| 【発明の名称】 |
ＩＣ試験装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】永田 孝弘
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| 【要約】 |
【課題】ＩＣ試験装置において、被測定デバイスの電源に接続する低周波用コンデンサをＯＮ／ＯＦＦする回路の簡略化。
【解決手段】低周波用コンデンサ１の接続が必要となる高速ＤＵＴの試験ではテストボード上の負荷回路は使用しないため、この負荷回路のために用意されている負荷用電源回路７は使用されないので、低周波用コンデンサ１をＯＮ／ＯＦＦするリレー４を前記負荷用電源回路７のＯＮ／ＯＦＦによって行うことにより回路を簡略化する。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 複数の被測定デバイスの電源端子毎に個別に電源を供給する複数の電源回路と、前記各電源回路に並列に接続された低周波用コンデンサと、該コンデンサ毎に設けられ、接点が該コンデンサにそれぞれ直列に接続されたリレーと、テストボード上の負荷回路のための負荷用電源回路とを具備し、前記負荷用電源回路の電圧によって前記リレーの励磁コイルを駆動することを特徴とするＩＣ試験装置【請求項２】 前記複数のリレーの接点は、前記被測定デバイスの交流試験を行うとき閉成され、前記被測定デバイスの直流試験を行うとき開放されることを特徴とする請求項１に記載のＩＣ試験装置【請求項３】 前記低周波用コンデンサは、電解コンデンサであることを特徴とする請求項１または２に記載のＩＣ試験装置【請求項４】 前記複数の電源回路にそれぞれ並列に小容量の高周波用コンデンサを接続したことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のＩＣ試験装置 |
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣ試験装置の被測定デバイスへの電源供給部分の構成図を図２に示す。この図において、符号１は低周波用コンデンサ、２は高周波用コンデンサ、３は被測定デバイス（以下ＤＵＴと略称する）、４はリレー、５は電源回路、６はリレー駆動回路である。
【０００３】通常、ＤＵＴ３の直流試験を行う場合、低周波用コンデンサ１は大容量であるため漏れ電流が大きいので、測定誤差を生ずることを避けるため前記ＤＵＴ３の電源から切り離し、リレー４はＯＦＦさせた状態で試験をおこない、交流試験をおこなうときのみ、前記ＤＵＴ３に印加される電源の変動による影響を抑えるために前記リレー４をＯＮさせ、前記ＤＵＴ３の電源に前記低周波用コンデンサ１を接続した状態で試験をおこなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の方法では、通常ＤＵＴの交流試験を行う場合と、直流試験をおこなう場合とで、低周波用コンデンサに接続されたリレーをＯＮ／ＯＦＦさせることにより、交流試験を行うときは電源に低周波用コンデンサが接続された状態とし、直流試験を行うときは電源に低周波用コンデンサが接続されない状態として試験を行っている。
【０００５】ところで、リレー４のＯＮ／ＯＦＦの制御は、リレー駆動回路５でおこなっているが、一つのＤＵＴ毎に一つのリレーを設けているため、数十個のＤＵＴの試験を同時に行うとき、ＩＣ試験装置全体ではリレーの数は数十個にもなり、リレー駆動回路もその数だけ必要になり、回路規模が膨大なものになってしまうということが課題となっていた。
【０００６】この発明は上記の課題を解決するためになされたもので、リレーを駆動する駆動回路を用意しなくても、リレーをＯＮ／ＯＦＦでき、低周波用コンデンサのＯＮ／ＯＦＦを行うことができ、装置を簡略化できるＩＣ試験装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するために、この発明の請求項１は、複数の被測定デバイスの電源端子毎に個別に電源を供給する複数の電源回路と、前記各電源回路に並列に接続された低周波用コンデンサと、該コンデンサ毎に設けられ、接点が該コンデンサにそれぞれ直列に接続されたリレーと、テストボード上の負荷回路のための負荷用電源回路とを具備し、前記負荷用電源回路の電圧によって前記リレーの励磁コイルを駆動することを特徴とするＩＣ試験装置を提供する。
【０００８】請求項２に記載の発明は、前記複数のリレーの接点が、前記被測定デバイスの交流試験を行うとき閉成され、前記被測定デバイスの直流試験を行うとき開放されることを特徴とする請求項１に記載のＩＣ試験装置を提供する。
【０００９】請求項３に記載の発明は、前記低周波用コンデンサが、電解コンデンサであることを特徴とする請求項１または２に記載のＩＣ試験装置を提供する。
【００１０】請求項４に記載の発明は、前記複数の電源回路にそれぞれ並列に小容量の高周波用コンデンサを接続したことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のＩＣ試験装置を提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態について、図を参照しながら説明する。図１はこの発明の一実施形態によるＩＣ試験装置の電源供給部分の構成を示すブロック図である。この図において、符号１は交流試験のとき電源の電圧変動を抑えるため電源に並列に接続される低周波用コンデンサ、２は電源の高周波ノイズをカットするため電源に並列に接続された高周波用コンデンサ、３は被測定デバイス（以下ＤＵＴと略称する）、４は前記低周波コンデンサ１をＯＮ／ＯＦＦするためのリレーである。この符号１から４の構成がＤＵＴの数だけ用意され、同時に試験を行うことができる。
【００１２】符号５は電源回路であり、この電源回路５によって前記ＤＵＴ３の電源端子に電源が供給される。また、符号７はテストボード上の負荷回路を接続するとき使用される負荷用電源回路である。しかしながら、前記低周波用コンデンサ１を電源５に接続することが必要となる高速ＤＵＴを試験する場合は前記負荷回路は使用しないため、前記電源回路７は未使用となっている。
【００１３】通常、ＤＵＴ３の直流試験を行う場合、低周波用コンデンサ１は大容量であるため漏れ電流が大きいので、測定誤差を避けるため前記ＤＵＴ３の電源から切り離し、リレー４はＯＦＦさせた状態で前記ＤＵＴ３に電源を供給し、試験をおこなう。また、交流試験をおこなう場合、前記ＤＵＴ３に与えられる電源電圧の変動による影響を抑えるために、前記リレー４をＯＮさせて前記低周波用コンデンサ１を接続させた状態で前記ＤＵＴ３に電源を供給し、試験をおこなう。
【００１４】このとき、前記リレー４のＯＮ／ＯＦＦ制御は、もう一つの電源回路である未使用の負荷用電源回路７によっておこなうが、この方式の動作について具体的に説明する。通常、ＩＣ試験装置は複数の電源回路を備えており、ＤＵＴ用の電源回路５の他にＤＵＴを搭載しているテストボード上の負荷回路用として、プログラムにより任意にＯＮ／ＯＦＦすることができる負荷用電源回路７が用意されている。
【００１５】しかし、本条件のように前記低周波用コンデンサ１を電源に接続して試験するような高速ＤＵＴを試験する場合、テストボード上の負荷回路は使用しないため、前記負荷用電源７は未使用となっている。この未使用の負荷用電源７を前記リレー４の駆動コイルに接続し、前記負荷用電源７のプログラムによるＯＮ／ＯＦＦ制御によって、前記リレー４のＯＮ／ＯＦＦ制御をおこなうことができ、前記低周波用コンデンサ１のＯＮ／ＯＦＦを行うことができる。このリレー駆動方法により、個別のリレー駆動回路は不要となる。
【００１６】以上、本発明の一実施形態の動作を図面を参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
【００１７】
【発明の効果】これまでに説明したように、この発明によれば、ＩＣ試験装置において負荷用電源回路のＯＮ／ＯＦＦによってリレーのＯＮ／ＯＦＦを行い、低周波用コンデンサのＯＮ／ＯＦＦ制御を行うようにしたので、ＤＵＴの交流試験をする場合と、直流試験をおこなう場合とで、リレーを駆動させるための回路を用意しなくても、リレーをＯＮ／ＯＦＦさせ、低周波用コンデンサのＯＮ／ＯＦＦを行うことができるという効果が得られる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）１１月２８日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】志賀 正武 （外１１名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−１６０３８８ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）６月１８日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−３２９３４５ |
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