| 公開番号 | 発明の名称 |
| 特開２０００−９７６４２ | 膜厚モニター |
| 特開２０００−９７６４３ | 膜厚管理方法 |
| 特開２０００−９７６４４ | 基板の重なり検知装置 |
| 特開２０００−９７６４５ | 厚み測定システム |
| 特開２０００−９７６４６ | 間隙測定装置および間隙測定方法 |
| 特開２０００−９７６４７ | 光ファイバを用いた構造物の変状計測方法および光ファイバセンサー |
| 特開２０００−９７６４８ | 段差測定装置および段差測定方法 |
| 特開２０００−９７６４９ | データ収集装置およびこれに用いる物体感知器 |
| 特開２０００−９７６５０ | 非球面形状測定装置 |
| 特開２０００−９７６５１ | 非球面形状測定方法及び装置 |
| 特開２０００−９７６５２ | 形状測定装置 |
| 特開２０００−９７６５３ | 座標校正システム |
| 特開２０００−９７６５４ | 干渉計 |
| 特開２０００−９７６５５ | 非軸偏心測定器 |
| 特開２０００−９７６５６ | 広帯域偏心測定器 |
| 特開２０００−９７６５７ | 干渉計 |
| 特開２０００−９７６５８ | 非球面レフ原器 |
| 特開２０００−９７６５９ | 干渉計 |
| 特開２０００−９７６６０ | 光学系の光軸調整方法及び干渉計測装置 |
| 特開２０００−９７６６１ | 干渉計校正装置 |
| 特開２０００−９７６６２ | 干渉計演算方法および干渉計演算方法が記録された記録媒体 |
| 特開２０００−９７６６３ | 干渉計 |
| 特開２０００−９７６６４ | シアリング干渉計 |
| 特開２０００−９７６６５ | 干渉計測システム |
| 特開２０００−９７６６６ | 面形状計測用干渉計、波面収差測定機、前記干渉計及び前記波面収差測定機を用いた投影光学系の製造方法、及び前記干渉計の校正方法 |
| 特開２０００−９７６６７ | 回転平均化法 |
| 特開２０００−９７６６８ | 干渉計 |
| 特開２０００−９７６６９ | 光波干渉計装置、及び該装置におけるデータ処理方法 |
| 特開２０００−９７６７０ | プリント基板の外観検査装置 |
| 特開２０００−９７６７１ | プリント基板の外観検査装置及び外観検査方法 |
| 特開２０００−９７６７２ | ３次元計測機における制御情報生成方法及び制御情報生成支援システム |
| 特開２０００−９７６７３ | 画像認識方法および検査方法 |
| 特開２０００−９７６７４ | 位置決め用マークの検出方法および位置合わせ方法 |
| 特開２０００−９７６７５ | 光ディスクの偏心量測定装置 |
| 特開２０００−９７６７６ | 顔向き検出方法及びその装置 |
| 特開２０００−９７６７７ | 画像認識方法 |
| 特開２０００−９７６７８ | 表面形状計測装置およびその方法 |
| 特開２０００−９７６７９ | 回転センサ |
| 特開２０００−９７６８０ | 校正装置 |
| 特開２０００−９７６８１ | 高さ測定器 |
| 特開２０００−９７６８２ | 磁気ディスクグライド検査用ＡＥセンサ |
| 特開２０００−９７６８３ | 薄膜膜厚測定用超音波膜厚測定装置 |
| 特開２０００−９７６８４ | 光学素子の面間の位置関係を測定する方法および装置および同装置に用いる光学素子を保持する保持具 |
| 特開２０００−９７６８５ | 凹凸検知装置 |
| 特開２０００−９７６８６ | 測長装置 |
| 特開２０００−９７６８７ | 球状物の外径寸法測定方法および測定装置 |
| 特開２０００−９７６８８ | 配管形状計測方法および計測装置 |
| 特開２０００−９７６８９ | 表面性状測定装置のトレンド補正方法 |
| 特開２０００−９７６９０ | 固体表面の凹凸パターン検出方法、同検出装置、並びに同検出方法及び同検出装置に用いるのに適した集積回路装置 |
| 特開２０００−９７６９１ | 微細表面形状測定装置 |