電気部品搬送装置ならびにそれにおける保持具交換方法および装置

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【発明の名称】	電気部品搬送装置ならびにそれにおける保持具交換方法および装置
【発明者】	【氏名】浅井鎬一【氏名】磯貝武義【氏名】亀谷泰範
【要約】	【課題】保持具の交換が容易な電気部品搬送装置，保持具交換方法および装置を提供する。【解決手段】複数の部品吸着ノズル８４を保持するノズル保持部材１９４を、２箇所の切欠２６２において保持部材受台２０４上に立設した２個の頭付ピン２１８の胴部２２２に係合させて位置決めし、かつ回転を阻止し、頭部２２４に係合面２６４を係合させて浮上がりを防止する。留め具２３０の係合部材２４０を係合部２７２に係合させ、圧縮コイルスプリング２４２により切欠２６２を胴部２２２に押し付け、被受面２５２を保持部材受面２０６に押し付ける。プリント基板の種類が変わり、使用する部品吸着ノズル８４の種類が変わるとき、留め具２３０によるノズル保持部材１９４の保持を解除し、ノズル保持部材１９４の交換により複数の部品吸着ノズル８４を一斉に交換する。

【特許請求の範囲】
【請求項１】電気部品を保持する保持具と、その保持具を着脱可能に保持する保持具チャックと、その保持具チャックを移動させるチャック移動装置と、前記保持具を複数個、個別に取り出し可能に保持する保持具保持部材と、その保持具保持部材を、着脱可能に保持する保持部材保持装置と、前記保持具保持部材と前記保持具チャックとを相対移動させることにより、保持具保持部材と保持具チャックとの間で保持具の交換を行わせる交換用移動装置とを含むことを特徴とする保持具交換機能を有する電気部品搬送装置。
【請求項２】保持具チャックに着脱可能に保持された保持具により電気部品を保持して搬送する電気部品搬送装置において保持具を交換する方法であって、保持具保持部材を２個以上準備し、それら保持具保持部材にそれぞれ前記保持具を複数個ずつ個別に取り出し可能に保持させ、それら２個以上の保持具保持部材の一部のものを保持部材保持装置に着脱可能に保持させ、その保持部材保持装置に保持されている保持具保持部材と前記保持具チャックとの間で保持具を個別に交換させるとともに、保持部材保持装置に保持されている保持具保持部材を、別の保持具保持部材と交換することにより、前記保持具を団体で交換することを特徴とする保持具交換方法。
【請求項３】保持具チャックに着脱可能に保持された保持具に電気部品を保持して搬送する電気部品搬送装置において保持具を交換する装置であって、前記保持具を複数個、個別に取り出し可能に保持する保持具保持部材と、その保持具保持部材を着脱可能に保持する保持部材保持装置とを含むことを特徴とする保持具交換装置。

【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気回路（電子回路を含む）を構成する電気部品を搬送する装置ならびにそれにおける保持具交換方法および装置に関するものであり、特に、保持具を保持する装置における保持具の交換能率の向上に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電気部品搬送装置は、電気部品を保持するために、負圧で電気部品を吸着して保持する吸着ノズル等の保持具を備えており、例えば、電気部品装着システムにおいて電気部品搬送装着装置として用いられる。電気部品供給装置から電気部品を受け取って搬送し、電気部品受取部材の一種であって回路基材たるプリント基板等の装着対象材に引き渡すのであり、プリント基板への引渡しが電気部品の装着であって、電気部品搬送装着装置は、電気部品搬送装置であるとともに電気部品装着装置である。電気部品搬送装置において保持具は、１つ設けられて電気部品が１つずつ搬送されることもあり、あるいは複数設けられて１度に複数の電気部品が搬送されることもある。いずれにしても、保持具が保持具チャックにより着脱可能に保持されるとともに、電気部品の種類に応じたものが使用され、搬送すべき電気部品の種類が変われば、それに合わせて保持具も変えられることが多い。そのため、従来から、電気部品搬送装置に、保持具を複数保持する保持具交換装置を設け、保持具チャックとの間において保持具の交換を行わせることが行われている。保持具交換装置は、保持具を取出し可能に保持する保持具保持部を複数備えており、保持具の交換時には、保持具チャックに保持されている保持具が空の保持具保持部に保持され、別の保持具保持部に保持されている保持具が空の保持具チャックにより保持される。保持具交換装置により保持されている保持具以外の保持具が必要になった場合には、保持具交換装置により保持されている保持具が必要な保持具と交換される。しかしながら、保持具交換装置により保持されている保持具を、いちいち別の保持具に交換することは面倒であり、交換する保持具の数が多いほど手間がかかり、時間がかかる問題があった。例えば、複数の保持具を備えた電気部品搬送装着装置において、プリント基板の種類の変更に伴って装着されるべき電気部品の種類が変わり、電気部品搬送装着装置において使用される保持具を変えるべく、保持具交換装置の保持具を変える場合、保持具の交換数が多く、面倒であるのであり、その上、プリント基板への電気部品の装着を停止する時間が長くなり、装着能率が低下する問題があった。電気部品搬送装置において保持される保持具が１個であっても、複数種類の保持具が交替で使用されるのであれば、保持具の交換数が多くなり、面倒である。また、保持具交換装置は、保持具チャックとの間における保持具の交換を迅速に行うべく、電気部品搬送装置の電気部品搬送領域内あるいはその近傍に設けられるのが普通であるが、この位置は周辺部材が多く、作業者は狭い空間内において作業を行わなければならず、作業性が悪い問題もあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段，作用および効果】本発明は、以上の事情を背景とし、保持具交換装置における保持具の交換を容易にすることを課題として為されたものであり、本発明によって、下記各態様の電気部品搬送装置、ならびにそれにおける保持具交換方法および装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。各項に記載の特徴の組合わせの可能性を明示するためである。
（１）電気部品を保持する保持具と、その保持具を着脱可能に保持する保持具チャックと、その保持具チャックを移動させるチャック移動装置と、前記保持具を複数個、個別に取り出し可能に保持する保持具保持部材と、その保持具保持部材を、着脱可能に保持する保持部材保持装置と、前記保持具保持部材と前記保持具チャックとを相対移動させることにより、保持具保持部材と保持具チャックとの間で保持具の交換を行わせる交換用移動装置とを含む保持具交換機能を有する電気部品搬送装置（請求項１）。保持具としては、負圧により電気部品を吸着して保持する吸着ノズルが適しているが、例えば、複数の保持爪により電気部品を保持する保持具等、他の態様の保持具でもよい。チャック移動装置には種々の態様がある。例えば、一軸線まわりに間欠回転する間欠回転体上に、複数の保持具チャックを間欠回転角度に等しい角度間隔で設け、間欠回転体を回転駆動装置によって間欠回転させ、複数の停止位置に順次停止させるものがある。共通の回動軸線のまわりに個々に回動可能な複数の回動体と、それら複数の回動体に、それぞれ上記回動軸線を一周するとともにその一周の間に１回以上停止し、かつ、互いに一定時間差を有する回動運動を付与する回動運動付与装置とを含み、複数の回動体の各々が保持具チャックを保持し、回動体の回動により保持具チャックを１回以上停止させるものもある。これら間欠回転体あるいは回動体の回動軸線は、垂直でもよく、垂直面に対して傾斜した軸線でもよい。また、これら間欠回転体あるいは回動体に保持される保持具チャックを回動軸線に平行な方向に移動させることも行われており、この移動もチャック移動装置により保持具チャックに与えられる移動の一種である。さらに、これら間欠回転体あるいは回動体を、ＸＹロボット等の移動装置により、水平面内の任意の位置へ移動させるものも採用可能であり、この移動もチャック移動装置により保持具チャックに与えられる移動お一種である。また、一平面内において直交する２方向のうちの少なくとも一方に移動する移動体上に保持具チャックを少なくとも１つ設け、移動体の移動により保持具チャックを移動させてもよく、この移動体上において保持チャックを移動方向と交差する方向に移動させてもよい。移動体の移動は、直線移動でもよく、曲線移動でもよく、それらの組合わせでもよい。本態様の電気部品搬送装置において保持具の交換時には、保持具保持部材と保持具チャックとが交換用移動装置により相対移動させられ、保持具が交換される。保持具保持部材により保持された保持具とは異なる保持具が必要になれば、保持具保持部材が別の保持具保持部材に交換される。保持具保持部材は保持部材保持装置により着脱可能に保持されており、保持具保持部材を交換することにより、複数の保持具を同時にまとめて交換することができ、従来のように、保持具を１つずつ保持具保持装置に取付け、取外しする場合に比較して、容易にかつ迅速に保持具を交換することができる。また、保持具保持装置から取り外された保持具保持部材を電気部品搬送装置から外れた位置へ運び、電気部品搬送装置の構成部材により囲まれた狭い空間ではなく、広い空間内において保持具保持部材に保持された保持具の交換作業を行うことができ、作業性が向上する。さらに、保持具保持部材が保持部材保持装置に対して着脱可能であれば、複数の保持部材を同種あるいは異種の複数の電気部品搬送装置の保持部材保持装置に対して選択的に使用し、保持具保持部材を複数の装置に共用することができる。
（２）前記保持具チャックが、前記保持具を、その保持具に保持具チャックから離脱する向きに保持力より大きい力が加えられれば離脱を許容する状態で保持するものであり、かつ、当該電気部品搬送装置が、前記保持具保持部材に、その保持具保持部材に保持された前記保持具の保持具保持部材からの離脱を阻止する作用位置と離脱を許容する退避位置とに移動可能に取り付けられた離脱防止部材と、その離脱防止部材を前記作用位置と前記退避位置とに移動させる離脱防止部材移動装置とを含む (1)項に記載の電気部品搬送装置。保持具チャックに保持されている保持具が保持具保持部材に戻されるとき、離脱防止部材は退避位置に退避させられて保持具チャックが保持具保持部材に保持具を保持させることを許容し、その後、作用位置へ移動させられ、保持具の保持具保持部材からの離脱を阻止する。それにより、保持具チャックが保持具から離れる向きに移動させられれば、保持具に保持具チャックから離脱する向きに保持力より大きい力が加えられ、保持具が保持具チャックから外れる。離脱防止部材は、保持具チャックからの保持具の取外しを補助する役割を果たすのであるが、取外し時以外にも作用位置にあって保持具の保持具保持部材からの離脱を防止する役割を果たす。離脱防止部材は、常には保持具を覆っていて保持具を保護し、取出し時に保持具の保持部材からの取出しを許容するカバーあるいはシャッタと呼び得る形態とすることができる。離脱防止部材の主たる役割が保持具の保持具保持部材からの離脱防止である場合には、離脱防止部材は複数の保持具の保持具保持部材からの離脱を防止できればよく、離脱防止部材は複数個の保持具に対応する位置にそれぞれ、保持具の保持具保持部材からの離脱を防止する離脱防止部を有するものであればよい。それに対して、離脱防止部材の主たる役割が保持具の保護である場合には、保持具保持部材に保持された保持具をできる限り多く覆うものとすることが望ましく、例えば、保持具の取出しを許容するために、保持具の最も大きい部分より僅かに大きい開口を有する板状の部材とされる。離脱防止部材の移動方向は、保持具チャックによる保持具の取出方向と直角な方向、ないし保持具保持部材に保持された複数個の保持具の並ぶ平面に平行な方向とすることが望ましい。そして、発明の実施の形態に記載の電気部品搬送装着装置におけるように、保持具保持部材および保持部材保持装置が基板コンベヤと電気部品供給装置との間に設けられる場合には、離脱防止部材が基板コンベヤと電気部品供給装置とが並ぶ方向と直交する方向への移動により、退避位置と作用位置とに移動するものとすれば、離脱防止部材の移動のために基板コンベヤと電気部品供給装置との間隔を広くしなくて済み、電気部品搬送装着システムをコンパクトに構成し得る。
（３）保持具チャックに着脱可能に保持された保持具により電気部品を保持して搬送する電気部品搬送装置において保持具を交換する方法であって、保持具保持部材を２個以上準備し、それら保持具保持部材にそれぞれ前記保持具を複数個ずつ個別に取り出し可能に保持させ、それら２個以上の保持具保持部材の一部のものを保持部材保持装置に着脱可能に保持させ、その保持部材保持装置に保持されている保持具保持部材と前記保持具チャックとの間で保持具を個別に交換させるとともに、保持部材保持装置に保持されている保持具保持部材を、別の保持具保持部材と交換することにより、前記保持具を団体で交換する保持具交換方法（請求項２）。２個以上の保持具保持部材のうち、少なくとも１つを保持具保持装置に取り付けて保持具チャックとの間で保持具の交換を行わせ、少なくとも１つは、保持具保持装置から取り外しておく。そして、この取り外した状態の保持具保持部材に対して作業者等により保持具の交換等の準備作業を行うようにすれば、電気部品搬送装置において別の保持具が必要になった場合、それまで保持部材保持装置に保持されていた保持具保持部材を予め準備されている保持具保持部材と交換することにより、複数の保持具を一度にまとめて交換することができる。
（４）前記保持具保持部材と保持具チャックとの間における保持具の個別の交換は自動で行い、前記保持部材保持装置に保持されている保持具保持部材の交換は手作業で行う (3)項に記載の保持具交換方法。保持具保持部材と保持具チャックとの間における保持具の交換を自動で行えば、電気部品搬送装置における電気部品の自動搬送を殆ど妨げることなく、保持具を交換することができる。保持部材保持装置に保持されている保持具保持部材の交換は、例えば、電気部品搬送装着装置において電気部品が装着されるプリント基板の種類の変更に伴う段取り替え、すなわち基板搬送装置の搬送幅の変更等が行われ、電気部品の装着が停止されている間に行えばよく、手作業で行っても支障がない場合が多い。
（５）前記保持具保持部材と保持具チャックとの間における保持具の個別の交換を、少なくとも、前記電気部品を搬送するためのチャック移動装置による保持具の移動を利用して行う (4)項に記載の保持具交換方法。保持具保持部材と保持具チャックとの間における保持具の個別の交換のために専用の交換用移動装置を設ける場合に比較して、安価に保持具の交換を行うことができる。
（６）前記保持具保持部材と保持具チャックとの間における保持具の個別の交換を、さらに前記保持部材保持装置の移動をも利用して行う (5)項に記載の保持具交換方法。例えば、チャック移動装置により保持具チャックに与えられる移動のみでは、保持具の交換が困難な場合には、保持部材保持装置を移動させることにより、チャック移動装置の構成を変えることなく、保持具の交換を行うことが可能となる。
（７）保持具チャックに着脱可能に保持された保持具に電気部品を保持して搬送する電気部品搬送装置において保持具を交換する装置であって、前記保持具を複数個、個別に取り出し可能に保持する保持具保持部材と、その保持具保持部材を着脱可能に保持する保持部材保持装置とを含む保持具交換装置（請求項３）。保持具保持部材は保持部材保持装置に対して着脱可能であり、保持具保持部材が保持する保持具の交換時には、保持部材保持装置により保持されている保持具保持部材を、必要な保持具を保持した保持具保持部材と交換することにより、複数の保持具を一斉に交換することができる。
（８）前記保持部材保持装置が、前記保持具保持部材を工具を使用することなく着脱可能に保持するものである (7)項に記載の保持具交換装置。保持部材保持装置は保持具保持部材を、例えばボルト等、工具の使用を必要とする固定手段を用いて着脱可能に保持することも可能であるが、保持部材保持装置を工具を使用することなく保持具保持部材を着脱可能に保持するものとすれば、容易にかつ迅速に保持具保持部材の着脱を行うことができる。
（９）前記保持部材保持装置が、保持部材受面により前記保持具保持部材の被受面を受ける保持部材受台と、前記保持具保持部材の前記保持部材受面に平行な方向の位置決めを行う位置決め手段と、前記保持具保持部材の前記保持部材受面からの浮上がりを防止する浮上がり防止装置とを含む (8)項に記載の保持具交換装置。
（１０）前記位置決め手段が、前記保持具保持部材の前記被受面に平行な方向に隔たった２部分に当接することにより、保持具保持部材のその当接方向の平行移動と前記被受面に平行な方向における回転とを阻止するストッパと、そのストッパに向かって保持具保持部材を付勢する平行方向付勢手段とを含む (9)項に記載の保持具交換装置。
（１１）前記浮上がり防止装置が、前記ストッパ近傍において、保持具保持部材の前記被受面とは反対向きの係合面に係合する浮上がり防止部材と、前記保持具保持部材の、前記ストッパに当接する側の端とは反対側の端に、前記被受面が前記受面に向かう向きの付勢力を付与する直角方向付勢手段とを含む(10)項に記載の保持具交換装置。
（１２）前記ストッパと前記浮上がり防止部材とが一体に形成された(11)項に記載の保持具交換装置。
（１３）前記ストッパと前記浮上がり防止部材とが、前記保持部材受台に前記受面に平行な方向に互いに隔たって固定された２本の頭付ピンにより構成され、前記保持具保持部材の前記隔たった２部分と前記係合面とが、前記頭付ピンの胴部と係合する２個の切欠とその切欠の周囲とにより構成された(12)項に記載の保持具交換装置。切欠は、例えばＵ字形，Ｖ字形等とすることができる。切欠は、頭付ピンの胴部との係合により、保持具保持部材の２個の切欠が隔たった方向の平行移動と、切欠が頭付ピンの胴部に係合させられる際に切欠が頭付ピンに当接（接近）する方向の平行移動との両方を阻止する性質を持った切欠とすることが望ましい。
（１４）前記平行方向付勢手段と前記直角方向付勢手段とが、前記ストッパに向かう向きの方向成分と、前記受面に向かう向きの方向成分とを含む付勢力を発生させる兼用付勢手段により構成された(11)ないし(13)項のいずれか１つに記載の保持具交換装置。
（１５）前記兼用付勢手段が、前記保持部材受台と前記保持具保持部材との一方に取り付けられた本体部材と、他方に設けられた係合部に離脱可能に係合する係合部材との間に設けられた弾性部材である(14)項に記載の保持具交換装置。本体部材，係合部材および弾性部材を保持部材受台に設け、係合部を保持具保持部材に設けてもよく、逆でもよいが、前者の場合は、保持具保持部材に設ける部材が少なくて済み、１つの保持部材受台に対して選択的に着脱される複数の保持具保持部材の各々に本体部材等を設ける場合に比較して装置コストが少なくて済む。
（１６）さらに、前記保持具保持部材に、その保持具保持部材に保持された前記保持具の保持具保持部材からの離脱を阻止する作用位置と、離脱を許容する退避位置とに移動可能に取り付けられた離脱防止部材と、その離脱防止部材を前記作用位置と前記退避位置とに移動させる離脱防止部材移動装置とを含む (7)ないし(15)項のいずれか１つに記載の保持具交換装置。本態様の離脱防止部材および離脱防止部材移動装置は、 (2)項におけると同様のものである。
（１７）前記保持具保持部材と前記離脱防止部材との間に、離脱防止部材を前記作用位置に向かって付勢する離脱防止部材付勢手段が設けられた(16)項に記載の保持具交換装置。保持具保持部材を保持部材保持装置から外した状態では、離脱防止部材は離脱防止部材付勢手段の付勢力により作用位置に位置させられ、保持具の保持具保持部材からの離脱を防止する。保持具保持部材を保持部材保持装置から外した状態でも、保持具が保持具保持部材から脱落することがなく、保持部材の取扱いが容易である。
【０００４】
【発明の実施の形態】以下、本願の装置発明の一実施形態である吸着ノズル交換装置を有する電気部品搬送装着装置を備えた電気部品装着システムを図面に基づいて説明する。上記電気部品搬送装着装置は、本願発明の装置発明の一実施形態であり、この電気部品搬送装着装置における吸着ノズル交換方法が本願の方法発明の一実施形態である。本電気部品装着システム１０（図１参照）は、図示は省略するが、回路基材（本実施形態では、後述するプリント基板である）の搬送方向において上流側に設けられた上流側装置であって、塗布システムの一種であり、回路基材にペースト状半田を印刷するスクリーン印刷システムと、下流側に設けられた下流側装置たるリフローシステム（半田を溶融させて電気部品を回路基材に電気的に接続するシステム）と共に電気部品組立ラインを構成している。
【０００５】電気部品装着システム１０の基台１２上には、図１に示すように、基板コンベヤ１４，２個ずつの電気部品供給装置１６，１８および電気部品搬送装着装置２０，２２が設けられている。基板コンベヤ１４，電気部品供給装置１６，１８および電気部品搬送装着装置２０，２２の後述する吸着ノズル交換装置以外の部分は、まだ未公開であるが、本出願人の出願である特願平８－３１５８６０号の明細書に記載の基板コンベヤ，電気部品供給装置および電気部品搬送装着装置と同様に構成されており、本発明に関連の深い部分のみを簡単に説明する。
【０００６】基板コンベヤ１４は、２つのメインコンベヤ２４，２６と、１つずつの搬入コンベヤ２８および搬出コンベヤ３０とを備えている。メインコンベヤ２４，２６はそれぞれ、プリント基板３２を位置決め支持する基板位置決め支持装置を備えており、回路基材たるプリント基板３２の搬送方向（以下、基板搬送方向と称する。基板搬送方向は図１において左右方向であり、基板搬送方向をＸ軸方向とする）と水平面内において直角な方向（Ｙ軸方向とする）に並んで配設されている。搬入コンベヤ２８は、基板搬送方向において、メインコンベヤ２４，２６の上流側に設けられており、図示しない搬入コンベヤシフト装置により、メインコンベヤ２４につらなる第１シフト位置と、メインコンベヤ２６につらなる第２シフト位置とにシフトさせられる。搬入コンベヤ２８は、スクリーン印刷システムからスクリーン印刷後のプリント基板を受け取り、メインコンベヤ２４あるいは２６に搬入する。
【０００７】搬出コンベヤ３０は、プリント基板３２の搬送方向において、メインコンベヤ２４，２６の下流側に設けられており、図示しない搬出コンベヤシフト装置により、メインコンベヤ２４につらなる第１シフト位置と、メインコンベヤ２６につらなる第２シフト位置とにシフトさせられる。搬出コンベヤ３０は、メインコンベヤ２４あるいは２６から、電気部品の装着が済んだプリント基板を受け取り、リフローシステムへ搬出する。
【０００８】電気部品供給装置１６，１８はそれぞれ、フィーダ支持台４０上に着脱可能に固定された複数の電気部品供給フィーダ４２（以下、フィーダ４２と略称する）を備えている。フィーダ４２により供給される電気部品は、キャリヤテープにより保持されており、それら電気部品およびキャリヤテープを含む部品保持テープは、フィーダ４２に設けられたテープ送り装置により送られ、電気部品が１個ずつ部品供給部へ送られる。複数のフィーダ４２は、各部品供給部がＸ軸方向に平行な一直線上に並ぶ状態でフィーダ支持台４０に固定されている。
【０００９】電気部品搬送装着装置２０，２２はそれぞれ、装着ヘッド５０，５２と、それぞれＸ軸スライド５４，５６およびＹ軸スライド５８，６０を備えて装着ヘッド５０，５２を水平面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボット６２，６４とを有している。これら装着ヘッド５０，５２は同様に構成され、ＸＹロボット６２，６４は同様に構成されており、装着ヘッド５０およびＸＹロボット６２を代表的に説明する。
【００１０】Ｙ軸スライド５８は基台１２上にＹ軸方向に移動可能に設けられ、Ｘ軸スライド５４はＹ軸スライド５８上にＸ軸方向に移動可能に設けられている。Ｙ軸スライド５８は、サーボモータ６５（図１７参照）を駆動源とし、サーボモータ６５の回転を直線運動に変換してＹ軸スライド５８に伝達する運動変換装置を含むＹ軸スライド移動装置によりＹ軸方向に移動させられる。Ｘ軸スライド５４も同様に、サーボモータ６６（図１７参照）を駆動源とし、運動変換装置を含むＸ軸スライド移動装置によりＸ軸方向に移動させられる。
【００１１】装着ヘッド５０は、Ｘ軸スライド５４に垂直軸線まわりに間欠回転可能に取り付けられた間欠回転体６８（図２参照）を有している。間欠回転体６８は、サーボモータ７０（図１７参照）を駆動源とする回転駆動装置により、正逆両方向に任意の角度回転させられる。サーボモータ７０および前記サーボモータ６５，６６は、電動モータの一種である電動回転モータであって、回転角度および回転速度の精度の良い制御が可能なモータであり、サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。
【００１２】間欠回転体６８には、複数個（本実施形態においては１６個）の保持具ホルダたる保持軸７２（図２には１個のみ図示されている）が等角度間隔に設けられている。これら保持軸７２はそれぞれ、間欠回転体６８に、間欠回転体６８の回転軸線に平行な方向に移動可能かつ自身の軸線まわりに回転可能に嵌合されており、間欠回転体６８の回転時に１６個の保持軸７２が間欠回転体６８の回転軸線を中心として旋回させられる。
【００１３】保持軸７２にはまた、図２に示すように、上端部にカムフォロワ７６が回転可能に設けられている。カムフォロワ７６は球状を成す。保持軸７２は、間欠回転体６８との間に設けられた付勢手段の一種である弾性部材であって、ばね部材たる圧縮コイルスプリング８２により上方へ付勢され、カムフォロワ７６がＸ軸スライド５４に固定の固定カム７８のカム面８０に接触させられている。カム面８０は、周方向において高さが滑らかに変化する部分と、高さが一定の部分とを有し、間欠回転体６８の回転時にカムフォロワ７６がカム面８０に沿って転動し、１６個の保持軸７２は間欠回転体６８の回転軸線のまわりに旋回させられつつ昇降させられる。
【００１４】１６個の保持軸７２の間欠回転体６８から突出した各下部に、保持具たる部品吸着ノズル８４が保持されている。部品吸着ノズル８４は負圧により電気部品８６を吸着するものであり、保持軸７２内に設けられた通路８８，間欠回転体６８に取り付けられた圧力切換弁９０に接続されており、圧力切換弁９０は間欠回転体６８内に設けられた通路（図示省略）等を介して図示しない真空装置に接続されている。圧力切換弁９０は、圧力切換弁制御装置の制御により、部品吸着ノズル８４内の圧力を大気圧以上の圧力から負圧に切り換え、部品吸着ノズル８４に電気部品８６を吸着させる負圧供給状態と、部品吸着ノズル８４内の圧力を負圧から大気圧以上の圧力に切り換え、部品吸着ノズル８４に電気部品８６を解放させる負圧解除状態とに切り換えられる。なお、間欠回転体６８内に設けられた通路は、間欠回転体６８が回転しても、Ｘ軸スライド５４側に設けられて真空装置に連通させられた通路との連通が保たれるようにされている。
【００１５】部品吸着ノズル８４は、図３に示すように、アダプタ１００を介して保持軸７２に取り付けられている。アダプタ１００は、保持軸７２の下端部に設けられたノズル保持部１０２に形成された嵌合穴１０４に軸方向に相対移動可能に嵌合されている。アダプタ１００は、ノズル保持部１０２に等角度間隔に設けられた複数の保持部材１０６（図４，図１６には代表的に１個のみ図示されている）によって保持されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材であって、ばね部材たる圧縮コイルスプリング１０８により、ノズル保持部１０２から下方へ突出する向きに付勢されている。
【００１６】ノズル保持部１０２には、保持軸７２の軸線に平行に延びる複数の切欠１１０が等角度間隔に形成され、前記複数の保持部材１０６の各々が回動可能に嵌合されるとともに、ノズル保持部１０２に巻き付けられたリング状のばね部材１１２によってノズル保持部１０２に保持されている。保持部材１０６の切欠１１０に嵌合された部分の上側には、ノズル保持部１０２の中心側に突出する突部１１４が設けられるとともに、ノズル保持部１０２に形成された切欠１１６に嵌入させられており、この突部１１４の切欠１１６の底面への当接部を中心として、保持部材１０６がその長手方向に直角で、ノズル保持部１０２の保持部材１０６が取り付けられた部分に対する接線方向に延びる軸線まわりに回動可能である。
【００１７】さらに、保持部材１０６の突部１１４の上側には操作部１１８が突設され、ノズル保持部１０２に形成された切欠１２０に嵌入させられている。保持部材１０６は、切欠１１０への嵌合と、操作部１１８の切欠１２０への嵌入とによって、保持軸７２の軸線と直交する軸線まわりの回動が阻止されている。
【００１８】保持部材１０６の下部は、アダプタ１００の大径の係合部１２４に形成された切欠１２６に嵌合されており、ノズル保持部１０２とアダプタ１００との相対回転を阻止している。また、保持部材１０６の下端部にはアダプタ１００側へ突出する係合突部１２８が突設され、この係合突部１２８が係合部１２４に下方から係合することにより、アダプタ１００の嵌合穴１０４からの抜出しを防止している。この状態で前記操作部１１８を押して保持部材１０６をばね部材１１２の付勢力に抗して回動させ、係合突部１２８と係合部１２４との係合を解くことにより、アダプタ１００をノズル保持部１０２から外すことができる。
【００１９】部品吸着ノズル８４は、吸着管保持体１３２および吸着管保持体１３２に保持された吸着管１３４を有し、吸着管保持体１３２に設けられた嵌合部たるテーパ部１３６においてアダプタ１００に設けられた被嵌合部の一種である嵌合穴たるテーパ穴１３８にテーパ嵌合されるとともに、ばね部材１４０によりアダプタ１００に保持されている。ばね部材１４０はほぼコの字形を成し、コの字の一対の腕部においてアダプタ１００に形成された一対の切欠１４２に嵌合され、それら腕部間の距離は先端ほど狭くされて締まり勝手とされている。また、それら腕部間の先端部は互いに接近する向きに曲げられ、アダプタ１００からの脱落が防止されている。
【００２０】テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合されれば、ばね部材１４０はテーパ部１３６に形成された円環状の嵌合溝１４４に嵌入し、テーパ部１３６に係合して吸着管保持体１３２を保持するとともに、テーパ穴１３８内に引き込んで位置決めする。ばね部材１４０のアダプタ１００に対する取付位置は、テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合された状態で、ばね部材１４０の円形状の断面の中心位置に対して、半円形断面の嵌合溝１４４の中心位置が下方へずれた状態となる位置とされており、ばね部材１４０は嵌合溝１４４の溝側面の上側の部分に係合して吸着管保持体１３２をテーパ穴１３８内に引き込む。部品吸着ノズル８４は、ばね部材１４０の引込力を超える力をアダプタ１００から抜け出す方向に加えることにより、アダプタ１００から取り外すことができる。本実施形態においては、アダプタ１００が保持具チャックの一種であるノズルチャックを構成しているのであり、アダプタ１００は、チャック保持部材たる保持軸７２に着脱可能に保持されている。保持軸７２は、アダプタ１００を介して部品吸着ノズル８４を保持しているとも言える。なお、符号１４６は発光板であり、円板状を成す。発光板１４６はアルミニウムにより作られていて反射率が高く、上面が反射面１４８として機能する。また、発光板１４６の下面１５０（吸着管１３４が延び出させられた側の面）には、蛍光材料の層が形成されており、紫外線を吸収し、電気部品８６に向かって可視光線を放射する。
【００２１】１６個の保持軸７２（アダプタ１００および部品吸着ノズル８４）は、間欠回転体６８が保持軸７２の配設角度間隔に等しい角度、間欠回転させられることにより、１６個の停止位置に順次停止させられる。これら１６個の停止位置のうち、カム面８０の最も低い部分に対応する位置が、電気部品８６の電気部品供給装置１６，１８からの受取りと、プリント基板３０への装着とを行う部品吸着装着位置とされ、部品吸着装着位置から９０度離れた位置であって、カム面８０の最も高い部分に対応する位置が撮像位置とされている。なお、カム面８０は、撮像位置の前後および部品吸着装着位置の前後においては、保持軸７２（部品吸着ノズル８４）が水平に移動するように形成されている。また、カム面８０は、間欠回転体６８の回転軸線を通り、Ｘ軸方向に平行な直線上に部品吸着装着位置が位置するように設けられている。１６個の保持軸７２の各高さは、部品吸着装着位置に位置する保持軸７２の高さが最も低く、部品吸着装着位置から正方向および逆方向に離れ、撮像位置に向かうに従って高くなる。カム面８０は、部品吸着装着位置の前後においては、保持軸７２が水平に移動するように形成されており、部品吸着装着位置に位置する保持軸７２の両隣の保持軸７２の高さは、部品吸着装着位置に位置する保持軸７２と同じであるか、それよりもやや高くなる。Ｘ軸スライド５４の撮像位置に対応する位置には、電気部品撮像装置１６０（図１７参照）が設けられている。Ｘ軸スライド５４にはまた、プリント基板３０に設けられた基準マークを撮像する基準マーク撮像装置１６２（図１７参照）が設けられている。
【００２２】Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対応する位置には、図４に示すように、昇降装置１７０が設けられており、保持軸７２およびアダプタ１００が昇降させられる。昇降装置１７０は、駆動源たる電動モータの一種であって、移動距離および移動速度の精度の良い制御が可能なサーボモータであるリニアモータ１７２を駆動源とする。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。リニアモータ１７２の可動子１７４は、リニアモータ１７２のハウジングから下方へ垂直に延び出させられるとともに、移動部材１７６が固定されている。移動部材１７６には、昇降駆動部材１７８が設けられるとともに、昇降駆動部材１７８に設けられた薄板状の昇降駆動部１８０は、固定カム７８の部品吸着装着位置に対応する部分に形成された切欠１８２に昇降可能に嵌合されている。
【００２３】昇降駆動部材１７８は、リニアモータ１７２によって移動部材１７６が昇降させられることにより、昇降駆動部１８０が切欠１８２に嵌合されて、その下面が固定カム７８のカム面８０と連続し、固定カム７８の一部を構成する上昇位置と、昇降駆動部１８０が切欠１８２から外れて下面がカム面８０より下方に位置する下降位置との間で昇降させられる。保持軸７２が間欠回転体６８の回転により部品吸着装着位置に至り、カムフォロワ７６が昇降駆動部１８０の下面に係合した状態で移動部材１７６が下降させられ、昇降駆動部材１７８が下降させられることにより、昇降駆動部１８０が下降させられて保持軸７２およびアダプタ１００が（アダプタ１００に部品吸着ノズル８４が保持されている場合には部品吸着ノズル８４も）下降させられる。移動部材１７６が上昇させられ、昇降駆動部材１７８が上昇させられて昇降駆動部１８０が上昇させられれば、保持軸７２は圧縮コイルスプリング８２の付勢力により昇降駆動部１８０に追従して上昇させられ、アダプタ１００が上昇させられる。リニアモータ１７２の制御による移動部材１７６の移動距離の調節により、昇降駆動部材１７８の昇降距離、すなわち保持軸７２の昇降距離を調節し得る。なお、Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置近傍には、昇降駆動部材１７８の昇降と連動して、前記圧力切換弁９０の切換えを行う切換弁制御装置の機構部１８４が設けられているが、説明は省略する。また、Ｘ軸スライド５４および保持軸７２には、保持軸７２を自身の軸線のまわりに回転させて、部品吸着ノズル８４を自身の軸線のまわりに回転させ、部品吸着ノズル８４により保持された電気部品８６の方位誤差を修正し、あるいは方位を変更する保持具回転装置が設けられているが、説明は省略する。
【００２４】基板コンベヤ１４のメインコンベヤ２４，２６と電気部品供給装置１６，１８との間にはそれぞれ、図１に示すように、吸着ノズル交換装置１９０，１９２が設けられている。これら吸着ノズル交換装置１９０，１９２の構成は同じであり、吸着ノズル交換装置１９０を代表的に説明する。
【００２５】吸着ノズル交換装置１９０は、図５に示すように、保持具保持部材たるノズル保持部材１９４と保持部材保持装置１９６とを含んでいる。保持部材保持装置１９６は基台１２上に固定されたフレーム１９８を備えており（図５には基台１２の図示は省略されている）、フレーム１９８には流体圧アクチュエータの一種である流体圧シリンダたるエアシリンダ２００が上向きに固定されるとともに、エアシリンダ２００のピストンロッド２０２の突出端部には、図５および図６に示すように、保持部材受台２０４が固定されている。保持部材受台２０４は、板状を成し、ピストンロッド２００の突出端部に水平な姿勢で固定されており、上面が保持部材受面２０６を構成している。保持部材受台２０４の下面に固定の一対の案内部材たるガイドロッド２０８はそれぞれ、フレーム１９８に固定の一対の案内筒２１０に上下方向に移動可能に嵌合されるとともに、案内筒２１０から突出した下端部は、連結部材２１２により連結されている。電磁方向切換弁２１３（図１７参照）の切換えにより、エアシリンダ２００の２個のエア室が大気と圧縮空気供給源とに選択的に連通させられてピストンロッド２０２が伸縮させられ、保持部材受台２０４は、ガイドロッド２０８および案内筒２１０により案内されつつ水平な姿勢を保って昇降させられる。エアシリンダ２００は、保持部材移動装置の一種である保持部材昇降装置を構成している。
【００２６】吸着ノズル交換装置１９０は、保持部材受台２０４の長手方向が基板搬送方向（Ｘ軸方向）と平行となるように設けられており、保持部材受台２０４の長手方向に平行な両端部にはそれぞれ、図６および図７に示すように、長手方向の中央部に保持部材受台２０４を厚さ方向に貫通する切欠２１４が形成されるとともに、各切欠２１４の保持部材受台２０４の長手方向における両側にはそれぞれ、通し穴２１６が保持部材受台２０４を厚さ方向に貫通して形成されている。保持部材受台２０４の長手方向に平行な両端部のうち、基板コンベヤ１４側の端部に設けられた２個の通し穴２１６にはそれぞれ、頭付ピン２１８が雄ねじ部２２０において嵌合されるとともに、雄ねじ部２２０の保持部材受台２０４から下方への突出端部にナット２２１が螺合され、頭付ピン２１８が保持部材受台２０４に固定されている。２個の頭付ピン２１８は、保持部材受台２０４に保持部材受面２０６に平行な方向に互いに隔たって保持部材受面２０６に直角に固定されているのである。頭付ピン２１８の螺合限度は、円形断面の胴部２２２が保持部材受面２０６に当接することにより規定され、胴部２２２の雄ねじ部２２０とは反対側に設けられた頭部２２４と保持部材受面２０６との間には隙間が設けられている。頭部２２４には、図７に示すように、直径方向に隔たった２箇所にそれぞれ面取りが施され、回転工具が係合可能とされている。
【００２７】保持部材受台２０４の２つの切欠２１４に対応する位置にはそれぞれ、図６に示すように、保持部材受面２０６とは反対向きの面側に、保持部材受面２０６に対して４５度傾斜した取付面２２８が設けられている（図６には一方の取付面２２８のみが図示されている）。これら取付面２２８のうち、保持部材受台２０４の２個の頭付ピン２１８が立設された側とは反対側の端部に設けられた取付面２２８には、図５および図６に示すように、留め具２３０が取り付けられている。留め具２３０は、保持部材受台２０４の長手方向に平行な両端部のうち、電気部品供給装置１６側の端部に設けられているのである。
【００２８】留め具２３０は、図６および図８に示すように、本体部材２３２，本体部材２３２の幅方向に平行な軸線まわりに回動可能に取り付けられたレバー２３４，レバー２３４に軸２３５によってレバー２３４の本体部材２３２に対する回動軸線と平行な軸線まわりに回動可能に取り付けられた一対のアーム２３６，それらアーム２３６にそれぞれ長手方向に相対移動可能かつ相対回動不能に係合させられた別の一対のアーム２３８，アーム２３８のアーム２３６からの突出端部間に設けられた係合部材２４０，一対ずつのアーム２３６と２３８との間にそれぞれ設けられた付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材としての圧縮コイルスプリング２４２，本体部材２３２に設けられ、レバー２３４の回動限度を規定するストッパ２４４（図６参照）を有する。２つの圧縮コイルスプリング２４２の各両端部はそれぞれ、アーム２３６とアーム２３８とに係合させられ、アーム２３６，２３８を板面に平行な方向において互いに接近する向きに付勢している。留め具２３０は本体部材２３２において、固定手段の一種であるボルト２４６により取付面２２８に固定されており、保持部材受面２０６に対して４５度傾斜させられている。
【００２９】保持部材受台２０４上に前記ノズル保持部材１９４が工具を使用することなく着脱可能に取り付けられており、保持部材受台２０４とともに昇降させられる。ノズル保持部材１９４は、図５および図９に示すように、矩形の板状を成し、複数のノズル保持穴２５０が形成されている。これらノズル保持穴２５０はそれぞれ段付状を成し、図９および図１０に示すように、保持部材受台２０４により受けられる被受面２５２に開口する小径穴部２５４と、被受面２５２とは反対向きの面に開口する大径穴部２５６とを有し、長手方向と幅方向とにおいてそれぞれ等間隔に形成されている。大径穴部２５６の深さは、前記部品吸着ノズル８４の発光板１４６の厚さより大きくされている。なお、保持部材受台２０４には、黒染め処理が施されて光の反射率が低くされている。
【００３０】これらノズル保持穴２５０にはそれぞれ、図１４に示すように、部品吸着ノズル８４が嵌合されている（図１４には部品吸着ノズル８４が２個、代表的に図示されている。なお、図１２および図１３においては、部品吸着ノズル８４の図示は省略されている）。部品吸着ノズル８４は、吸着管１３４が小径穴部２５４に嵌合され、発光板１４６が大径穴部２５６に嵌合されるとともに、大径穴部２５６の底面により下方から支持され、吸着管保持体１３２に設けられたテーパ部１３６は、ノズル保持部材１９４から上方へ突出させられている。
【００３１】部品吸着ノズル８４には、発光板１４６の直径は同じであるが、吸着管１３４の直径を異にする複数種類の部品吸着ノズル８４があり、電気部品８６の形状，寸法に応じた吸着管１３４を有する部品吸着ノズル８４が電気部品８６の吸着，装着に使用され、ノズル保持部材１９４には、複数種類の部品吸着ノズル８４が保持されている。部品吸着ノズル８４は、使用頻度の高い部品吸着ノズル８４ほど数が多くされ、種類毎にまとめて保持されている。なお、ノズル保持穴２５０の小径穴部２５４の直径は、最も大きい吸着管１３４が嵌合可能な大きさとされ、大径穴部２５６の直径は発光板１４６より僅かに大きくされている。なお、部品吸着ノズル８４の種類が異なっても、テーパ部１３６の大きさは同じである。
【００３２】ノズル保持部材１９４の長手方向に平行な両縁にはそれぞれ、図９に示すように、長手方向のほぼ中間位置に取付面２６０（図６に一方の取付面２６０を示す）が形成されるとともに、各取付面２６０のノズル保持部材１９４の長手方向における両側であって、被受面２５２に平行な方向に隔たった２部分にそれぞれ、ノズル保持部材１９４の長手方向に平行な側面に開口するとともに、ノズル保持部材１９４を厚さ方向に貫通する切欠２６２が形成されている。切欠２６２は、被受面２５２に平行な断面形状がＵ字形を成すとともに、ノズル保持部材１９４の上記側面側の開口部は、開口端ほど幅が広くされている。また、切欠２６２の周囲には、被受面２５２とは反対向きの係合面２６４が形成されている。切欠２６２の被受面２５２とは反対側の部分には、図６および図１１に示すように、切欠２６２に沿って座ぐりが施され、それにより得られる被受面２５２とは反対向きの面が係合面２６４とされているのである。
【００３３】上記２つの取付面２６０はそれぞれ、図６に示すように、被受面２５２に対して下方ほどノズル保持部材１９４の幅方向において中央側に向かう向きに４５度傾斜させられた傾斜面であり、ノズル保持部材１９４が保持部材受台２０４に取り付けられた状態で電気部品供給装置１６側に位置する取付面２６０には、係合部材２６８（図６，図１４参照）が固定手段の一種であるボルト２７０（図１４には図示は省略されている）により着脱可能に固定されている。係合部材２６８はノズル保持部材１９４に、被受面２５２に対して４５度傾斜して固定されているのであり、取付面２６０から下方へ突出した突出端部はＶ字形に湾曲させられて係合部２７２が設けられている。
【００３４】ノズル保持部材１９４は、図１２に示すように、係合部材２６８が固定された側とは反対側の縁部に形成された２個の切欠２６２がそれぞれ、保持部材受台２０４に立設された２個の頭付ピン２１８の胴部２２２に係合させられ、ノズル保持部材１９４の２個の切欠２６２が並ぶ方向の平行移動と、切欠２６２を胴部２２に係合させ、当接させる際の当接方向の平行移動と、被受面２５２に平行な方向の平行移動と被受面２５２に平行な方向における回転とが阻止されている。また、図６および図１１に示すように、頭部２２４が係合面２６４に係合してノズル保持部材１９４の保持部材受台２０４からの浮上がりが防止されている。さらに、留め具２３０の係合部材２４０がノズル保持部材１９４に固定の係合部材２６８の係合部２７２に係合させられ、圧縮コイルスプリング２４２の付勢力により、ノズル保持部材１９４が頭付ピン２１８に向かって付勢されるとともに、被受面２５２が保持部材受面２０６に向かう向きに付勢されている。前述のように、留め具２３０は保持部材受台２０４に、保持部材受面２０６に対して４５度傾斜して固定され、圧縮コイルスプリング２４２も傾斜させられているため、圧縮コイルスプリング２４２は、ノズル保持部材１９４が頭付ピン２１８に向かう向きの方向成分と、保持部材受面２０６に向かう向きの方向成分とを含む付勢力を発生させるのである。圧縮コイルスプリング２４２が、平行方向付勢手段と直角方向付勢手段とを兼ねる兼用付勢手段を構成している。係合部材２４０が係合部２７２に係合させられるとき、係合部２７２は保持部材受台２０４に設けられた切欠２１４内へ突出させられ、その切欠２１４内に位置する係合部材２４０と係合させられる。
【００３５】ノズル保持部材１９４には、図１２ないし図１４に示すように、ノズル保持穴２５０を覆う離脱防止板２８０が設けられている。離脱防止板２８０は薄い板状を成し、４つの開口２８２が長手方向に平行に形成されている。各開口２８２はそれぞれ、複数の円形穴部２８４と、隣接する円形穴部２８４をつなぐつなぎ部２８６とを有する。これら円形穴部２８４はそれぞれ、ノズル保持穴２５０の大径穴部２５６より僅かに大きい径を有し、ノズル保持穴２５０のノズル保持部材１９４の長手方向における形成ピッチと等しいピッチで形成されている。また、つなぎ部２８６は、部品吸着ノズル８４のテーパ部１３６の最大直径より大きく、発光板１４６の直径より小さい幅（離脱防止板２８０の板面に平行な平面内において開口２８２の長手方向と直角な方向の寸法）を有し、離脱防止板２８０の複数のつなぎ部２８６をそれぞれ画定する一対ずつの突部が離脱防止部２８８を構成している。各対の２個の離脱防止部２８８は、離脱防止板２８０の長手方向と直角な方向、すなわち保持部材受台２０４の長手方向と直角な方向であって、前記Ｙ軸方向に距離を隔てて対向して設けられている。なお、４つの開口２８２は、離脱防止板２８０の幅方向において、ノズル保持穴２５０のノズル保持部材１９４の幅方向における形成ピッチと等しいピッチで形成されている。
【００３６】ノズル保持部材１９４には、図１２，図１３および図１５に示すように、複数のピン２９２が立設されて係合突部が設けられており、離脱防止板２８０は、その長手方向に平行に形成された複数の長穴２９４の各々においてピン２９２に相対移動可能に嵌合されている。符号２９６はワッシャである。これらピン２９２および長穴２９４の嵌合により、離脱防止板２８０のノズル保持部材１９４に対する相対移動が案内されるとともに、離脱防止板２８０のノズル保持部材１９４に対する被受面２５２に平行な方向の回転が阻止されている。
【００３７】ノズル保持部材１９４と離脱防止板２８０との間には、図１２および図１４に示すように、付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材としての引張コイルスプリング３００が掛け渡されている。引張コイルスプリング３００の付勢による離脱防止板２８０の移動限度は、長穴２９４がピン２９２に当接することにより規定されている。ピン２９２はストッパとしても機能するのであり、図１２に示すように、長穴２９４の引張コイルスプリング３００の付勢によるノズル保持部材１９４の移動方向において上流側の端部がピン２９２に当接した状態では、離脱防止板２８０は、離脱防止部２８８がノズル保持穴２５０上に位置し、部品吸着ノズル８４のノズル保持部材１９４からの離脱を阻止する作用位置に位置させられる。
【００３８】離脱防止板２８０の、引張コイルスプリング３００の付勢による移動方向において上流側の端部には、図１２ないし図１４に示すように、突部３０６が突設されている。突部３０６の突出端部には、ノズル保持部材１９４側へ延び出す係合部３０８が設けられている。
【００３９】保持部材受台２０４には、図５に示すように、エアシリンダ３１２が固定されており、エアシリンダ３１２のピストンロッド３１４に固定の係合部材３１６には切欠３１８が形成されるとともに、離脱防止板２８０の係合部３０８が着脱可能に嵌合されている。切欠３１８は、係合部の一種である係合凹部であり、図５および図１２に示すように、ピストンロッド３１４の伸縮方向と直交する方向であって、ノズル保持部材１９４の保持部材受台２０４に対する取付方向（保持部材受台２０４の長手方向と直角な方向）と平行な方向に貫通して形成されている。切欠３１８の一対の切欠側面の長手方向に隔たった両端部はそれぞれ、図１２に示すように、端側ほど切欠３１８の幅が広くなる向きに傾斜させられて案内面３２０が形成されている。
【００４０】係合部３０８と切欠３１８とは、離脱防止板２８０が作用位置に位置し、ピストンロッド３１４が収縮位置に位置する状態で互いに係合するようにされている。エアシリンダ３１２の保持部材受台２０４に対する取付位置がそのように設定されているのであるが、切欠３１８の長手方向の両端部にはそれぞれ案内面３２０が形成されており、係合部３０８と切欠３１８との離脱防止板２８０の長手方向（離脱防止板２８０のノズル保持部材に対する移動方向）における位置が僅かにずれていても、案内面３２０により案内されて嵌合可能である。エアシリンダ３１２は、切欠３１８の係合部３０８に対するずれが、係合部３０８に対して保持部材受台２０４とは反対側（引張コイルスプリング３００の付勢方向とは逆の方向側）に生ずるように取り付けられている。
【００４１】電磁方向切換弁３２２（図１７参照）の切換えにより、エアシリンダ３１２の２個のエア室が大気と圧縮空気供給源とに選択的に連通させられてピストンロッド３１４が伸縮させられ、係合部材３１６が移動させられるとともに、離脱防止板２８０が基板搬送方向と平行な方向に移動させられ、図１２に示す作用位置と、図１３に示す退避位置、すなわち開口２８２の円形穴部２８４とノズル保持穴２５０との位置がほぼ一致して部品吸着ノズル８４のノズル保持部材１９４からの離脱を許容する位置とに移動させられる。離脱防止板２８０は、前記引張コイルスプリング３００の付勢力に抗して退避位置へ移動させられる。離脱防止板２８０が離脱防止部材を構成し、エアシリンダ３１２が離脱防止部材移動装置を構成し、引張コイルスプリング３００が離脱防止部材付勢手段を構成している。なお、係合部材３１６には一対の案内部材が設けられるとともに、エアシリンダ３１２に設けられた一対のガイドブッシュに移動可能に嵌合されており、これら案内部材およびガイドブッシュは係合部材３１６の移動を案内するとともに回転を防止している。
【００４２】前記Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対応する位置には、ノズルセンサ３２４（図１６参照）が設けられている。Ｘ軸スライド５４は、図示は省略するが、間欠回転体６８を構成する回転軸の下端部を回転可能に保持する保持部を有し、この保持部にノズルセンサ３２４が設けられている。この保持部は、保持軸７２の旋回軌跡の外側から内側にわたって設けられ、上記回転軸を保持しており、ノズルセンサ３２４は保持部に、保持軸７２の旋回軌跡の内側（旋回中心線側）に位置するように設けられている。ノズルセンサ３２４は、図１６に示すように、投光部３２６および受光部３２８を有する反射型のセンサであり、Ｙ軸方向に平行な垂直面内において投光部３２６が発する光を受光部３２８が受光するように設けられている。更に詳細には、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２が、ノズル交換のためにノズル保持部材１９４のノズル保持穴２５０上へ移動させられるとともに、ノズル保持部材１９４および保持部材受台２０４が下降端位置にあり、ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されているとき、ノズル保持穴２５０に保持された部品吸着ノズル８４の発光板１４６の反射面１４８の、作用位置に位置する離脱防止板２８０の対を成す２個の離脱防止部２８８により覆われていない部分に向かって投光部３２６が光を照射し、その光が反射面１４８により反射されて受光部３２８が受光し、かつ、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２が保持する部品吸着ノズル８４により、投光部３２６が発する光の反射面１４８への到達および受光部３２８による反射光の受光が妨げられることがないように設けられている。
【００４３】ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されていれば、投光部３２６が発する光は発光板１４６の反射面１４８により反射され、受光部３２８の受光量がしきい値を超えることから、部品吸着ノズル８４が保持されていることがわかる。ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されていなければ、投光部３２６が発する光はノズル保持穴２５０の大径穴部２５６に当たるが、ノズル保持部材１９４には黒染め処理が施されているため、光の反射量が少なく、受光部３２８の受光量がしきい値以下となることから、ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されておらず、空であることがわかる。
【００４４】なお、本電気部品装着システム１０において、電気部品供給装置１６，１８および電気部品搬送装着装置２０，２２はそれぞれ、基板コンベヤ１４の基板搬送方向に平行な中心線に対して左右対称に構成されており、各装置は、前後方向（基板搬送方向に平行な方向）の向きが互いに同じにされている。吸着ノズル交換装置１９０，１９２についても同じであり、吸着ノズル交換装置１９２においては、保持部材受台２０４における頭付ピン２１８および留め具２３０の取付位置、ならびにノズル保持部材１９４における係合部材２６８の取付位置および頭付ピン２１８に係合する切欠２６２がそれぞれ、吸着ノズル交換装置１９０とは左右逆にされている。ただし、保持部材受台２０４には長手方向に平行な両端部にそれぞれ頭付ピン２１８を立設するための２個ずつの通し穴２１６および留め具２３０を固定するための１個ずつの取付面２２８が形成され、ノズル保持部材１９４には、長手方向に平行な両端部にそれぞれ２個ずつの切欠２６２が形成されるとともに、係合部材２６８を固定するための１個ずつの取付面２６０が形成されているため、左右対称の吸着ノズル交換装置１９０，１９２に共通して使用することができる。
【００４５】本電気部品装着システム１０は、図１７に示す制御装置３３０により制御される。制御装置３３０は、ＰＵ（プロセッシングユニット）３３２，ＲＯＭ３３４，ＲＡＭ３３６およびそれらを接続するバス３３８を有するコンピュータ３４０を主体とするものである。バス３３８には入力インタフェース３４２が接続されるとともに、電気部品撮像装置１６０，基準マーク撮像装置１６２およびノズルセンサ３２４（受光部３２８）が接続されている。バス３３８にはまた、出力インタフェース３４６が接続されるとともに、駆動回路３４５，３４７，３４８，３５０，３５２，３５４，３５６を介してサーボモータ６５，６６，７０，リニアモータ１７２，エアシリンダ２００，３１２への各エアの供給を切り換える電磁方向切換弁２１３，３２２，警告装置３５８が接続されている。警告装置３５８は、異常の発生を作業者に報知する装置である。なお、図１７において図示は省略するが、制御装置３３０は、この他に、前記搬入コンベヤシフト装置，搬出コンベヤシフト装置，メインコンベヤ２４，２６，搬入コンベヤ２８，搬出コンベヤ３０，フィーダ４２のテープ送り装置等を制御する。
【００４６】次に作動を説明する。２個の電気部品搬送装着装置２０，２２は、メインコンベヤ２４とメインコンベヤ２６とのいずれか一方により位置決め支持されたプリント基板３２に交互に電気部品８６を装着する。１枚のプリント基板３２について、本電気部品装着システム１０において装着が予定された全部の電気部品８６を電気部品搬送装着装置２０，２２が共同して装着するのである。メインコンベヤ２４，２６のうち、一方のメインコンベヤにおいて位置決め支持されたプリント基板３２について電気部品８６の装着が行われている間、他方のメインコンベヤにおいてはプリント基板３２の搬出，搬入および位置決め支持が行われ、搬入されたプリント基板３２は電気部品８６の装着に備えてメインコンベヤ上で待機させられる。一方のメインコンベヤにより支持されたプリント基板３２への電気部品８６の装着が終了すれば、そのプリント基板３２は搬出コンベヤ３０により搬出されるとともに、他方のメインコンベヤにおいて待機させられているプリント基板３２への電気部品８６の装着が開始される。
【００４７】２個の電気部品搬送装着装置２０，２２がそれぞれ電気部品８６を取り出す電気部品供給装置は決まっており、電気部品搬送装着装置２０は、電気部品供給装置１６から電気部品８６を取り出し、電気部品搬送装着装置２２は、電気部品供給装置１８から電気部品８６を取り出す。電気部品搬送装着装置２０について、電気部品８６の取出し，装着を代表的に説明する。
【００４８】電気部品８６の取出し時には、間欠回転体６８の間欠回転により、１６個の保持軸７２およびアダプタ１００が順次部品吸着装着位置に位置決めされるとともに、ＸＹロボット６２により、電気部品８６を供給するフィーダ４２の部品供給部上へ移動させられる。保持軸７２が部品吸着装着位置へ到達するとき、カムフォロワ７６が昇降駆動部１８０の下面に係合する状態になり、その状態でリニアモータ１７２が起動され、移動部材１７６が下降させられることにより昇降駆動部材１７８が下降させられ、保持軸７２が下降させられる。部品吸着ノズル８４が電気部品８６に接触し、負圧により吸着した後、移動部材１７６が上昇させられ、昇降駆動部材１７８が上昇させられるとともに、保持軸７２が圧縮コイルスプリング８２の付勢により上昇させられ、部品吸着ノズル８４が電気部品８６をフィーダ４２から取り出す。
【００４９】１６個の部品吸着ノズル８４はそれぞれ、部品吸着装着位置において電気部品８６を取り出した後、電気部品撮像位置に至ったとき、回路部品撮像装置１６０により電気部品８６の保持姿勢が撮像される。全部の部品吸着ノズル８４が電気部品８６を吸着したならば、装着ヘッド５０がＸＹロボット６２によりプリント基板３２上へ移動させられ、電気部品８６を装着する。部品吸着ノズル８４がプリント基板３２に電気部品８６を装着するアダプタ１００は、間欠回転体６８の回転により部品吸着装着位置に位置決めされ、ＸＹロボット６２によってプリント基板３２の部品装着箇所上へ移動させられる。
【００５０】この移動中に保持軸７２が自身の軸線のまわりに回転させられ、部品吸着ノズル８４が自身の軸線のまわりに回転させられて電気部品８６の方位誤差が修正される。方位が変更されることもある。なお、プリント基板３２への電気部品８６の装着に先立ってプリント基板３２に設けられた基準マークが基準マーク撮像装置１６２により撮像され、プリント基板３２の複数の部品装着箇所の各々についてＸ軸方向およびＹ軸方向の各位置誤差が演算されている。保持軸７２の移動距離は、プリント基板３２の部品装着箇所のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差，電気部品８６の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差を修正すべく、修正される。電気部品８６の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差は、部品吸着ノズル８４が電気部品８６を吸着する際に生ずる中心位置誤差，電気部品８６の方位誤差の修正により生ずる中心位置の変化および電気部品８６の方位変更により生ずる中心位置の変化の和である。移動後、昇降装置１７０によって保持軸７２が下降させられ、電気部品８６がプリント基板３２上に載置されるとともに、部品吸着ノズル８４が大気に開放されて負圧の供給が遮断され、電気部品８６が解放される。電気部品８６の載置後、保持軸７２は上昇させられる。間欠回転体６８の間欠回転および装着ヘッド５０の移動が繰り返され、装着ヘッド５０において保持された全部の電気部品８６がプリント基板３２に装着されたならば、装着ヘッド５０は電気部品８６を取り出すべく、電気部品供給装置１６へ移動する。
【００５１】電気部品搬送装着装置２０，２２によってプリント基板３２への電気部品８６の装着が行われるとき、プリント基板３２に装着する電気部品８６の種類により、現に保持軸７２（厳密には保持軸７２に保持されているアダプタ１００）に保持されている部品吸着ノズル８４では電気部品８６を吸着できない場合には、部品吸着ノズル８４の交換が行われる。装着ヘッド５０，５２は、部品吸着ノズル８４が保持している全部の電気部品８６のプリント基板３２への装着後、電気部品供給装置１６，１８へ電気部品８６を取り出しに行く途中で吸着ノズル交換装置１９０，１９２へ移動し、部品吸着ノズル８４の交換を行う。以下、電気部品搬送装着装置２０における部品吸着ノズル８４の交換について代表的に説明するが、電気部品搬送装着装置２２においても同様にして部品吸着ノズル８４の交換が行われる。
【００５２】例えば、１６個の保持軸７２には、いずれも小さい電気部品８６を保持する部品吸着ノズル８４が保持されていて、小さい電気部品８６のプリント基板３２への取付けが行われた後、次に大きい電気部品８６および中くらいの大きさの電気部品８６の装着が行われるとすれば、１６個の保持軸７２の各アダプタ１００の全部について部品吸着ノズル８４の交換が行われる。なお、装着される電気部品８６の種類によっては、一部の部品吸着ノズル８４のみが交換される場合もある。
【００５３】本実施形態では、１６個の保持軸７２（厳密には保持軸７２に保持されているアダプタ１００）は、１つのノズル保持部材１９４から部品吸着ノズル８４を受け取り、同じノズル保持部材１９４に部品吸着ノズル８４を戻す。そのため、電気部品８６の装着開始前にノズル保持部材１９４が保持部材受台２０４に取り付けられたとき、１６個の保持軸７２にはいずれも部品吸着ノズル８４は保持されておらず、電気部品８６の装着に先立って保持軸７２は、まず、部品吸着ノズル８４を保持する。保持軸７２が部品吸着ノズル８４を保持した状態では、ノズル保持部材１９４においては、少なくとも、その保持軸７２に保持されて電気部品８６の装着に使用されている部品吸着ノズル８４が保持されていたノズル保持穴２５０が空いており、部品吸着ノズル８４の交換時には、保持軸７２は、それが保持する部品吸着ノズル８４をその部品吸着ノズル８４が保持されていたノズル保持穴２５０に戻す。保持軸７２が保持している部品吸着ノズル８４の種類，その部品吸着ノズル８４が保持されていたノズル保持穴２５０の位置等のデータはコンピュータ３４０に記憶されており、そのデータに基づいて装着ヘッド５０の移動距離が演算され、部品吸着ノズル８４を戻す保持軸７２が部品吸着装着位置へ移動させられるとともに、所定の空のノズル保持穴２５０上へ移動させられる。なお、部品吸着ノズル８４は、それが保持されていたノズル保持穴２５０ではなく、同じ種類の部品吸着ノズル８４が保持されていた別のノズル保持穴２５０に戻されるようにしてもよい。
【００５４】部品吸着ノズル８４の交換時には、部品吸着ノズル８４を交換する保持軸７２（厳密には保持軸７２に保持されているアダプタ１００）が間欠回転体６８の間欠回転によって部品吸着装着位置へ移動させられるとともに、ＸＹロボット６２により、部品吸着ノズル８４を戻すべき空のノズル保持穴２５０上へ移動させられる。保持軸７２の移動時には、ノズル保持部材１９４は下降端位置にあり、保持軸７２の移動後、保持部材受台２０４が上昇させられ、ノズル保持部材１９４が上昇端位置へ上昇させられる。
【００５５】ノズル保持部材１９４の上昇に先立って、ノズルセンサ３２４により、ノズル保持穴２５０が空であるか否かが検出される。ノズル保持穴２５０が空であれば、部品吸着ノズル８４がノズル保持部材１９４へ戻されるが、空でなければノズル交換が停止させられるとともに、警告装置３５８が作動させられ、異常の発生が作業者に報知される。ノズル保持穴２５０が空ではないにもかかわらず、ノズル保持部材１９４が上昇させられて、ノズル保持穴２５０に保持された部品吸着ノズル８４と保持軸７２に保持された部品吸着ノズル８４とが衝突し、損傷することが回避される。
【００５６】ノズル保持穴２５０が空であれば、ノズル保持部材１９４が上昇させられる。空のノズル保持穴２５０に隣接するノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持され、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２の両側の隣接保持軸７２の少なくとも一方のアダプタ１００に部品吸着ノズル８４が保持されていても、前者の部品吸着ノズル８４のテーパ部１３６と、後者の部品吸着ノズル８４の吸着管１３４とは互いにずれており、衝突することはない。図１２に二点鎖線で示すように、間欠回転体６８の回転軸線と直交する平面内において、その回転軸線を中心Ｏとし、その中心Ｏから保持軸７２の軸線までの距離を半径とする円の曲率および１６個の保持軸７２の配置に基づいて、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２が空のノズル保持穴２５０上に位置する状態において、その保持軸７２の両隣の保持軸７２のアダプタ１００が保持する部品吸着ノズル８４の吸着管１３４と、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４のテーパ部１３６とが干渉しないようにノズル保持穴２５０の平面配置が設定されているのである。カム面８０は、部品吸着装着位置から離れるに従って高くなるように形成されており、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２およびその両隣の保持軸７２以外の保持軸７２は、それら３個の保持軸７２より上方に位置するため、ノズル保持穴２５０の平面配置とは関係なく、部品吸着ノズル８４同士の衝突が生ずることはない。
【００５７】ノズル保持部材１９４の上昇後、保持軸７２が昇降装置１７０により下降させられ、部品吸着ノズル８４の吸着管１３４が小径穴部２５４内に嵌入させられる。この状態では、離脱防止板２８０は作用位置にあり、発光板１４６は離脱防止板２８０の小距離上方に位置する。
【００５８】吸着管１３４の小径穴部２５４内への嵌入後、離脱防止板２８０がエアシリンダ３１２により退避位置へ移動させられ、次いで保持軸７２が昇降装置１７０により下降させられ、発光板１４６が大径穴部２５６に嵌合される。保持軸７２の下降距離は、発光板１４６と大径穴部２５６との間の距離に、吸着ノズル交換装置１９０等の製造誤差等を考慮した値を加えた距離とされ、余分な下降距離は、圧縮コイルスプリング１０８の圧縮により吸収される。下降後、離脱防止板２８０がエアシリンダ３１２によって作用位置へ移動させられた後、昇降駆動部材１７８がアダプタ１００から部品吸着ノズル８４が離脱するのに十分な位置、例えば上昇位置へ移動させられ、保持軸７２が上昇位置へ上昇させられる。この際、離脱防止板２８０の離脱防止部２８８が発光板１４６に係合して部品吸着ノズル８４のノズル保持部材１９４からの離脱を阻止する。それにより部品吸着ノズル８４に、ばね部材１４０が部品吸着ノズル８４をアダプタ１００内に引き込む引込力（アダプタ１００が部品吸着ノズル８４を保持する保持力）より大きい力がアダプタ１００から離脱する向きに加えられれば、部品吸着ノズル８４がアダプタ１００から外れ、ノズル保持部材１９４により保持される。
【００５９】このように保持軸７２が部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻した後、ノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられ、下降後、部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻した保持軸７２は、ＸＹロボット６２により、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４のうち、次に使用する部品吸着ノズル８４上へ移動させられる。この際、ノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられているため、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２の両隣の保持軸７２の少なくとも一方のアダプタ１００が部品吸着ノズル８４を保持していても、その部品吸着ノズル８４がノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４と衝突することはない。
【００６０】保持軸７２の移動後、ノズル保持部材１９４が上昇させられる前に、ノズルセンサ３２４により、ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されているか否かが検出される。部品吸着ノズル８４が保持されていなければ、ノズル交換が停止させられるとともに、警報装置３５８が作動させられて異常の発生が作業者に報知される。部品吸着ノズル８４が保持されていれば、ノズル保持部材１９４が上昇端位置へ上昇させられる。この場合にも、ノズル保持部材１９４のノズル保持穴２５０の平面配置の設定により、アダプタ１００が空の保持軸７２の両隣の保持軸７２のうちの少なくとも一方のアダプタ１００が部品吸着ノズル８４を保持していても、その部品吸着ノズル８４と、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４とが衝突することはない。
【００６１】ノズル保持部材１９４の上昇後、保持軸７２は下降させられ、アダプタ１００のテーパ穴１３８に部品吸着ノズル８４のテーパ部１３６が嵌合される。保持軸７２の下降距離は、テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合されるのに必要な距離に、吸着ノズル交換装置１９０等の製造誤差等を加えた大きさとされ、テーパ部１３６はテーパ穴１３８に確実に嵌合されるとともにばね部材１４０により保持される。なお、余分な下降距離は、圧縮コイルスプリング１０８の圧縮により吸収される。
【００６２】嵌合後、離脱防止板２８０が退避位置へ移動させられた後、保持軸７２が上昇位置へ上昇させられて部品吸着ノズル８４がノズル保持部材１９４から外される。次いで、離脱防止板２８０が作用位置へ移動させられ、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４の飛出しが防止された状態でノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられる。その後、次に部品吸着ノズル８４を交換するアダプタ１００を保持した保持軸７２が間欠回転体６８の回転によって部品吸着装着位置へ移動させられるとともに、ＸＹロボット６２により空のノズル保持穴２５０上へ移動させられ、ノズル保持部材１９４の昇降および保持軸７２の昇降，移動により、部品吸着ノズル８４を戻した後、次に使用する部品吸着ノズル８４を保持する。部品吸着ノズル８４の交換が必要なアダプタ１００の全部について部品吸着ノズル８４の交換が終了したならば、装着ヘッド５０は電気部品供給装置１６へ移動させられ、電気部品８６を取り出した後、プリント基板３２に装着する。このように、部品吸着ノズル８４の交換時には、保持軸７２が昇降させられるとともにノズル保持部材１９４が昇降させられるため、保持軸７２の昇降ストロークが少なくて済む。なお、電気部品８６の装着開始前であって、１６個の保持軸７２のいずれにも部品吸着ノズル８４が取り付けられていない状態では、１６個の保持軸７２による部品吸着ノズル８４の保持動作が繰り返し行われる。
【００６３】プリント基板３２の種類が変わり、段取り替えが行われるとき、例えば、電気部品８６の装着に使用される部品吸着ノズル８４が、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４では足らなければ、ノズル保持部材１９４が交換されて部品吸着ノズル８４が交換される。段取り替え時には、例えば、基板コンベヤ１４のメインコンベヤ２４，２６，搬入コンベヤ２８および搬出コンベヤ３０の各基板搬送幅の調節が行われ、電気部品供給装置１６，１８においてフィーダ４２の交換が行われる。ノズル保持部材１９４の保持部材受台２０４に対する取付け，取外しは、フィーダ４２がフィーダ支持台４０から取り外された状態において、フィーダ４２に妨げられることなく行われる。ノズル保持部材１９４の交換による部品吸着ノズル８４の交換時には、１６個の保持軸７２による部品吸着ノズル８４のノズル保持部材１９４への戻し動作が繰り返し行われ、１６個の保持軸７２の各アダプタ１００の全部が部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻し、全部の部品吸着ノズル８４が一斉に交換される。そのため、１つのノズル保持部材１９４が保持する部品吸着ノズル８４の種類，数，保持位置は変わらない。なお、段取り替え時であっても、部品吸着ノズル８４の交換が必要なければ、ノズル保持部材１９４の交換は行われない。
【００６４】ノズル保持部材１９４の交換は作業者により手動で行われ、まず、保持部材受台２０４に固定されたノズル保持部材１９４が取り外される。そのため、作業者は、留め具２３０のレバー２３４を本体部材２３２から離れる向きに回動させる。それにより、レバー２３４と共に軸２３５およびアーム２３６，２３８が本体部材２３２から離れる向きに起こされるとともに、本体部材２３２に対して、本体部材２３２から延び出す向きに移動させられる。それにより係合部材２４０がノズル保持部材１９４に固定の係合部材２６８の係合部２７２から外れるため、アーム２３６を回動させ、係合部材２４０を軸２３５に対してレバー２３４の回動軸線とは反対側へ移動させ、保持部材受台２０４より下方へ移動させることができる。留め具２３０によるノズル保持部材１９４の保持が解除されるとともに、係合部材２４０が、係合部材２６８と干渉しない位置へ移動させられるのであり、作業者はノズル保持部材１９４を切欠２６２が頭付ピン２１８が離れる向きに移動させ、保持部材受台２０４から外すことができる。ノズル保持部材１９４の取外し時には離脱防止板２８０は作用位置にあって部品吸着ノズル８４のノズル保持部材１９４からの離脱を防止しており、ノズル保持部材１９４を傾けたりしても部品吸着ノズル８４がノズル保持部材１９４から落ちたりすることがなく、ノズル保持部材１９４の取外し作業や、取外し後の運搬作業等を容易に行うことができる。
【００６５】ノズル保持部材１９４を保持部材受台２０４から取り外したならば、作業者は必要な部品吸着ノズル８４を保持したノズル保持部材１９４を保持部材受台２０４に取り付ける。このノズル保持部材１９４には、電気部品装着システム１０とは別の位置において、電気部品８６のプリント基板３２への装着と並行して、作業者が部品吸着ノズル８４を保持させてある。
【００６６】ノズル保持部材１９４の取付け時には、保持部材受台２０４に設けられた留め具２３０の係合部材２４０は保持部材受台２０４の保持部材受面２０６より下側に位置し、係合部材２６８の係合部２７２と干渉しないため、ノズル保持部材１９４を保持部材受台２０４上に載せ、保持部材受面２０６に沿って、切欠２６２が頭付ピン２１８に接近する向きに移動させることができる。そして、切欠２６２を頭付ピン２１８の胴部２２２に係合させるとともに、係合面２６４を頭部２２４に係合させる。切欠２６２の開口部は、開口端ほど幅が広くされており、胴部２２２に嵌合する際のガイドの役割を果たし、切欠２６２を容易にかつ確実に胴部２２２に係合させることができる。
【００６７】この状態で作業者は留め具２３０のアーム２３６，２３８を持ち、軸２３５のまわりに回動させながら本体部材２３２から延び出す方向へ持ち上げれば、レバー２３４が回動させられ、アーム２３６，２３８が本体部材２３２から延び出させられ、係合部材２４０が係合部２７２を越える状態となる。この状態でレバー２３４を本体部材２３２側へ回動させれば、係合部材２４０が係合部２７２に係合し、その状態から更にレバー２３４を回動させれば、アーム２３６がアーム２３８に対して係合部材２４０から離れる向きに移動し、圧縮コイルスプリング２４２が圧縮される。
【００６８】レバー２３４は、軸２３５が、レバー２３４の回動軸線と係合部材２４０とを結ぶ直線を超えた位置においてストッパ２４４に係合し、圧縮コイルスプリング２４２が最も圧縮された状態より僅かに延びた状態でアーム２３６，２３８を付勢する状態で止まる。本体部材２３２，レバー２３４，アーム２３６，２３８，圧縮コイルスプリング２４２等によりセンタオーバ機構が構成されているのである。圧縮コイルスプリング２４２は、保持部材受面２０６に対して傾斜させられているため、ノズル保持部材１９４には、前述のように、２方向（ノズル保持部材１９４が頭付ピン２１８に向かう向きの方向および被受面２５２が保持部材受面２０６に向かう向きの方向）の付勢力が付与され、保持部材受台２０４に安定して取り付けられる。保持部材保持装置１９６は、ノズル保持部材１９４を工具を使用することなく、着脱可能に保持しているのであり、ノズル保持部材１９４の交換により、複数の部品吸着ノズル８４が同時にまとめて交換される。なお、ノズル保持部材１９４が保持部材受台２０４に取り付けられた状態では、頭付ピン２１８の頭部２２４はノズル保持部材１９４の上面より低くなり、離脱防止板２８０と干渉することはない。
【００６９】このようにノズル保持部材１９４が保持部材受台２０４に取り付けられるとき、エアシリンダ３１２のピストンロッド３１４は収縮位置にあり、作用位置にある離脱防止板２８０の突部３０６の係合部３０８は、係合部材３１６の切欠３１８に係合させられる。切欠３１８は、保持部材受台２０４の長手方向と直角な方向であって、ノズル保持部材１９４を保持部材受台２０４に取り付けるときに切欠２６２が頭付ピン２１８に接近する向きと平行に形成されており、ノズル保持部材１９４を保持部材受台２０４上において移動させ、切欠２６２を頭付ピン２１８に接近させるとき、係合部３０８は切欠３１８に嵌入させられる。この際、係合部３０８と切欠３１８との位置がずれていても、係合部３０８は案内面３２０により案内されて、引張コイルスプリング３００を僅かに伸ばしながら切欠３１８に嵌合される。そのため、ノズル保持部材１９４が保持部材受台２０４から取り外された状態における作用位置と、取り付けられた状態における作用位置とはずれることがあるが、そのずれは僅かであり、離脱防止部２８８はノズル保持穴２５０上に位置する。
【００７０】吸着ノズル交換装置１９０において頭付ピン２１８は、保持部材受台２０４の基板コンベヤ１４側の端部に取り付けられ、留め具２３０は電気部品供給装置１６側の端部に取り付けられており、ノズル保持部材１９４の保持部材受台２０４への取付け，取外し時にはフィーダ４２がフィーダ支持台４０から取り外されているため、留め具２３０の操作を妨げるものがなく、留め具２３０を外側（電気部品供給装置１６側）から容易に操作することができる。
【００７１】以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、ＸＹロボット６２，６４，間欠回転体６８を回転させる回転駆動装置，保持軸７２を昇降させる昇降装置１７０がチャック移動装置を構成し、エアシリンダ２００が保持部材移動装置を構成し、これらが交換用移動装置を構成している。
【００７２】なお、上記実施形態においては、保持軸７２が部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻した後、次に使用する部品吸着ノズル８４を保持すべく、空の保持軸７２を移動させる前に、ノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられるようになっていたが、下降させることは不可欠ではない。例えば、部品吸着装着位置に位置決めされた空の保持軸７２の移動経路を、部品吸着装着位置に位置決めされた保持軸７２の両隣の保持軸７２のうちの少なくとも一方が部品吸着ノズル８４を保持していても、その部品吸着ノズル８４の吸着管１３４と、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４のテーパ部１３６との干渉を生ずることなく、空の保持軸７２を、保持すべき部品吸着ノズル８４上へ移動させるように設定するのである。空の保持軸７２はアダプタ１００から部品吸着ノズル８４が離脱するのに十分な位置、例えば上昇位置にあり、部品吸着ノズル８４を保持していないため、移動時に、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４と衝突することはない。
【００７３】図１８および図１９に示す電気部品搬送装着装置４００におけるように、間欠回転体の回転軸線を水平な搬送平面（電気部品供給装置１６，１８と基板コンベヤ１４とに跨がる平面）に対する垂線に対して傾斜させれば、アダプタ１００が空の保持軸７２を次に保持する部品吸着ノズル８４上へ移動させるとき、移動経路の設定の如何によらず、ノズル保持部材１９４を下降端位置へ下降させずに済むとともに、ノズル保持部材１９４においてノズル保持穴２５０の平面配置の設定の自由度が高くなる。この電気部品搬送装着装置４００は、吸着ノズル交換装置１９０，１９２以外の部分は、まだ、未公開であるが、本出願人の出願である特願平８－３１５８５９号の明細書に記載の電気部品搬送装着装置と同様に構成されており、本発明と関連の深い部分のみを簡単に説明する。また、前記実施形態の電気部品搬送装着装置２０，２２の構成要素と同じ作用を為す構成要素については、同一の符号を付して対応関係を示し、説明を省略する。
【００７４】電気部品搬送装着装置４００の装着ヘッド４０２は、前記装着ヘッド６２，６４と同様に、ＸＹロボット４０４により水平移動させられる。ＸＹロボット４０４は、Ｘ軸スライド４０６，図示しないＹ軸スライド，Ｙ軸スライドにＸ軸方向に平行な軸線まわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に設けられたねじ軸４０８，Ｘ軸スライド４０６に固定され、ねじ軸４０８に螺合されたナット４１０，Ｘ軸スライド移動用のサーボモータ４１２等を含み、装着ヘッド４０２はＸＹロボット４０４により水平面内の任意の位置へ移動させられる。
【００７５】Ｘ軸スライド４０６には、間欠回転体４１８が回転可能に取り付けられている。間欠回転体４１８は、Ｘ軸スライド４０６により回転可能に保持された回転軸４２０と、回転軸４２０に固定の保持軸保持部材４２２とを含む。保持軸保持部材４２２に形成された１６個の保持穴４２４は、回転軸４２０の回転軸線を中心線とする円錐面の１６本の母線の各々を中心線として形成されており、間欠回転体４１８は、Ｘ軸スライド４０６に、回転軸線が水平な搬送平面に対する垂線に対して、上記円錐面の一母線が搬送平面と直交する状態となる角度だけ傾斜した状態で取り付けられている。
【００７６】間欠回転体４１８は、回転軸４２０に固定の被駆動プーリ４２８，駆動源たる旋回用サーボモータ４３０，駆動プーリ４３２，タイミングベルト４３４を含む回転駆動装置４３６により、回転軸４２０の軸線まわりに正逆両方向に任意の角度、精度良く回転させられる。前記１６個の保持穴４２４にはそれぞれ、保持軸４４０が自身の軸線まわりに回転可能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材としての圧縮コイルスプリング４４２により上方へ付勢されている。保持軸４４０には、前記保持軸７２と同様にノズル保持部１０２が設けられるとともに、アダプタ１００が設けられ、部品吸着ノズル８４を着脱可能に保持している。
【００７７】これら保持軸４４０は、間欠回転体４１８の間欠回転により、１６個の停止位置に順次停止させられる。１６個の停止位置のうち、保持軸４４０の軸線が水平な搬送平面と直交する状態となる位置が部品吸着装着位置であり、部品吸着装着位置から９０度離れた位置が撮像位置とされている。本実施形態では、搬送平面が水平面であるため、部品吸着装着位置に停止させられた保持軸４４０は、上下方向（垂直）に延びる状態となる。間欠回転体４１８の回転軸線は傾斜させられているため、保持軸４４０の高さは部品吸着装着位置において最も低くなり、他の保持軸４４０はそれより高くなる。本電気部品搬送装着装置４００において、保持軸４４０はカムおよびカムフォロワによって昇降させられないが、間欠回転体４１８の回転軸線の傾斜により、１６個の保持軸４４０の高さが異ならされているのである。
【００７８】Ｘ軸スライド４０６の部品吸着装着位置に対応する位置には、図１８に示すように、保持軸４４０を昇降させる昇降装置４５０が設けられている。昇降装置４５０は、駆動源たるリニアモータ４５２，可動子４５４，移動部材４５６，昇降駆動部材４５８，昇降駆動部４６０を含む。リニアモータ４５２は、サーボモータにより構成されている。リニアモータ４５２により移動部材４５６が下降させられ、昇降駆動部材４５８，昇降駆動部４６０が下降させられることにより昇降駆動部４６０が保持軸４４０に係合し、圧縮コイルスプリング４４２の付勢力に抗して保持軸４４０を下降させる。移動部材４５６が上昇させられ、昇降駆動部材４５８，昇降駆動部４６０か上昇させられれば、保持軸４４０は圧縮コイルスプリング４４２の付勢により上昇させられる。本電気部品搬送装着装置４００を含む電気部品装着システムにおいても、サーボモータ４１２，旋回用サーボモータ４３０，リニアモータ４５２等の制御等を行う制御装置が設けられているが、図示および説明は省略する。また、Ｘ軸スライド４０６の部品吸着装着位置に対応する位置には、前記ノズルセンサ３２４と同様のノズルセンサ（図示省略）が設けられている。ノズルセンサは、間欠回転体４１８に保持された保持軸４４０の軸線の旋回軌跡の内側（旋回中心線側）に設けられている。
【００７９】ノズル保持部材１９４との間で部品吸着ノズル８４の交換を行う際には、部品吸着ノズル８４を交換する保持軸４４０が、間欠回転体４１８の回転により部品吸着装着位置へ移動させられるとともに、ＸＹロボット４０４によりノズル保持部材１９４の空のノズル保持穴２５０上へ移動させられる。ノズル保持穴２５０が空であれば、ノズル保持部材１９４が上昇端位置へ上昇させられる。間欠回転体４１８の回転軸線が傾斜させられているため、ノズル保持部材１９４が上昇端位置へ上昇させられても、部品吸着装着位置へ移動させられた保持軸４４０の両隣の保持軸４４０のアダプタ１００が保持する部品吸着ノズル８４は、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４より上方に位置し、部品吸着ノズル８４同士が衝突することはない。ノズル保持部材１９４におけるノズル保持穴２５０の平面配置の如何によらず、部品吸着ノズル８４同士の衝突を回避することができるのであり、ノズル保持穴２５０の平面配置の設定の自由度が高い。
【００８０】ノズル保持部材１９４の上昇後、保持軸４４０の下降による吸着管１３４の小径穴部２５４への嵌合，離脱防止板２８０の退避位置への移動，保持軸４４０の下降による発光板１４６の大径穴部２４５６への嵌合，離脱防止板２８０の作用位置への移動，保持軸４４０の上昇により、部品吸着ノズル８４がノズル保持部材１９４に戻される。次いで、ノズル保持部材１９４が上昇させられたままの状態で、ＸＹロボット４０４により間欠回転体４１８が移動させられ、アダプタ１００が空の保持軸４４０が次に保持する部品吸着ノズル８４上へ移動させられる。この際、部品吸着装着位置に位置する保持軸４４０は上昇位置へ上昇させられるとともに、アダプタ１００が部品吸着ノズル８４を保持しておらず、部品吸着装着位置に位置する保持軸４４０の両隣の保持軸４４０のアダプタ１００が保持する部品吸着ノズル８４は、間欠回転体４１８の傾斜により、上昇端位置に位置するノズル保持部材１９４が保持する部品吸着ノズル８４より上方に位置するため、ノズル保持部材１９４が上昇端位置へ上昇させられたままであっても、保持軸４４０のアダプタ１００に保持された部品吸着ノズル８４とノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４とが衝突することはない。アダプタ１００が空の保持軸４４０を次に保持する部品吸着ノズル８４上へ移動させる際に、ノズル保持部材１９４を下降端位置へ下降させずに済み、しかも、保持軸４４０の移動経路の設定の自由度が高い。
【００８１】移動後、保持軸４４０は昇降装置４５０により昇降させられるとともに、離脱防止板２８０が退避位置へ移動させられ、保持軸４４０のアダプタ１００が部品吸着ノズル８４を保持し、ノズル保持部材１９４から取り出す。離脱防止板２８０が作用位置へ移動させられ、ノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられた後、間欠回転体４１８の間欠回転および移動により、次に部品吸着ノズル８４を交換する保持軸４４０が部品吸着装着位置へ移動させられるとともに、空のノズル保持穴２５０上へ移動させられる。ノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられているため、間欠回転体４１８の移動時および回転時に、保持軸４４０により保持された部品吸着ノズル８４が、ノズル保持部材１９４に保持された部品吸着ノズル８４と衝突することはない。
【００８２】上記各実施形態においては、１６個の保持軸７２，４４０の各アダプタ１００は、１つのノズル保持部材１９４から部品吸着ノズル８４を受け取り、同じノズル保持部材１９４に部品吸着ノズル８４を戻すようにされており、ノズル保持部材１９４の交換による部品吸着ノズル８４の交換時には、装着ヘッド５０，５２，４０２が保持する部品吸着ノズル８４は全部、ノズル保持部材１９４に戻され、全ての部品吸着ノズル８４が一斉に交換されるようにされていたが、交換が必要な部品吸着ノズル８４のみが交換されるようにすることも可能である。この場合には、部品吸着ノズル８４は必ずしも、当初保持されていたノズル保持部材１９４に戻されるとは限らなくなるが、いずれのノズル保持部材１９４のどのノズル保持穴２５０にどの種類の部品吸着ノズル８４が保持されているか、また、いずれのノズル保持穴２５０が空であるか等は、制御装置３３０のコンピュータ３４０において記憶されており、ノズル保持部材１９４を交換すべきこと、および次にどのノズル保持部材１９４を取り付けるべきか等がコンピュータにより作業者に指示され、作業者はその指示に従ってノズル保持部材１９４を交換すればよい。また、１枚のプリント基板に対する電気部品８６の装着に必要な部品吸着ノズル８４が複数のノズル保持部材１９４から供給されるようにすることも可能である。この場合、装着ヘッド５０，５２，４０２の複数の保持軸７２，４４０のアダプタ１００のうち、現に保持部材受台２０４に取り付けられているノズル保持部材１９４が保持する部品吸着ノズル８４で足りるアダプタ１００については、そのノズル保持部材１９４との間で部品吸着ノズル８４を交換させ、交換後、ノズル保持部材１９４を別のノズル保持部材１９４に交換して、残りの保持軸７２，４４０のアダプタ１００に新たなノズル保持部材１９４との間で部品吸着ノズル８４の交換を行わせる。この場合にも作業者はコンピュータの指示に従ってノズル保持部材１９４を交換すればよい。本形態を上記形態と合わせて実施することも可能である。以上の各形態においては、多数の部品吸着ノズル８４を保持する大きいノズル保持部材１９４が複数に分割され、交替で部品吸着ノズル８４を提供すると考えることもできる。
【００８３】また、保持具チャックは、例えば、特開平６－２９６０９３号公報に記載されているように、負圧によって保持具を着脱可能に保持するものとしてもよく、あるいは磁力によって保持具を着脱可能に保持するものとしてもよい。磁力により保持具チャックに保持具を保持させる場合、永久磁石を用いてもよく、あるいは電磁石を用いてもよい。負圧によって保持具を吸着し、保持する場合および電磁石を用いて保持具を保持する場合、負圧の供給および電力の供給を遮断して保持具チャックによる保持具の保持を解除し、保持具が保持具チャックから離脱するようにしてもよいが、保持具チャックが負圧および磁力によって保持具を保持したままの状態で、保持具に保持チャックによる保持力以上の力を保持具チャックから離脱する向きに加えることにより保持具チャックから離脱させてもよい。
【００８４】さらに、前記実施形態において部品吸着ノズル８４は吸着管１３４の径が異なっても発光板１４６およびテーパ部１３６の径（大きさ）は同じにされていたが、吸着管１３４の径に応じて発光板１４６およびテーパ部１３６の径を変えてもよい。また、それに合わせてノズル保持穴２５０の小径穴部２５４および大径穴部２５６の径を変えてもよい。ノズル保持穴２５０は、１種類の部品吸着ノズル８４について専用の大きさにしてもよく、吸着管，発光板，テーパ部の径が異なる複数種類の部品吸着ノズル８４を共通に保持し得るものとしてもよい。
【００８５】さらに、部品吸着ノズル８４の交換時における保持軸７２，４４０の昇降，移動，ノズル保持部材１９４の昇降および離脱防止板２８０の移動は、部品吸着ノズル８４，ノズル保持部材１９４および離脱防止板２８０が互いに干渉しない範囲で並行して行ってもよい。例えば、部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻す際に、保持軸７２，４４０の下降とノズル保持部材１９４の上昇とを並行して行ってもよい。この場合、保持軸７２，４４０の下降およびノズル保持部材１９４の上昇の前に、部品吸着ノズル８４が戻されるノズル保持穴２５０が空であるか否かが、ノズルセンサ３２４により検出され、空であれば保持軸７２，４４０が下降させられるとともにノズル保持部材１９４が上昇させられる。それにより、空であるはずのノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されていて、保持軸７２，４４０に保持された部品吸着ノズル８４と当たって損傷することが回避される。あるいは保持軸７２，４４０の下降と離脱防止板２８０の退避位置への移動とを並行して行うようにしてもよい。あるいは、保持軸７２，４４０が部品吸着ノズル８４を保持した後、次に部品吸着ノズル８４を交換する保持軸７２，４４０の部品吸着装置位置への移動およびノズル保持穴２５０上への移動と、ノズル保持部材１９４の下降とを並行して行うようにしてもよい。
【００８６】また、上記各実施形態の吸着ノズル交換装置１９０，１９２において、ノズル保持部材１９４の交換による部品吸着ノズル８４の交換は、段取り替え時に行われ、電気部品供給フィーダ４２がフィーダ保持台４０に取り付けられたままの状態で交換を行うことは予定されていなかったが、電気部品供給フィーダ４２がフィーダ保持台４０に取り付けられたままの状態でノズル保持部材１９４の交換が行われ、段取り替え時以外のときに部品吸着ノズル８４が交換されるようにしてもよい。例えば、保持部材受台およびノズル保持部材の配設位置や、ノズル保持部材を保持部材受台に保持させるための位置決め手段および浮上がり防止装置の構成を、電気部品供給フィーダ４２がフィーダ保持台４０に取り付けられたままの状態でノズル保持部材１９４が交換される位置，構成とするのである。
【００８７】さらに、上記各実施形態においては、保持軸７２，４４０（アダプタ１００）の昇降およびノズル保持部材１９４（保持部材受台２０４）の昇降により、アダプタ１００とノズル保持部材１９４との間で部品吸着ノズル８４の交換が行われるようにされていたが、ノズル保持部材１９４は昇降させず、アダプタ１００（保持具チャック）のみを昇降させて部品吸着ノズル８４の交換を行うようにしてもよい。
【００８８】また、上記各実施形態において、保持軸７２，４４０のアダプタ１００が保持した部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻す際に、戻すべきノズル保持穴２５０が空でない場合には、ノズル交換が停止させられるとともに警告装置３５８が作動させられて異常の発生が作業者に報知されるようになっていたが、その他に、例えば、コンピュータ３４０が、ノズル保持部材１９４に部品吸着ノズル８４を戻してもよい空のノズル保持穴２５０があるか否かを調べ、あれば部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻してもよい。
【００８９】さらに、上記各実施形態においては、ノズル保持部材１９４が昇降させられ、ノズルセンサ３２４は、ノズル保持部材１９４が下降端位置に位置する状態で、ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されているか否かを検出するものとされ、ノズル交換時にノズル保持部材１９４を上昇させてもよいか否かの判定に使用されていたが、例えば、ノズル保持部材１９４を昇降させず、保持軸７２，４４０の昇降のみによって部品吸着ノズル８４の交換を行うようにする場合、ノズルセンサ３２４の検出結果を部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４に戻したか否かの判定に用いてもよく、保持軸７２，４４０のアダプタ１００が部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４から取り出す際に、ノズル保持穴２５０に部品吸着ノズル８４が保持されているか否かの判定や、ノズル保持部材１９４が部品吸着ノズル８４を保持したか否かの判定に用いてもよい。あるいは、ノズル保持部材１９４を昇降させる場合、例えば、保持軸７２，４４０のアダプタ１００が部品吸着ノズル８４を保持する際に、保持軸７２，４４０が上昇させられて部品吸着ノズル８４をノズル保持部材１９４から取り出した後、ノズル保持部材１９４が下降端位置へ下降させられた状態で、間欠回転体６８，４１８を回転させるとともにＸＹロボット６２，４０４によって移動させる前に、部品吸着ノズル８４を取り出したノズル保持穴２５０が空であるか否かをノズルセンサ３２４により検出し、それにより部品吸着ノズル８４が保持軸７２，４４０のアダプタ１００により保持されたか否かを判定するようにしてもよい。
【００９０】また、離脱防止板２８０を移動させるエアシリンダ３１２は、保持部材受台２０４に位置調節可能に固定して、係合部材３１６の切欠３１８と離脱防止板２８０の係合部３０８との位置を合わせてもよく、あるいはピストンロッド３１４のストロークを調節する調節部材を設け、その調節により、係合部材３１６の切欠３１８と離脱防止板２８０の係合部３０８との位置を合わせてもよい。これらの場合、切欠３１８に案内面を設けてもよく、設けなくてもよい。
【００９１】さらに、ノズル保持部材１９４の交換は、ノズル保持部材交換装置によって自動で行われるようにしてもよい。
【００９２】また、本発明は、電気部品搬送装着装置以外にも、電気部品を電気部品供給装置から受け取って電気部品受取装置へ搬送する電気部品搬送装置等に適用することができる。
【００９３】その他、特許請求の範囲を逸脱することなく、当業者の知識に基づいて種々の変形，改良を施した態様で本発明を実施することができる。

【出願人】	【識別番号】０００２３７２７１【氏名又は名称】富士機械製造株式会社
【出願日】	平成１０年（１９９８）２月２日
【代理人】	【弁理士】【氏名又は名称】神戸典和（外３名）
【公開番号】	特開平１１－２２０２９４
【公開日】	平成１１年（１９９９）８月１０日
【出願番号】	特願平１０－２１０８７