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【発明の名称】 端子接続構造、該構造を用いた電子デバイス測定治具、及び電子デバイス測定装置
【発明者】 【氏名】山岸 祐一
【要約】 【課題】電子デバイスの端子を信号ラインに短距離で安定して接触でき、電子デバイスの電気特性を精度良く測定できること。

【解決手段】基板６の信号ライン６ａには、保持部材１１により所定角度αの傾斜を有する接点部材１０が設けられる。電子デバイス１の端子２の端部２ｄａが接点部材１０に接触すると、保持部材１１が撓み接点部材１０を信号ライン６ａ方向に押しつけ、端子２は接点部材１０を介して信号ライン６ａに短距離でかつ安定して接触することができる。信号ライン６ａは外部導出され測定部によって電子デバイス１の電気特性を測定する。
【特許請求の範囲】
【請求項１】 電子デバイスに信号を入出力するための複数の信号ライン（６ａ）と、前記信号ラインの上に配置され、前記電子デバイスの複数の端子に接触して該電子デバイスの端子と信号ラインが対応して電気的導通を図るための複数の接点部材（１０）と、前記信号ラインに対し前記複数の接点部材を所定角度（α）傾斜して保持し、上方から前記電子デバイスの端子により押圧的に接触されることにより、前記端子と信号ラインが前記接点部材を介して導通するように撓む可撓性を有する保持部材（１１）と、を具備することを特徴とする端子接続構造。
【請求項２】 前記電子デバイス（１）が高周波信号を入出力する構成とされ、前記信号ライン（６ａ）が高周波伝送路で構成されている請求項１記載の端子接続構造。
【請求項３】 前記保持部材（１１）は、可撓性を有するフィルム状の絶縁シートでなり、該絶縁シートは、一端部（１１ｂ）が前記信号ライン（６ａ）の面に対し所定の高さを有して固定部材（１２，４ａ）により固定され、他端部（１１ａ）に前記接点部材（１０）が設けられて該接点部材を前記所定角度（α）傾斜して保持する構成とされた請求項１記載の端子接続構造。
【請求項４】 前記信号ライン（６ａ）又は接点部材（１０）のいずれかには突起部（６ｅ）が設けられ、該突起部を介して該信号ラインと接点部材が互いに電気的に導通する構成である請求項１記載の端子接続構造。
【請求項５】 前記保持部材（１１）は、前記信号ライン（６ａ）上に設けられ、前記接点部材（１０）を収容する収容部（１６ａ）を備えた保持ブロック（１６）と、前記保持ブロックの収容部に設けられ、前記接点部材を前記所定角度（α）に傾斜保持し、前記電子デバイス（１）の端子（２）が前記接点部材に接触したときに弾性変形する弾性体（１７）と、により構成された請求項１記載の端子接続構造。
【請求項６】 電子デバイス（１）の電気特性を測定するために該電子デバイスが装着される電子デバイス測定治具において、測定信号を入出力する接栓（７ａ，７ｂ）と、前記接栓から前記電子デバイスの端子（２）に前記測定信号を伝送するための信号ライン（６ａ）と、前記信号ライン上に設けられ、前記電子デバイスの端子に接触して該電子デバイスの端子と信号ラインとの電気的導通を図るための接点部材（１０）と、前記信号ラインに対し前記接点部材を所定角度（α）傾斜して保持し、前記電子デバイスの端子の接触により、前記端子と信号ラインが前記接点部材を介して導通するように撓む可撓性を有する保持部材（１１）と、を具備したことを特徴とする電子デバイス測定治具。
【請求項７】 電子デバイス（１）の電気特性を測定する電子デバイス測定装置において、前記測定用の電子デバイス（１）を供給する供給部（３１）と、前記電子デバイスが装着され、該電子デバイスの端子（２）に接触する信号ライン（６ａ）が設けられた装着部（３２）と、前記装着部の信号ラインに接続され、前記電子デバイスの電気特性を測定する測定部（３５）と、前記測定後の電子デバイスを電気特性の測定結果に基づき選別する回収部（３３）と、前記電子デバイスを前記装着部から取り出し搬送して前記測定部に装着するとともに、電気特性測定後の電子デバイスを前記装着部から取り外し前記回収部に搬送する搬送部（３４）とを備え、前記装着部には、前記信号ライン上に設けられ、前記電子デバイスの端子に接触して該電子デバイスの端子と信号ラインとの電気的導通を図るための接点部材（１０）と、前記信号ラインに対し前記接点部材を所定角度（α）傾斜して保持し、前記電子デバイスの端子の接触により、前記端子と信号ラインが前記接点部材を介して導通するように撓む可撓性を有する保持部材（１１）と、を具備したことを特徴とする電子デバイス測定装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子デバイスの電気特性を測定するため、電子デバイスが装着される装着部に適用され電子デバイスの端子との接触が安定して得られる端子接続構造、該装着部の構造を用いた電子デバイス測定治具、及び電子デバイスの測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣパッケージ等の電子デバイスの各種電気特性、例えば信号の入出力特性や周波数特性等は、電子デバイス測定装置で測定される。図１１は、この測定装置の装着部を示す側断面図である。装着部５０は、基台５１上に信号伝送路５２が設けられ、予め電子デバイス１の端子２（端子数及び配列ピッチ）に対応した信号ライン５２ａが設けられ、電子デバイス１をハンド５３等で吸着した状態でこの信号ライン５２ａの上方から接触させる構成となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電子デバイス１に設けられた複数の端子２のうち一部の端子２が反っていた場合には、単に電子デバイス１を信号ライン５２ａ上に載置しただけでは接触が不安定となる。このため、ハンド５３により電子デバイス１を上方から所定圧力で押圧する必要があるが、反りの程度が大きいときには、電子デバイス１に対し不必要に過大な荷重を加えることとなる問題があった。
【０００４】これを解決するため、図１２の側面図に示すように、電子デバイス１の端子２が接触する部分の信号ライン５２ａ部分が基板５２上から浮くよう片持ち状の板バネ５４を設けて、電子デバイス１の端子２と信号ライン５２ａとの接触を安定化させる構成としたものもある。この構成によれば、特に、複数の端子２のうち一部の端子２が反っていて全体の接触位置が高さ方向でずれていても板バネ５４でこの高さの違いが吸収され、全ての端子２を信号ライン５２ａに接触させることができる。
【０００５】しかしながら、上記構成では、電子デバイス１の端子２との接触部分に板バネ５４が用いられるため、インダクタンス成分が含まれることになり、電子デバイス１の電気特性を精度良く測定することができない。特に、電子デバイス１のグランド端子は、この板バネ５４を介してグランドの信号ライン５２ａに接続されるため、板バネ５４の長さ分だけグランドの信号ライン５２ａに対し長い距離で接続されることになる。一般的に、電子デバイス１が高周波帯域の信号を扱うものである場合、装着部５０の信号伝送路は、高周波伝送路、例えばマイクロストリップラインを構成するよう基板５２の裏面全面にグランド面５２ｂが形成されており、スルーホール５２ｃを介して電子デバイス１のグランドの端子２に短距離で接続する構成が採られている。しかしながら、上記板バネ５４を介する構成によりこの板バネ５４の長さ分だけグランド面５２ｂへの接続距離が長くなってしまう問題があった。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、電子デバイスの端子を信号ラインに短距離でかつ安定して接触できる端子接続構造を提供することを目的としている。また、該構造を用いて電子デバイスの電気特性を精度良く測定することができる電子デバイス測定治具、及び電子デバイス測定装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、本発明の端子接続構造は、請求項１記載のように、電子デバイスに信号を入出力するための複数の信号ライン（６ａ）と、前記信号ラインの上に配置され、前記電子デバイスの複数の端子に接触して該電子デバイスの端子と信号ラインが対応して電気的導通を図るための複数の接点部材（１０）と、前記信号ラインに対し前記複数の接点部材を所定角度（α）傾斜して保持し、上方から前記電子デバイスの端子により押圧的に接触されることにより、前記端子と信号ラインが前記接点部材を介して導通するように撓む可撓性を有する保持部材（１１）と、を具備することを特徴としている。
【０００８】また、請求項２記載のように、前記電子デバイス（１）が高周波信号を入出力する構成とされ、前記信号ライン（６ａ）が高周波伝送路で構成してもよい。
【０００９】また、請求項３記載のように、前記保持部材（１１）は、可撓性を有するフィルム状の絶縁シートでなり、該絶縁シートは、一端部（１１ｂ）が前記信号ライン（６ａ）の面に対し所定の高さを有して固定部材（１２，４ａ）により固定され、他端部（１１ａ）に前記接点部材（１０）が設けられて該接点部材を前記所定角度（α）傾斜して保持する構成としてもよい。
【００１０】また、請求項４記載のように、前記信号ライン（６ａ）又は接点部材（１０）のいずれかには突起部（６ｅ）が設けられ、該突起部を介して該信号ラインと接点部材が互いに電気的に導通する構成としてもよい。
【００１１】また、請求項５記載のように、前記保持部材（１１）は、前記信号ライン（６ａ）上に設けられ、前記接点部材（１０）を収容する収容部（１６ａ）を備えた保持ブロック（１６）と、前記保持ブロックの収容部に設けられ、前記接点部材を前記所定角度（α）に傾斜保持し、前記電子デバイス（１）の端子（２）が前記接点部材に接触したときに弾性変形する弾性体（１７）と、により構成してもよい。
【００１２】また、本発明の電子デバイス測定治具は、請求項６記載のように、電子デバイス（１）の電気特性を測定するために該電子デバイスが装着される電子デバイス測定治具において、測定信号を入出力する接栓（７ａ，７ｂ）と、前記接栓から前記電子デバイスの端子（２）に前記測定信号を伝送するための信号ライン（６ａ）と、前記信号ライン上に設けられ、前記電子デバイスの端子に接触して該電子デバイスの端子と信号ラインとの電気的導通を図るための接点部材（１０）と、前記信号ラインに対し前記接点部材を所定角度（α）傾斜して保持し、前記電子デバイスの端子の接触により、前記端子と信号ラインが前記接点部材を介して導通するように撓む可撓性を有する保持部材（１１）と、を具備したことを特徴としている。
【００１３】また、本発明の電子デバイス測定装置は、請求項７記載のように、電子デバイス（１）の電気特性を測定する電子デバイス測定装置において、前記測定用の電子デバイス（１）を供給する供給部（３１）と、前記電子デバイスが装着され、該電子デバイスの端子（２）に接触する信号ライン（６ａ）が設けられた装着部（３２）と、前記装着部の信号ラインに接続され、前記電子デバイスの電気特性を測定する測定部（３５）と、前記測定後の電子デバイスを電気特性の測定結果に基づき選別する回収部（３３）と、前記電子デバイスを前記装着部から取り出し搬送して前記測定部に装着するとともに、電気特性測定後の電子デバイスを前記装着部から取り外し前記回収部に搬送する搬送部（３４）とを備え、前記装着部には、前記信号ライン上に設けられ、前記電子デバイスの端子に接触して該電子デバイスの端子と信号ラインとの電気的導通を図るための接点部材（１０）と、前記信号ラインに対し前記接点部材を所定角度（α）傾斜して保持し、前記電子デバイスの端子の接触により、前記端子と信号ラインが前記接点部材を介して導通するように撓む可撓性を有する保持部材（１１）と、を具備したことを特徴としている。
【００１４】電子デバイス１の端子２は、信号ライン６ａ上の接点部材１０に接触する。接点部材１０は、保持部材１１により信号ライン６ａ上で所定角度傾斜して保持されており、接点２の接触により撓み、端子２と信号ライン６ａとを電気的に導通させるものであり、接点部材１０が所定角度傾斜した状態で信号ライン６ａに接触するため、接触安定性を良好にすることができる。また、端子２と信号ライン６ａとを短距離で導通させることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の端子接続構造の実施形態を説明するための図であり、電子デバイス測定装置のうち電子デバイス１が装着される装着部の側面図が示されている。また、図２には同装着部の平面図を示す。本実施の形態では、電子デバイス１が高周波信号を扱うものとし、対応して図示の装着部も同高周波信号を測定可能な構成とされている。
【００１６】電子デバイス１は、パッケージ面１ａから外方に導出された複数本の端子２を有する。これら端子２は図示の如く、途中部分の２か所でＬ字形に折曲され取付片２ｄがパッケージ面１ａとほぼ平行に折曲されている。電子デバイス１の製造時にはこの取付片２ｄが全て同一面位置上に位置するよう折曲形成されている。装着部は、電子デバイス１の端子２との電気的接続部分が高周波線路で構成されている。図示の例では高周波線路は、マイクロストリップラインで構成されている。以下、装置２の構成を詳細に説明する。
【００１７】基台４には、中央部に突起部４ａが突出形成されている。電子デバイス１のパッケージ面１ａ下面は突起部４ａの上面（つきあて面４ａａ）に載置される。基台４上には、マイクロストリップラインを形成する基板６が設けられている。基板６は所定厚さの誘電体で形成され、下面全面にはグランド電位とされたグランド面６ｂが形成されている。一方、基板６の上面には電子デバイス１の端子２との接触部分に信号ライン６ａが形成されている。この信号ライン６ａは突起部４ａ部分を中心として接栓（入出力コネクタ）７ａ，７ｂにそれぞれ導出されている。入出力コネクタ７ａ，７ｂは基板６の信号ライン６ａとグランド面６ｂにそれぞれ接続され、図示しないケーブルを介して電子デバイス測定装置の測定部に導出される。
【００１８】そして、基板６は、突起部４ａに面する部分が突起部４ａから所定距離離れて垂直に切り欠かれた切欠部６ｃを有する。この切欠部６ｃの面位置は、電子デバイス１の端子２の取付片２ｄの端部２ｄａを基準としてこの端部２ｄａと重ならない位置、即ち、端部２ｄａより内側あるいは外側に位置するよう形成される。図示の例では切欠部６ｃの面位置は、電子デバイス１の端子２の取付片２ｄの端部２ｄａの位置よりそれぞれ内側に位置している。
【００１９】この切欠部６ｃ部分には、基板６の面に対し所定角度を有するよう板状の接点部材１０が配置される。この接点部材１０は、電気的接点として一般的な導電性の良好な材質でなり、保持部材１１により前記基板の面に対し所定角度を有して保持される。保持部材１１は、可撓性を有するフィルム状の絶縁シートでなり、この保持部材１１の一端部１１ａに接点部材１０が形成されてなる。また、保持部材１１の他端部１１ｂは、基板６上で所定高さ突出する固定部材１２に固定保持される。したがって、図示の如く保持部材１１は固定された他端部１１ｂから下方に湾曲して一端部１１ａに設けられた接点部材１０を所定角度αで保持する。ここで、接点部材１０は、電子デバイス１の測定時にのみ基板６の信号ライン６ａと接触すればよく、必ずしも常時接触させておく必要はない。
【００２０】次に、上記構成による作用を説明する。図３は、電子デバイス１の測定状態を示す側断面図である。電子デバイス１は、パッケージ面１ａが基台４のつきあて面４ａ上に位置するよう載置され、押当ブロック２１により上方から所定の荷重が加えられる。これにより、電子デバイス１の端子２は、接点部材１０に上方から接触し、この接点部材１０を介して信号ライン６ａに電気的に導通される。
【００２１】電子デバイス１は、信号入出力用、バイアス（電源）用、グランド用に複数の端子を有する。図３（ａ）は、信号入出力用の端子部分での裁断側面図である。電子デバイス１の信号入出力用の端子２ｄが信号ライン６ａに接触した状態で、切欠部６ｃの面位置は、電子デバイス１の端子２の取付片２ｄの端部２ｄａの位置より内側に位置する。このため、図４の部分拡大図に示す如く、取付け片２ｄが上方から接触すると、接点部材１０は、この取付け片２ｄの端部２ｄａが作用点となり、切欠部６ｃの上端縁６ｃａを支点として図中一点鎖線位置から実線位置に回動する。ここで、接点部材１０は、保持部材１１の撓み特性により基端部１０ｂで図中矢印方向に示す反力が発生する。
【００２２】この反力によって、接点部材１０は支点部分で信号ライン６ａ方向に付勢されるため、端子２は接点部材１０から上端縁６ｃａ部分を介して信号ライン６ａに導通し、端子２と信号ライン６ａとを短距離で電気的に導通させることができる。また、電子デバイス１測定時には、保持手段１１が撓むため上方から加えられる負荷が保持手段１１が吸収されるため、端子２には一定圧力以上が加えられず、端子２を故意に曲げるおそれがない。ここで、接点部材１０に対する端子２の下降量は、端子２が接触したときにおいても接点部材１０が傾斜するよう設定する。これにより、端子２接触時には常に接点部材１０が信号ライン６ａに対し端部で接触して接触安定性を良好にできるようになる。
【００２３】また、図３（ｂ）は、電子デバイス１のグランド用の端子部分での裁断側面図である。同図及び図２に示すように、電子デバイス１のグランド用の端子２は、基板６上に形成されたグランド用の信号ライン（グランドライン）６ａａの接触箇所の近傍にて基板６の上面から下面に貫通するスルーホール６ａｂを介して基板６の下面のグランド面６ｂに接続されている。このグランドライン６ａａにおいても、上記信号ライン６ａ同様に接点部材１０は、電子デバイス１の端子２に設けられた取付片２ｄの端部２ｄａが作用点となり、切欠部６ｃの上端縁６ｃａを支点として回動する。これによって、接点部材１０は支点部分でグランドライン６ａａ方向に付勢されるため、端子２は接点部材１０を介してグランドライン６ａａに短距離で安定して電気的に導通することができる。そして、このグランドライン６ａａはスルーホール６ａｂを介して短距離でグランド面６ｂに接続されており、電気的特性を良好にできる。
【００２４】この他、図２に示すように、信号ライン６ａとしてのバイアスライン６ａｃに接続される端子２についても同様に短距離で電気的に導通させることができる。ここで、電子デバイス１は複数の端子２を有するが、これら端子２が何らかの原因で曲がった状態（例えば反り等）であり取付片２ｄ同士の高さ位置が揃っていない場合であっても、この曲がりの度合いに応じて保持部材１１が撓み反力を生じるため、接点部材１０が端子２と信号ライン６ａ（グランドライン６ａａ及びバイアスライン６ａｃを含む）との間でいずれに対しても安定して接触することができるようになる。
【００２５】次に、図５は、本発明の第２実施形態を示す側面図である。図５（ａ）に示すように、この実施形態では保持部材１１の固定位置を変更した構成としている。上記実施形態同様の保持部材１１は両端部にそれぞれ接点部材１０が設けられ、基台４と突起部４ａとの間に挟持固定される。これにより、保持部材１１は固定された他端部１１ｂから下方に湾曲して一端部１１ａに設けられた接点部材１０を所定角度αで保持する。即ち、突起部４ａは前記固定部材１２同様に保持部材１１の基端部を基板６の信号ライン６ａの面に対し所定の高さを有して固定する。
【００２６】上記構成においても、電子デバイス１の端子２の取付け片２ｄが上方から接触すると、接点部材１０は、この取付け片２ｄの端部２ｄａが作用点となり、切欠部６ｃの上端縁６ｃａを支点として回動する。ここで、接点部材１０は、保持部材１１の撓み特性により保持部材１１との接合点部分１１ｂで図中矢印方向に示す反力が発生する。この反力によって、接点部材１０は支点部分で信号ライン６ａ方向に付勢されるため、端子２は接点部材１０を介して信号ライン６ａに短距離で電気的接触が安定した状態で導通させることができる。
【００２７】次に、図６は、本発明の第３実施形態を示す部分拡大図である。この実施形態では、基板６の信号ライン６ａ上には接点部材１０と接触する箇所に接点用突起６ｅを突出形成する。この構成によれば、電子デバイス１の端子２接触時に接点部材１０は突起部６ｅを支点として図中一点鎖線の位置から実線位置に回動し、かつ、この突起部６ｅ部分で電気的に導通される。この構成によっても、端子２は接点部材１０を介して信号ライン６ａに短距離で電気的接触が安定した状態で導通させることができる。尚、接点用突起は、信号ライン６ａ側ではなく接点部材１０側に設けてもよい。
【００２８】次に、図７は、本発明の第４実施形態を示す部分拡大図である。この実施形態では、接点部材１０の先端部１０ａを信号ライン６ａに接触する構成とする。電子デバイス１の端子２接触時には、接点部材１０は先端部１０ａを支点として図中一点鎖線の位置から実線位置に回動し、かつ、この先端部１０ａ部分で電気的に導通される。この構成によっても、端子２は接点部材１０を介して信号ライン６ａに短距離で電気的接触が安定した状態で導通させることができる。
【００２９】次に、図８は、本発明の第５実施形態を示す図である。図８（ａ）は部分平面図、図８（ｂ）は同部分側断面図である。基板６上において、接点部材１０は保持部材１５によって保持される。保持部材１５は、絶縁性を有する保持ブロック１６、及び弾性体１７で構成される。保持ブロック１６は、接点部材１０の長さ及び幅に対応して溝形成された収容部１６ａを有し、接点部材１０を位置決め保持する。接点部材１０の略中央位置には両側部に係合突起１０ｆが突出形成され、収容部１６ａにはこの係合突起１０ｆを係合保持する長溝１６ｂが上下方向に溝形成されている。また、収容部１６ａにおいて、接点部材１０の基端部１０ｂ下部と基板６との間には、弾性体１７として絶縁性を有するゴムが配置されており、接点部材１０を前記所定角度αの傾斜状態で保持する。ゴム１７の形状は、図示の球形状に限らず矩形状のもの等も考えられる。弾性体１７は、ゴムに限らず非導電性のバネ等であってもよい。
【００３０】上記構成によっても、電子デバイス１の端子２接触時には、接点部材１０は取付け片２ｄの端部２ｄａが作用点となり、基板６の切欠部６ｃの上端縁６ｃａに接する部分（先端部１０ａ）を支点としてゴム１７を弾性変形させて回動する。この構成によっても、端子２は接点部材１０を介して信号ライン６ａに短距離で導通させることができる。ここで、ゴム１７は、前記実施形態で説明した保持部材１１が有する撓み特性と同様に接点部材１０に対する反力を生じさせるものであり、端子２と信号ライン６ａとを安定して電気的に接触させる作用を有している。
【００３１】次に、上記説明した端子接続構造を有する装着部が設けられた電子デバイス測定装置の全体構成を説明する。図９に示すように、装置は、電子デバイス１を供給する供給部３１と、上記装着部３２と、測定後の電子デバイス１を選別回収する回収部３３と、上記供給部３１から装着部３２を介し回収部３３に至るまでの間で電子デバイス１を搬送するハンド等の搬送部３４と、前記装着部３２に装着された電子デバイス１の電気特性を測定する測定部３５とを有している。
【００３２】次に、電子デバイス測定装置全体の処理工程を図１０のフローチャートに基づき説明する。電子デバイス１は、搬送部３４で供給部３１から１個づつ取り出され、装着部３２まで搬送される（ＳＰ１）。装着部３２においては、上述したように電子デバイス１を上方から突起部４ａ上に載置する。突起部４ａ上には、電子デバイス１のパッケージ面１ａの外径に対応した位置決め溝が設けられており、電子デバイス１の水平方向への移動が規制された状態で装着される（ＳＰ２）。搬送部３４は、下端部に上記説明した押当ブロック２１が設けられており、電子デバイス１のパッケージ面１ａを突起部４ａのつきあて面４ａａに載せた状態を保持する。ここで、押当ブロック２１は端子２自体を信号ライン６ａに押し付けるものではない。
【００３３】この保持状態の期間中に測定部３５は、電子デバイス１に対し入出力コネクタ７ａ，７ｂに所定の測定信号を送出し電気特性、例えば、入出力特性や周波数特性を測定する（ＳＰ３）。この測定後、搬送部３４は、電子デバイス１を装着部３２から取り出し、回収部３３に搬送する（ＳＰ４）。測定部３５は前記電気特性の測定により電子デバイス１の製品良否を判断し対応する選別信号を回収部３３に出力する。回収部３３は、選別信号に対応して電子デバイス１を良品側あるいは不良品側に選別する（ＳＰ５）。
【００３４】そして、この電子デバイス測定装置においては、特に装着部３２における電子デバイス１と信号ライン６ａとの間の電気的接触が短距離で、かつ、接触状態が安定しているため、電子デバイス１の電気特性を高精度に測定できるようになり、併せて電子デバイス１の選別精度も向上できるようになる。また、装着部３２においては、電子デバイス１を上方から載置するだけで電気特性を測定できるため、電子デバイス１を信号ライン６ａに対し短時間で脱着することができ、測定時間を短縮化できるようになる。また、電子デバイス１装着時の搬送部３４の下降量は前記したように、パッケージ面１ａが突起部４ａ上に載った状態を保持するだけの構成であり、例え端子２が反っていても対応してハンドの下降量を変化させる必要はなく、端子２に一定以上の負荷を加えることはない。即ち、端子２の反りに応じて移動量を可変する必要がなく一定な移動量で済むため、装着部３２に対する電子デバイス１の装着時間を短くできる。尚、この装着部３２によって電子デバイスの測定治具が構成されている。
【００３５】上記実施の形態では、電子デバイス１が高周波信号を扱うものとして、対応して基板６をマイクロストリップラインで構成した例を説明したが、基板６は他の高周波伝送路、例えばコープレナーラインで構成してもよく、この場合でも同様に高周波の測定特性を劣化させることなく電子デバイス１を高精度に測定することができる。尚、本発明は高周波伝送路で構成したものに限られるものではなく、電子デバイス１が低周波で動作するものにおいても接点部材１０により端子２と伝送ライン６との間の接触を安定化させることができるものであり、電子デバイス１に対し、特に押圧力を加えずとも安定した接触状態を得ることができる。
【００３６】
【発明の効果】本発明の端子接続構造によれば、信号ライン上で接点部材が所定角度傾斜保持された構成であり、電子デバイスの端子接触時には、端子の端部から接点部材を介し信号ラインの端部に至る短距離での接続が行え、電子デバイスの電気特性の測定を高精度化できるようになる。また、接点部材は保持部材が有する可撓性により端子及び信号ラインの双方に対して安定して接触状態を維持することができ、電気特性の測定に影響を与えることがなく安定した測定を行えるようになる。さらに、装着時には、接点部材を保持する保持部材が撓み端子に接するため、端子に対し一定圧力以上の負荷を加えることがなく、端子を曲げるおそれがない。一方、一部の端子が反っていて装着された場合であってもこの端子の反りに対応して保持部材が撓むため、他の端子に対して不必要な圧力を加えることがない。
【００３７】本発明の電子デバイス測定装置は、上記端子接続構造により装着部が構成されており、供給部、装着部、測定部、回収部、搬送部を備えて電子デバイスを連続的に自動測定する構成であり、この自動測定の工程中における装着部への電子デバイスの装着について、端子を信号ラインに短距離で安定して接触させることができるため、測定部における電気特性の測定を高精度に行えるようになる。また、電子デバイスの端子に反りがあっても、装着部に対し常時一定な移動量で装着するだけで端子と信号ラインの接触を短距離で安定して行えるようになり、装着部に対する搬送部の昇降移動量は端子の反りにかかわらず一定にでき移動制御を簡素化でき、また、装着時間も短くできるようになる。尚、この装着部により電子デバイス測定治具が構成され、電子デバイスが装着されてこの電子デバイスの電気特性が測定される。
【出願人】 【識別番号】００００００５７２
【氏名又は名称】アンリツ株式会社
【出願日】 平成９年（１９９７）１２月１９日
【代理人】 【弁理士】
【氏名又は名称】西村 教光
【公開番号】 特開平１１−１８３５６３
【公開日】 平成１１年（１９９９）７月９日
【出願番号】 特願平９−３５０７０２