| 【発明の名称】 |
フタ開閉装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】長沼 壮一
【氏名】滝澤 貴博
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| 【要約】 |
【課題】人為的な外力を用いずに安全かつ滑らかにフタを１８０度開閉できるフタ開閉装置を提供する。
【解決手段】フタ２を１８０度旋回させる支点となる旋回軸３と、旋回軸３に位相をずらせて取付けられた２つのレバー４、６と、各レバー４、６を介してフタ２に旋回運動を与える２つの直線運動駆動手段としての電動シリンダ５と空圧シリンダ７とで構成したツインレバー方式により、フタ２の１８０度開閉動作を可能とした。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 フタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸と、旋回軸に位相をずらせて取付けられた２つのレバーと、各レバーを介してフタに旋回運動を与える２つの直線運動駆動手段を備えたことを特徴とするフタ開閉装置。
【請求項２】 フタの１８０度旋回運動を滑らかに動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のフタ開閉装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空装置のチャンバー等のフタを１８０度旋回させて開閉させるフタ開閉装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空装置のチャンバー等のフタを１８０度旋回させて開閉するフタ開閉装置の従来例を図４、図５を参照して説明する。
【０００３】図４において、１０はチャンバー、１１はフタ、１２はフタ１１を１８０度旋回させる支点となる旋回軸、１３は旋回軸に固定されたレバー、１４はレバー１３を旋回駆動するシリンダである。フタ１１は、旋回軸１２に固定されたレバー１３を介してシリンダ１４の伸縮運動により旋回運動を行う。
【０００４】図４及び図５（ａ）は、チャンバー１０に対してフタ１１が閉まっている状態を示す。この状態からシリンダ１４が引込み方向に動作するに従ってフタ１１は開いて行き、レバー１３とシリンダ１４が一直線になる状態（下死点）まで開き、図５（ｂ）に示すように、フタ１１が９０度開いた状態になる。この下死点状態では、シリンダ１４がさらに引込み若しくは逆に押出し方向に動作してもその力が突っ張るだけでフタ１１はいずれにも動かない。
【０００５】そこで、図５（ｃ）に示すように、下死点状態から脱却するために一旦シリンダ１４のパワーを切って、人為的な外力を加えることによってレバー１３とシリンダ１４の軸線をくの字形にし、その後図５（ｄ）に示すように、シリンダ１４を押出し方向に動作させることによってフタ１１が９０度から１８０度まで開く。なお、フタ１１を閉じるときも同様である。
【０００６】また、上記以外の従来例のフタ開閉装置としては、旋回軸に直接回転運動を与える回転駆動手段を設けたものもあるが、真空装置のフタには電極やカソード等の重量物が取付けられ、それらを旋回させるための回転駆動手段は減速機を含めて非常に大きな装置となってしまうので、通常は使われない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の構成では、下死点状態から脱却するために作業者が強引に力でもって旋回動作のきっかけを与えることが必要で、この行為は作業者に負担をかけ、かつ危険であるという問題があった。
【０００８】また、シリンダの直線運動を、レバーを介してフタの旋回動作に変換する場合、直線運動を等速で動作させると、９０度付近のフタの旋回速度が最も速くなり、下死点状態（９０度）で一旦シリンダのパワーを切ることで、フタの動作が不連続でバウンドが生じ、滑らかに動作しないという問題があった。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、人為的な外力を用いずに安全かつ滑らかにフタを１８０度開閉できるフタ開閉装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のフタ開閉装置は、フタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸と、旋回軸に位相をずらせて取付けられた２つのレバーと、各レバーを介してフタに旋回運動を与える２つの直線運動駆動手段を備えたものであり、一方のレバーとその直線運動駆動手段が一直線状態（下死点状態）になっても、他方のレバーの位相がずれている分、そのレバーとその直線運動駆動手段は一直線状態にはならず、その駆動手段の力でフタの旋回動作を継続して行え、人為的外力なしで、連続したフタの１８０度旋回動作が可能となる。
【００１１】また、フタの１８０度旋回運動を滑らかに動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御手段を設けると、旋回の９０度前後でその直線運動駆動手段の動作にスローダウンを効かすことで滑らかな１８０度旋回動作を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明のフタ開閉装置の一実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
【００１３】図１において、１はチャンバー、２はフタ、３はフタ２を１８０度旋回させる支点となる旋回軸である。４は旋回軸３に固定された第１レバー、５は第１レバー４を介してフタ２を旋回駆動する直線運動駆動手段としての電動シリンダである。６は旋回軸３に第１レバー４と位相を１０°ずらせて固定された第２レバー、７は第２レバー６を介してフタ２を旋回駆動する直線運動駆動手段としての空圧シリンダである。８は旋回軸３の回転位相を検出するエンコーダ、９はエンコーダ８にて検出した回転位相に応じて電動シリンダ５の速度制御を行うインバータである。
【００１４】以上の構成によるフタ２の開閉動作を、図２を参照して説明する。図２（ａ）に示すように、チャンバー１に対してフタ２が閉まっている状態から、電動シリンダ５が引込み方向に動作するに従ってフタ２は開いて行き、図２（ｂ）に示すように、第１レバー４と電動シリンダ５が一直線になった時（フタが９０度開いた状態）には、第２レバー６と空圧シリンダ７の位置関係は逆くの字形になっているので、電動シリンダ５の力では旋回しないが空圧シリンダ７の力でフタ２は旋回を続けることができる。その後、図２（ｃ）に示すように、フタ２が１００度開いた時、第２レバー６と空圧シリンダ７は一直線になっているが、第１レバー４と電動シリンダ５の位置関係はくの字形になっているので、ここから再び電動シリンダ５の力で旋回動作を続けることができ、図２（ｄ）に示すように、フタ２を１８０度まで連続して開けることができる。また、フタ２を閉じるときも同様に１８０度から０度まで連続して旋回動作することができる。
【００１５】また、図３の動作チャートに示すように、電動シリンダ５の電動機をインバータ９で２段階の速度制御を行っており、９０度の前後略２０度の範囲、すなわち略７０度から１１０度の範囲では速度を通常時の２０％まで落として動作させ、また９０度の前後５度の範囲、すなわち８５度から９５度の範囲では電動機の駆動を停止してブレーキをかけており、これによってフタ２の滑らかな連続旋回動作を実現している。また、空圧シリンダ７は８５度から１１０度の範囲で引側に駆動している。
【００１６】なお、この速度制御手段としてサーボを用いて、図３のような速度制御を行ってもよい。また、電動シリンダ５の代わりに油圧シリンダやエアーハイドロを用いて空油圧制御で行うことも可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明のフタ開閉装置によれば、以上のようにフタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸に位相をずらせて２つのレバーを取付け、各レバーを介して２つの直線運動駆動手段にてフタに旋回運動を与えるようにしたので、一方のレバーとその直線運動駆動手段が一直線状態になっても他方のレバーとその直線運動駆動手段の力でフタの旋回動作を継続して行え、人為的外力なしで連続したフタの１８０度旋回動作ができる。
【００１８】また、フタの１８０度旋回運動を滑らかに動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御手段を設けると、旋回の９０度前後でその直線運動駆動手段の動作にスローダウンを効かすことで滑らかな１８０度旋回動作を行うことができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００５８２１
【氏名又は名称】松下電器産業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年７月２８日（１９９８．７．２８） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００８０８２７
【弁理士】
【氏名又は名称】石原 勝
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| 【公開番号】 |
特開２０００−４６１８４（Ｐ２０００−４６１８４Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年２月１８日（２０００．２．１８） |
| 【出願番号】 |
特願平１０−２１３２２２ |
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