| 【発明の名称】 |
ＩＣテスト装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】高畑 幸弘
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| 【要約】 |
【課題】ＩＣテスト装置において被測定デバイスに入力されるドライバー出力の立上時間及び立下時間を検証する。
【解決手段】被測定デバイスに検査信号を入力しその動作状態を検査するＩＣテスト装置において、検査に先立って検査信号の立上時間と立下時間の良否を判定する評価手段を備える。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 被測定デバイスに検査信号を入力しその動作状態を検査するＩＣテスト装置において、検査に先立って検査信号の立上時間と立下時間の良否を判定する評価手段を備えることを特徴とするＩＣテスト装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定デバイスとしてのＩＣ（Integrated Circuit）を検査するＩＣテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＩＣテスト装置を用いて被測定デバイスの動作状態を検査しようとする場合、該検査に先立って被測定デバイスに入力される検査信号（ドライブ信号）の異常が確認される。従来では、このドライブ信号の先行確認において、ドライブ信号（パルス信号）のＬ（ロー）レベル及びＨ（ハイ）レベルの各電圧値が規定レベルの範囲内にあるか否かが確認されてる。しかし、従来のドライブ信号の先行確認は、Ｌレベル及びＨレベルの各電圧値の確認のみしか行われていないため、ドライブ信号の良否を正確に確認することができないという問題点があった。
【０００３】本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、以下の点を目的とするものである。
（１）検査信号の良否をより正確に確認する。
（２）検査信号の立上時間と立下時間をも確認可能とする。
（３）被測定デバイス検査の信頼性を向上させる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明では、被測定デバイスに検査信号を入力しその動作状態を検査するＩＣテスト装置において、検査に先立って検査信号の立上時間と立下時間の良否を判定する評価手段を備えるという手段を採用する。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、図１及び図２を参照して、本発明に係わるＩＣテスト装置の一実施形態について説明する。
【０００６】図１は、本実施形態の機能構成を示すブロック図である。この図において、符号Ｘは被測定デバイス（ＩＣ）、１は波形出力回路、２はドライバー、３はスイッチ、４，７ａ1〜７ａi〜７ａn，１２ａ1〜１２ａn，１３ａ1〜１３ａnはリレー（ｎ：ＩＣの検査対象ピン数、i：ピン番号）、５，８はコンパレータ、６，９は判定回路、１０はアラーム回路、１１はディスプレイ、１４ａ1〜１４ａn，１５ａ1〜１５ａn，１６，１７はＤ／Ａコンバータである。なお、上記コンパレータ８と判定回路９とリレー１２ａ1〜１２ａn，１３ａ1〜１３ａnとＤ／Ａコンバータ１４ａ1〜１４ａn，１５ａ1〜１５ａnとは、本発明の評価手段を構成するものである。
【０００７】波形出力回路１は、プログラム設定に基づいて所定のパルス信号を発生してドライバー２に出力する。ドライバー２は、Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1の出力電圧ＶIHとＤ／Ａコンバータ１５ａ1の出力電圧Ｖ1Lに基づいて、上記パルス信号のＨレベルを電圧ＶIHかつＬレベルを電圧Ｖ1Lに変換し、ドライブ信号としてスイッチ３に出力する。スイッチ３は、ドライバー２の出力とコンパレータ５の入力端子とを切り換えてリレー４の片端に接続する。リレー４の他端は、被測定デバイスＸの端子１に接続されると共に、リレー７ａ1の片端に接続される。
【０００８】また、コンパレータ５は、スイッチ３を介して入力端子に入力された信号（すなわち、入出力共用端子を備えたＩＣからの出力信号）に対して、Ｄ／Ａコンバータ１６の出力電圧ＶOHをＨレベルのしきい値、Ｄ／Ａコンバータ１７の出力電圧ＶOLをＬレベルのしきい値として波形成形し、判定回路６に出力する。判定回路６は、ＩＣからの出力信号に対して時間軸方向の複数点における電圧値をサンプリングし、そのサンプル値から当該出力信号の良否を判定するものである。
【０００９】この図には示していないが、上記構成は、被測定デバイスＸの各端子１〜ｉ〜ｎ毎に設けられている。この被測定デバイスＸは、例えば入出力共用端子を備えたＤＲＡＭ等のメモリである。
【００１０】さらに、上記各端子１〜ｉ〜ｎに片端が接続されたリレー７ａ1〜７ａi〜７ａnの各他端は、共通接続されてコンパレータ８の入力端子に接続されている。一方、各Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1〜１４ａnの出力は、各々にリレー１２ａ1〜１２ａnの片端に接続され、リレー１２ａ1〜１２ａnの他端はコンパレータ８に供給されるようになっている。例えば、図示するように、Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1の出力はリレー１２ａ1の片端に接続され、Ｄ／Ａコンバータ１４ａnの出力はリレー１２ａnの片端に接続され、リレー１２ａ1，１２ａnの他端は共通接続されてコンパレータ８に接続されている。
【００１１】また、各Ｄ／Ａコンバータ１５ａ1〜１５ａnの出力は、各々にリレー１３ａ1〜１３ａnの片端に接続され、リレー１３ａ1〜１３ａnの他端はコンパレータ８に供給されるようになっている。例えば、図示するように、Ｄ／Ａコンバータ１５ａ1の出力はリレー１３ａ1の片端に接続され、Ｄ／Ａコンバータ１５ａnの出力はリレー１３ａnの片端に接続され、リレー１３ａ1，１３ａnの他端は共通接続されてコンパレータ８に接続されている。
【００１２】コンパレータ８は、高速動作するウインドウコンパレータであり、入力端子に入力された信号に対して、Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1〜１４ａnのいずれかから入力された電圧Ｖ1HをＨレベルのしきい値、Ｄ／Ａコンバータ１５ａ1〜１５ａnのいずれかから入力された電圧Ｖ1LをＬレベルのしきい値として波形成形し、被検信号として判定回路９に出力する。
【００１３】判定回路９は、このようにしてコンパレータ８から入力された被検信号に対して、時間軸方向の複数点における電圧値をサンプリングし、そのサンプル値から当該出力信号の良否を判定し、アラーム回路１０に出力する。判定回路９における判定動作の詳細については、後述する。アラーム回路１０は、該判定結果が「不良」を示す場合に警報を発するものである。ディスプレイ１１は、アラーム回路１０を介して入力された判定結果を画面表示するものである。
【００１４】なお、上記リレー７ａ1〜７ａi〜７ａn，１２ａ1〜１２ａn，１３ａ1〜１３ａnは、検査しようとする被測定デバイスＸのピン番号ｉに応じて同一添字のものが導通状態となるように構成されている。例えば、ピン番号１の端子について検査する場合、リレー７ａ1，１２ａ1，１３ａ1が導通状態となり、これ以外のリレー７ａ2〜７ａi〜７ａn，１２ａ2〜１２ａn，１３ａ2〜１３ａnは非道通状態を維持する。また、ピン番号ｎの端子について検査する場合、リレー７ａn，１２ａn，１３ａnが導通状態となり、これ以外のリレー７ａ1〜７ａi〜７ａn-1，１２ａ1〜１２ａn-1，１３ａ1〜１３ａn-1は非道通状態を維持する。
【００１５】次に、図２のタイミング図を参照して、上記ＩＣテスト装置の動作について説明する。被測定デバイスＸのピン番号１の端子について検査する場合、被測定デバイスＸがライトモード（データの書込モード）に設定される。そして、このライトモード時には、スイッチ３はドライバー２とリレー４とを接続するように動作され、ドライブ信号はスイッチ３とリレー４とを介して被測定デバイスＸのピン番号１の端子に供給される。
【００１６】このとき、リレー７ａ1，１２ａ1，１３ａ1は導通状態となり、これ以外のリレー７ａ2〜７ａi〜７ａn，１２ａ2〜１２ａn，１３ａ2〜１３ａnは全て非道通状態とされる。すなわち、コンパレータ８の入力端子には、リレー７ａ1を介してドライブ信号が入力されると共に、Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1の出力電圧Ｖ1HがＨレベルのしきい値としてコンパレータ８に供給され、またＤ／Ａコンバータ１５ａ1の出力電圧Ｖ1LがＬレベルのしきい値としてコンパレータ８に供給される。
【００１７】また、ドライバー２には、Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1の出力電圧Ｖ1Hがドライブ信号のＨレベルを規定する電圧として供給され、またＤ／Ａコンバータ１５ａ1の出力電圧Ｖ1Lがドライブ信号のＬレベルを規定する電圧として供給される。したがって、ドライブ信号のＨレベルは電圧Ｖ1Hに、またドライブ信号のＬレベルは電圧Ｖ1Lにそれぞれ設定される。
【００１８】このようにＨレベル及びＬレベルが電圧設定されたドライブ信号は、スイッチ３とリレー４とを介して被測定デバイスＸのピン番号１の端子に供給されると共に、リレー７ａ1を介してコンパレータ８の入力端子に被検信号として入力される。
【００１９】図２は、このようなドライバ信号及び各節点Ｎ1〜Ｎ5の波形及びそのタイミングを示している。なお、節点Ｎ1は波形出力回路１の出力端、節点Ｎ2はＤ／Ａコンバータ１４ａ1の出力端、節点Ｎ3はＤ／Ａコンバータ１５ａ1の出力端、節点Ｎ4は被測定デバイスＸのピン番号１の端子、節点Ｎ5はコンパレータ８の出力端である。なお、各波形については、説明の都合上、立上時間及び立下時間を強調して描いてある。
【００２０】節点Ｎ1の波形図に示すように、波形出力回路１からは一定周期のパルス信号が出力される。このパルス信号の周波数は、例えば１２５ＭＨｚであり、立上時間及び立下時間は数ｎｓのオーダーである。このパルス信号は、節点Ｎ2に示す一定の電圧Ｖ1H及び節点Ｎ3に示す一定の電圧Ｖ1Lによって、Ｈレベルが電圧Ｖ1HかつＬレベルが電圧Ｖ1Lのドライバ信号に変換される。
【００２１】このようにＨレベルが電圧Ｖ1HまたＬレベルが電圧Ｖ1Lに設定されたドライブ信号は、節点Ｎ4の波形図に示すように、スイッチ３やリレー４等、伝送経路の各種素子のインピーダンスの影響によって遅延と波形歪みを受けて被測定デバイスＸのピン番号１の端子に入力される。このようなピン番号１の端子の入力信号は、節点Ｎ5の波形図に示すように、コンパレータ８によって波形成形され被検信号として判定回路９に入力される。
【００２２】判定回路９では、このような被検信号に対し、例えばパルス信号の数周期（この図では、時刻ｔ0から時刻ｔ1までの期間）に亘り、特定の時間ステップ△ｔで複数時刻における電圧値をサンプリングし、該サンプリングデータを一旦記憶する。
【００２３】そして、判定回路９は、このサンプリングデータに基づいて、例えば高い方の電圧値で電圧値が変化しない部分ａをＨレベル部分として検出し、低い方の電圧値で電圧値が変化しない部分ｂをＬレベル部分として検出する。判定回路９は、この検出結果を正常なドライブ信号を規定する規格値と比較し、その良否を判定する。
【００２４】ここで、当該ピン番号１の端子に供給するドライバ信号を検査する場合に、コンパレータ８には、Ｄ／Ａコンバータ１４ａ1，１５ａ1から各しきい値すなわち電圧Ｖ1H及び電圧Ｖ1Lが供給され、ドライバ２には、同じくＤ／Ａコンバータ１４ａ1，１５ａ1から電圧変換用の電圧Ｖ1H，Ｖ1Lが供給されている。すなわち、ドライバ信号のＨレベルとＬレベルと被検信号のＨレベルとＬレベルとは完全に一致する。したがって、被検信号のＨレベルとＬレベルとに基づいてドライバ信号のＨレベルとＬレベルを確認検証することができる。
【００２５】本実施形態では、他のピン番号の端子、例えばピン番号ｎの端子に供給するドライバ信号を検査する場合には、コンパレータ８にはＤ／Ａコンバータ１４ａn，１５ａnから各しきい値が供給される、すなわち当該ドライバ信号を供給するドライバ（図示略）に供給される電圧変換用の電圧と全く同一の電圧が供給される。したがって、全てのピン番号の端子に供給されるドライブ信号のＨレベルとＬレベルとを端子毎に正確に確認することができる。
【００２６】また、上記判定回路９は、部分ａの後縁部の時刻と部分ｂの前縁部の時刻とに基づいて立下時間Ｔdを算出し、部分ｂの後縁部の時刻と部分ａの前縁部の時刻とに基づいて立上時間Ｔrを算出する。そして、判定回路９は、この検出結果を正常なドライブ信号を規定する規格値と比較し、その良否を判定する。
【００２７】このようにして得られたＨレベル及びＬレベル並びに立上時間及び立下時間に判定結果及びその算出データは、アラーム回路１０に入力される。アラーム回路１０は、この判定結果に「不良」の判定項目がある場合にはアラーム音を報知すると共に、当該判定結果と算出データとをディスプレイ１１に出力する。この結果、ディスプレイ１１には、当該ピン番号１の端子に係わるドライバ信号の上記判定結果と算出データが画面表示される。
【００２８】上述したドライバ信号の事前判定は、全てのピン番号の端子について順次行われる。そして、その判定結果及び算出データがディスプレイ１１に表示され、当該被測定デバイスＸに係わるドライバ信号の判定が終了する。
【００２９】なお、被測定デバイスＸからの出力信号を検査する場合には、上記スイッチ３は、リレー４をコンパレータ５に接続するように動作する。この場合、ピン番号１の端子から出力されたパルス信号は、コンパレータ５によって波形成形され、判定回路６によってＨレベル及びＬレベル並びに立上時間及び立下時間が判定回路９と同様に検査される。
【００３０】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係わるＩＣテスト装置によれば、被測定デバイスに検査信号を入力しその動作状態を検査するＩＣテスト装置において、検査に先立って検査信号の立上時間と立下時間の良否を判定する評価手段を備えるので、従来では確認していなかったドライブ信号の立上時間と立下時間を確認することができる。したがって、ドライブ信号の良否をより正確に確認した上で、被測定デバイスを検査することができるので、検査の信頼性が向上する。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年（１９９８）３月２４日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】志賀 正武 （外９名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−２７１４０３ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１０月８日 |
| 【出願番号】 |
特願平１０−７６３０７ |
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