第２接合面６４の第２凹部６５には、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂からなる環状のパッキン７０が圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面５４の第１凹部５５と第２接合面６４の第２凹部６５とパッキン７０は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らした第１接合面５４の第１凹部５５と、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らした第２接合面６４の第２凹部６５とに、パッキン７０が圧接して嵌め込まれている。これらにより、レギュレータ４２の第１流路５２の開口部５３とフィルタ４３の第２流路６２の開口部６３との連接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、パッキン７０の内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部６５の内周面に圧接している。
【００３５】次に、本発明の第３実施の形態について説明する。図７に、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で、薬液用流体機器のバルブがマニホールド化された際の外観を示す。但し、図７においては、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してある。また、図７では、図９に示すように、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造をもって、マニホールドベース８１に３個のバルブ８２が連結している。
【００３６】ここで、第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造であって、マニホールドベース８１とバルブ８２を連結するものについて説明する。図２は、マニホールドベース８１とバルブ８２を連結する連結構造の断面を示すものでもある。マニホールドベース８１のボディ２１の内部には第１流路２２が設けられており、かかる第１流路２２の開口部２３が、マニホールドベース８１の第１接合面２４に露呈している。また、マニホールドベース８１の第１接合面２４においては、第１流路２２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部２５が設けられている。尚、マニホールドベース８１のボディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。
【００３７】一方、バルブ８２のボディ３１の内部には第２流路３２が設けられており、かかる第２流路３２の開口部３３が、バルブ８２の第２接合面３４に露呈している。また、バルブ８２の第２接合面３４においては、第２流路３２の開口部３３を囲い巡らすように、環状の凸部３５が設けられている。尚、バルブ８２の第２接合面３４の凸部３５の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であって、ボディ３１の材質と同じである。
【００３８】そして、マニホールドベース８１とバルブ８２を連結するために、図３に示すように、マニホールドベース８１の第１接合面２４とバルブ８２の第２接合面３４とを密着して固定させる。かかる固定には、マニホールドベース８１とバルブ８２とを、図９に示す螺子８５で締着することによって行う。これにより、マニホールドベース８１の第１流路２２の開口部２３とバルブ８２の第２流路３２の開口部３３を連接させる。
【００３９】このとき、図３に示すように、バルブ８２の第２接合面３４の凸部３５は、マニホールドベース８１の第１接合面２４の第１凹部２５に圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面２４の第１凹部２５と第２接合面３４の凸部３５は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１接合面２４の第１凹部２５は第１流路２２の開口部２３を囲い巡らしており、第２接合面３４の凸部３５は第２流路３２の開口部３３を囲い巡らしている。これらにより、マニホールドベース８１の第１流路２２の開口部２３とバルブ８２の第２流路３２の開口部３３との連接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、第２接合面３４の凸部３５の内周面が第１接合面２４の第１凹部２５の内周面に圧接している。
【００４０】次に、本発明の第４実施の形態について説明する。図８に、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造で、薬液用流体機器のバルブがマニホールド化された際の外観を示す。但し、図８においては、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造を断面で示してある。また、図８では、図９に示すように、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造をもって、マニホールドベース８３に３個のバルブ８４が連結している。
【００４１】ここで、第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造であって、マニホールドベース８３とバルブ８４を連結するものについて説明する。図５は、マニホールドベース８３とバルブ８４を連結する連結構造の断面を示すものでもある。マニホールドベース８３のボディ２１の内部には第１流路２２が設けられており、かかる第１流路２２の開口部２３が、マニホールドベース８３の第１接合面２４に露呈している。また、マニホールドベース８３の第１接合面２４においては、第１流路２２の開口部２３を囲い巡らすように、環状の第１凹部２５が設けられている。尚、マニホールドベース８３のボディ２１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第１凹部２５も同じ材質の樹脂からなる。
【００４２】同様に、バルブ８４のボディ６１の内部には第２流路６２が設けられており、かかる第２流路６２の開口部６３が、バルブ８４の第２接合面６４に露呈している。また、バルブ８４の第２接合面６４においては、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らすように、環状の第２凹部６５が設けられている。尚、バルブ８４のボディ６１の材質は、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂であるので、第２凹部６５も同じ材質の樹脂からなる。
【００４３】そして、マニホールドベース８３とバルブ８４を連結するために、図６に示すように、マニホールドベース８３の第１接合面５４とバルブ８４の第２接合面６４とを密着して固定させる。かかる固定には、マニホールドベース８３とバルブ８４とを、図９に示す螺子８５で締着することによって行う。これにより、マニホールドベース８３の第１流路５２の開口部５３とバルブ８４の第２流路６２の開口部６３を連接させる。
【００４４】このとき、マニホールドベース８３の第１接合面５４の第１凹部５５とバルブ８４の第２接合面６４の第２凹部６５には、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどの樹脂からなる環状のパッキン７０が圧接して嵌め込まれる。そして、第１接合面５４の第１凹部５５と第２接合面６４の第２凹部６５とパッキン７０は、ともに樹脂であるので、圧接された部分において、樹脂の復元力が発生する。さらに、第１流路５２の開口部５３を囲い巡らした第１接合面５４の第１凹部５５と、第２流路６２の開口部６３を囲い巡らした第２接合面６４の第２凹部６５とに、パッキン７０が圧接して嵌め込まれている。これらにより、マニホールドベース８３の第１流路５２の開口部５３とバルブ８４の第２流路６２の開口部６３との連接部分の漏れを防止することができる。尚、ここでは、パッキン７０の内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部６５の内周面に圧接している。
【００４５】以上詳細に説明したように、図１に示す第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造は、一方の薬液用流体機器の第１接合面２４と他方の薬液用流体機器の第２接合面３４とを密着して固定させて、一方の薬液用流体機器の第１流路２２の開口部２３と他方の薬液用流体機器の第２流路３２の開口部３３を連接させるとともに漏れを防止しており、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化を図ることができる（図１１参照）。
【００４６】また、図３に示すように、凸部３５の内周面が第１凹部２５の内周面に圧接しているので、一方の薬液用流体機器の第１流路２２の開口部２３と他方の薬液用流体機器の第２流路３２の開口部３３との連接部分に最も近い位置で、一方の薬液用流体機器の第１流路２２の開口部２３と他方の薬液用流体機器の第２流路３２の開口部３３との連接部分の漏れを防止することができる。
【００４７】また、図４に示す第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造は、一方の薬液用流体機器の第１接合面５４と他方の薬液用流体機器の第２接合面６４とを密着して固定させて、一方の薬液用流体機器の第１流路５２の開口部５３と他方の薬液用流体機器の第２流路６２の開口部６３を連接させるとともに漏れを防止しており、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化を図ることができる（図１１参照）。
【００４８】また、図６に示すように、パッキン７０の内周面が第１凹部５５の内周面及び第２凹部６５の内周面に圧接しているので、一方の薬液用流体機器の第１流路５２の開口部５３と他方の薬液用流体機器の第２流路６２の開口部６３との連接部分に最も近い位置で、一方の薬液用流体機器の第１流路５２の開口部５３と他方の薬液用流体機器の第２流路６２の開口部６３との連接部分の漏れを防止することができる。
【００４９】また、図１に示す第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造や、図４に示す第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造では、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、配管に対する作業が不要となり、薬液用流体機器同士を連結する際の作業がスムーズとなる。
【００５０】また、図７に示す第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造では、図１に示す第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造を、薬液用流体機器のバルブ８２をマニホールド化する構造として使用しており、図１０に示す既存の単品用バルブ９０の接続口９１を加工することによって、凸部３５を既存の単品用バルブ９０に設けることができるので、既存の単品用バルブ９０の製品又は設計を流用することができるとともに、マニホールド化専用のバルブを単品用バルブ９０とは別に製作する必要がない。
【００５１】また、図８に示す第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造では、図４に示す第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造を、薬液用流体機器のバルブ８４をマニホールド化する構造として使用しており、図１０に示す既存の単品用バルブ９０の接続口９１を加工することによって、第２凹部６５を既存の単品用バルブ９０に設けることができるので、既存の単品用バルブ９０の製品又は設計を流用することができるとともに、マニホールド化専用のバルブを単品用バルブ９０とは別に製作する必要がない。
【００５２】尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、図１に示す第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造においては、バルブ１１に第１凹部２５を設けるとともにレギュレータ１２に凸部３５を設けることによって、バルブ１１とレギュレータ１２を連結させていたが、バルブ１１に凸部３５を設けるとともにレギュレータ１２に第１凹部２５を設けることによって、バルブ１１とレギュレータ１２を連結させてもよい。
【００５３】また、レギュレータ１２に第１凹部２５を設けるとともにフィルタ１３に凸部３５を設けることによって、レギュレータ１２とフィルタ１３を連結させていたが、レギュレータ１２に凸部３５を設けるとともにフィルタ１３に第１凹部２５を設けることによって、レギュレータ１２とフィルタ１３を連結させてもよい。
【００５４】また、図４に示す第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造においては、バルブ４１に第１凹部５５を設けるとともにレギュレータ４２に第２凹部６５を設けることによって、バルブ４１とレギュレータ４２を連結させていたが、バルブ４１に第２凹部６５を設けるとともにレギュレータ４２に第１凹部５５を設けることによって、バルブ４１とレギュレータ４２を連結させてもよい。
【００５５】また、レギュレータ４２に第１凹部５５を設けるとともにフィルタ４３に第２凹部６５を設けることによって、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結させていたが、レギュレータ４２に第２凹部６５を設けるとともにフィルタ４３に第１凹部５５を設けることによって、レギュレータ４２とフィルタ４３を連結させてもよい。
【００５６】また、図１に示す第１実施の形態の薬液用流体機器の連結構造や、図４に示す第２実施の形態の薬液用流体機器の連結構造においては、バルブ１１、４１、レギュレータ１２、４２、フィルタ１３、４３の３個の異なる種類の薬液用流体機器同士を連結させているが、連結させる薬液用流体機器の個数や種類は、必要に応じて変更することができる。
【００５７】また、図７に示す第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造においては、マニホールドプレート８１に第１凹部２５を設けるとともにバルブ８２に凸部３５を設けることによって、マニホールドプレート８１とバルブ８２を連結させていたが、マニホールドプレート８１に凸部３５を設けるとともにバルブ８２に第１凹部２５を設けることによって、マニホールドプレート８１とバルブ８２を連結させてもよい。
【００５８】また、図８に示す第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造においては、マニホールドプレート８３に第１凹部５５を設けるとともにバルブ８４に第２凹部６５を設けることによって、マニホールドプレート８３とバルブ８４を連結させていたが、マニホールドプレート８３に第２凹部６５を設けるとともにバルブ８４に第１凹部５５を設けることによって、マニホールドプレート８３とバルブ８４を連結させてもよい。
【００５９】また、図７に示す第３実施の形態の薬液用流体機器の連結構造や、図８に示す第４実施の形態の薬液用流体機器の連結構造においては、マニホールドベース８１、８３に連結させるバルブ１２、８４は３個であるが、連結させるバルブ１２、８４の個数は３個に限定されるものではない。
【００６０】
【発明の効果】本発明の薬液用流体機器の連結構造は、一方の薬液用流体機器の第１接合面と他方の薬液用流体機器の第２接合面とを密着して固定させて、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部を連接させるとともに漏れを防止しており、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、薬液用流体機器同士の連結時のコンパクト化を図ることができる。
【００６１】また、配管を用いることなく薬液用流体機器同士を連結させているので、配管に対する作業が不要となり、薬液用流体機器同士を連結する際の作業がスムーズとなる。
【００６２】また、凸部の内周面が第１凹部の内周面に圧接したり、又は、パッキンの内周面が第１凹部の内周面及び第２凹部の内周面に圧接する場合には、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部との連接部分に最も近い位置で、一方の薬液用流体機器の第１流路の開口部と他方の薬液用流体機器の第２流路の開口部との連接部分の漏れを防止することができる。
【００６３】また、本発明の薬液用流体機器の連結構造を、薬液用流体機器のバルブをマニホールド化する構造として使用する場合には、既存の単品用バルブの接続口を加工することによって、凸部、第１凹部または第２凹部を既存の単品用バルブに設けることができるので、既存の単品用バルブの製品又は設計を流用することができるとともに、マニホールド化専用のバルブを単品用バルブとは別に製作する必要がない。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１０６７６０
【氏名又は名称】シーケーディ株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年１０月９日（１９９８．１０．９） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００９７００９
【弁理士】
【氏名又は名称】富澤 孝 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２０００−１２０９０３（Ｐ２０００−１２０９０３Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年４月２８日（２０００．４．２８） |
| 【出願番号】 |
特願平１０−２８７４９６ |
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