| 【発明の名称】 |
搬送設備 |
| 【発明者】 |
【氏名】木元 信余
【氏名】内田 逸郎
【氏名】前田 知哉
【氏名】松下 圭成
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| 【要約】 |
【課題】複数の装置で搬送ロボットを共有して費用削減しても、配線・配管が容易で高速移動が可能となり、信頼性の向上を図ることができる。
【解決手段】ガイドレール９上を移動可能で被搬送物３を移載する搬送ロボット４と、この搬送ロボット４に搭載され動作指示を非接触で受信する第１の通信手段１２と、搬送ロボット４への動作指示を第１の通信手段１２に非接触で送信する第２の通信手段１３と、搬送ロボット４の軌道に沿って敷設された給電線７と、搬送ロボット４に搭載され給電線７より非接触で電気エネルギーを取り出すピックアップコイル８とを備えている。これにより、従来の配線・配管が不要となり、搬送ロボット４の移動時にこれらに負荷をかけることや、メンテナンス作業がなくなるため、高速移動が可能となり、低価格で信頼性の高い搬送設備を提供することができる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ガイドレール上を移動可能で被搬送物を移載する搬送ロボットと、この搬送ロボットに搭載され動作指示を非接触で受信する第１の通信手段と、前記搬送ロボットへの動作指示を前記第１の通信手段に非接触で送信する第２の通信手段と、前記搬送ロボットの軌道に沿って敷設された給電線と、前記搬送ロボットに搭載され前記給電線より非接触で電気エネルギーを取り出すピックアップコイルとを備えた搬送設備。
【請求項２】 搬送ロボットは、被搬送物を真空吸着する真空発生装置を備えた請求項１記載の搬送設備。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体や液晶等の高い清浄度が要求される製造に適用される搬送設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の搬送設備について図面を参照しながら説明する。図２は従来の搬送設備を表している。装置１と装置２の前に各々搬送ロボット４があり、被搬送物３の各々の装置への投入と取出し及び搬送ロボットどうしの取り合いを行っている。配線・配管１５を通して電気エネルギー及び制御信号が供給され、駆動モーター６が動力伝達機構５を回転して動力伝達機構９に動力を伝達し、搬送ロボット４はガイドレール８上を水平方向に移動する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような構成においては、装置各々に搬送ロボットが必要な構成となり、構成費用が高くなる。この費用削減のために複数の装置で搬送ロボットを共有しようとするレイアウトの設備があった。しかし、搬送ロボットの移動距離が伸びるために配線・配管が長くなり、取り回しにくくなってしまう。また配線・配管が長くなるとそれらに搬送ロボット移動時の負荷がかかってしまうため高速での移動が困難であったり、それらの寿命を短くするため、配線・配管のメンテナンス頻度を高くしたり交換サイクルを短くしてしまうという課題もあった。
【０００４】したがって、この発明の目的は、複数の装置で搬送ロボットを共有して費用削減しても、配線・配管が容易で高速移動が可能となり、信頼性の向上を図ることができる搬送設備を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、この発明の請求項１記載の搬送設備は、ガイドレール上を移動可能で被搬送物を移載する搬送ロボットと、この搬送ロボットに搭載され動作指示を非接触で受信する第１の通信手段と、前記搬送ロボットへの動作指示を前記第１の通信手段に非接触で送信する第２の通信手段と、前記搬送ロボットの軌道に沿って敷設された給電線と、前記搬送ロボットに搭載され前記給電線より非接触で電気エネルギーを取り出すピックアップコイルとを備えた。
【０００６】このように、ガイドレール上を移動可能で被搬送物を移載する搬送ロボットと、この搬送ロボットに搭載され動作指示を非接触で受信する第１の通信手段と、搬送ロボットへの動作指示を第１の通信手段に非接触で送信する第２の通信手段と、搬送ロボットの軌道に沿って敷設された給電線と、搬送ロボットに搭載され給電線より非接触で電気エネルギーを取り出すピックアップコイルとを備えているので、ピックアップコイルによって取り出された電気エネルギーによって搬送ロボットを駆動させることができ、搬送ロボット側の第１の通信手段と外部の第２の通信手段との間で送受信することで搬送ロボットの動作を制御できる。このため、従来の配線・配管が不要となり、搬送ロボットの移動時にこれらに負荷をかけることや、メンテナンス作業がなくなるため、高速移動が可能となる。
【０００７】請求項２記載の搬送設備は、請求項１において、搬送ロボットは、被搬送物を真空吸着する真空発生装置を備えた。このように、搬送ロボットは、被搬送物を真空吸着する真空発生装置を備えているので、高速の被搬送物の移載を可能とし、搬送時に被搬送物の位置ずれを抑えることができ信頼性が向上する。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１に基づいて説明する。図１はこの発明の実施の形態の搬送設備の概念図である。図１において、１，２は装置、３は被搬送物、４は搬送ロボット、５は動力伝達機構、６は駆動モータ、７は給電線、８はピックアップコイル、９はガイドレール、１０は動力伝達機構、１１は真空発生装置、１２，１３は制御信号送受信装置、１４は搬送制御装置である。
【０００９】図１に示すように、装置１と別の装置２の前に搬送ロボット４の軌道に沿って給電線７が敷設され、この給電線７より非接触で電気エネルギーを取り出すピックアップコイル８が搬送ロボット４に搭載されている。搬送ロボット４は、駆動モータ６によりガイドレール９上を移動可能で、動作指示を非接触で受信する制御信号受信装置（第１の通信手段）１２が搭載されている。駆動モータ６は搬送ロボット４に搭載された動力伝達機構５を回転駆動し、ガイドレール９に沿って敷設された別の動力伝達機構１０に動力を伝達する。また、搬送制御装置１４には別の制御信号受信装置（第２の通信手段）１３が設けてあり、搬送ロボット４への動作指示を制御受信装置１２に非接触で送信する。またこの場合、搬送ロボット４に真空発生装置１１が搭載され、外部から真空原動を供給することなく、自身で真空を発生する。また、被搬送物３は半導体基板等である。この場合、各装置１…では、半導体基板に施される洗浄、成膜、レジスト塗布・現像、露光、熱処理、不純物拡散、ＣＭＰ、めっき、検査等の処理を行うことができ、装置１…の数は限定しない。
【００１０】つぎに、上記構成の搬送設備の動作について説明する。ピックアップコイル８によって取り出された電気エネルギーによって、上記のように駆動モータ６が動力伝達機構５を回転して動力伝達機構１０に動力を伝達し、搬送ロボット４はガイドレール８上を水平方向に移動し、被搬送物３を移載する。搬送ロボット４の動作指示は搬送制御装置１４の制御信号送受信装置１３と搬送ロボット４の制御信号送受信装置１２間で送受信される。
【００１１】また真空発生装置１１内部に備えた動力モーターとファンで真空を発生させれば、外部からの真空原動供給無しに搬送ロボット４のアーム上の被搬送物３を真空吸着することも可能で、その場合搬送ロボット４のさらなる高速な移動も可能であるし、また被搬送物３搬送時の搬送ロボット４のアーム上での位置ずれを抑えることも可能となる。
【００１２】以上のようにこの実施の形態によれば、ピックアップコイル８によって取り出された電気エネルギーによって搬送ロボット４を駆動させることができ、搬送ロボット４側の制御信号受信装置１２と外部の制御信号受信装置１３との間で送受信することで搬送ロボット４の動作を制御できる。このため、従来の配線・配管が不要となり、搬送ロボット４の移動時にこれらに負荷をかける心配が全くないため、高速の移動が可能であり、また配線・配管のメンテナンス作業がなくなる。
【００１３】また、搬送ロボット４は、被搬送物３を真空吸着する真空発生装置１１を備えているので、高速の被搬送物３の移載を可能とし、搬送時に被搬送物３の位置ずれを抑えることも可能となるので、搬送トラブルを未然に防ぐことができる。
【００１４】なお、動力伝達機構５、動力伝達機構１０は、歯車とラックの組み合わせであっても良いし、歯のないプーリーとガイドの組み合わせであってもよい。また搬送ロボット４の動作指示信号を非接触で送受信する手段は、赤外光であっても、電波であってもよい。
【００１５】
【発明の効果】この発明の搬送設備によれば、ガイドレール上を移動可能で被搬送物を移載する搬送ロボットと、この搬送ロボットに搭載され動作指示を非接触で受信する第１の通信手段と、搬送ロボットへの動作指示を第１の通信手段に非接触で送信する第２の通信手段と、搬送ロボットの軌道に沿って敷設された給電線と、搬送ロボットに搭載され給電線より非接触で電気エネルギーを取り出すピックアップコイルとを備えているので、ピックアップコイルによって取り出された電気エネルギーによって搬送ロボットを駆動させることができ、搬送ロボット側の第１の通信手段と外部の第２の通信手段との間で送受信することで搬送ロボットの動作を制御できる。このため、従来の配線・配管が不要となり、搬送ロボットの移動時にこれらに負荷をかけることや、メンテナンス作業がなくなるため、高速移動が可能となり、低価格で信頼性の高い搬送設備を提供することができる。
【００１６】請求項２では、搬送ロボットは、被搬送物を真空吸着する真空発生装置を備えているので、高速の被搬送物の移載を可能とし、搬送時に被搬送物の位置ずれを抑えることができ信頼性が向上する。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００５８４３
【氏名又は名称】松下電子工業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１１年５月２１日（１９９９．５．２１） |
| 【代理人】 |
【識別番号】１０００７６１７４
【弁理士】
【氏名又は名称】宮井 暎夫
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| 【公開番号】 |
特開２０００−３３３３０３（Ｐ２０００−３３３３０３Ａ） |
| 【公開日】 |
平成１２年１１月３０日（２０００．１１．３０） |
| 【出願番号】 |
特願平１１−１４１０３５ |
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