| 【発明の名称】 |
プローブ |
| 【発明者】 |
【氏名】竹内 伸成
【氏名】柳沢 幸樹
【氏名】菊池 潤
【氏名】伴城 暢一
【氏名】遠藤 善雄
【氏名】品川 満
【氏名】永妻 忠夫
【氏名】松広 一良
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| 【要約】 |
【課題】コストを安くすることができるプローブを得ること。
【解決手段】厚肉円筒形状であってその先端部分に雄ネジ部２０ｂが形成された本体ケース２０と、本体ケース２０に対して着脱可能に構成され、電気光学効果を利用して被測定信号を検出する場合に用いられる電気光学プローブ用アダプタ２１と、本体ケース２０に対して着脱可能に構成され、磁気光学効果を利用して被測定信号を検出する場合に用いられる磁気光学プローブ用アダプタとを具備している。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 オシロスコープに接続され、被測定信号を検出するプローブにおいて、ケース本体と、前記ケース本体の先端部に着脱可能に構成された第１の先端ケースと、前記第１の先端ケースの内部に設けられ電気光学現象により前記被測定信号を検出する第１の検出手段とを有する電気光学プローブ用アダプタと、前記ケース本体の先端部に着脱可能に構成された第２の先端ケースと、前記第２の先端ケースの内部に設けられ磁気光学現象により前記被測定信号を検出する第２の検出手段とを有する磁気光学プローブ用アダプタとを具備することを特徴とするプローブ。
【請求項２】 前記ケース本体の先端部の外周面には、ネジ溝が形成されており、前記第１および第２の先端ケースの内周面には、ネジ溝が形成されており、前記ケース本体と前記第１または第２の先端ケースとは螺合されることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】 前記ケース本体の先端部の外周面、ならびに前記第１および第２の先端ケースの内周面は、滑らかに各々形成されており、前記ケース本体と前記第１または前記第２の先端ケースとは嵌合されることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項４】 レーザ光を発生するレーザ光発生手段を具備し、前記第１の検出手段は、前記被測定信号により生じる電界の強度に応じてその屈折率が変化する前記電気光学結晶と、前記電気光学結晶の裏面に形成され前記電気光学結晶を透過したレーザ光を反射する第１の反射鏡とを有しており、該電気光学結晶の中を透過するレーザ光の偏光状態に基づいて前記被測定信号を検出し、前記第２の検出手段は、前記被測定信号により生じる磁界の強度に応じて前記レーザ光の偏光面を回転させる磁気光学結晶と、前記磁気光学結晶の裏面に形成され前記磁気光学結晶を透過した前記レーザ光を反射する第２の反射鏡とを有しており、該磁気光学結晶の中を透過する前記レーザ光の偏光状態に基づいて前記被測定信号を検出すること、を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のプローブ。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定器における被測定信号の入力に用いられるプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、例えば、２．４Ｇｂｐｓという超高速なビットレートの信号を扱う被測定回路の信号測定には、被測定回路に擾乱を与えることなく測定可能なサンプリングオシロスコープが用いられている。ここで、上記サンプリングオシロスコープには、電気光学効果を利用して被測定信号を検出する電気光学プローブまたは磁気光学効果を利用して被測定信号を検出する磁気光学プローブのうちいずれかのものが用いられる。
【０００３】また、上述したサンプリングオシロスコープは、（１）信号を測定する際に、グランド線を必要としないため、測定が容易（２）電気光学プローブの先端にある金属ピンおよび磁気光学プローブが回路系から各々絶縁されているので高入力インピーダンスを実現でき、その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない（３）光パルスを利用することからＧＨｚオーダーまでの広帯域測定が可能といった特徴があることから、高速化が進む通信情報システムの測定に特に用いられている。
【０００４】図４は、上述したサンプリングオシロスコープに用いられる電気光学プロープによる測定原理を説明する図である。この図において、１はプリント基板であり、このプリント基板１の表面には、信号線２およびグランド線３が各々形成されている。４は、上述したサンプリングオシロスコープ（図示略）に接続された電気光学プローブであり、信号線２を伝送する被測定信号を検出する。
【０００５】この電気光学プローブ４は、金属ピン５、絶縁体６、電気光学結晶７および反射鏡８から概略構成されている。また、電気光学プローブ４は、被測定信号によって発生する電界を電気光学結晶に対して作用させた状態で、該電気光学結晶にレーザ光が入射されると、レーザ光の偏光状態が変化するという原理を用いて被測定信号の検出を行うものである。
【０００６】電気光学プローブ４において、金属ピン５は、その先端部分がテーパ状に形成されており、測定時に信号線２に当接される。絶縁体６は、円板形状をしており、その裏面中央部には、金属ピン５の端部が取り付けられている。すなわち、金属ピン５は、絶縁体６により保持されている。７は、ＢＳＯ（Ｂｉ12ＳｉＯ20）が円柱形状に形成されてなる電気光学結晶であり、結合された電界強度Ｅに応じて、一次の電気光学変化であるポッケルス効果によりその屈折率が変化するという、光学的性質を有している。
【０００７】反射鏡８は、電気光学結晶７の裏面に蒸着された誘電体多層膜ミラーであり、電気光学結晶７を透過したレーザ光Ｌａを反射する。電気光学結晶７は、反射鏡８を介して絶縁体６の表面に接合されている。
【０００８】上記構成において、金属ピン５の先端部が信号線２に当接されると、信号線２を伝送している被測定信号のレベルに応じた電界Ｅが電気光学結晶７と結合される。これにより、ポッケルス効果によって電気光学結晶７の屈折率が電界Ｅの強度に応じて変化する。この状態において、レーザ光Ｌａが電気光学結晶７の表面に入射されると、電気光学結晶７内部を伝搬しているレーザ光Ｌａの偏光状態が変化する。
【０００９】そして、偏光変化を受けたレーザ光Ｌａは、反射鏡８により反射された後、電気光学結晶７の表面から出射され、図示しない受光部に受光される。さらに、受光部の出力信号から偏光状態を把握することにより、信号線２を伝送している被測定信号が検出される。なお、上述した測定原理の詳細については、品川ら：”ＥＯＳによるハンディ型ハイインピーダンスプローブ”、第１５回光波センシング技術研究会 講演論文集 応用物理学会・光波センシング技術研究会、１９９５年５月、ｐｐ．１２３−１２９を参照されたい。
【００１０】図５は、従来のサンプリングオシロスコープに用いられる電気光学プローブの具体的構成を示す概略側面図である。この図において、図４の各部に対応する部分には同一の符号を付けその説明を省略する。図５に示す電気光学プローブ４において、９は、略円筒形状のケースであり、円筒形状の円筒部９ｂと、該円筒部９ｂの一端部にテーパ形状に形成され、かつ軸線に沿って貫通穴が形成された先端部９ａとが一体に形成されている。この先端部９ａには、上述した金属ピン５、絶縁体６、電気光学結晶７および反射鏡８が各々収容されている。
【００１１】１０は、コネクタ１１と図示しないレーザ発生装置との間を接続する偏光保持光ファイバである。上記レーザ発生装置は、直線偏光のレーザ光Ｌａを発生する。また、コネクタ１１は、その出射端１１ａから出射されるレーザ光Ｌａが電気光学結晶７および反射鏡８に対して垂直に入射される位置に配設されている。１２は、コネクタ１１の左方に配設されたコリメートレンズであり、レーザ光Ｌａを平行光に変換する。
【００１２】１３は、コリメートレンズ１２の左方に配設された偏光ビームスプリッタであり、紙面に対して平行なレーザ光Ｌａの偏光成分を直進させるとともに、上記紙面に対して垂直なレーザ光Ｌａの偏光成分を、レーザ光Ｌａの直進方向に対して９０度曲げて直進させる。１４は、偏光ビームスプリッタ１３の左方に配設されたファラデー素子であり、偏光ビームスプリッタ１３を透過したレーザ光Ｌａの偏光を紙面に対して４５度回転させる。
【００１３】１５は、ファラデー素子１４の左方に、結晶軸方位が２２．５度傾くように配設された１／２波長板であり、ファラデー素子１４により回転された偏光を紙面に対して平行にする。１６は、１／２波長板１５の左方に配設された偏光ビームスプリッタであり、偏光ビームスプリッタ１３と同一構成とされている。１７は、偏光ビームスプリッタ１６の左方に配設された波長板であり、偏光ビームスプリッタ１６を透過したレーザ光Ｌａの強度バランスを調整することにより、最終的に得られる電気光学プローブ４の出力信号のＳ／Ｎ(Signal/Noise)比を調整する。
【００１４】１８は、偏光ビームスプリッタ１６の上方に配設された第１のフォトダイオードであり、偏光ビームスプリッタ１６により分岐されたレーザ光Ｌａを第１の検出信号Ｓ1に変換して、これを図示しない差動増幅器へ出力する。１９は、偏光ビームスプリッタ１３の上方に配設された第２のフォトダイオードであり、偏光ビームスプリッタ１３により分岐されたレーザ光Ｌａを第２の検出信号Ｓ2に変換して、これを図示しない差動増幅器へ出力する。
【００１５】上記構成において、図５に示す金属ピン５の先端部が信号線２（図４参照）に当接されると、信号線２を伝送している被測定信号のレベルに応じた電界Ｅが電気光学結晶７と結合される。これにより、電気光学結晶７の屈折率が電界Ｅの強度に応じて変化する。この状態において、図示しないレーザ光発生装置からレーザ光Ｌａが出射されると、該レーザ光Ｌａは、コネクタ１１の出射端１１ａから出射された後、コリメートレンズ１２、偏光ビームスプリッタ１３、ファラデー素子１４、１／２波長板１５、偏光ビームスプリッタ１６および波長板１７を介して電気光学結晶７の表面に入射される。
【００１６】この結果、電気光学結晶７内部を伝搬しているレーザ光Ｌａの偏光状態が変化する。そして、偏光変化を受けたレーザ光Ｌａは、反射鏡８により反射された後、電気光学結晶７の表面から出射され、偏光ビームスプリッタ１６により分岐される。上記分岐された一方のレーザ光Ｌａは、第１のフォトダイオード１８により第１の検出信号Ｓ1に変換され、該第１の検出信号Ｓ1は、差動増幅器へ入力される。
【００１７】また、偏光ビームスプリッタ１６により分岐された他方のレーザ光Ｌａは、偏光ビームスプリッタ１３により第２のフォトダイオード１９方向へ分岐された後、第２のフォトダイオード１９により第２の検出信号Ｓ2に変換される。そして、該第２の検出信号Ｓ2は、差動増幅器に入力される。これにより、差動増幅器においては、第１の検出信号Ｓ1と第２の検出信号Ｓ2とが差動増幅された後、差動増幅された信号が電気光学プローブ４の出力信号としてサンプリングオシロスコープの入力端子に入力される。この結果、サンプリングオシロスコープの表示部には、信号線２を伝送している被測定信号の波形等が表示される。
【００１８】次に、上述したサンプリングオシロスコープに用いられる磁気光学プローブの構成について説明する。この磁気光学プローブの基本的な構成は、図５に示す電気光学プローブ４と同一構成であるが、次の点において電気光学プローブ４の構成と異なる。すなわち、磁気光学プローブにおいては、図５に示す金属ピン５、絶縁体６、電気光学結晶７および反射鏡８に代えて磁気光学結晶および反射鏡が設けられており、かつ先端部９ａに貫通穴が形成されていない。
【００１９】上記磁気光学結晶は、ファラデー効果を利用してレーザ光Ｌａの偏光面を回転させるファラデー素子であり、この磁気光学結晶の裏面には、反射鏡が形成されている。ここで、ファラデー効果とは、磁界中に置かれた磁気光学結晶を透過する光の偏光面が回転する現象をいい、偏光面の回転角θはθ＝ＶＨｌｃｏｓΦで与えられる。ここで、Ｖはヴェルデ定数［ｒａｄ／Ａ］、Ｈは磁界の強さ［Ａ／ｍ］、ｌは磁気光学結晶中を光が伝搬する光路長［ｍ］、Φは光の伝搬方向と磁界とのなす角度［ｒａｄ］である。
【００２０】上記構成において、信号線２（図４参照）に被測定信号が伝送している状態では、信号線２の周囲にはアンペアの法則により磁界が発生している。この状態で磁気光学プローブの先端部９ａ（図５参照）が信号線２に当接されると、上述した磁気光学結晶は、磁界中に置かれる。
【００２１】そして、図示しないレーザ光発生装置からレーザ光Ｌａが出射されると、該レーザ光Ｌａは、コネクタ１１の出射端１１ａから出射された後、コリメートレンズ１２、偏光ビームスプリッタ１３、ファラデー素子１４、１／２波長板１５、偏光ビームスプリッタ１６および波長板１７を介して磁気光学結晶の表面に入射される。
【００２２】この結果、磁気光学結晶内部を伝搬しているレーザ光Ｌａの偏光面が磁界の強さに応じて回転、言い換えればレーザ光Ｌａの偏光状態が変化する。そして、偏光変化を受けたレーザ光Ｌａは、反射鏡８により反射された後、磁気光学結晶の表面から出射され、偏光ビームスプリッタ１６により分岐される。以下、上述した動作を経て、サンプリングオシロスコープの表示部には、信号線２を伝送している被測定信号の波形等が表示される。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のサンプリングオシロスコープにおいては、電気光学効果および磁気光学効果を利用した、２種類の電気光学プローブ４および磁気光学プローブが用いられている。しかしながら、従来のサンプリングオシロスコープにおいては、電気光学プローブ４および磁気光学プローブが２本必要となるため、コストが高いという欠点があった。本発明はこのような背景の下になされたもので、コストを安くすることができるプローブを提供することを目的とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明は、オシロスコープに接続され、被測定信号を検出するプローブにおいて、ケース本体と、前記ケース本体の先端部に着脱可能に構成された第１の先端ケースと、前記第１の先端ケースの内部に設けられ電気光学現象により前記被測定信号を検出する第１の検出手段とを有する電気光学プローブ用アダプタと、前記ケース本体の先端部に着脱可能に構成された第２の先端ケースと、前記第２の先端ケースの内部に設けられ磁気光学現象により前記被測定信号を検出する第２の検出手段とを有する磁気光学プローブ用アダプタとを具備することを特徴とする。また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のプローブにおいて、前記ケース本体の先端部の外周面には、ネジ溝が形成されており、前記第１および第２の先端ケースの内周面には、ネジ溝が形成されており、前記ケース本体と前記第１または第２の先端ケースとは螺合されることを特徴とする。また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のプローブにおいて、前記ケース本体の先端部の外周面、ならびに前記第１および第２の先端ケースの内周面は、滑らかに各々形成されており、前記ケース本体と前記第１または前記第２の先端ケースとは嵌合されることを特徴とする。さらに、請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のプローブにおいて、レーザ光を発生するレーザ光発生手段を具備し、前記第１の検出手段は、前記被測定信号により生じる電界の強度に応じてその屈折率が変化する前記電気光学結晶と、前記電気光学結晶の裏面に形成され前記電気光学結晶を透過したレーザ光を反射する第１の反射鏡とを有しており、該電気光学結晶の中を透過するレーザ光の偏光状態に基づいて前記被測定信号を検出し、前記第２の検出手段は、前記被測定信号により生じる磁界の強度に応じて前記レーザ光の偏光面を回転させる磁気光学結晶と、前記磁気光学結晶の裏面に形成され前記磁気光学結晶を透過した前記レーザ光を反射する第２の反射鏡とを有しており、該磁気光学結晶の中を透過する前記レーザ光の偏光状態に基づいて前記被測定信号を検出することを特徴とする。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態によるプローブを電気光学プローブとして用いた場合の、要部の構成を示す一部裁断断面図である。この図において、２０は、厚肉円筒形状の本体ケースであり、その中空室２０ａに図５に示すコネクタ１１、コリメートレンズ１２、偏光ビームスプリッタ１３、ファラデー素子１４、１／２波長板１５、偏光ビームスプリッタ１６、波長板１７、第１のフォトダイオード１８および第２のフォトダイオード１９を収容してなる。なお、図１においては、波長板１７のみが図示されている。
【００２６】この本体ケース２０の先端部分には、雄ネジ部２０ｂが形成されており、この雄ネジ部２０ｂは、第１の端面２０ｃより軸線方向に突出形成された厚肉円筒形状であって、かつ外周面にネジ溝２０ｄが形成されている。
【００２７】また、上記雄ネジ部２０ｂは、その内径が本体ケース２０の内径と同径であって、かつその外径が本体ケース２０の外径より小径となるように形成されている。すなわち、雄ネジ部２０ｂは、本体ケース２０の内周面２０ｅを軸方向に延長している。さらに、本体ケース２０において、第１の端面２０ｃおよび第２の端面２０ｆは、レーザ光Ｌａ、言い換えれば光軸に対して直交するように形成されている。
【００２８】２１は、本体ケース２０に対して着脱可能に構成された電気光学プローブ用アダプタであり、前述した電気光学効果を利用して被測定信号を検出する電気光学プローブとして、一実施形態によるプローブを使用するときに用いられる。この電気光学プローブ用アダプタ２１は、先端ケース２２、金属ピン２３、絶縁体２４および電気光学結晶２５から構成されている。
【００２９】電気光学プローブ用アダプタ２１において、先端ケース２２は、先端へ行くにしたがって３段階に縮径されてなる厚肉円筒形状の円筒部２２ａと、該円筒部２２ａより軸方向にテーパ状に延長されてなる先端部２２ｂとが一体に形成されてなる。この先端ケース２２の内径は、第１の端面２２ｃから先端部２２ｂへ行くにしたがって、２段階に縮径されている。すなわち、先端ケース２２の内部空間は、第１の端面２２ｃ近傍の第１の中空室２２ｄ、および先端部２２ｂ近傍の第２の中空室２２ｅとされている。
【００３０】また、先端ケース２２の先端部２２ｂの中央部には、軸線に沿って貫通穴２２ｆが形成されている。先端ケース２２において、第１の中空室２２ｄに接する部分は、雌ネジ部２２ｇとされており、この雌ネジ部２２ｇの内周壁には、ネジ溝２２ｈが形成されている。さらに、先端ケース２２は、第１の端面２２ｃ、第１の中空室２２ｄに接する第２の端面２２ｉ、および第２の中空室２２ｅに接する第３の端面２２ｊが、レーザ光Ｌａと直交するように各々形成されている。上述した先端ケース２２の雌ネジ部２２ｇには、本体ケース２０の雄ネジ部２０ｂが螺合されている。この螺合時においては、第１の端面２０ｃと第１の端面２２ｃとが、第２の端面２０ｆと第２の端面２２ｉとが各々当接している。
【００３１】２３は、金属ピン５（図５参照）と同一構成の金属ピンであり、測定時に信号線２（図４参照）に当接される。この金属ピン２３は、テーパ状の先端部が先端部２２ｂの端からわずかに突出するようにして、貫通穴２２ｆに挿入されている。２４は、絶縁体６（図５参照）と同一構成であって、第３の端面２２ｊに接するように第２の中空室２２ｅに設けられた絶縁体であり、円板形状をしている。この絶縁体２４の裏面中央部には、金属ピン２３の端部が取り付けられている。
【００３２】２５は、電気光学結晶７（図５参照）と同一構成であって、第２の中空室２２ｅに設けられた電気光学結晶であり、ＢＳＯ（Ｂｉ12ＳｉＯ20）が円柱形状に形成されてなる。この電気光学結晶２５は、前述したように結合された電界強度に応じて、一次の電気光学変化であるポッケルス効果によりその屈折率が変化するという、光学的性質を有している。
【００３３】２６は、反射鏡８（図５参照）と同一構成の反射鏡であり、電気光学結晶２５の裏面に蒸着された誘電体多層膜ミラーである。この反射鏡２６は、前述したように電気光学結晶２５を透過したレーザ光Ｌａを反射する。さらに、この反射鏡２６の反射面、第１の端面２０ｃ、第１の端面２２ｃ、第２の端面２０ｆおよび第２の端面２２ｉは、各々平行となる位置関係とされている。上記電気光学結晶２５は、反射鏡２６を介して絶縁体２４の表面に接合されている。
【００３４】図２は本発明の一実施形態によるプローブを磁気光学プローブとして用いた場合の、要部の構成を示す一部裁断断面図である。この図において、図１の各部に対応する部分には同一の符号を付けその説明を省略する。図２においては、図１に示す電気光学プローブ用アダプタ２１に代えて、磁気光学プローブ用アダプタ２７が設けられている。
【００３５】磁気光学プローブ用アダプタ２７は、本体ケース２０に対して着脱可能に構成されており、前述した磁気光学効果を利用して被測定信号を検出する磁気光学プローブとして、一実施形態によるプローブを使用するときに用いられる。この磁気光学プローブ用アダプタ２７は、先端ケース２８、磁気光学結晶２９および反射鏡３０から構成されている。
【００３６】磁気光学プローブ用アダプタ２７において、先端ケース２８は、図１に示す先端ケース２２とほぼ同一構成とされているが、図１に示す先端ケース２２の貫通穴２２ｆが形成されていない構成とされている。すなわち、先端ケース２８は、先端へいくにしたがって３段階に縮径されてなる厚肉円筒形状の円筒部２８ａと、該円筒部２８ａより軸方向にテーパ状に延長されてなる先端部２８ｂとが一体に形成されてなる。この先端ケース２８の内径は、第１の端面２８ｃから先端部２８ｂへ行くにしたがって、２段階に縮径されている。すなわち、先端ケース２８の内部空間は、第１の端面２８ｃ近傍の第１の中空室２８ｄ、および先端部２８ｂ近傍の第２の中空室２８ｅとされている。
【００３７】また、先端ケース２８において、第１の中空室２８ｄに接する部分は、雌ネジ部２８ｇとされており、この雌ネジ部２８ｇの内周壁には、ネジ溝２８ｈが形成されている。さらに、先端ケース２８は、第１の端面２８ｃ、第１の中空室２８ｄに接する第２の端面２８ｉ、および第２の中空室２８ｅに接する第３の端面２８ｊが、レーザ光Ｌａと直交するように形成されている。上述した先端ケース２８の雌ネジ部２８ｇには、本体ケース２０の雄ネジ部２０ｂが螺合されている。この螺合時においては、第１の端面２０ｃと第１の端面２８ｃとが、第２の端面２０ｆと第２の端面２８ｉとが各々当接している。
【００３８】磁気光学結晶２９は、前述したファラデー効果を利用してレーザ光Ｌａの偏光面を回転させるファラデー素子（例えば、ＹＩＧ（ｙｔｔｒｉｕｍ ｉｒｏｎ ｇａｒｎｅｔ））であり、この磁気光学結晶２９の裏面には、磁気光学結晶２９を透過したレーザ光Ｌａを反射する反射鏡３０が形成されている。この磁気光学結晶２９は、反射鏡３０が第３の端面２８ｊに接するようにして、第２の中空室２８ｅに設けられている。また、反射鏡３０、第１の端面２０ｃ、第１の端面２８ｃ、第２の端面２０ｆおよび第２の端面２８ｉは、各々平行となる位置関係とされている。
【００３９】上記構成において、一実施形態によるプローブを電気光学プローブとして使用する場合、測定者は、図１に示す本体ケース２０の雄ネジ部２０ｂに、先端ケース２２の雌ネジ部２２ｇを螺合する。これにより、一実施形態によるプローブは、電気光学プローブとして使用することが可能となる。この電気光学プローブの動作については、図４および図５を参照して説明した内容と同一であるためその説明を省略する。
【００４０】また、図１に示す電気光学プローブを磁気光学プローブとして使用する場合、測定者は、図１に示す先端ケース２２をゆるめる方向に回転させることにより、電気光学プローブ用アダプタ２１を本体ケース２０から分離する。次に、測定者は、電気光学プローブ用アダプタ２１に代えて図２に示す磁気光学プローブ用アダプタ２７を把持した後、本体ケース２０の雄ネジ部２０ｂに、先端ケース２８の雌ネジ部２８ｇを螺合する。これにより、一実施形態によるプローブは、磁気光学プローブとして使用することが可能となる。
【００４１】この状態において、測定者は、図３に示す磁気光学プローブを信号線２に対して垂直にした状態で、先端ケース２８の先端部２８ｂを信号線２に当接させる。このとき、信号線２を伝送している被測定信号により、信号線２を中心として同心円状に磁界Ｈが発生しており、該磁界Ｈの一部は、磁気光学結晶２９を透過している。
【００４２】この結果、磁気光学結晶２９内部を伝搬しているレーザ光Ｌａの偏光面が磁界の強さに応じて回転、言い換えればレーザ光Ｌａの偏光状態が変化する。そして、偏光変化を受けたレーザ光Ｌａは、反射鏡３０により反射された後、磁気光学結晶２９の表面から出射される。以下、前述した動作を経て、サンプリングオシロスコープの表示部には、信号線２を伝送している被測定信号の波形等が表示される。
【００４３】以上説明したように、本発明の一実施形態によるプローブによれば、１つの本体ケース２０に、電気光学プローブ用アダプタ２１および磁気光学プローブ用アダプタ２７を着脱自在に取り付け可能な構成としたことにより、１本のプローブで、２種類の検出方法により被測定信号を検出することができる。従って、上述した一実施形態によるプローブによれば、従来のように電気光学プロープおよび磁気光学プローブを２本用意する場合に比して、コストを安くすることができるという効果が得られる。
【００４４】また、上述した一実施形態によるプローブによれば、図１に示す第１の端面２０ｃ、第１の端面２２ｃ、第２の端面２０ｆ、第２の端面２２ｉおよび第３の端面２２ｊが、各々平行となる位置関係とされかつレーザ光Ｌａに対して垂直となる位置関係とされているので、レーザ光Ｌａが常に電気光学結晶２５の入射面および反射鏡２６の反射面に対して垂直に入射される。
【００４５】また、これと同様にして、上述した一実施形態によるプローブによれば、図２に示す第１の端面２０ｃ、第１の端面２８ｃ、第２の端面２０ｆ、第２の端面２８ｉおよび第３の端面２８ｊが、各々平行となる位置関係とされかつレーザ光Ｌａに対して垂直となる位置関係とされているので、レーザ光Ｌａが常に磁気光学結晶２９の入射面および反射鏡３０の反射面に対して垂直に入射される。従って、上述した一実施形態によるプローブによれば、高い精度で被測定信号を検出することができる。
【００４６】以上図面を参照して本発明の一実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこの一実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り設計変更等があっても、本発明に含まれる。例えば、上述した一実施形態によるプローブにおいては、螺合により電気光学プローブ用アダプタ２１または磁気光学プローブ用アダプタ２７を本体ケース２０に着脱可能とした例について説明したが、これに限定されることなく嵌合により着脱可能としてもよい。この場合には、図１に示す雄ネジ部２０ｂの外周面、雌ネジ部２２ｇの内周面、および図２に示す雌ネジ部２８ｇの内周面を滑らかに形成すればよい。
【００４７】さらに、上述した一実施形態によるプローブにおいては、電気光学結晶２５として、ＢＳＯを用いた例について説明したが、これに限定されることなく、上記ＢＳＯに代えてＬＮ（ＬｉＮｂＯ3）、ＣｄＴｅまたはＢＴＯ（Ｂｉ12ＴｉＯ20）を用いてもよい。
【００４８】加えて、上述した一実施形態によるプローブにおいては、先端ケース２８の先端部２８ｂをテーパ状に形成した例について説明したが、これに限定されることなく該先端部２８ｂを平坦に形成してもよい。この場合には、図３に示す信号線２と磁気光学結晶２９との間の距離が短くなるため、測定感度を向上させることができる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、用途に応じてケース本体に電気光学プローブ用アダプタおよび磁気光学プローブ用アダプタを選択的に着脱できる構成としたので、１本のプローブで２種類の検出方法により被測定信号を検出することができる。従って、本発明によれば、従来のように電気光学プロープおよび磁気光学プローブを２本用意する場合に比して、コストを安くすることができるという効果が得られる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
【識別番号】０００００４２２６
【氏名又は名称】日本電信電話株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）１２月１５日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】志賀 正武 （外１１名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−１７４０８８ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）７月２日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−３４５５６９ |
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