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【発明の名称】 粒子の検出及び粒子検出器装置
【発明者】 【氏名】イサック・シャリヴ

【氏名】イフタク・カルニ
【要約】 【課題】電子顕微鏡、質量分析計などのための粒子検出器を提供する。

【解決手段】シンチレータ４が後置されるマイクロチャネル・プレートまたはマイクロ球面プレートの如き単一の板状の電子増倍器２を含む。シンチレータ４の前段に電子増倍器２を用いて、シンチレータ４からの光子の通過効率を補償する。シンチレータ４の出力電圧を自由に設定することが可能である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 少なくとも１つの光電子増倍器が後置されたシンチレータが後置された電子増倍器を備えた粒子検出器。
【請求項２】 電界活性器が前記電子増倍器と前記シンチレータとの間に電界を設定するよう配置される請求項１記載の粒子検出器。
【請求項３】 前記電子増倍器と前記シンチレータとが相互に動作的に近くに配置される請求項１または２のいずれかに記載の粒子検出器。
【請求項４】 接近中の粒子が前記シンチレータに達し得る前に前記電子増倍器に当たるように、接近中の電子の方向に関して定位される請求項１または２または３のいずれかに記載の粒子検出器。
【請求項５】 前記電子増倍器が単一プレートである請求項１ないし４のいずれか一つに記載の粒子検出器。
【請求項６】 前記シンチレータが発光材料を含み、前記発光材料が、前記シンチレータを前記少なくとも１つの光電子増倍管に接続する光伝送チャネルをも形成する請求項１ないし５のいずれか一つに記載の粒子検出器。
【請求項７】 前記シンチレータが少なくとも２つの部分に分割され、各部分が個々の光電子増倍管に接続される請求項１ないし６のいずれか一つに記載の粒子検出器。
【請求項８】 前記第１のシンチレータに関して粒子源方向とは反対側に配置された第２のシンチレータを更に備え、前記第１のシンチレータが予め定めた半径の穴を持ち、各シンチレータが別個の光電子増倍管に接続される請求項１ないし７のいずれか一つに記載の粒子検出器。
【請求項９】 薄い箔が試料とソリッドステート電子増倍器との間に配置される請求項１ないし８のいずれか一つに記載の粒子検出器。
【請求項１０】 前記の薄い箔が二次電子を発するように設計された材料層で被覆される請求項９記載の粒子検出器。
【請求項１１】 粒子を受取り光子を発する活性領域と、光子を外部検出装置へ通過させる伝送領域とを備え、該伝送領域が光子を伝送するのに適する形態に作られた発光材料を含む、粒子検出器で使用されるシンチレータ。
【請求項１２】 前記伝送領域が光ファイバに組込まれた発光材料を含む請求項１１記載のシンチレータ。
【請求項１３】 粒子を受取る第１の面と粒子を発する第２の面とを有し、前記第１の面が薄い箔により遮蔽される電子増倍器。
【請求項１４】 前記薄い箔がプラスチック箔である請求項１３記載の電子増倍器。
【請求項１５】 前記薄い箔が二次粒子を発するよう設計された材料層で被覆される請求項１３または１４のいずれかに記載の電子増倍器。
【請求項１６】 前記薄い箔が５μｍ以下の厚さを有する請求項１３〜１５のいずれか一つに記載の電子増倍器。
【請求項１７】 前記薄い箔が実質的に０．５μｍの厚さを有する請求項１３ないし１６のいずれか一つに記載の電子増倍器。
【請求項１８】 粒子の検出のための活性領域を含み、該活性領域が、それぞれ別個の光電子増倍管に接続され得る２つの部分へ分割される粒子検出器用シンチレータ。
【請求項１９】 各活性領域部分が、発光材料から形成された光伝送手段を介して別個の光電子増倍管に接続可能である請求項１８記載のシンチレータ。
【請求項２０】 電子顕微鏡の真空チャンバ内部に配置される請求項１ないし１０のいずれか一つに記載の粒子検出器。
【請求項２１】 前記電子顕微鏡の前記真空チャンバ内部に配置された光電子増倍管に動作的に接続される請求項２０記載の粒子検出器。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、粒子の検出および粒子検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】粒子検出器は、質量分析計、粒子加速器および顕微鏡を含む多くの用途において重要である。これらの場合の全てにおいて、荷電粒子が検出される必要がある。粒子のエネルギ即ち存在を増幅が可能である形態へ変換し、次いで、粒子の存在を推定するため信号の増幅された形態が測定される検出器が提供される。質量分析計においては、イオン・ビームが提供され、そのイオン・ビームのエネルギおよび電流は分析される材料についての情報を有する。電子顕微鏡においては、電子のビームが試料を走査する。このビームは、異なる方法で試料と相互作用して検出が可能である信号を生じる。透過型電子顕微鏡においては、これは下記のように達成される。即ち、電子ビームが、試料を透過して、試料により部分的に吸収される。吸収されないビーム部分は、試料の離れた側で粒子検出器により検出され、異なる密度の領域間のコントラストが示される。このためには、比較的高エネルギのビームを必要とし、試料に対して損傷を生じるという短所を持つ。更なる短所は、薄い試料が要求されることである。
【０００３】走査型電子顕微鏡で用いられる第２の信号形態は、試料により反射される元のビームの粒子を含んでいる。これら粒子は、後方散乱電子として知られ、典型的には５０ｅＶ以上の一次ビームに似たエネルギを呈する傾向がある。後方散乱電子は、良好な材料のコントラスト情報を生じ、異なる材料を弁別することを可能にする。
【０００４】走査型電子顕微鏡の利点を再び利用した第３の信号形態は、二次電子を含むものである。二次電子は、一次電子、即ち元のビームの電子により衝突された時に試料表面により発生される。二次電子は、やや低いエネルギであり、典型的には５ｅＶ以下、厳密には５０ｅＶより低いエネルギである。二次電子は、表面のトポグラフィについての情報を保持する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の用途において現在使用される粒子検出器には３つの主な形式がある。１つはシンチレータとして知られ、２番目は時にシリコン検出器として知られるソリッドステート検出器であり、３番目はプレートである。このプレートは、マイクロチャネル・プレート（ＭＣＰ）として知られる第１のものとマイクロ球面プレート（ＭＳＰ）として知られる第２のものとの２つの形態にある。シンチレータは、リンで被覆されたガラスまたは他の透明な基板、あるいは発光材料で浸漬された透明材料を含んでいる。シンチレータは、電子または他の荷電粒子と衝突された時に光子を発生する。この光子は、光ガイドを通過して光電子増倍管（ＰＭＴ）へ入る。ＰＭＴは、これに達する光子数に比例する電子流を生成し、電子信号を増幅して視覚表示装置またはメモリまたはイメージ処理装置へ送られるほど強い出力信号を生じる。発光体から光ガイドを経て光電子増倍器へ光子を伝送する時、著しい光子損失が生じる。
【０００６】ソリッドステート検出器は、エネルギ電子が衝突する時、電子ホール対を生成する。これらのホール対は、電子回路により増幅されて視覚表示装置へ送られるに充分な強さの信号を生成する。
【０００７】シンチレータにおける問題の１つは、電子が典型的には１０ｋｅＶの充分なエネルギを持つならば、充分に大きな信号がただ１つの電子から生成されることである。従って、このようなエネルギ準位とはほど遠い二次電子は、検出されるためには加速されねばならない。このため、シンチレータの前面は、＋１０ｋＶ付近の電圧レベルが与えられる。このような電界強度のゆえに、ビームの収差または偏向を防止するために、検出器を試料から遠くに配置することが必要である。このことは更に、検出効率が低減することを意味する。同じことが、ソリッドステート検出器に妥当する。
【０００８】光電子増倍管もまた、動作するために高い電界を持たねばならないが、同時に、容易に増幅されて視覚表示装置へ直接送ることができるように出力信号は望ましくは接地電位になければならない。これを果たす唯一の方法は、光電子増倍管の前面プレートを強い負電圧、例えば−１．５ｋＶに置くことである。光子は無論電界に感応せず、従ってシンチレータと光電子増倍管との間に強い負の電界があることは問題でない。
【０００９】ＭＣＰ（またはＭＳＰ）は、典型的に厚さが０．５ミリメートル付近で、プレートを貫通して延在するマイクロチャネルを有するプレートである。ＭＣＰにおけるマイクロチャネルの半径は典型的に１０μｍであり、チャネルが直線状である。ＭＳＰにおいては、マイクロチャネルはプレートの２つの面間で長手方向に捩れている。典型的に１ｋＶの電圧が、プレートの厚さの両側に印加される。試料からの電子は、マイクロチャネルの壁面に衝突し、１つ以上の二次電子をこの壁面から放出させる。これら電子は更に、更に離れた点で壁面に衝突して、更に多くの二次電子を生じる。適切な大きさの電界がプレートを挟んで存在するものとすれば、増倍効果を生じる結果となる。典型的に、千ないし一万の増倍率を１つのＭＣＰプレートから得ることができる。しかし、充分な出力信号を保証するためには、かかるプレートの２つまたは３つを相互に重ねることが一般に必要である。重なる各プレートは、十万ないし一千万程度の増倍率が全体的に達成されることを保証するに充分な電界強度を持たねばならない。
【００１０】視覚表示装置の目的のためには、出力信号は接地電位になければならないが、ＭＣＰ（またはＭＳＰ）のアノードは２ないし３ｋＶであるという問題が再び生じる。この問題は、コンデンサをバッファとして用いることにより解決することができる。しかし、これは、ＭＣＰ出力がそのバイアス電流の略々１０パーセントに制限されるゆえに、低電流に対してのみ有効である。代替的な緩衝方法は、信号を光子に変換して、光ガイドを用いることである。いずれの方法も、結果は複雑でありかつコンパクトでない装置となる。コンパクト性は、検出器が電子顕微鏡ハウジングのコラム内で又はこのコラムからのビームの出口と試料との間に適合しなければならないので、非常に重要である。
【００１１】ＭＣＰ（またはＭＳＰ）に基く検出器の利点は、シンチレータまたはソリッドステート検出器のいずれと比しても低エネルギ電子に対する感度が大きいことである。従って、この検出器は入力面において強い電界を持つ必要がなく、従って試料あるいはビーム経路にはるかに近づけて配置することができる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特質によれば、電子増倍器とシンチレータとを含み、光電子増倍器が後置された粒子検出器が提供される。実施の一形態においては、シンチレータから光電子増倍器へ光子を導くため光ガイドが用いられる。この光ガイドは、光伝送ロッドの形態を呈し、あるいは可撓性ファイバを含む。
【００１３】電子増倍器とシンチレータとの間に電界を設定するため、電界活性器（ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｅｌｄ ｅｎａｂｌｅｒ）が構成されることが望ましい。電子増倍器とシンチレータとは、相互に動作的に近くに配置され、接近中の粒子がシンチレータに達し得る前に電子増倍器に衝突するように、接近中の粒子の方向に関して理想的に定位される。電子増倍器は、マイクロチャネル・プレートＭＣＰあるいはマイクロ球面プレートＭＳＰでよい。この電子増倍器は、複数のプレートが通常相互に重なる層状に配置される従来技術とは対照的に、単一プレートでよい。典型的には５００ないし２，５００ボルトの単一プレートからシンチレータに衝突する５００ないし１０，０００個の電子が、シンチレータから光電子増倍器までの経路における著しい光損失が検出効率に影響を及ぼすことなく許容し得るほど充分な光子を、電子増倍器により初期に検出された１個の電子それぞれに対して生成する。検出効率は、電子増倍器に衝突する最初の電子がどれだけ多く光電子増倍器の出力信号に検証されるかの尺度である。
【００１４】実施の一形態では、シンチレータ自体が発光材料を含むばかりでなく、発光材料もまた光伝送チャネルを形成してシンチレータを光電子増倍管に接続する。従って、１つの材料は、光子の生成と共に光子をＰＭＴへ導くためにも用いられ，現用システムにおけるように２つの材料の指標を一致させる必要がない。
【００１５】検出された粒子についての空間的情報を得るために、シンチレータは、それぞれが個々の光電子増倍管に接続される２つ以上の部分へ分割される。空間的情報、特に半径方向（ｒａｄｉａｌ）情報を得る別の方法は、試料から離れて第１のシンチレータの後方に配置される第２のシンチレータを提供することであり、この場合第１のシンチレータは予め定めた半径の穴を持ち、第２のシンチレータは更に大きな半径を持ち、かつ各シンチレータが別個の光電子増倍管に接続されている。
【００１６】電子増倍器の検出効率が小さいようなエネルギ粒子を検出すべき場合は、電子増倍器が望ましくは粒子源の方向から薄い箔で遮蔽されねばならない。この箔は、入射粒子の大半が通過することを許容するほど充分に薄い。電子増倍器に面するこの薄い箔の面は、二次電子を発射するように設計された材料層で被覆されることが望ましい。
【００１７】本発明の第２の特質によれば、粒子を受取り光子を発射する活性領域と光子を外部の検出装置へ通過させる伝送（ｃｏｎｖｅｙａｎｃｅ）領域とを含み、伝送領域が光子の伝送に適する形態に形成された発光材料を含む、粒子検出器に使用されるシンチレータが提供される。前記伝送領域は光ガイドである。
【００１８】本発明の第３の特質によれば、粒子の検出のための活性領域を含み、この活性領域がそれぞれ別個の光電子増倍管に接続することが可能な２つ以上の部分へ分割される、粒子検出器用のシンチレータが提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施の形態を実施するよう動作する装置の概略図である。マイクロチャネル・プレート（ＭＣＰ）の如き電子増倍器２が、到来する粒子を受取るように配置される。粒子は、なだれ効果を生じる横断電界を有するＭＣＰと衝突する。従来技術において見られる複数の層ではなく、ただ１つのＭＣＰを設けるだけでよい。生成される電子の増倍は、信号を形成するため直接用いるには弱すぎるが、ＭＣＰの出力側に設けられるシンチレータ４に光子を生じるためには充分以上である。典型的には２ないし４ｋＶ程度であるが１５ｋＶもの強さの電界がＭＣＰとシンチレータとの間に配置されており、このことがＭＣＰからの電子が検出されるようにシンチレータに向けて充分に加速されることを保証するのに必要な全てである。電子の衝突時にシンチレータ４において生成される光子は、ある形態の光ガイドを経て光電子増倍管６へ通過させられ、光電子増倍管６の出力は視覚表示装置（ＶＤＵ）により直接使用することができ、あるいはコンピュータのメモリなどに記録することができる。光電子増倍管６の出力は、シンチレータ４の入力と電気的な接続がないので、任意の要求された電位に設定することができる。このため、ＶＤＵに供給される信号は接地電位であり得る。
【００２０】図２は、イオンを検出するための本発明の構成を示している。当該構成においては、矢印１６により示されるイオンが電子増倍器２に衝突する。この電子増倍器２は、例えば２０ｋＶの電圧に保持される。小さな電子雲が生成されて、例えば２３ｋＶの電圧に保持されるシンチレータ４に向けて加速される。この電子雲は、出力を形成するため直接用いるには弱すぎるが、シンチレータに光子を生成するためには充分以上である。このように生成された光子は、光ガイドまたは光ファイバ１８を介して光電子増倍管６へ送られる。
【００２１】図３は、走査型電子顕微鏡の一部として使用可能なように動作する本発明の実施の一形態を示している。当該実施の形態においては、ビーム発生器８が電子ビームを生成する。ビーム集束サブシステム１０が、ビームを試料上に集束する。当該ビーム集束サブシステム１０は、電磁石の如き磁界生成装置を含み、当業者には周知の技術を含んでいる。
【００２２】集束されたビームは、試料１２の表面にわたり走査され、二次電子と後方散乱電子とが生成される。電子増倍器（ＭＣＰプレート）２が、後方散乱電子あるいは二次電子のいずれかと並んで適宜配置される。一般に、後方散乱電子は、ビームの反射が予期される角度に限定される。二次電子は不規則な角度で現れる。ＭＣＰプレート２は、先に述べたように電子雲を生じる。単一のＭＣＰプレートにより生成される電子雲もまた、出力信号を形成するため直接用いるには弱すぎ、従ってシンチレータ４へ送られる。このシンチレータ４は、１個の電子ではなく電子のなだれを受取り、このため、より低エネルギの電子を検出することができる。このように、高電位の電界をシンチレータの前方領域の周囲に置くことはもはや必要ではなく、シンチレータを電子ビームを擾乱することなく電子ビームと試料のずっと近くに置くことができる。シンチレータへ送られるＭＣＰプレート２により生成される電子なだれは、このシンチレータで光子へ変換される。従って、出力信号はシンチレータに対する入力における電圧から自然に緩衝され、これにより信号が出力装置として働く視覚表示装置（ＶＤＵ）１４に達する前に信号を更に緩衝する必要がない。
【００２３】本発明の１つの利点は、ＭＣＰのエージング過程を遅らせることである。ＭＣＰのエージングは、ＭＣＰの使用寿命におけるその全放射電荷量に正比例する。本発明においては、１つのＭＣＰにより放射される全電荷量は、従来のＭＣＰ検出器の多層部における最後のＭＣＰの放射電荷量の百分の一程度である。このため、使用寿命の期待値は百倍程度の長さである。
【００２４】従来のシンチレータにおいて、リンあるいは発光材料を含むプラスチックで被覆されたガラス・スクリーンが、電子が衝突した時に光子を放出する。光子は、次に光ガイドまたは光ファイバを介して光電子増倍管へ送られて、視覚表示装置（ＶＤＵ）へ送られるのに充分な強さの信号を生成する。シンチレータ自体は光ファイバと同じ材料でないので、信号損失が接合点において生じる。この接合点は決して完全でなく、２つの材料が全く同じ屈折率を持つことはない。
【００２５】本発明の実施の一形態においては、シンチレータの本体を形成するため用いられるのと同じ発光材料を用いて光ガイドを形成する。このため、信号損失を生じる接合点がない。発光材料は、光ファイバを形成するように延伸され、クラッド層が設けられ、あるいは通常の方法でアルミニウムで被覆される。
【００２６】次に図４を参照する。図４は、粒子の検出時、即ち粒子に対する有効な応答時のＭＣＰプレート２の粒子エネルギに対してプロットされた効率のグラフである。ＭＣＰの電子検出効率が電子エネルギの関数であり、かつ最大効率が３００ｅＶ付近における電子エネルギにおいて生じることが明らかに判る。このため、多くの後方散乱電子は有効に検出されるには高すぎるエネルギであり得る。
【００２７】次に、本発明による更に他の実施の形態を示す図５を参照する。先に述べたように、二次電子と後方散乱電子とを検出するために、即ち広範囲のエネルギにわたる粒子を検出するために、本発明による検出器が要求される。
【００２８】本発明の実施の一形態においては、この問題は、より高いエネルギの電子を減速し、あるいはそのエネルギの一部を吸収するため、薄い箔２０をＭＣＰ２２の前方に配置することによって解決される。これらのエネルギ粒子もまた、箔を通過する時に二次電子を放出する。更に他の実施の形態では、より多くの二次電子を放出する更に薄い層２４で金属箔自体が被覆されている。二次電子自体は、検出するにはエネルギが低すぎ、典型的には１ｅＶであるが、これらの電子を最適な検出効率レベルまで正確に加速するためには、箔２０とＭＣＰ２２との間に３００Ｖの電界を設定するだけでよい。
【００２９】前記箔の典型的な厚さは０．５μｍであるが、特定用途における電子のエネルギに応じて５μｍ以下の厚さも有効である。二次電子を放射するためのコーティングの典型的な厚さは２５０ないし４００オングストロームである。箔に対する典型的な材料は、プラスチック・ポリマーでよく、コーティングに対する典型的な材料は酸化アルミニウムまたはＣｓＩでよい。
【００３０】当該実施の形態の更なる利点は、ＭＣＰの別のエージング過程を遅くすることである。原子と分子とは、その質量が電子の質量よりもはるかに大きいので箔を透過することはない。箔は、使用された材料に従って、電子よりも大きな粒子あるいはイオンよりも大きな粒子にとって不透明である。従って、箔はＭＣＰを汚染物から遮蔽するように働き、これによりＭＣＰの使用寿命を延長する。
【００３１】次に、本発明の更に他の実施の形態において使用されるＭＣＰを示す図６を参照する。後方散乱電子の検出のために、検出装置をできるだけビームの線に近づけることが有利である。従って、図６に示された実施の形態においては、ＭＣＰプレート３０がビームの経路を包囲するような構成で示される。穴３２は、ビームを通過させるようプレートの中央に構成される。図７は、これもビームの経路として中央に穴４４を持つ発光ファイバ４２から構成されたシンチレータ４０を示している。図８は、ビーム５０がシンチレータ５２とＭＣＰ５４の中心の穴を通過して試料５６に衝突することを示している。後方散乱電子は、破線５８により示される形式の経路に略々従い、ＭＣＰ５４に衝突する。結果として生じる電子雲がシンチレータ５２にむけて加速され、このシンチレータで光子を生じる。光子は、視覚表示装置６２に対する入力に適する信号へ変換されるため、シンチレータのファイバを経て光電子増倍管６０へ至る。
【００３２】次に、本発明の更なる実施の形態で使用されるシンチレータを示す図９を参照する。走査型電子顕微鏡は、試料を走査するビームがスクリーンを走査する視覚表示装置におけるビームと同期されるので、試料についての空間的情報を取得する。全ての電子は、検出される時は常に、所与の瞬間に試料上の特定点に帰属するとして解釈され、表示装置における同じピクセルを形成することになる。しかし、検出される電子の空間的分布から試料についての更なる情報を得ることが可能である。このためには、粒子の分布が保持されるように個々のミニ検出器へ空間的に分割される検出器を備えることが必要である。以降の記述において、簡単にするため、２つのミニ検出器を含む検出器について記述する。しかし、構成プロセスの物理的制約および追加の空間的な情報が必要とされる程度のみに応じて、より多数のミニ検出器が可能であることが判るであろう。
【００３３】図９は、発光ファイバ７２から作られたシンチレータ７０を示す。当該実施の形態は、活性（即ち、検出）領域７４以外で、発光ファイバ７２が２つの束７６、７８に分割され、各束が個々の光電子増倍管に接続されることを除いて、図７に示された実施の形態と類似している。
【００３４】図１０は、ウエーブガイドを有する更に周知の種類のシンチレータ８０を示している。この場合、光ガイドまたはシンチレータは個々の光電子増倍管に接続される２つの部分８２、８４に物理的に分割されている。
【００３５】２つの部分に構成されることを必要とするのはシンチレータのみであることが指摘される。本発明の実施の形態におけるシンチレータに先行するＭＣＰは、何らかの修正を必要とすることなく空間的情報を保持する。
【００３６】図１１は、空間的情報を得るための別の変更例を示す。この場合、図６ないし図９に示される実施の形態におけるように、主ビームが検出器の中心の穴を通過する。この場合、試料から戻る電子が、半径Ｒ２で半径Ｒ０の中心穴を持つＭＣＰ９０に当たり、向こう側から出た電子雲がシンチレータ９２、９４に向けて加速される。シンチレータ９２の方がＭＣＰ９０に近く、半径Ｒ１の中心穴９６を有する。シンチレータ９２の表面に衝突する電子は通常の方法で検出され、通過する電子は第２の検出器９４に衝突する。図１２は、３つの半径Ｒ０、Ｒ１およびＲ２間の関係を示している。この３つの半径が正しく選定されるならば、二次電子と後方散乱電子とを弁別することが可能である。
【００３７】図１３は、ＭＣＰ１００と、比較的大きな半径の穴を持つ第１のシンチレータ１０２と、第２のシンチレータ１０４とを示す図１１および図１２の実施の形態の変更例である。各シンチレータは、それぞれ異なる光電子増倍器１０６、１０８に接続される。図１３の場合は、シンチレータは発光ファイバ１１０から作られている。
【００３８】図９ないし図１３の実施の形態については、ＭＣＰを含むものとして述べた。しかし、これらの実施の形態もまた、適切な電界が試料とシンチレータとの間に設定されるものとすれば、ＭＣＰなしで働くことが判るであろう。
【００３９】電子顕微鏡の内部は真空である。真空内に電子検出器の粒子検知部分を置くことが必要である。しかし、検出器の光電子増倍管部分は、空間における制約のため通常は真空外に置かれる。このことは、シンチレータから光電子増倍管までの光ファイバ接続が真空シールを通過しなければならないことを意味する。光ファイバの周囲に真空シールを設けることは高価となり複雑になる。電気的結線の周囲に真空シールを設ける方がはるかに容易である。従って、必要なことは、光電子増倍管とＶＤＵとの間の電気的結線を封止することだけである。あるいはまた、光電子増倍管の本体の周囲を封止することが可能であり、これもまた光ファイバの周囲を封止するよりも容易である。
【００４０】特許請求の範囲において、電子増倍器という用語がマイクロチャネル・プレートＭＣＰとマイクロ球面プレートＭＳＰの両方を含むことが理解されよう。
【出願人】 【識別番号】５９８０１５６９３
【氏名又は名称】エル−マル・テクノロジーズ・リミテッド
【氏名又は名称原語表記】ＥＬ−ＭＵＬ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＩＥＳ ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】Ｎｉｔｚａｎｉｍ Ｂｌｄｇ．，Ｓｏｒｅｑ，Ｙａｖｎｅ ８１１０４，Ｉｓｒａｅｌ
【出願日】 平成１０年（１９９８）２月４日
【代理人】 【弁理士】
【氏名又は名称】社本 一夫 （外５名）
【公開番号】 特開平１１−１６０４３８
【公開日】 平成１１年（１９９９）６月１８日
【出願番号】 特願平１０−２３２２１