| 【発明の名称】 |
エアシール装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】由井 秀人
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| 【要約】 |
【課題】簡易な構成によって、ハウジング内に存在する互いに異なる性質の流体を確実に混合させずに隔離できるエアシール装置を提供する。
【解決手段】回転軸１とハウジング２の円筒面との間の隙間をエアシールし、そのシール部でハウジング内を２つのサンプ室４，５に分けるエアシール装置である。上記内筒面に圧縮空気が供給される２つの環状凹部６，７を形成する。その各環状凹部６，７に供給する圧縮空気の圧、環状凹部の軸方向両側の隙間部の隙間量及び隙間部の幅を調整することで、第１環状凹部６に供給された圧縮空気が第１サンプ室４側に、第２環状凹部７に供給された圧縮空気が第２サンプ室５側に流れるように、各環状凹部６，７の軸方向両側の上記隙間部２２，２３，２６に圧力差を生じさせる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 回転軸と、その回転軸の外径面に近接して対向する円筒面をを有するハウジングとを備える機器における、上記回転軸と円筒面との間の隙間をシールして、そのシール部を境にハウジング内を軸方向両側の２つの空間に離隔するエアシール装置において、上記ハウジングの内筒面に対し、軸方向に配列しそれぞれ圧縮空気が供給される複数の環状凹部を形成すると共に、その複数の環状凹部を、軸方向途中位置を境に２つに区分けして、各環状凹部に供給する圧縮空気の圧力、環状凹部の軸方向両側にそれぞれ位置する上記内筒面と回転軸外径面とからなる隙間部の隙間量、その隙間部の幅、及び環状凹部の側壁形状のうちの少なくとも一つを調整することで、各環状凹部に供給された圧縮空気が、それぞれその環状凹部が属する区分に近い上記ハウジング内の空間側に向けて流出するように、各環状凹部の軸方向両側の上記隙間部に圧力差を生じさせたことを特徴とするエアシール装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスタービン、工作機械、一般機械などの機器における回転軸と、これを囲むハウジングとの間に設置されてハウジング内を二つに離隔するエアシール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガスタービンのような回転軸を持った機器のハウジング内に、空気以外の異なる２種類の流体が供給され、その供給された２種類の流体を分別して個々に回収する構成とする場合には、その２つの流体の混合を防止するために、ハウジングに対し、回転軸に近接して対向する内筒面を設け、その内筒面と回転軸外径面との間の隙間をシールする。
【０００３】そのシール方式としては、接触式と非接触式があるが、回転軸が高速回転することを考慮すると、接触式シールではシール面の滑り速度が大きくなりシール材の摩耗が問題になることが多いため、一般には、ラビリンスシール方式や、エアシール方式等の非接触式シールが用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ラビリンスシール方式では、例えばガスタービンのように急激な温度変化を受ける部分に使用する湯合、例えば、隙間量を小さく設定すると熱膨張によりシールが回転軸に接触する可能性が生じ、逆に隙間量を大きく設定するとシール性能が低下して２つの流体が混合するおそれがあるというように、温度変化が大きな環境下に採用すると、２種類の流体の混合を確実に防止できるように隙間量を調整することが難しい。
【０００５】また、通常のエアシール方式においては、ハウジングと回転軸との間のシール部に環状凹部を設ける方法が、またその環状凹部に圧縮空気を供給する方式があるが、従来の方式にあっては、シール性能を高めるために、単に、ハウジングと回転体の隙間量を小さく、また環状凹部に供給する圧縮空気圧をハウジング内部の圧力より大きくするだけである。このために、隙間量の設定は難しく、ハウジング内部の２つの流体の圧力バランスや温度差により、別々に供給された特性の異なる流体が混合する可能性がある。
【０００６】例えば、一方の流体側の圧力よりも他方の流体側の圧力が高い場合には、環状凹部に供給する圧縮空気の圧が両液体側の圧力よりも高くても、環状凹部に供給した圧縮空気が圧力の低い流体側に流れ易くなることで混合するおそれがある。
【０００７】また、環状凹部に供給される圧縮空気の温度によっては、流体温度が低下、または上昇する可能性もある。ここで、特開平６−３３７０７３号公報において、回転軸の先端のシールを行う場合に、ハウジングの内筒面に複数個の環状凹部を刻み、各凹部に交互に圧縮空気供給孔、及び大気開放孔を連通することでエアシールを構成して、ハウジング内外に存在する互いに異なる性質の流体を混合させずに別々に回収するシール装置が提案されている。
【０００８】しかし、当該公報に記載のシール方式では、ハウジング内軸端部側の流体を第１流体、軸中央部側の流体を第２流体と呼ぶと、圧縮空気供給孔側の環状凹部から隣りの大気開放孔側の環状凹部への流体の流れが発生し、例えば，上記第１流体が第２流体の方向へ向かうことで、第１流体が第２流体へ混合する可能性がある。また、本公報のシール方式は、軸端部に設置するものであることから、回転軸の中途位置を挟んで両側に異なる性質の流体が存在し且つ回転軸支持部の潤滑を行う場合には適用できない。
【０００９】本発明は、回転軸と、これを囲むハウジングとの間の隙間をシールするエアシール装置において、簡易な構成によって、ハウジング内に存在する互いに異なる性質の流体を確実に混合させずに隔離できるエアシール装置を提供することを課題とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するために、本発明は、回転軸と、その回転軸の外径面に近接して対向する円筒面をを有するハウジングとを備える機器における、上記回転軸と円筒面との間の隙間をシールして、そのシール部を境にハウジング内を軸方向両側の２つの空間に離隔するエアシール装置において、上記ハウジングの内筒面に対し、軸方向に配列しそれぞれ圧縮空気が供給される複数の環状凹部を形成すると共に、その複数の環状凹部を、軸方向途中位置を境に２つに区分けして、各環状凹部に供給する圧縮空気の圧力、環状凹部の軸方向両側にそれぞれ位置する上記内筒面と回転軸外径面とからなる隙間部の隙間量、その隙間部の幅、及び環状凹部の側壁形状のうちの少なくとも一つを調整することで、各環状凹部に供給された圧縮空気が、それぞれその環状凹部が属する区分に近い上記ハウジング内の空間側に向けて流出するように、各環状凹部の軸方向両側の上記隙間部に圧力差を生じさせたことを特徴とするエアシール装置を提供するものである。
【００１１】本発明によれば、軸方向に並んだ複数の環状凹部を二つに区分けし、ハウジング内の２つの空間のうちそれぞれ近い側のハウジング空間に圧縮給気が流れるように各環状凹部の軸方向両側に圧力差を生じさせることで、たとえハウジング内の上記２つの空間内の各圧力が異なっていても、各区分からの圧縮空気によって個々独立に対応して、上記一の空間の流体が他方の空間側に流れることが防止される。この結果、上記２つの空間に供給した２つの流体の混合を確実に防止し、別々に回収することが可能となる。
【００１２】なお、ハウジング内に存在する互いに異なる性質の流体に温度差が生じている場合、複数個形成した各環状凹部に供給する圧縮空気温度を隣接する各々の流体温度と極力同等にすることによって、流体温度を変化させずに回収することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の第１の実施形態を図面を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態に係るシール装置を説明するための側面断面図であり、図２は、その圧縮空気供給部の正面断面図である。図３は、本実施形態のシール装置を用いたスピンドルの側面断面図である。
【００１４】その装置構成を説明すると、図１及び図２に示すように、回転軸１の外周に当該回転軸１の外径面を覆うようにしてハウジング２が配置され、そのハウジング２の外周は、オーバーハウジング３（オーバシャフト）で覆われている。
【００１５】上記ハウジング２には、上記回転軸１の外径面に同軸状態で近接する円筒面を持つ円筒部２ａを有していて、その円筒部２ａの位置（シール部分）を境に、ハウジング２内は第１サンプ室４及び第２サンプ室５に区画されている。
【００１６】なお、個々の流体供給路３０，３１を通じて、第１サンプ室４に第１流体が供給され、第２サンプ室５に第２流体が供給されると共に（図３参照）、ハウジング２及びオーバハウジング３にそれぞれ形成された第１流体回収口２７及び第２流体回収口２８を通じて、各サンプ室４，５内の流体が個別にハウジング２から排出されるようになっている。
【００１７】上記ハウジング２の円筒面には、溝が円周方向に延在する環状凹部６，７が軸方向に並んで二つ形成されている。ここで、本実施形態は、環状凹部６，７が２つのため、一方の環状凹部が一の区分に属し、他方の環状凹部が他の区分に属する。両者６，７を区別する場合には、第１サンプ室４側の環状凹部６を第１環状凹部と、第２サンプ室５側の環状凹部７を第２環状凹部と呼ぶ。
【００１８】また、両環状凹部６，７間に位置する円筒面と回転軸１外径面からなる第１の隙間部２６の隙間量をＤ１、その隙間部２６の幅をＨ１とし、第１環状凹部６よりも第１サンプ室４側の第２の隙間部２２における隙間量をＤ２、その隙間部２２の幅をＨ２とし、また、第２環状凹部７の第２サンプ室５側の第３の隙間部２３における隙間量をＤ３、その隙間部２３の幅をＨ３とすると、本実施形態では、下記の関係を満足するように、各隙間部２６，２２，２３の隙間量Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３及び幅Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３が設定されている。
【００１９】Ｄ１≦Ｄ２Ｄ１≦Ｄ３Ｈ２≦Ｈ１Ｈ３≦Ｈ１また、ハウジング２における円筒部２ａの外周面には、各環状凹部６，７に対応させて２つの環状溝１４，１５が形成され、図２に示すように、各環状凹部６，７と環状溝１４，１５とは、放射状に配置された複数本の給気路１０，１１を通じて連通することで、環状凹部６，７内の圧力をそれぞれ周方向で極力均等となるようにしている。
【００２０】また、オーバハウジング３には、上記各環状溝１４，１５に連通する給気孔１８，１９が開設され、その給気孔１８，１９には、それぞれ給気管４０，４１を通じてコントロールバルブやコンプレッサ等からなる圧縮空気供給手段４３，４４が接続されていて、各圧縮空気供給手段４３，４４が作動することで、給気孔１８，１９、環状溝１４，１５、給気路１０，１１を通じて各環状凹部６，７に所定圧力の圧縮空気が個別に供給されるようになっている。なお、上記圧縮空気供給手段４３，４４のコンプレッサ等を一台であって、コントロールバルブ等で圧力を制御しても良い。
【００２１】また、各給気管４０，４１の途中には、ヒータ等の温度調整手段（不図示）が介装されていて、各環状凹部６，７に供給する圧縮空気の温度が個々に調整可能となっている。
【００２２】ここで、第１サンプ室４の圧力がＰ１で流体温度がＴ１、また第２サンプ室５の圧力がＰ２で流体温度がＴ２の場合として、以下説明する。そして、各圧縮空気供給手段４３，４４及び温度調整手段を制御することで、第１環状凹部６では、空気圧力がＰ３に、空気温度がＴ３に維持されるように調整され、また、第２環状凹部７では、空気圧力がＰ４に、空気温度がＴ４に維持されるように調整されている。
【００２３】そして、本実施形態では、各圧力Ｐ１〜Ｐ４の関係が下記式の関係を満足するように、各環状凹部６，７に供給される圧縮空気の各圧力Ｐ３及びＰ４が調整されている。
【００２４】Ｐ１≦Ｐ３Ｐ１≦Ｐ４Ｐ２≦Ｐ３Ｐ２≦Ｐ４なお、上記各環状凹部６，７に供給される圧縮空気の各圧力Ｐ３及びＰ４は、一定値でも良い。この場合には、各サンプ室４，５で取りうる圧力の範囲の最大値をＰ１及びＰ２とする。また、上記圧縮空気の各圧力Ｐ３及びＰ４は、直接各サンプ室４，５の圧力を計測して動的に変化させるようにフィードバック制御を行ってもよい。
【００２５】また、本実施形態では、Ｔ１≒Ｔ３、Ｔ２≒Ｔ４となるように、各環状凹部６，７に供給される圧縮空気の温度Ｔ３及びＴ４が制御されている。次に、上記構成のシール装置の作用・効果等について説明する。
【００２６】上記構成のシール装置を、図３に示すようなスピンドル装置に組み込んだ場合で説明する。回転軸１を支承する２つの軸受３２，３３に異なる成分の流体（潤滑剤）を供給するために円筒部２ａの位置を挟んで二つのサンプ室４，５（ハウジング２内の空間）が形成され、その二つのサンプ室４，５は、円筒部２ａの位置（シール部）を境にエアシールで隔離されている。そして、第１サンプ室４内に流体供給路３１を通じて第１流体が供給され、第２サンプ室５内に流体供給路３０を通じて第２流体が供給され、それぞれの回収口２７，２８から排出されるようになっている。
【００２７】そして、第１サンプ室４内に有る第１流体が第１環状凹部６内に侵入しようとしても、Ｐ１≦Ｐ３及びＰ１≦Ｐ４となっているので、第１環状凹部６では、第１の隙間部２６の方が第２の隙間部２２よりも圧力が高くなっているために、第１環状凹部６の圧縮空気が第１サンプ室４側に流れて、第１流体が第１環状凹部６に侵入することができない。たとえ、一時的に第１環状凹部６内に第１流体が侵入しても、第２環状凹部７に流れることなく、第１環状凹部６の圧縮空気流と一緒に第１サンプ室４側に戻される。
【００２８】同様に、第２サンプ室５内に有る第２流体が第２環状凹部７に侵入しようとしても、Ｐ２≦Ｐ４及びＰ２≦Ｐ３となっているので、第２環状凹部７では、第１の隙間部２６の方が第３の隙間部２３よりも圧力が高くなっているために、第２環状凹部７の圧縮空気が第２サンプ室５側に流れて、第２流体が第２環状凹部７に侵入することができない。たとえ、一時的に第２環状凹部７内に第２流体が侵入しても、第１環状凹部６に流れることなく、第２環状凹部７の圧縮空気流と一緒に第１サンプ室４側に流れる。
【００２９】この結果、両サンプ室４，５に圧変動等が生じても、各環状凹部６，７から流出する圧縮空気の流れは、一方のサンプ室にある流体を他のサンプ室側に誘導する流れとなることがなく、確実に第１流体と第２流体とを混合することが防止される。
【００３０】このとき、供給する圧縮空気がＰ１＝Ｐ３＝Ｐ２＝Ｐ４で、各隙間部２２，２３，２６の幅がＨ１＝Ｈ２、Ｈ１＝Ｈ３の場合であっても、各隙間部２２，２３，２６の隙間量をＤ１＜Ｄ２、及びＤ１＜Ｄ３と選定することで、第１環状凹部６では、第１の隙間部２６の方が第２の隙間部２２よりも圧力が高くなり、且つ、第２環状凹部７では、第１の隙間部２６の方が第３の隙間部２３よりも圧力が高くなって、各環状凹部６，７両端部の隙間部２２，２３，２６に目的とする所望の圧力差が生じて、確実にシールされる。
【００３１】また、供給する圧縮空気がＰ１＝Ｐ３＝Ｐ２＝Ｐ４で、各隙間部２２，２３，２６の隙間量がＤ１＝Ｄ２、Ｄ１＝Ｄ３の場合でも、各隙間部２２，２３，２６の幅をＨ２＜Ｈ１、及びＨ３＜Ｈ１となるように選定することで、第１環状凹部６では、第１の隙間部２６の方が第２の隙間部２２よりも圧力が高くなり、且つ、第２環状凹部７では、第１の隙間部２６の方が第３の隙間部２３よりも圧力が高くなって、各環状凹部６，７両端部の隙間部２２，２３，２６に目的とする所望の圧力差が生じて、確実にシールされる。
【００３２】また、本実施形態では、第１流体と第２流体に温度差が生じている場合、第１環状凹部６から流れてくる圧縮空気の温度Ｔ３と第１流体の温度Ｔ１、及び第２環状凹部７から流れてくる圧縮空気の温度Ｔ４と第２流体の温度Ｔ２を近づけているために、各流体の温度Ｔ１，Ｔ２を低下、また上昇させることなく回収することができる。
【００３３】また、流体の温度Ｔ１，Ｔ２が目標温度と異なっていても、目標温度となっている各圧縮空気が、個々に各サンプ室４，５側に流れることで、流体の温度Ｔ１，Ｔ２が目標温度に近づく。また、流体が目標温度よりも加熱し易い環境の場合には、その流体側に流れる圧縮空気の温度を低く設定して、流体の温度上昇を抑えるようにしてもよい。このようにしても、各サンプ室４，５に流れる圧縮空気は別であるので問題はない。
【００３４】ここで、通常は、Ｐ３＝Ｐ４となるように圧縮空気の圧力を設定すれば良いが、２つの流体の成分の関係から、例えば第２流体が第１流体に決して混合させてはならない場合には、Ｐ１＜Ｐ３、Ｐ２＜Ｐ４で且つ、Ｐ４＜Ｐ３となるように圧縮空気の圧力Ｐ３，Ｐ４を調整すれば、より確実に第２流体が第１流体に混合することが回避される。また、供給する圧縮空気の圧力Ｐ３，Ｐ４が同一圧でも、隙間部２２，２３，２６の隙間量をＤ１＜Ｄ２、Ｄ１＜Ｄ３で且つＤ２＜Ｄ３、又は、隙間部２２，２３，２６の幅をＨ２＜Ｈ１、Ｈ３＜Ｈ１で且つＨ３＜Ｈ２とすることにより、第１の隙間部２６における圧力を第２環状凹部７側よりも第１環状凹部６側を高く設定して、第２環状凹部７の圧縮空気を第１環状凹部６に流さないようにすると良い。
【００３５】また、本実施形態では、回転軸１が低速回転時又は停止時においても、圧縮空気の供給を続けることによって、シール効果、各流体の温度維持効果を持続することができる。
【００３６】また、本実施形態は、第１サンプ室４が大気開放されているハウジング２及び回転軸１の端部に設置することによって、潤滑油の漏出防止機構としても使用することもできる。
【００３７】ここで、ハウジング２内に供給される特性の異なる二つの流体とは、サンプ室４，５の温度に応じて使用される成分が違う潤滑油、切削油、海水、コンタミ入り潤滑油等、流体の種類は限定されない。
【００３８】また、本発明の実施形態では、ハウジング２の外周にオーバハウジング３が形成されているが、オーバハウジング３を形成せずに、直接、給気路１０，１１に圧縮空気を供給してもよい。
（第２実施形態）次に、第２の実施形態を図面を参照しつつ説明する。なお、上記第１の実施形態と同様な部材等については同一の符号を付して、その詳細は省略する。
【００３９】本実施形態の基本構成は、図４に示すように、上記第１の実施形態と同様であるが、ハウジング２の円筒面に対し、４列の環状凹部６，７，８，９を形成した場合の例である。
【００４０】即ち、上記第１環状凹部６と第２環状凹部７との間に、さらに、第３環状凹部８及び第４環状凹部９を設け、その各環状凹部８，９に圧縮空気を供給するための給気路１２，１３、ハウジング２外周の環状溝１６，１７、及びオーバハウジング３の圧縮空気供給孔２０，２１等を別途，設けたものである。
【００４１】そして、第１サンプ室４側の第１環状凹部６及び第３環状凹部８で一の区分を構成し、第２環状凹部７及び第４環状凹部９で他の区分を構成するように環状凹部を２分する。
【００４２】ここで、第３環状凹部８の空気圧力をＰ５、空気温度をＴ５とし、第４環状凹部９の空気圧をＰ６空気温度をＴ６とする。また、第１環状凹部６と第３環状凹部８との間の隙間部２４における隙間量をＤ４、その隙間部２４の幅をＨ４と、第４環状凹部９と第２環状凹部７との間の隙間部２５における隙間量をＤ５、その隙間部２５の幅をＨ５とし、また、第３環状凹部８と第４環状凹部９との間の隙間部は、上記第１の隙間部２６として隙間量をＤ１、幅をＨ１とすると、下記の条件を満足するように、各圧縮空気の圧力Ｐ３〜Ｐ６、隙間部２２〜２６の隙間量及び幅及が設定されている。
【００４３】Ｐ１≦Ｐ３≦Ｐ５Ｐ２≦Ｐ４≦Ｐ６Ｄ１≦Ｄ４≦Ｄ２Ｄ１≦Ｄ５≦Ｄ３Ｈ２≦Ｈ４≦Ｈ１Ｈ３≦Ｈ５≦Ｈ１このように設定することで、第１及び第３環状凹部６，８に供給された圧縮空気は、共に第１サンプ室４側に流れるように、且つ第２及び第４環状凹部７，９に供給された圧縮空気は、共に第２サンプ室５側に流れるように、各環状凹部６〜９の両側の隙間部の圧力差が設定されて、各流体毎に独立して２列のシール部が形成されることで、第１の実施形態よりもシール効果を高めることができる。
【００４４】また、各環状凹部６〜９への供給圧縮空気の温度Ｔ３〜Ｔ６をＴ１≒Ｔ３≒Ｔ５、Ｔ２≒Ｔ４≒Ｔ６に設定することにより、第１サンプ室４及び第２サンプ室５内の流体の温度が圧縮空気の流入によって変化することが極力抑えられる。
【００４５】このように、環状凹部の数を増やすほど、シール効果が高くなる。ここで、上記実施形態では、環状凹部６〜９を２分する区分けを、軸方向中央部で分けて二つずつ割り当てた場合で説明しているが、例えば、一の区分を第１環状凹部６だけとし、他の区分を第２〜第４環状凹部７，８，９のように設定してもよい。
【００４６】この場合には、下記の範囲となるように適当に設定すればよい。
Ｐ１≦Ｐ３Ｐ２≦Ｐ４≦Ｐ６≦Ｐ５Ｄ１≦Ｄ４Ｄ４≦Ｄ１≦Ｄ５≦Ｄ３Ｈ２≦Ｈ４Ｈ３≦Ｈ５≦Ｈ１≦Ｈ４（第３実施形態）次に、第３の実施形態を図面を参照しつつ説明する。なお、上記第１の実施形態と同様な部材等については同一の符号を付して、その詳細は省略する。
【００４７】本実施形態の基本構成は、図５に示すように、上記第１の実施形態と同様であるが、第１環状凹部６と第２環状凹部７の間にラビリンスシール２９を配置したところが異なる。
【００４８】各環状凹部６，７での空気圧力Ｐ３，Ｐ４、空気温度Ｔ３，Ｔ４、環状凹部６，７の両側の隙間部２２，２３，２６の隙間量Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３及び隙間幅Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３を、上記第１実施形態で示した関係の範囲に調整することにより、第１実施形態のシール効果にラビリンスシール２９の効果が加味して、より一層シール効果を高めることができる。
【００４９】他の作用効果及び構成は、上記第１及び第２実施形態と同様である。
（第４実施形態）次に、第４の実施形態を図面を参照しつつ説明する。なお、上記第１の実施形態と同様な部材等については同一の符号を付して、その詳細は省略する。
【００５０】本実施形態の基本構成は、図６に示すように、上記第１の実施形態と同様であるが、各環状凹部６，７における、対応するサンプ室４，５に近い側の側壁６ａ，７ａは、その回転軸１側（凹部の入口側）が当該対応するサンプ室４，５側に傾いたテーパ形状となっているところが異なる。
【００５１】このように環状凹部６，７の側壁６ａ，７ａを上記のようなテーパ形状にすることによって、環状凹部６，７内に供給された圧縮空気は、それぞれ、テーパ状の側壁６ａ，７ａに案内されて、対応するサンプ室４，５側に円滑に流れ易くなって、より一層シール効果を高めることができる。
【００５２】なお、テーパ形状は、直線状でなくても良い。
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のエアシール装置を採用すると、ハウジング内に存在する互いに異なる性質の流体を混合させることを確実に防止できるというシール効果を発揮する。
【００５４】また、エアシール装置は機械的な接触部が無く摩耗等が生じないことから、半永久的にシール効果が持続することが可能であり、しかも、従来と異なり隔離する二つの流体に応じて環状凹部（圧縮空気）を２分して、個々独立した圧縮空気でシールする構成であるので、当該二つの流体に圧力差などが生じたりしていても、確実にシールすることができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００４２０４
【氏名又は名称】日本精工株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年９月１１日（１９９８．９．１１） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００６６９８０
【弁理士】
【氏名又は名称】森 哲也 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開２０００−８８１１４（Ｐ２０００−８８１１４Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年３月３１日（２０００．３．３１） |
| 【出願番号】 |
特願平１０−２５８４４３ |
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