| 【発明の名称】 |
バーンイン試験システム |
| 【発明者】 |
【氏名】栗原 純
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| 【要約】 |
【課題】バーンイン試験中断時、試験パターンを保全・記録し、復帰時、試験中断時以降のテスト項目のみを実行可能とするバーンイン試験装置を提供する。
【解決手段】停電検出部２７により停電が検出されると、その停電直前までに実行中の試験条件と試験経過状態を外部記憶装置２８に格納し、停電復帰が検出されると、プログラム記憶部２５内に格納されている試験継続処理プログラムに基づいて試験継続処理を実行し、外部記憶装置２８に記憶された停電直前の試験条件と試験経過状態とを読み出して、残りの試験項目から再開するように、バーンイン試験装置１０に試験条件を再設定する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 半導体集積回路をバーンイン試験するための恒温槽と、この恒温槽内の温度を検出して、バーンイン制御装置から入力されるバーンイン試験条件により設定される設定温度に恒温槽内を調整する第１の制御部と、この第１の制御部とバーンイン制御装置との間で検出データや試験経過情報等の各種制御情報を授受する第１のインターフェース部と、を備えたバーンイン試験装置と、バーンイン試験条件を格納する試験条件格納部と、この試験条件格納部に格納されたバーンイン試験条件を前記バーンイン試験装置に送出して設定するとともに、前記バーンイン試験装置から入力される検出データに基づいてバーンイン試験経過を監視する第２の制御部と、この第２の制御部と前記バーンイン試験装置との間で検出データや試験経過情報等の各種制御情報を授受する第２のインターフェース部と、前記第２の制御部により設定されるバーンイン試験条件や、前記第２のインターフェース部により受信された試験経過情報等を格納する試験情報格納部と、を備えたバーンイン制御装置と、備えたことを特徴とするバーンイン試験システム。
【請求項２】 前記バーンイン制御装置において、外部から供給される電源の停電発生及び停電復帰を検出する停電検出部を更に備え、前記第２の制御部は、この停電検出部により停電の発生が検出されると、前記バーンイン試験実行中に半導体集積回路のバーンイン試験結果およびバーンイン試験状況及び過程等の試験情報を前記試験情報格納部に保存し、停電検出部により停電復帰が検出されると、試験情報格納部に保存した試験情報に基づいて中断されたバーンイン試験条件を前記バーンイン試験装置に再設定して、中断時と同じ試験状態に復帰させ、当該バーンイン試験を中断時点から継続して実行させることを特徴とする請求項１記載のバーンイン試験システム。
【請求項３】前記バーンイン制御装置は、端末型コンピュータとしたことを特徴とする請求項１あるいは２記載のバーンイン試験システム。
【請求項４】前記バーンイン制御装置内の前記試験情報格納部は、外部記憶装置としたことを特徴とする請求項１、２あるいは３記載のバーンイン試験システム。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バーンイン試験装置に関し、特に停電等により中断されたバーンイン試験を継続するための機能を有するバーンイン試験システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体集積回路を恒温槽の炉の中に入れ、その炉内の半導体集積回路に外部から電源電圧や試験パターン信号を印加して試験するバーンイン試験を実施して、半導体集積回路の信頼性を確保している。
【０００３】このバーンイン試験に際しては、恒温槽内の炉の温度は高温または低温に設定し、長時間試験パターン信号を印加してストレスを加え、初期不良を検出している。また、バーンイン試験では半導体集積回路の１個当たりの試験時間が長いので、炉の中には数千個から一万個の半導体集積回路を同時に入れて試験時間と経費がかさむことを防いでいる。
【０００４】また、恒温槽内の試験条件を制御する端末型コンピュータが使用するバーンイン試験実行プログラムには、半導体集積回路の種類に応じてバーンイン試験に必要な試験項目とバーンイン試験の収束条件が設定されている。
【０００５】また、停電あるいは瞬断やその他、バーンイン試験を中断する全ての要因によりバーンイン試験が中断された場合には、試験項目の未実行、および未収束状態が発生するため、バーンイン試験が中断された場合は、通常はバーンイン試験を最初から再実行する必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】すなわち、従来のバーンイン試験装置では、バーンイン試験の実行状況によらず、バーンイン試験が中断された場合、バーンイン試験を最初から再実行する再試験が必要となる。例えば、ひとつのデバイス・プログラムによるバーンイン試験の全体を１００％としたとき、わずか５％終了した時点でバーンイン試験の継続が不可能な状況が発生しバーンイン試験が中断された場合も、また９０％以上終了した時点でバーンイン試験が中断された場合も同様に、そのバーンイン試験を最初から再実行する必要があり、バーンイン試験における処理効率を妨げる要因となっていた。
【０００７】また、バーンイン試験は温度ストレスと、電圧印加による初期不良の抽出が目的であるため、ひとつのバーンイン試験にも十分な時間が必要になるため、バーンイン試験用デバイス・プログラムは時間短縮を目的に改良され続けている。
【０００８】このような状況のなかで、バーンイン試験中断によるバーンイン試験の再実行は重複した試験時間、コストおよびテスト項目について無駄な試験の繰り返し処理の発生要因となっていた。
【０００９】本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、バーンイン試験中断時の、温度設定状況および半導体集積回路を試験するための試験パターンを記録、復元する動作を行った後、バーンイン試験中断時以降のテスト項目のみを実行可能として、バーンイン試験のコストを低減し、試験にかかる時間を削減するバーンイン試験システムを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のバーンイン試験システムは、半導体集積回路をバーンイン試験するための恒温槽と、この恒温槽内の温度を検出して、バーンイン制御装置から入力されるバーンイン試験条件により設定される設定温度に恒温槽内を調整する第１の制御部と、この第１の制御部とバーンイン制御装置との間で検出データや試験経過情報等の各種制御情報を授受する第１のインターフェース部と、を備えたバーンイン試験装置と、バーンイン試験条件を格納する試験条件格納部と、この試験条件格納部に格納されたバーンイン試験条件を前記バーンイン試験装置に送出して設定するとともに、前記バーンイン試験装置から入力される検出データに基づいてバーンイン試験経過を監視する第２の制御部と、この第２の制御部と前記バーンイン試験装置との間で検出データや試験経過情報等の各種制御情報を授受する第２のインターフェース部と、前記第２の制御部により設定されるバーンイン試験条件や、前記第２のインターフェース部により受信された試験経過情報等を格納する試験情報格納部と、を備えたバーンイン制御装置と、備えたことを特徴としている。
【００１１】この場合、上記目的は、例えば、請求項２に記載する発明のように、請求項１記載のバーンイン試験システムにおいて、前記バーンイン制御装置は、外部から供給される電源の停電発生及び停電復帰を検出する停電検出部を更に備え、前記第２の制御部は、この停電検出部により停電の発生が検出されると、前記バーンイン試験実行中に半導体集積回路のバーンイン試験結果およびバーンイン試験状況及び過程等の試験情報を前記試験情報格納部に保存し、停電検出部により停電復帰が検出されると、試験情報格納部に保存した試験情報に基づいて中断されたバーンイン試験条件を前記バーンイン試験装置に再設定して、中断時と同じ試験状態に復帰させ、当該バーンイン試験を中断時点から継続して実行させるようにしてもよい。
【００１２】したがって、停電・瞬停・その他バーンイン試験を中断可能なすべての要因によりバーンイン試験が中断された場合でも、中断された試験環境へ復帰し未実行の試験項目の実施が可能なため、実行済みのバーンイン試験を再実施することなく、すべてのバーンイン試験工程の実行が可能になり、再試験によるコストおよび時間の無駄をなくすことができる。
【００１３】また、請求項３に記載する発明のように、請求項１あるいは２記載のバーンイン試験システムにおいて、前記バーンイン制御装置は端末型コンピュータとしたことにより、バーンイン試験時の停電中断から復帰する処理プログラムを容易に設計することができ、バーンイン試験装置の処理負担を軽減することができる。
【００１４】さらに、請求項４に記載する発明のように、請求項１、２あるいは３記載のバーンイン試験システムにおいて、前記バーンイン制御装置内の試験情報格納部は、外部記憶装置としたことにより、停電時に保存した試験情報を停電後も保持することができ、例えば、同時に同様のバーンイン試験を実行中の当該他のバーンイン試験システムから保存した試験情報を読み出して停電復帰処理に利用することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】図１〜図６は、本発明を適用したバーンイン試験システムの一実施の形態を示す図である。
【００１７】まず、構成を説明する。
【００１８】図１は、本実施の形態におけるバーンイン試験システム１の要部構成を示すブロック図である。この図１において、バーンイン試験システム１は、バーンイン試験装置１０及び端末型コンピュータ２０により構成されており、バーンイン試験装置１０は、恒温槽１１、ヒーター部１２、温度センサ１３、制御部（第１の制御部）１４、及びＩ／Ｆ部（第１のインターフェース部）１５により構成され、端末型コンピュータ（バーンイン制御装置）２０は、制御部（第２の制御部）２１、入力部２２、表示部２３、試験条件記憶部（試験条件格納部）２４、プログラム記憶部２５、計時部２６、停電検出部２７、外部記憶装置（試験情報格納部）２８、Ｉ／Ｆ部（第２のインターフェース部）２９、及び電源部３０により構成されている。
【００１９】バーンイン試験装置１０において恒温槽１１は、バーンイン試験を行う半導体集積回路（ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit）等）を複数個（数千個から一万個程度）セットして加熱するための炉１１ａを内蔵し、その炉１１ａ内部の試験温度は、ヒーター部１２の加熱により設定される。また、恒温槽１１には、炉１１ａ内にセットされる半導体集積回路に制御部１４から入力される電源電圧や試験パターン信号を供給するための試験信号入力端子１１ｂが設けられている。
【００２０】ヒーター部１２は、制御部１４から入力される温度制御信号により、その発熱温度が制御されて、恒温槽１１の炉１１ａ内の加熱温度を設定する。温度センサ１３は、炉１１ａ内の加熱温度を検出し、その検出温度を所定の温度検出信号として制御部１４に出力する。
【００２１】制御部１４は、Ｉ／Ｆ部１５を介して端末型コンピュータ２０から入力される温度設定信号に応じて、ヒーター部１２にその発熱温度に応じた温度制御信号を出力してヒーター部１２の発熱温度を制御し、温度センサ１３から入力される温度検出信号により炉１１ａ内の加熱温度が設定温度の範囲内か否かを監視して、設定温度の範囲外になると設定温度の範囲内になるように温度制御信号をヒーター部１２に出力して、炉１１ａ内の加熱温度が試験条件温度で一定となるように加熱温度制御を実行する。
【００２２】また、制御部１４は、Ｉ／Ｆ部１５を介して端末型コンピュータ２０から入力される電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される試験条件に基づく試験項目内容を実行する。さらに、制御部１４は、温度センサ１３から入力される温度検出信号をＩ／Ｆ部１５を介して端末型コンピュータ２０に転送し、バーンイン試験の経過状態を端末型コンピュータ２０にモニタさせる。
【００２３】Ｉ／Ｆ部１５は、所定の接続ケーブル４０を介して端末型コンピュータ２０と接続し、制御部１４と端末型コンピュータ２０との間で温度設定信号、電源電圧、試験パターン信号、温度検出信号等を授受する。
【００２４】端末型コンピュータ２０において制御部２１は、プログラム記憶部２５内に格納されているバーンイン試験処理プログラム及び試験条件記憶部２４内に格納されているバーンイン試験条件に基づいて後述するバーンイン試験処理を実行して、上記温度設定信号をＩ／Ｆ部２９を介してバーンイン試験装置１０に出力して試験温度を設定するとともに、上記電源電圧や試験パターン信号等をＩ／Ｆ部２９を介してバーンイン試験装置１０に出力して試験条件を設定してバーンイン試験を実行する。
【００２５】また、制御部２１は、プログラム記憶部２５内に格納されている停電検出処理プログラムに基づいて後述する停電検出処理を実行して、停電検出部２７により停電が検出されると、その停電直前までに実行中の試験条件と試験経過状態（計時部２６を参照して当該試験項目の経過時間等）を外部記憶装置２８に格納し、停電検出部２７により停電復帰が検出されると、プログラム記憶部２５内に格納されている試験継続処理プログラムに基づいて後述する試験継続処理を実行する。この試験継続処理において制御部２１は、停電検出処理において外部記憶装置２８に記憶された停電直前の試験条件と試験経過状態とを読み出して、この読み出した停電直前の試験条件と試験経過状態とに基づいて、バーンイン試験を継続するための試験条件を再設定して、残りの試験項目からバーンイン試験を再開するように、バーンイン試験装置１０に試験条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等）を再設定する。
【００２６】さらに、制御部２１は、バーンイン試験の試験結果を外部記憶装置２８に格納するとともに、その試験結果を表示部２３に表示する。また、制御部２１は、入力部２２から入力されるバーンイン試験条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）に応じて、新たなバーンイン試験項目を試験条件記憶部２４に格納する。
【００２７】入力部２２は、数値キーや各種ファンクションキー等を備え、そのキー操作により入力されるバーンイン試験条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）や、その他のバーンイン試験に必要な項目等を制御部２１に出力する。
【００２８】表示部２３は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）や液晶表示パネル等により構成され、上記制御部２１から入力されるバーンイン試験処理の試験結果や、入力部２２から入力されるバーンイン試験条件等を表示する。
【００２９】試験条件記憶部２４は、ＲＡＭ（Random Access Memory）等により構成され、予め設定、あるいは入力部２２から入力されたバーンイン試験条件（プリ・テスト用、常温試験用、温度付加テスト用等の試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を格納する。プログラム記憶部２５は、プログラマブルＲＯＭ（Read Only Memory）等により構成され、上記制御部２１により実行されるバーンイン試験処理プログラム、停電検出処理プログラム及び試験継続処理プログラムを格納する。
【００３０】計時部２６は、日付及び現在時刻を計時し、その日付及び現在時刻データを制御部２１に出力する。停電検出部２７は、バーンイン試験システム１に外部から電源部３０に供給される商用電源（図示せず）における停電の発生を検出するとともに、停電の復帰を検出して、その停電検出状態を停電検出信号として制御部２１に出力する。
【００３１】Ｉ／Ｆ部２９は、所定の接続ケーブル４０を介してバーンイン試験装置１０と接続し、制御部２１とバーンイン試験装置１０との間で温度設定信号、電源電圧、試験パターン信号、温度検出信号等を授受する。
【００３２】外部記憶装置２８は、交換可能なハードディスク装置等の大容量記憶媒体により構成され、上記制御部２１により実行されるバーンイン試験処理の試験結果を格納するとともに、停電発生時に停電直前までに実行中の試験条件と試験経過状態（計時部２６を参照して当該試験項目の経過時間等）を格納する。
【００３３】電源部３０は、外部から供給される商用電源（図示せず）から端末型コンピュータ２０内の各部で必要な電源電圧を生成して供給する。また、電源部３０は、蓄電池としての機能も有しており、停電が発生した場合に蓄電池機能により端末型コンピュータ２０内の各部に必要な電源電圧を所定時間供給し、上記制御部２１により実行される停電検出処理の実行を可能とする。
【００３４】次に、本実施の形態における動作について説明する。
【００３５】まず、本実施の形態のバーンイン試験システム１において実行されるバーンイン試験処理の概要について図２に示すフローチャートを参照して説明する。
【００３６】バーンイン試験システム１における半導体集積回路のバーンイン試験工程は、通常、例えば、図２に示すフローチャートのようになる。
【００３７】バーンイン試験システム１の端末型コンピュータ２０は、入力部２２から試験開始命令の実行の入力を確認すると、プログラム記憶部２５に格納されたバーンイン試験処理プログラムに設定された試験項目に従いバーンイン試験を開始し、まず、バーンイン試験装置１０において恒温槽１１内の炉１１ａ内にセットされた半導体集積回路を加熱せず、常温状態で所定の電源電圧と試験パターン信号を半導体集積回路に印加するプリ・テストを行う（ステップＳ１）。このプリ・テストを行った後、恒温槽１１内の炉１１ａ内温度が摂氏８５度になるようにヒーター部１２を加熱制御して、摂氏８５度の状態で温度付加テストを行う（ステップＳ２）。
【００３８】次いで、恒温槽１１内の炉１１ａ内温度が摂氏１２５度に上昇するようにヒーター部１２を更に加熱制御して、摂氏１２５度の状態でバーンインテストを行う（ステップＳ３）。そして、再度、恒温槽１１内の炉１１ａ内温度が摂氏８５度に下降するようにヒーター部１２の加熱制御を停止し、再度摂氏８５度の状態で温度付加テストを行って（ステップＳ４）、バーンイン試験処理を終了する。
【００３９】更に、このようにバーンイン試験処理を行った後、半導体集積回路の良品・不良品判定マップ、ログ・データ等各種情報を作成して、バーンイン試験装置１０の制御用コンピュータである端末型コンピュータ２０に試験結果を保存してバーンイン試験を終了する。
【００４０】以上が本実施の形態のバーンイン試験システム１において実行されるバーンイン試験処理の概要である。
【００４１】次に、図２に示したバーンイン試験システム１において実行されるバーンイン試験処理の詳細について図３に示すフローチャートに基づいて説明する。
【００４２】バーンイン試験システム１の端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、まず、試験条件記憶部２４に格納されたプリ・テスト条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送してプリ・テスト条件を設定する（ステップＰ１）。
【００４３】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等によりプリ・テスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０にプリ・テスト開始を示す信号を出力してプリ・テストを実行させる（ステップＰ２）。
【００４４】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力されたプリ・テスト条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタして端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力されるプリ・テスト開始信号を受信すると、端末型コンピュータ２０から入力されたプリ・テスト条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定されるプリ・テスト条件に基づくプリ・テストを実行して、そのプリ・テスト終了時にプリ・テスト終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００４５】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力されるプリ・テストの終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納された常温テスト条件（電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送して常温テスト条件を設定する（ステップＰ３）。
【００４６】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等により常温テスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０に常温テスト開始を示す信号を出力して常温テストを実行させる（ステップＰ４）。
【００４７】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力された常温テスト条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタして端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力される常温テスト開始信号を受信すると、端末型コンピュータ２０から入力された常温テスト条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される常温テスト条件に基づく常温テストを実行して、その常温テスト終了時に常温テスト終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００４８】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力される常温テストの終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納された温度付加テスト条件（試験温度（摂氏８５度）、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送して温度付加テスト条件を設定する（ステップＰ５、Ｐ６）。
【００４９】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等により温度付加テスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０に温度付加テスト開始を示す信号を出力して温度付加テストを実行させる（ステップＰ７）。
【００５０】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力された温度付加テスト条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を摂氏８５度に加熱し、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力される付加温度テスト開始信号を受信すると、端末型コンピュータ２０から入力された付加温度テスト条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される付加温度テスト条件に基づく付加温度テストを実行して、その付加温度テスト終了時に付加温度テスト終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００５１】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力される温度付加テストの終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納されたバーンイン温度条件（バーンイン温度（摂氏１２５度）、試験時間の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送してバーンイン温度条件を設定する（ステップＰ８）。
【００５２】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等によりバーンイン温度条件の設定を確認した後（ステップＰ９）、試験条件記憶部２４に格納されたテスト条件（電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送してテスト条件を設定する（ステップＰ１０）。
【００５３】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等によりテスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０にテスト開始を示す信号を出力してバーンイン温度でテストを実行させる（ステップＰ１１）。
【００５４】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力されたバーンイン温度条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を摂氏１２５度に加熱し、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力されるテスト条件である試験時間の間、その電源電圧や試験パターン信号を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給する状態を維持して、端末型コンピュータ２０において設定されるバーンイン試験条件に基づくテストを実行して、そのバーンイン試験下のテスト終了時にバーンイン試験終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００５５】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力されるバーンイン試験の終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納された温度付加テスト条件（試験温度（摂氏８５度）、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に再度転送して温度付加テスト条件を設定する（ステップＰ１２、Ｐ１３）。
【００５６】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等により温度付加テスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０に温度付加テスト開始を示す信号を出力して再度温度付加テストを実行させる（ステップＰ１４）。
【００５７】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力された温度付加テスト条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を摂氏８５度に低下させ、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力される付加温度テスト開始信号を再度受信すると、端末型コンピュータ２０から入力された付加温度テスト条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される付加温度テスト条件に基づく付加温度テストを再度実行して、その付加温度テスト終了時に付加温度テスト終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００５８】そして、端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力される温度付加テストの終了信号の受信を確認すると、バーンイン試験装置１０から入力されるモニタ温度に基づいて、炉１１ａ内の温度が常温に復帰したか否かを確認し（ステップＰ１５）、炉１１ａ内の温度が常温に復帰したことを確認すると、本バーンイン試験処理を終了する。
【００５９】この図３のバーン試験処理に際して、端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、所定タイミングの割込処理で停電検出処理を実行しており、この停電検出処理について図４に示すフローチャートに基づいて説明する。
【００６０】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、電源部３０に外部から供給される商用電源に停電（舜停も含む）が発生したか否を検出し（ステップＰ２１）、停電を検出すると、現在実行されている試験条件、すなわち、試験条件記憶部２４から読み出してバーンイン試験装置１０に設定した試験条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を外部記憶装置２８に記憶するとともに（ステップＰ２２）、バーンイン試験装置１０において停電時に現在実行中にモニタされる試験経過情報（当該試験の経過時間や実際の加熱温度情報や、試験が中断するまでに作成された良品・不良品判定マップ、ログ・データ等の各種情報）を外部記憶装置２８に記憶する（ステップＰ２３）。
【００６１】次いで、端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、電源部３０に外部から供給される商用電源が停電から復帰したか否かを確認し（ステップＰ２４）、停電から復帰したことを確認すると、停電発生時の試験条件及び試験経過状態からバーン試験を継続再開させるための試験継続処理を実行して（ステップＰ２５）、ステップＰ２１の処理に戻る。
【００６２】この制御部２１により停電検出処理時に実行される試験継続処理について図５に示すフローチャートに基づいて説明する。
【００６３】この試験継続処理において制御部２１は、まず、外部記憶装置２８に記憶した停電発生時の試験条件と試験経過情報とを読み出し（ステップＰ２５１、Ｐ２５２）、この読み出した試験条件と試験経過情報とに基づいて試験条件の再設定処理を行う（ステップＳ２５３）。すなわち、停電発生時に外部記憶装置２８に記憶した試験条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）をＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に再度転送して停電発生時の試験条件を再設定するとともに、停電発生時に外部記憶装置２８に記憶した試験経過情報に基づいて試験経過時間を停電発生時までの経過時間から減算して、当該試験時間を再設定する等の再設定処理を実行するため、バーンイン試験装置１０に再試験開始を示す信号を出力して、停電発生時に実行していた試験内容を再度実行させる（ステップＰ２５４）。
【００６４】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力された再設定用試験条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を再設定温度に調整し、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力される再試験開始信号を受信すると、端末型コンピュータ２０から入力された再試験条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される再試験条件に基づく停電発生時の試験内容を継続して実行して、その再試験終了時に再試験終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００６５】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力される再試験の終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納された試験条件により再試験項目の後に残りの試験項目が有るか否かを確認し（ステップＰ２５５）、残りの試験項目が無ければ本試験継続処理を終了し、残りの試験項目が有れば、その試験条件（試験温度、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を試験条件記憶部２４から読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送して当該試験条件を設定する（ステップＰ２５６）。
【００６６】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等により温度の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０に試験開始を示す信号を出力して当該試験を実行させる（ステップＰ２５７）。
【００６７】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力された試験条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を試験温度に調整し、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力される試験開始信号を受信すると、端末型コンピュータ２０から入力された試験条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される試験条件に基づく付試験を実行して、その試験終了時に試験終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００６８】そして、端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力される試験の終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納された試験条件により当該バーンイン試験項目が終了したか否かを確認し（ステップＰ２５８）、終了であれば本試験継続処理を終了し、終了でなければステップＰ２５５の処理に戻って残りの試験項目の有無を再度確認して、残りの試験項目が有れば、ステップＰ２５６〜ステップＰ２５８の処理を試験項目が終了するまで繰り返し実行して、本試験継続処理を終了する。
【００６９】次に、この試験継続処理により停電から復帰した後に継続処理されるバーンイン試験の一例について図６に示すフローチャートを参照して説明する。
【００７０】この図６に示すフローチャートでは、図３のフローチャートで示したバーンイン試験処理によりバーンイン試験の実行中に工場内に停電が発生し、例えば、その図３のステップＰ１０におけるテスト条件設定中に一連のバーンイン試験が中断して、上記試験継続処理により残りの試験項目が再度試験された場合を示している。
【００７１】図３のフローチャートで示したバーンイン試験処理において、そのステップＰ１０におけるテスト条件設定中に工場内に停電が発生し、端末型コンピュータ２０内の制御部２１により停電が検出されて、設定中のテスト条件と停電発生までに終了した試験項目の経過情報とが外部記憶装置２８に記憶された状態で、停電が復帰すると、制御部２１は、上記試験継続処理により、停電直前のテスト条件（バーンイン試験温度（摂氏１２５度）、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を外部記憶装置２８から読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に転送してテスト条件を設定する（ステップＰ１０１）。
【００７２】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等によりテスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０にテスト開始を示す信号を出力してバーンイン温度でテストを実行させる（ステップＰ１０２）。
【００７３】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力されたバーンイン温度条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を摂氏１２５度に再度調整し、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力されるテスト条件である試験時間の間、その電源電圧や試験パターン信号を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給する状態を維持して、端末型コンピュータ２０において設定されるバーンイン試験条件に基づくテストを実行して、そのバーンイン試験下のテスト終了時にバーンイン試験終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００７４】端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力されるバーンイン試験の終了信号の受信を確認すると、試験条件記憶部２４に格納された温度付加テスト条件（試験温度（摂氏８５度）、電源電圧、試験パターン信号、試験時間等の各設定値）を読み出してＩ／Ｆ部２９によりバーンイン試験装置１０に再度転送して温度付加テスト条件を設定する（ステップＰ１０３、Ｐ１０４）。
【００７５】次いで、制御部２１は、バーンイン試験装置１０からＩ／Ｆ部２９を介して送信される炉１１ｂ内の温度状態等により温度付加テスト条件の設定を確認した後、バーンイン試験装置１０に温度付加テスト開始を示す信号を出力して再度温度付加テストを実行させる（ステップＰ１０５）。
【００７６】この時、バーンイン試験装置１０内の制御部１４では、端末型コンピュータ２０からＩ／Ｆ部１５を介して入力された温度付加テスト条件に基づいて炉１１ａ内の温度をモニタしながら、ヒーター部１２を制御して炉１１ａ内の温度を摂氏８５度に低下させ、温度センサ１３により検出される炉１１ａ内のモニタ温度を端末型コンピュータ２０に出力し、端末型コンピュータ２０から入力される付加温度テスト開始信号を再度受信すると、端末型コンピュータ２０から入力された付加温度テスト条件である電源電圧や試験パターン信号等を恒温槽１１の試験信号入力端子１１ｂを介して炉１１ａ内の半導体集積回路に供給して、端末型コンピュータ２０において設定される付加温度テスト条件に基づく付加温度テストを再度実行して、その付加温度テスト終了時に付加温度テスト終了を示す信号を端末型コンピュータ２０に出力する。
【００７７】そして、端末型コンピュータ２０内の制御部２１は、バーンイン試験装置１０から出力される温度付加テストの終了信号の受信を確認すると、バーンイン試験装置１０から入力されるモニタ温度に基づいて、炉１１ａ内の温度が常温に復帰したか否かを確認し（ステップＰ１０６）、炉１１ａ内の温度が常温に復帰したことを確認すると、本停電復帰後のバーンイン試験継続処理を終了する。
【００７８】以上のように、停電復帰後のバーンイン試験の継続処理機能を端末型コンピュータ２０が有することにより、上記停電検出処理により、その停電によってバーンイン試験が中断するまでの試験条件、試験経過情報及び良品・不良品判定マップ、ログ・データ等各種情報が作成され外部記憶装置２８に保存される。
【００７９】そして、本実施の形態のバーンイン試験システム１では、停電までのバーンイン試験による前記各種情報が完全に保証されるため、再度バーンイン試験を実施した場合、停電発生までのバーンイン試験実行時間、および前記各種情報が無駄にならず、停電が発生した際の環境でその時実行していた命令から再度試験内容が開始されるため、停電から復帰した後に、最小限の時間でバーンイン試験を終了させることができる。
【００８０】但し、この場合、端末型コンピュータ２０に保存される良品・不良品マップ、ログ・データ等各種情報は、図３で示す試験工程により作成・保存された情報量でしかない。
【００８１】このことから、バーンイン試験実施のためのバーンイン試験プログラム（例えば、図２に示すような工程をもつ）を実施している際に、停電・瞬停・その他バーンイン試験を中断可能なすべての要因によりバーンイン試験が中断された場合には、残された良品・不良品マップ、ログ・データ等各種情報と上記バーンイン試験プログラムに示されるバーンイン試験工程から、試験中断時の試験環境および未実行のバーンイン試験工程（例えば、図３で示されるバーンイン試験プログラムの実施による試験工程）を判断し実行する機能と、中断前までの工程で端末型コンピュータ２０により作成・保存された良品・不良品マップ、ログ・データ等の各種情報と、中断後に上記停電復帰後の試験継続機能により端末型コンピュータ２０に作成・保存された良品・不良品マップ、ログ・データ等の各種情報とを容易に結合できるため、はじめに実行しようとしたバーンイン試験実施のためのバーンイン試験プログラムによるバーンイン試験工程と同じバーンイン試験工程をもつ良品・不良品マップ、ログ・データ等の各種情報を端末型コンピュータ２０に作成・保存する機能を、本発明のバーンイン試験システム１における瞬停対策機能として付加することができる。
【００８２】なお、停電復帰後に試験継続処理を実行する際には、温度ストレスの復帰には温度上昇時間または温度下降時間が必要となるので、その時間はバーンイン試験自体は待ち状態になる。
【００８３】以上のように、本実施の形態におけるバーンイン試験システム１では、停電・瞬停・その他バーンイン試験を中断可能なすべての要因によりバーンイン試験が中断された場合でも、中断された試験環境へ復帰し未実行の試験項目の実施が可能なため、実行済みのバーンイン試験項目を再実施することなく、すべてのバーンイン試験工程の実行が可能になり、再試験によるコストおよび時間の無駄をなくすことができる。
【００８４】また、上記バーンイン試験システム１において、端末型コンピュータ２０を利用することにより、パーソナルコンピュータ等を利用してバーイン試験時の停電中断から復帰する処理プログラムを容易に設計することができ、バーンイン試験装置１０の処理負担を軽減することができる。
【００８５】さらに、上記バーンイン試験システム１において、端末型コンピュータ２０内の停電時の試験条件や試験経過情報等を格納するためハードディスク装置等の外部記憶装置２８を利用したことにより、停電時に保存した試験情報を停電後も保持することができ、例えば、同時に同様のバーンイン試験を実行中の当該他のバーンイン試験システムから保存した試験情報を読み出して停電復帰処理に利用することができる。
【００８６】なお、上記実施の形態で図３に示したバーンイン試験行程は、一例であり、その他の各種バーンイン試験行程に対しても本発明を適用可能であることは勿論である。
【００８７】
【発明の効果】請求項１及び２記載の発明のバーンイン試験システムによれば、停電・瞬停・その他バーンイン試験を中断可能なすべての要因によりバーンイン試験が中断された場合でも、中断された試験環境へ復帰し未実行の試験項目の実施が可能なため、実行済みのバーンイン試験を再実施することなく、すべてのバーンイン試験工程の実行が可能になり、再試験によるコストおよび時間の無駄をなくすことができる。
【００８８】請求項３記載の発明のバーンイン試験システムによれば、前記バーンイン制御装置は端末型コンピュータとすることにより、バーンイン試験時の停電中断から復帰する処理プログラムを容易に設計することができ、バーンイン試験装置の処理負担を軽減することができる。
【００８９】請求項４記載のバーンイン試験システムによれば、バーンイン制御装置内の試験情報格納部は、外部記憶装置としたことにより、停電時に保存した試験情報を停電後も保持することができ、例えば、同時に同様のバーンイン試験を実行中の当該他のバーンイン試験システムから保存した試験情報を読み出して停電復帰処理に利用することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）１２月２４日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 博司 （外１名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−１８３５６１ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）７月９日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−３５５８１５ |
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