| 【発明の名称】 |
真空コンデンサ |
| 【発明者】 |
【氏名】深津 祥弘
【氏名】林 尚樹
【氏名】深井 利眞
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| 【要約】 |
【課題】容量調整ねじ部の寿命を延ばす。
【解決手段】固定電極Ｆ1〜Ｆnと、可動電極Ｍ1〜Ｍn取付導体１８が設けられた可動リード２と、可動リードにロー付された可動リードボルト３２と、これに螺合する容量調整ナット３３と、真空容器１０の一部を構成するベローズ１９を備えた真空コンデンサにおいて、可動リードボルト３２を可動リード２と真空ロー付可能でかつ非磁性でビッカス硬度（Ｈｖ）が２００以上のステンレス又はニッケル合金あるいはセラミックで構成し、調整ナット３３を可動リードボルトと同等の硬度を有する材料で構成する。調整ナット３３のねじ部にはベローズ１９に加わる大気圧による荷重が常に加わっているが、可動リードボルト３２は従来用いていたリン青銅（Ｈｖ１３５）より十分硬度の大きい材料で構成されているので、調整ナット３３を回転させてもそのねじ部に摩耗や変形が生じない。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 固定電極と、可動電極及び可動電極取付導体を備えた可動リードと、可動リードにロー付けされた可動リードボルトと、このボルトと螺合する容量調整ナットと、真空容器の一部を構成し可動側が可動リードに接続されたベローズを備えた真空コンデンサにおいて、可動リードボルトを可動リードと真空ロー付可能でかつ非磁性でビッカース硬度が２００以上の材料で構成すると共に、容量調整ナットを可動リードボルトと同等の硬度を有する材料で構成したことを特徴とする真空コンデンサ。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、大電力送信機の発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路あるいは誘導加熱装置のタンク回路などに使用される真空コンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１に、耐電圧及び静電容量特性を安定させ、かつ全長の小形化を図った真空コンデンサを示す。この真空コンデンサは、円筒状の固定電極Ｆ1〜Ｆnが真空容器１０の１部を構成する固定電極取付導体１３に固定され、円筒状の可動電極Ｍ1〜Ｍnが可動電極取付導体１８に固定されている。
【０００３】上記固定電極取付導体１３の固定電極軸心部にガイドピン１が設けられ、可動電極取付導体１８はガイドピン１に案内されるガイド部５を有する可動リード２に設けられている。可動リード２は真空容器の一部を構成するベローズ１９の可動側に接続され、ベローズ１９の固定側は真空容器の１部を構成する可動側端板１４に固定されている。また、可動リード２の下端２ａには容量調整ナット３３の回動により軸方向に移動する可動リードボルト３２がロー付けされている。
【０００４】この真空コンデンサは容量調整ナット３３を回動させると、可動リードボルト３２を介して可動リードボルト３２がガイドピンに案内されて軸方向に移動し、可動リード２に可動電極取付導体１８を介して接続された可動電極Ｍ1〜Ｍnが軸方向に移動して固定電極Ｆ1〜Ｆnとの対向面積が変わり静電容量が調整される。
【０００５】なお、調整ねじ３６は、最大静電容量値を調整するとともに、最大静電容量位置より調整ナット３３が左回転しないように設けたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記図１の真空コンデンサにおいて、可動リードボルト３２の材質は、リン青銅など摺動性のある材質の可動リード２と真空ロー付できること及び加工性の良さから、リン青銅などの銅合金が用いられていた。
【０００７】また、容量調整ナット３３の材質は、高強度でかつ非磁性のステンレス鋼が使用されていた。この容量調整ナットのねじ部にはベローズ１９に加わる大気圧による荷重が常に加わっており、容量調整ナットを回転させる時には数Ｋｇｆ・ｃｍ以下（ベローズ径により異なる）の回転トルクが必要となる。
【０００８】真空コンデンサは、半導体製造装置の電源側マッチングボックスの一部品として用いられることが多いが、近年半導体需要の増加に伴い、装置の長寿命化が必要とされ、真空コンデンサの長寿命化も必要とされてきた。
【０００９】しかしながら、銅合金の可動リードボルト３２とステンレス鋼の容量調整ナット３３の組み合わせでは大気圧によって容量調整ナットのねじ部に荷重が加わるため、容量調整ナット回転時にボルト３２の銅合金のねじ山が摩耗・変形されやすくねじ部の寿命が短い。また、銅合金のねじ山の摩耗が進みねじ山が抜ける場合もある。これは銅合金の強度が低く（リン青銅の硬度：１３５Ｈｖ（Ｈｖ：ビッカース硬さ））真空ロー付時の焼きなましによって更に低下したためである。
【００１０】この発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、容量調整ねじ部が長寿命となり、長寿命化される真空コンデンサを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、固定電極と、可動電極及び可動電極取付導体を備えた可動リードと、可動リードにロー付けされた可動リードボルトと、このボルトと螺合する容量調整ナットと、真空容器の一部を構成し可動側が可動リードに接続されたベローズを備えた真空コンデンサにおいて、可動リードボルトを可動リードと真空ロー付可能でかつ非磁性でビッカース硬度が２００以上の材料で構成すると共に、容量調整ナットを可動リードボルトと同等の硬度を有する材料で構成したことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】上記従来の技術で説明した図１の真空コンデンサにおいて、可動リードボルト３２と容量調整ナット３３のねじ部における寿命を向上させるため、可動リードボルト３２を可動リード２と真空ロー付可能で、非磁性で且つ硬高度の（１）非磁性のステンレス鋼（硬度：２００Ｈｖ）
（２）非磁性のニッケル合金（硬度：２５０〜３００Ｈｖ）
（３）セラミック（硬度：２００Ｈｖ）
のいずれかの材料で構成し、これに螺合する容量調整ナット３３を可動リードボルト３２と同一材料で構成した。
【００１３】可動リードボルト３２及び容量調整ナット３３をそれぞれ上記各材料で構成した場合、いずれも従来可動リードボルトにリン青銅を使用し容量調整ナットにステンレス鋼を使用したものより可動リードボルト３２ないし容量調整ナットのねじ部における摩耗や変形が著しく低減し、ねじ部の寿命が大幅に延び、真空スイッチが長寿命化された。
【００１４】また、容量調整ナットの材料をセラミックとした場合は、従来容量調整ナットを回転するために取り付けていた容量調整用モータとのカップリング又は手動用の摘子を従来の絶縁物から導電性のものへ変更することが可能となる。場合によってはカップリング又は摘子を兼用した構造の容量調整ナットとすることができる。
【００１５】
【発明の効果】この発明は、真空コンデンサの可動リードボルト及び調整ナットの材質をそれぞれ、ステンレス鋼又はニッケル合金あるいはセラミックとしたので、容量調整用のボルト，ナットのねじ部の摩耗や変形が低減し真空コンデンサが長寿命化する。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００６１０５
【氏名又は名称】株式会社明電舎
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）８月１９日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】志賀 富士弥 （外１名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−６７５９０ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）３月９日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−２２２１１２ |
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