| 【発明の名称】 |
レーザー走査光学装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】中井 武彦
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| 【要約】 |
【課題】回折光学素子を一種類の形状で形成すると共に、光量ロスすることなく、スポット径を小さくし、かつ焦点深度を増大させて高画質な画像を得ることができるレーザー走査光学装置を得ること。
【解決手段】画像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束をコリメーターレンズにより略平行光束として偏向手段に導光し、偏向手段により偏向された光束を結像手段を介して被走査面上に導光し、被走査面上を走査する際、光源手段と該偏向手段との間の光路中にビーム整形手段を設け、ビーム整形手段はそこから射出する光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状の光束に整形する第１、第２の回折光学素子を有し、第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成することによって、第１、第２の回折光学素子を同一形状より形成したこと。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 画像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束をコリメーターレンズにより略平行光束として偏向手段に導光し、該偏向手段により偏向された光束を結像手段を介して被走査面上に導光し、該被走査面上を走査するレーザー走査光学装置において、該光源手段と該偏向手段との間の光路中にビーム整形手段を設け、該ビーム整形手段はそこから射出する光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状の光束に整形する第１、第２の回折光学素子を有し、該第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成することによって、該第１、第２の回折光学素子を同一形状より形成したことを特徴とするレーザー走査光学装置。
【請求項２】 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を光軸の回りに所定の角度に偏向させ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を再度光軸回りの平行光束に偏向させることを特徴とする請求項１のレーザー走査光学装置。
【請求項３】 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を偏向させる角度を主走査方向と副走査方向とで互いに異ならせ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を輪帯状の平行光束に偏向させることを特徴とする請求項１のレーザー走査光学装置。
【請求項４】 前記第１、第２の回折光学素子は、同一種類の材料からなる基板より製造されていることを特徴とする請求項１、２又は３のレーザー走査光学装置。
【請求項５】 前記第１、第２の回折光学素子は、同一基板の両面に各々製造されていることを特徴とする請求項２のレーザー走査光学装置。
【請求項６】 画像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束をコリメーターレンズにより略平行光束として偏向手段に導光し、該偏向手段により偏向された光束を結像手段を介して被走査面上に導光し、該被走査面上を走査するレーザー走査光学装置において、該光源手段と該偏向手段との間の光路中にビーム整形手段を設け、該ビーム整形手段はそこから射出する光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状の光束に整形する第１、第２の回折光学素子を有し、該第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成することによって、該第１、第２の回折光学素子を同一形状より形成し、該第１、第２の回折光学素子間に絞り部材を設けたことを特徴とするレーザー走査光学装置。
【請求項７】 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を光軸の回りに所定の角度に偏向させ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を再度光軸回りの平行光束に偏向させることを特徴とする請求項６のレーザー走査光学装置。
【請求項８】 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を偏向させる角度を主走査方向と副走査方向とで互いに異ならせ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を輪帯状の平行光束に偏向させることを特徴とする請求項６のレーザー走査光学装置。
【請求項９】 前記第１、第２の回折光学素子は、同一種類の材料からなる基板より製造されていることを特徴とする請求項６、７又は８のレーザー走査光学装置。
【請求項１０】 前記絞り部材は前記第１の回折光学素子からの射出光束の外輪の光束を制限することを特徴とする請求項６のレーザー走査光学装置。
【請求項１１】 前記絞り部材は前記第１の回折光学素子からの射出光束の内輪の光束を制限することを特徴とする請求項６のレーザー走査光学装置。
【請求項１２】 前記絞り部材は前記第１の回折光学素子からの射出光束の外輪及び内輪の光束を制限することを特徴とする請求項６のレーザー走査光学装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザー走査光学装置に関し、特に回折光学素子より成るビーム整形手段により光源手段から出射された光束を効果的にビーム整形することにより、スポット径を小さくすると共に焦点深度を増加させることができる、例えば電子写真プロセスを有するレーザービームプリンタ（ＬＢＰ）やデジタル複写機等の装置に好適なレーザー走査光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりレーザービームプリンタやデジタル複写機等に用いられる走査光学装置においては画像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束（レーザー光束）を、例えばポリゴンミラーから成る光偏向器により周期的に偏向させ、ｆ−θ特性を有する結像光学系により感光性の記録媒体（感光ドラム）面上にスポット状に集束させ、その面上を光走査して画像記録を行なっている。
【０００３】図１０はこの種の走査光学装置の要部概略図である。
【０００４】同図においてレーザーユニット１１１から出射した光束は該レーザーユニット１１１の内部に設けたコリメーターレンズにより略平行光束に変換され、シリンドリカルレンズ１１２に入射している。シリンドリカルレンズ１１２に入射した平行光束のうち主走査断面においてはそのまま平行光束の状態で射出する。又副走査断面においては収束して光偏向器１１３の偏向面（反射面）１１３ａにほぼ線像として結像している。そして偏向面１１３ａで偏向した光束は球面レンズ１１４とトーリックレンズ１１５とを有する結像光学系（ｆθレンズ系）１２０を介して感光ドラム面１１６上に集光し、該光偏向器１１３を図中矢印Ａ方向に回転させることにより、該感光ドラム面１１６上を図中矢印Ｂ方向（主走査方向）に光走査している。これにより記録媒体である感光ドラム面１１６上に画像記録を行なっている。
【０００５】図１１は図１０に示したレーザユニット１１１の拡大説明図である。
【０００６】同図において１０１は光源としての半導体レーザ、１０２は基台、１０３はホルダー、１０４はレンズ鏡筒、１０５はコリメータレンズ、１０６は開口絞りである。
【０００７】同図において画像情報を含んだ駆動信号に制御された半導体レーザ１０１から出射された光束はコリメータレンズ１０５により平行光束に変換され、開口絞り１０６によって光束断面の大きさが決められレーザユニット１１１から射出される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】近年、レーザービームプリンタやデジタル複写機等は高解像度化及び高画質化が求められてきており、特に高分解能、ハーフトーン（中間階調）における豊かな階調再現に応える為に、被走査面である感光ドラム面上でのスポット径を、より小さくすることが求められている。
【０００９】しかしながら単純にＮ．Ａ（開口数）を広げることでスポット径を小さくすると焦点深度が減少し、製造公差が厳しくなるという問題点がある。
【００１０】この問題点を解決する為に、例えば特開平５−３０７１５１号公報で見られるように、第１種０次のベッセルビームを発生させてスポット径を小さくすると共に焦点深度を増加させる方法が提案されている。
【００１１】しかしながらベッセルビームを発生させる為に、例えば円錐プリズムや位相・振幅フィルタ等を使用しなければならず、その為装置全体が複雑化になり易い傾向にあった。
【００１２】そこで低コストでスポット径を小さくすると共にビームの副極大の影響を最小限に抑え、焦点深度を増加させる手段として、例えば図９に示すようにコリメーターレンズ１０５で略平行光束に変換された該平行光束の光軸近傍の光束を遮光手段１０８により遮光し、輪帯状（リング状）にビーム形状を整形する走査光学装置が提案されている。
【００１３】しかしながら上記の走査光学装置を、例えば高精細化を必要とするレーザープリンタ（特にカラーレーザープリンタ）に適用した場合はレーザー光束の中央部の光束を遮光することによる光量ロスが許容できなくなってくるという問題点が生じてくる。
【００１４】本発明の第１の目的は光源手段と偏向手段との間の光路中に第１、第２の回折光学素子を有するビーム整形手段を設け、該第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成し、該光源手段から出射する光束を効果的にビーム整形することにより、光量ロスすることなく、スポット径を小さくし、かつ焦点深度を増大させて高画質な画像を得ることができ、更には該第１、第２の回折光学素子を同一形状のものを使用することができるレーザー走査光学装置の提供にある。
【００１５】本発明の第２の目的は上記の構成において第１、第２の回折光学素子間に絞り部材を設けることにより、フレア光の抑制された良好なるスポットを被走査面上で得ることができるレーザー走査光学装置の提供にある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザー走査光学装置は、(1) 画像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束をコリメーターレンズにより略平行光束として偏向手段に導光し、該偏向手段により偏向された光束を結像手段を介して被走査面上に導光し、該被走査面上を走査するレーザー走査光学装置において、該光源手段と該偏向手段との間の光路中にビーム整形手段を設け、該ビーム整形手段はそこから射出する光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状の光束に整形する第１、第２の回折光学素子を有し、該第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成することによって、該第１、第２の回折光学素子を同一形状より形成したことを特徴としている。
【００１７】特に(1-1) 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を光軸の回りに所定の角度に偏向させ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を再度光軸回りの平行光束に偏向させることや、(1-2) 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を偏向させる角度を主走査方向と副走査方向とで互いに異ならせ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を輪帯状の平行光束に偏向させることや、(1-3) 前記第１、第２の回折光学素子は、同一種類の材料からなる基板より製造されていることや、(1-4) 前記第１、第２の回折光学素子は、同一基板の両面に各々製造されていること、等を特徴としている。
【００１８】(2) 画像信号に応じて光源手段から光変調され出射した光束をコリメーターレンズにより略平行光束として偏向手段に導光し、該偏向手段により偏向された光束を結像手段を介して被走査面上に導光し、該被走査面上を走査するレーザー走査光学装置において、該光源手段と該偏向手段との間の光路中にビーム整形手段を設け、該ビーム整形手段はそこから射出する光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状の光束に整形する第１、第２の回折光学素子を有し、該第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成することによって、該第１、第２の回折光学素子を同一形状より形成し、該第１、第２の回折光学素子間に絞り部材を設けたことを特徴としている。
【００１９】特に(2-1) 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を光軸の回りに所定の角度に偏向させ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を再度光軸回りの平行光束に偏向させることや、(2-2) 前記第１の回折光学素子は前記コリメーターレンズからの入射平行光束を偏向させる角度を主走査方向と副走査方向とで互いに異ならせ、前記第２の回折光学素子は該第１の回折光学素子で偏向された光束を輪帯状の平行光束に偏向させることや、(2-3) 前記第１、第２の回折光学素子は、同一種類の材料からなる基板より製造されていることや、(2-4) 前記絞り部材は前記第１の回折光学素子からの射出光束の外輪の光束を制限することや、(2-5) 前記絞り部材は前記第１の回折光学素子からの射出光束の内輪の光束を制限することや、(2-6) 前記絞り部材は前記第１の回折光学素子からの射出光束の外輪及び内輪の光束を制限すること、等を特徴としている。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施形態１のレーザー走査光学装置の光学系の要部概略図である。図２は図１に示した光源手段からビーム整形手段までの主要部分の要部概略図である。図３（Ａ），（Ｂ）は各々順に図２に示した第１、第２の回折光学素子の形状を示す拡大説明図である。
【００２１】図中、１は光源手段であり、例えば半導体レーザより成っている。２はコリメーターレンズであり、光源手段１から出射した光束（レーザー光束）を略平行光束に変換している。３は絞り部材（開口絞り）であり、光束の断面の大きさを整形している。
【００２２】４はビーム整形手段であり、該ビーム整形手段４から射出する光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状（リング状）の光束に整形する第１、第２の回折光学素子９，１０を有し、該第１、第２の回折光学素子９，１０間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成することによって、該第１、第２の回折光学素子９，１０を同一形状（一種類の形状）より形成している。本実施形態における第１の回折光学素子９はコリメーターレンズ２からの入射平行光束を光軸の回りに所定の角度に偏向させ、第２の回折光学素子１０は該第１の回折光学素子９で偏向された光束を再度光軸回りの平行光束に偏向させている。また第１の回折光学素子９と第２の回折光学素子１０の基板の材質（材料）を同一にして製造している。
【００２３】１１，１２は各々順に第１、第２の回折光学素子９，１０の第１、第２の回折格子である。
【００２４】５はシリンドリカルレンズであり、副走査方向にのみ所定の屈折力を有している。６は光偏向器であり、例えばポリゴンミラーより成っており、モータ等の駆動手段（不図示）により矢印Ａ方向に一定速度で回転している。７は結像手段としてのｆθ特性を有する結像光学系（ｆθレンズ系）であり、単一のトーリックレンズより成っており、光偏向器６で偏向された光束を被走査面としての感光ドラム面８上に結像させている。
【００２５】本実施形態において画像信号に応じて光源手段１から光変調され出射した光束はコリメーターレンズ２で略平行光束に変換され、絞り部材３によってその光束断面の大きさがビーム整形されてビーム整形手段４に入射する。そしてビーム整形手段４により該ビーム整形手段４から射出される光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状（リング状）の光束にビーム整形され、シリンドリカルレンズ５に入射する。シリンドリカルレンズ５に入射した略平行光束のうち主走査断面においてはそのまま略平行光束の状態で射出する。また副走査断面においては収束して光偏向器６の偏向面（反射面）６ａにほぼ線像として結像する。そして光偏向器６で偏向反射した光束は結像光学系７を介して感光ドラム面８上に集光し、該光偏向器６を図中矢印Ａ方向に回転させることにより、該感光ドラム面８上を図中矢印Ｂ方向（主走査方向）に等速走査している。これにより記録媒体である感光ドラム面８上に画像記録を行なっている。
【００２６】次にビーム整形手段で光源手段から出射した光束を輪帯状の光束にビーム整形する手段について図２を用いて説明する。
【００２７】図２においては上述の如く半導体レーザ１から出射した光束がコリメーターレンズ２により略平行光束に変換され、絞り部材３によりその光束断面の大きさ（光束の外径）が規制される。この絞り部材３は光束の放射角のばらつきによるスポット径のばらつきを抑え、安定したスポット径を得るようにしたものである。その後、ビーム整形手段４を構成する第１の回折光学素子９に入射し、該第１の回折光学素子９により入射平行光束は所定の角度で光軸へ向かって偏向される。そして光軸と交わった後、放射状に拡がった光束は第２の回折光学素子１０に入射し、再度光軸に平行な平行光束に変換される。この際、第１の回折光学素子９と第２の回折光学素子１０との間隔を所望の距離だけ離せばビーム整形手段４から射出される光束の光強度分布が光軸近傍に比べて周辺部で強くなる輪帯状（リング状）の光束となる。尚、周辺部に比べて光強度分布が弱くなる光軸近傍の光束を以下「暗部の光束」と称す。従ってビーム整形手段４の入射側の入射光束において光軸近傍の光束は射出側で周辺の光束に、周辺光束は射出側で光軸側の暗部の光束となる。
【００２８】ここで第１の回折光学素子９の第１の回折格子（格子面）１１と第２の回折光学素子１０の第２の回折格子（格子面）１２との距離及び各格子ピッチを任意に選択することによりリング形状を任意に整形することができる。
【００２９】本実施形態における第１の回折光学素子９と第２の回折光学素子１０は共に入射光束を所望の角度に曲げるだけの機能を有し、集光又は発散等の光学的作用は持っていない。従って図３（Ａ），（Ｂ）に示すように第１、第２の回折光学素子９，１０共に各回折格子１１，１２の格子ピッチは等ピッチな光軸を中心とする同心円となる。尚、図３（Ａ），（Ｂ）において第１、第２の回折光学素子９，１０の格子形状は各々階段状の格子になっているが、これは特に限定されたものでなく、例えば鋸歯状の回折格子でも本発明は十分に適用することができる。
【００３０】更に本実施形態では第１の回折格子１１の偏向角と、第２の回折格子１２の偏向角が同じなので同図に示すように格子領域を広くとることによって第１と第２の回折光学格子９，１０を同材質で全く同一格子形状（一種類の形状）のものを使用することができる。
【００３１】次に具体的な例を挙げて説明する。図２において輪帯状にビーム整形された後の光束のビーム形状が、例えば外形ｂがφ６ｍｍ、暗部ａがφ２ｍｍの同心円となる場合について考えてみる。ここでビーム整形手段４を構成する第１、第２の回折光学素子９，１０の間隔をｔとする。ｂ＝６ｍｍ，ａ＝２ｍｍであるので、ｂ−ａ＝４ｍｍとなり、ビーム整形手段４へ入射する光束はφ４ｍｍのビームにする必要がある。その為、絞り部材３としてφ４ｍｍの円形開口を設けることになる。
【００３２】次に間隔ｔを１０．０ｍｍとした場合、回折格子の回折角θとしては【００３３】
【数１】
となる。レーザ波長をλ＝６７５ｎｍとすると、格子ピッチＰはＰｓｉｎθ＝ｍλ（ｍは整数、本実施形態ではｍ＝１）よりＰ＝ｍλ／ｓｉｎθ＝１．０６７５／ｓｉｎ（５．７１）＝６．７８μｍとなる。又格子厚ｄは（ｎ−１）ｄ＝Ｌλよりｎ＝１．５１６３３、Ｌ＝１とすると、ｄ＝１．３１３μｍとなる。
【００３４】このように本実施形態では上述の如く半導体レーザ１と光偏向器６との間の光路中に第１、第２の回折光学素子９，１０を有するビーム整形手段４を設け、該第１、第２の回折光学素子９，１０間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成し、該半導体レーザ１から出射した光束を効果的にビーム整形することにより、光量ロスすることなく、スポット径を小さくし、かつ焦点深度を増大させて高画質な画像を得ることができ、更には該第１、第２の回折光学素子９，１０を同材質で同一形状のものを使用することができる。
【００３５】［第２の実施形態］図４は本発明の実施形態２のビーム整形手段の形状を示す要部断面図である。同図において前記図２に示した要素と同一要素には同符番を付している。
【００３６】本実施形態において前述の実施形態１と異なる点はビーム整形手段を構成する第１、第２の回折光学素子の回折格子を同一基板の両面に各々設けて一体化にして構成したことである。その他の構成及び光学的作用は前述の実施形態１と略同様であり、これにより同様な効果を得ている。
【００３７】即ち、同図において４４はビーム整形手段であり、同一基板の両面に第１、第２の回折光学素子の第１、第２の回折格子４１，４２を各々設けている。このようにビーム整形手段４４を構成することにより、本実施形態においては第１、第２の回折格子４１，４２の光軸を高精度に合わせることができ、又部品点数が減るので保持部材等のメカ部品も減少し、これにより装置全体のコンパクト化及び低コスト化を図っている。
【００３８】［第３の実施形態］図５、図６、図７は各々本発明の実施形態３の光源手段からビーム整形手段までの主要部分の要部概略図である。同図において前記図２に示した要素と同一要素には同符番を付している。
【００３９】本実施形態において前述の実施形態１と異なる点はビーム整形手段を構成する第１、第２の回折光学素子間に絞り部材（開口絞り）を設けたことである。その他の構成及び光学的作用は前述の実施形態１と略同様であり、これにより同様な効果を得ている。
【００４０】即ち、図５、図６、図７において２３は絞り部材（開口絞り）であり、第１の回折光学素子９からの射出光束の外輪又は／及び内輪の光束を制限しており、設計回折次数以外の回折光がフレア光として画像に影響するのを防止している。
【００４１】本実施形態において図５では絞り部材２３により外輪の光束を制限しており、図６では内輪の光束を制限しており、図７では外輪と内輪との光束を同時に制限している。これらはメカニカルな開口絞りで実現することができる。
【００４２】本実施形態ではこのように上述の如く補助的な絞り部材２３を第１、第２の回折光学素子９，１０間に設けることにより、フレア光が抑制された良好なるスポットを被走査面上で得ている。
【００４３】尚、本実施形態においてはコリメーターレンズ２とビーム整形手段５４との間の光路中に前述の実施形態１と同様に絞り部材３を設けているが、上記の補助的な絞り部材２３で十分光束を制限できるなら設けなくても本発明は前述の実施形態と同様に適用することができる。
【００４４】［第４の実施形態］図８は本発明の実施形態４の光源手段からビーム整形手段までの主要部分の要部概略図である。同図において前記図２に示した要素と同一要素には同符番を付している。
【００４５】本実施形態において前述の実施形態１と異なる点はビーム整形手段から射出される輪帯状の光束の形状（輪帯形状）又は／及び周辺部に比べて光強度分布が弱い光軸近傍（暗部）の光束の形状を楕円形状としたことである。その他の構成及び光学的作用は前述の実施形態１と略同様であり、これにより同様な効果を得ている。
【００４６】即ち、同図において８４はビーム整形手段であり、第１の回折光学素子１９と第２の回折光学素子２０とを有し、該第１の回折光学素子１９はコリメーターレンズ２からの入射平行光束を偏向させる角度を主走査方向と副走査方向とで互いに異ならせており、該第２の回折光学素子２０は該第１の回折光学素子１９で偏向された光束を輪帯状の平行光束としている。このようにビーム整形手段８４を構成することにより、本実施形態では輪帯状の光束の形状又は／及び周辺部に比べて光強度分布が弱い光軸近傍（暗部）の光束の形状を円形状以外に整形している。
【００４７】即ち、前述の各実施形態において光束の形状は全て回転対称で、かつ円形状の輪帯部と暗部とで構成されていたが、これに限定される必要はなく、例えば同図に示すように入力側の光束の形状を円形状とし、出力側の光束の形状を楕円の輪帯状の開口にしても良い。
【００４８】本実施形態では通常の光学系とは異なり、第１、第２の回折光学素子１９，２０の格子ピッチを任意に変えることにより、光束の形状を円形から楕円に変換している。このように光束の形状を楕円の輪帯状に整形することによっても本発明は前述の各実施形態と略同様な効果を得ることができる。
【００４９】当然ながら、図８に示した以外にも光束形状を、例えば入射側が楕円で射出側が円形、輪帯部が円形で暗部が楕円等の種々の組み合わせも考えられる。ここでは全ての組み合わせについては記述しない。これらのパラメータはレーザ光束の放射角とその単品ばらつき、光学系の主走査方向及び副走査方向の結像倍率、所望のスポット径等から最適な構成を選定することができる。
【００５０】
【発明の効果】第１の発明によれば前述の如く光源手段と偏向手段との間の光路中に第１、第２の回折光学素子を有するビーム整形手段を設け、該第１、第２の回折光学素子間で偏向される光束を一度光軸と交わるように構成し、該光源手段から出射する光束を効果的にビーム整形することにより、光量ロスすることなく、スポット径を小さくし、かつ焦点深度を増大させて高画質な画像を得ることができ、更には該第１、第２の回折光学素子を同一形状のものを使用することができるレーザー走査光学装置を達成することができる。
【００５１】第２の発明によれば前述の如く上記の構成において第１、第２の回折光学素子間に絞り部材を設けることにより、フレア光の抑制された良好なるスポットを被走査面上で得ることができるレーザー走査光学装置を達成することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００１００７
【氏名又は名称】キヤノン株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年（１９９８）３月２０日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】高梨 幸雄
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| 【公開番号】 |
特開平１１−２７１６５５ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１０月８日 |
| 【出願番号】 |
特願平１０−９２５０３ |
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