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【発明の名称】 光ファイバ式放射線検出器及び放射線検出装置
【発明者】 【氏名】青木 康子

【氏名】北口 博司

【氏名】出海 滋

【氏名】海原 明久
【要約】 【課題】放射線としてエネルギーの異なるγ線をＩＣＲＰ勧告に沿い確実に検出できると共に、放射線の入射角度に拘わらず検出し、長距離伝送すること。

【解決手段】波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇの各々がシンチレータ２の同一半径位置に等間隔で配置されているので、低エネルギーγ線によるシンチレーション光が、放射線が入射した方向の表面近傍の波長変換ファイバ３のみによって集光され、その感度が抑えられるものの、発光領域に近い何れかの波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇにより集光されるので、１シンチレーション光当たりの光子数を多く集光でき、この集光した多数の光子により長距離伝送に耐え得る信号を得ることができる。しかも、高エネルギーγ線によるシンチレーション光がシンチレータ２全域で発生することとなるので、全ての波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇによって集光される。この場合、広い範囲に渡っての発光を効率良く集光でき、１シンチレーション光当たりの光子数を確実に多く集光でき、長距離伝送を的確にできる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータと、該シンチレータの内部に設けられ、シンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバと、該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバとを有し、波長変換ファイバは、シンチレータ内において、該シンチレータの中心軸を中心とする同一半径位置に複数本配置されていることを特徴とする光ファイバ式放射線検出器。
【請求項２】 放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータと、該シンチレータ内に設けられ、シンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバと、該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバとを有し、波長変換ファイバは、シンチレータ内において、該シンチレータの中心軸を中心とする同一円周上に配置された円筒形状であることを特徴とする光ファイバ式放射線検出器。
【請求項３】 放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータと、該シンチレータ内に設けられ、シンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバと、該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバとを有し、波長変換ファイバは、シンチレータの内部において、シンチレータと同一円周上に配置された複数のものと、シンチレータの中心軸上に配置されたものとからなることを特徴とする光ファイバ式放射線検出器。
【請求項４】 放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータ，該シンチレータ内に設けられてシンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバ，該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバを有する光ファイバ式放射線検出器と、該伝送用光ファイバによって伝送された光に基づき放射線の線量当量率を求める演算手段とを有し、光ファイバ式放射線検出器の波長変換ファイバは、シンチレータ内において、該シンチレータの中心軸を中心とする同一半径位置に複数本配置されていることを特徴とする放射線検出装置。
【請求項５】 放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータ，該シンチレータ内に設けられてシンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバ，該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバを有する光ファイバ式放射線検出器と、該伝送用光ファイバによって伝送された光に基づき放射線の線量当量率を求める演算手段とを有し、光ファイバ式放射線検出器の波長変換ファイバは、シンチレータ内において、該シンチレータの中心軸を中心とする同一円周上に配置された円筒形状であることを特徴とする放射線検出器。
【請求項６】 放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータ，該シンチレータ内に設けられてシンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバ，該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバを有する光ファイバ式放射線検出器と、該伝送用光ファイバによって伝送された光に基づき放射線の線量当量率を求める演算手段とを有し、光ファイバ式放射線検出器の波長変換ファイバは、シンチレータの内部において、シンチレータと同一円周上に配置された複数のものと、シンチレータの中心軸上に配置されたものとからなることを特徴とする放射線検出装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線を光に変換して光ファイバにより伝送する光ファイバ式の放射線検出器と、それを用いた放射線検出装置とに係り、特にシンチレータと波長変換手段としてのファイバと伝送用光ファイバとを有するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シンチレータと波長変換手段と光ファイバとを有する放射線検出器としては、大別すると、平板状のシンチレータの側面に溝を設け、これに波長変換手段を埋め込む方式と、円柱形のシンチレータの中心軸位置に波長変換手段を挿入する方式との二方式がある。波長変換手段としては、コアに蛍光物質を添加してあるプラスチック光ファイバで構成され、シンチレーション光の波長の光に応じて所望の波長からなる光を放出する蛍光物質を添加してある波長変換ファイバを使用している。
【０００３】上記の如き二方式のうち、円柱形のシンチレータの中心軸位置に波長変換ファイバを挿入する後者の方式の従来の放射線検出器を図１０に示す。即ち、図１０に示す放射線検出器１は、外部からシンチレータ２に放射線が入射すると、該シンチレータ２内で発光し、その光がシンチレーション光となる。シンチレーション光は、波長変換ファイバ３に入射すると、該ファイバ３によりシンチレーション光が波長変換されると、コア内から等方的に放射する。その場合、波長変換ファイバ３がシンチレーション光を波長変換し、等方的に放射するため、伝送効率が改善される。また、シンチレーション光は一般的に波長が短いため、光ファイバによる伝送損失が大きいが、波長変換により波長が長くなるので、伝送損失が低減される。一方、放射した波長変換光の一部は、伝送用光ファイバ８により伝送され、光電子変換素子９に入る。光ファイバ８内ではファイバの中心軸を中心とした狭い角度方向の光のみが伝送されるため、光ファイバ８に入射したシンチレーション光のうち、そのまま光ファイバ８で伝送される光は極めて少ない。
【０００４】そして、光ファイバ８を経たシンチレーション光が光電変換素子９に入ると、該光電変換素子９によりその光量に応じて電圧変換され、該変換された電圧が前置増幅器１０を介し増幅器１１により増幅され、これが波高弁別器１２を通過することにより電気的ノイズが低減された後、カウンタ１３により一定時間内のパルス数がカウントされ、その出力に基づき演算装置１４が演算して放射線の線量当量率が求められ、その結果を表示装置１５により出力される。
【０００５】なお、この種に関する装置として、特開平４−２２１１５４号公報，同６−２０１８３５号公報，同６−２５８４４６号公報等が挙げられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、放射性物質や核燃料物質を取り扱ったりする放射線施設、また放射線発生装置を有する放射線施設にあっては、放射線管理上での線量を、主要な測定単位であるシーベルト単位で測定しなくてはならない。
【０００７】ところが、上記従来技術は、放射線検出位置での耐環境性に優れるという利点があるものの、エネルギーの異なるγ線に対する応答がＩＣＲＰ（国際放射線防護委員会）勧告に沿っておらず、放射線管理における主要な測定単位であるシーベルト単位での測定ができない問題があった。
【０００８】また上記従来技術の放射線検出器では、放射線がシンチレータ２に入射することによってシンチレーション光が発生した場合、そのシンチレーション光に基づいて放射線を検出するものの、波長変換ファイバ３がシンチレータ２内に一本配置されただけであるので、１シンチレーション当たりの光子数が少なく、そのため、長距離伝送をすることができない問題があるばかりでなく、放射線強度分布を得ることができない問題があった。
【０００９】本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、放射線としてエネルギーの異なるγ線を、ＩＣＲＰ勧告に沿い確実に検出することができると共に、長距離伝送することができ、さらには放射線の入射角度に左右されることなく検出することもできる光ファイバ式放射線検出器を提供することにあり、他の目的は、装置としての信頼性を高めることができる放射線検出装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバ式放射線検出器においては、放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータと、該シンチレータの内部に設けられ、シンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバと、該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバとを有し、波長変換ファイバは、シンチレータ内において、該シンチレータの中心軸を中心とする同一半径位置に複数本配置されていることを特徴とするものである。
【００１１】また、本発明の放射線検出装置においては、放射線の入射により内部にシンチレーション光を発生させるシンチレータ，該シンチレータ内に設けられてシンチレーション光を波長変換する波長変換ファイバ，該波長変換された光を伝送する伝送用光ファイバを有する光ファイバ式放射線検出器と、該伝送用光ファイバによって伝送された光に基づき放射線の線量当量率を求める演算手段とを有している。そして、光ファイバ式放射線検出器の波長変換ファイバは、シンチレータ内において、該シンチレータの中心軸を中心とする同一半径位置に複数本配置されていることを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１乃至図９により説明する。図１乃至図４は本発明による放射線検出器の第一の実施例を適用した放射線検出装置を示し、これらの図において図１０と同一部分には同一符号を付してある。
【００１３】この実施例は、シンチレータ２と、その内部に配置された波長変換手段３と、波長変換手段３に接続された伝送用光ファイバ８とを有して放射線検出器１が構成されている。
【００１４】シンチレータ２は、円柱形のタリウム活性化ヨウ化ナトリウム（以下、Ｎａｌ（Ｔｌ）と記す）結晶からなっており、内部に放射線が入射するとシンチレーション光を発生させる。Ｎａｌ（Ｔｌ）結晶は、一般に、放射線から吸収したエネルギーの約１２％を中心波長４１５ｎｍのシンチレーション光として放出する。この放射線がＮａｌ（Ｔｌ）結晶を透過する際、その軌跡に沿って電子，正孔対を発生させ、該電子，正孔対は、結晶内を移動し、ごく近傍の活性化物質（微量添加されているタリウム）が作る不純物準位に捕捉される。一つの活性化物質に電子，正孔がともに捕捉されると、電子と正孔とは再結合し、シンチレーション光１光子が発生する。シンチレーション光は、発光位置である活性化物質位置を中心として等方的に放射され、その発生光子数が放射線からの吸収エネルギー１ＭｅＶあたり約３８０００個であることが知られている。
【００１５】このシンチレータ２の外周には吸湿防止上から、図２に示すように反射材４が塗布されると共に、その反射材４の上に遮光性の被覆体６ａが被覆されている。被覆体６ａは本例では、放射線としてのγ線による損失が少ないことと、Ｎａｌ（Ｔｌ）結晶を保護するのに十分な強度があることとから、アルミニウムにより形成されている。
【００１６】波長変換手段３は、内部のコアに蛍光物質が添加された波長変換光ファイバで構成され、シンチレータ２内で発生したシンチレーション光が入射すると、そのシンチレーション光の波長を所定の波長に変換し、該変換した波長の光をコアから出力する（以下、波長変換手段を波長変換ファイバと呼ぶ）。伝送用光ファイバ８は、波長変換ファイバ３によって変換された波長の光を末端まで伝送する。
【００１７】そして、実施例の放射線検出器１は、シンチレータ２の内部に設けられる波長変換ファイバが複数本で構成されている。即ち、複数本の波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇは、図１及び図２に示すように、シンチレータ２の内部においてその中心軸を中心とする同一半径位置に、正七角形となるよう互いに等間隔をもって配置された７本のものからなっている。この場合、波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇの各々はその先端部が、シンチレータ２内において、該シンチレータ２の先端から適宜の距離を隔て、しかも軸方向に沿って配置されている。
【００１８】そのため、シンチレータ２の内部には波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇの各々を挿入するための挿入穴（符示せず）が穿設され、かつ該挿入穴の周囲に気密保持するための石英ガラス５Ａ〜５Ｇが設けられ、その石英ガラス５Ａ〜５Ｇ中に波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇの各々が挿入されている。従って、波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇの各々の末端にはロッド型のカプラ７を介し伝送用光ファイバ８がそれぞれ接続されることとなる。伝送用光ファイバ８のそれぞれは外部からの光を遮断するため、図示しない遮光手段により遮光されている。そして図１に示す如く、これら被覆体６ａ，シンチレータ２，波長変換ファイバ３，カプラ７がハウジング６ｂに一体的に装着され、伝送用光ファイバ８がハウジング６ｂの外部に引き出されている。
【００１９】一方、放射線検出器１としての伝送用光ファイバ８の末端には、光電子変換素子９，前置増幅器１０，増幅器１１，波高弁別器１２，カウンタ１３を介し演算装置１４が接続され、放射線検出装置を構成している。
【００２０】光電子増倍管９は、伝送用光ファイバ８によって伝送された光に応じ電子を発生させる。この光電子増倍管９からの信号は、Ｎａｌ（Ｔｌ）結晶にエネルギーを与えた放射線の光子１光子に対し、１パルス出力され。信号パルスの電圧は、光電子増倍管９まで伝送されてきた放射線検出光の光子数に比例する。また前置増幅器１０，増幅器１１により信号の電圧を増幅し、波高弁別器１２で一定の範囲の電圧である信号のみを取出し、カウンタ１３にて一定時間内のパルス数を計数する。なお、波高弁別器１２で一定の範囲の電圧の信号のみを取り出すのは、主に電気的ノイズを削減するためである。
【００２１】演算装置１４は、予め記憶させておいた校正定数と、前記カウンタ１３による計数結果とに基づき放射線の線量当量率を算出し、その結果を表示装置１５に表示する。なお、演算装置１４にはその演算処理結果を出力するための表示装置１５が接続され、また光電子変換素子９にはその定電圧を供給する電源１６が接続されている。
【００２２】実施例は、上記の如き構成よりなるので、次にその作用について述べる。今、放射線がシンチレータ２に入射すると、該シンチレータ２内ではその放射線の大きさに応じシンチレーション光が発生する。このとき、シンチレーション光は、シンチレータ２内に埋設されている波長変換ファイバ３に入射し、入射したシンチレーション光がファイバ３により波長変換され、該変換された波長の光が伝送用光ファイバ８により伝送される。
【００２３】ここで、シンチレーション光が波長変換ファイバ３へ入射する割合を評価するため、波長変換ファイバ３の中心軸に垂直な二次元内において、幾何光学的にどれくらいの光が波長変換ファイバ位置に到達するのかを、波長変換ファイバへの入射確率として定義し、その入射確率と発光位置との関係を図４に示す。図４は、シンチレーション光が計算を行う二次元内において、発光位置から等方的に放射されるものとし、また波長変換ファイバ３の直径は２ｍｍのものを用いたときの計算結果を表している。同図からシンチレーション光の入射確率は波長変換ファイバ中心軸までの距離にほぼ反比例することがわかる。
【００２４】従って、図４から、波長変換ファイバ３に近い位置で発生したシンチレーション光ほど、より効率よく伝送される。またシンチレータ２全域では均一にシンチレーション光が発生した場合には、波長変換ファイバ３で伝送された光の計測結果を用いても、実施例の円柱形シンチレータ２の如き塊状シンチレータと同じ結果が考えられるので、γ線エネルギーに対し、線量当量率での出力は、図３に示す破線の如き山形のエネルギー特性となる。なお、図３は塊状のＮａｌ（Ｔｌ）結晶に放射線を照射したときに発生するシンチレーション光のパルス頻度から、線量当量率を算出したときのエネルギー特性の計算値を示している。エネルギー特性は、基本的にはフルエンスと１ｃｍ線量当量率との関係に起因するカーブに基づくが、低エネルギーγ線がシンチレータの被覆で吸収されることによって感度が低下する一方、高エネルギーγ線がシンチレータを透過するので、山形となるものである。
【００２５】そして、この山形特性のγ線はそのエネルギーの大きさにより、シンチレータ２であるＮａｌ（Ｔｌ）結晶に進入する深度が異なるものである。例えば、板状のＮａｌ（Ｔｌ）結晶に垂直にγ線が入射した場合、８０ｋｅＶのγ線ではＮａｌ（Ｔｌ）結晶が１ｍｍ厚の場合に６６％であることを考えると、１ｃｍ厚でほぼ１００％のγ線がＮａｌ（Ｔｌ）結晶と何等かの相互作用をし、エネルギーをＮａｌ（Ｔｌ）結晶に与えていることになる。これに対し、１ＭｅＶのγ線では、１ｍｍ厚で２％、１ｃｍ厚で１９％のγ線しか相互作用しておらず、５ｃｍ厚でも５８％のγ線しか相互作用しない。
【００２６】シンチレーション光は放射線がＮａｌ（Ｔｌ）結晶に入射した表面近傍で発生するので、発光位置は低エネルギーγ線では、γ線が結晶に入射した表面近傍に限られる。
【００２７】しかしながら、高エネルギーγ線は、Ｎａｌ（Ｔｌ）結晶の深い位置まで進入するので、Ｎａｌ（Ｔｌ）結晶全域でシンチレーション光が発生することとなり、該発生したシンチレーション光が、図４に示した入射確率に従い波長変換ファイバに入射するものである。
【００２８】本実施例では、波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇの各々がシンチレータ２の同一半径位置に等間隔で配置されているので、低エネルギーγ線によるシンチレーション光が、放射線が入射した方向の表面近傍の波長変換ファイバ３のみによって集光され、その感度が抑えられるものの、発光領域に近い何れかの波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇにより集光されるので、１シンチレーション光当たりの光子数を多く集光することができ、この集光した多数の光子により長距離伝送に耐え得る信号を得ることができる。
【００２９】しかも、高エネルギーγ線によるシンチレーション光が、上述の如くシンチレータ２全域で発生することとなるので、全ての波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇによって集光される。この場合、広い範囲に渡っての発光を効率良く集光できるので、１シンチレーション光当たりの光子数を確実に多く集光でき、長距離伝送を的確なものとすることができる。
【００３０】また、波長変換ファイバがシンチレータの中心軸と平行であってかつ偏心位置に配置された場合、１シンチレーション当たり集光光子数が少なくなり、長距離伝送に耐える信号が得られなくなるおそれがあり、均一な方向特性が得られないが、前述の如き、シンチレータ２の同一半径位置に複数の波長変換ファイバ３Ａ〜３Ｇを配置すると、シンチレータ２の中心軸と垂直な面内で均一な方向特性を持つことができ、そのため、入射する放射線の指向性に関係なく放射線を確実に検出することができる。
【００３１】本実施例におけるエネルギー特性値は、図５に太い実線にて示すように平坦となり、これはＩＣＲＰ勧告で示された線量当量率への換算が容易となるものである。なお、図５には参考のため、ＪＩＳ２級のエリアモニタに定められているエネルギー特性の許容誤差範囲を斜線部として表し、これにより線量当量率の換算が容易であることが理解できよう。
【００３２】図６は本発明の第二の実施例を示す。この場合は、七本の波長変換光ファィバ３（３Ａ〜３Ｇ）がシンチレータ２内において、該シンチレータ２の先端側の位置に設けず、その位置から離れた位置であってかつシンチレータ２の奥部側の位置に正七角形をなすよう、同軸上に等間隔で配置された例を示している。
【００３３】これは、放射線検出器１を狭隘部のような場所に差し込むときなど、検出器全体としての外形が制限される場合があるが、上述の如き構成すると、遮光性の被覆の厚みを変更しなくとも狭隘部に検出器を設置することができ、これにより、シンチレータ２の中心軸を含む面内での良好な方向特性を得ることができる。
【００３４】図７は本発明の第三の実施例を示す。この場合は、波長変換光ファイバ３が円筒状に形成され、この円筒状の波長変換光ファイバ３がシンチレータ２の中心軸を中心とする同心上に配置されたものである。
【００３５】この実施例によれば、波長変換光ファイバ３が円筒状に形成されてかつシンチレータ２の中心軸と同軸上に配置されたので、シンチレータ２に入射する放射線の方向特性の均一化をいっそう図ることができる。
【００３６】図８は本発明の第四の実施例を示す。この場合は、シンチレータ２の先端外周に面取り２ａが施され、該面取り２ａを有するシンチレータ２の内部に、六本の波長変換光ファイバ３（３Ａ〜３Ｆ）が正六角形をなすよう、同軸上に等間隔で配置されている。この場合、面取り２ａの寸法としては、シンチレータ２の先端中心部から波長変換光ファイバ３のそれぞれまでの距離と、シンチレータ２の先端外周部からそれと対応する位置の波長変換光ファイバ３までの距離とほぼ同じ程度とする。
【００３７】これは、放射線がシンチレータ２に対し、その先端部の中心軸部を中心とする円周方向から入射した場合、これまでの単なる円柱状のシンチレータ２では、先端中心部から波長変換光ファイバまでの距離に比較し、シンチレータ２の先端外周部から波長変換光ファイバまでの距離が長く、そのため、放射線がシンチレータ２に対し先端外周部から入射した場合、各波長変換光ファイバ３が均一に検出しにくくなるおそれがある。
【００３８】しかし上述の如く、シンチレータ２の先端外周部に面取り２ａを設けると、先端外周部からの距離が先端中央部からの距離にほぼ同じにすることができるので、シンチレータ２の先端外周部側からの放射線の入射に対しても、波長変換光ファイバ３の均一な方向特性を得ることができる。
【００３９】図９は本発明の他の実施例を示す。この場合は、六本の波長変換光ファイバ３（３Ａ〜３Ｆ）が、シンチレータ２の内部に正六角形をなすよう同軸上に配置される他、シンチレータ２の中心軸上にさらに一本の波長変換光ファイバ３Ｇが配置されたものである。これは、直径の大きいシンチレータ２を用いた場合、それと同一円周上に複数本の波長変換光ファイバが配置されただけでは集光効率が低下するおそれがあることから、上述の如く、シンチレータ２の中心軸上にも波長変換光ファイバ３Ｇを設けることにより、集光効率の低下を抑えるようにしたものであり、これにより、径の大きいシンチレータ２にも確実にかつ容易に対処することができる。
【００４０】但し、この実施例においては、波長変換光ファイバ３Ｇがシンチレータ２の中心軸上にも配置された例を示したが、これに限らず、他の波長変換光ファイバ３（３Ａ〜３Ｆ）と同様に同一円周上に互いに等間隔となるように配置してもよいのは勿論である。
【００４１】なお、実際にシンチレータ２の内部に波長変換ファイバ３を挿入する位置にあっては、シンチレータ２の材質及び直径、波長変換ファイバ３の直径及び本数並びに波長変換特性、また放射線検出光を伝送する伝送用光ファイバ８の距離及びそのファイバ８の特性、さらには波高弁別器１２で計測する電圧範囲等によっても検出値が若干異なるので、一概には言えないが、実際には、放射線を照射したとき、０．１ＭｅＶのγ線光子でシンチレータと相互作用していない光子が５％未満となる領域内から、波長変換ファイバの中心軸の位置を選択するのが望ましい。
【００４２】また図示実施例では、何れも、波長変換ファイバ３と伝送用光ファイバ８の接続にはロッド型のカプラ７を用いた例を示したが、そのカプラ７の代わりとして、プラスチックファイバに熱を加えて変形させ、複数本まとめるように径を絞ったものや、レンズを用いたカプラを使用してもよい。また、伝送用光ファイバ８の末端に光電子増倍管９を用いた例を示したが、アバランシェフォトダイオード等のような他の光電子変換素子で代用することができる。
【００４３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１〜３によれば、シンチレータの内部にそれと同一円周上に、波長変換手段としての波長変換光ファイバを複数本配置し、該複数本の波長変換ファイバによりシンチレーション光の集光効率を上げるように構成したので、１シンチレーション当たりの光子数が増えることにより、放射線をＩＣＲＰ勧告に沿ったエネルギー特性として確実に検出することができると共に、放射線検出光をより長距離伝送することができ、しかも放射線の入射角度に左右されることなく正確に検出できるという効果がある。
【００４４】また本発明の請求項４〜６によれば、上記放射線検出器を有するので、長距離伝送向けとしての装置の信頼性を高めることができる効果がある。
【出願人】 【識別番号】０００００５１０８
【氏名又は名称】株式会社日立製作所
【出願日】 平成９年（１９９７）１２月２日
【代理人】 【弁理士】
【氏名又は名称】秋本 正実
【公開番号】 特開平１１−１６０４３７
【公開日】 平成１１年（１９９９）６月１８日
【出願番号】 特願平９−３３１８８０