| 【発明の名称】 |
ＩＣ試験装置、ＩＣ試験方法及び記憶媒体 |
| 【発明者】 |
【氏名】中村 公亮
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| 【要約】 |
【課題】異常なパラメータが入力された際に該パラメータを検出することが可能であり、かつ、ＩＣ試験実行のためのアプリケーションプログラムにおいて重複した処理を省いて効率化とコストダウンを図ることが可能なＩＣ試験装置、ＩＣ試験方法及び記憶媒体を提供すること。
【解決手段】制御／処理装置９は、入力装置３によって入力された測定値を解析して、被測定デバイスが処理することが可能な有効値か、あるいは異常値かを判断して、設定装置７に対して該判断の結果を出力し、また、有効な測定値であった場合には測定値を更新して、この測定値に基づいてＩＣ試験装置５によって被測定デバイスの試験が行われる。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】試験用パラメータを入力するための入力手段と、この入力手段によって入力された前記試験用パラメータに基づいて試験信号を生成する試験信号生成手段と、この試験信号生成手段によって生成された試験信号を被試験デバイスに対して出力し、該被試験デバイスに処理を実行させる試験手段と、この試験手段によって前記被試験デバイスに処理を実行させて得られた結果を判定する判定手段と、を備えるＩＣ試験装置において、前記試験用パラメータが、前記被試験デバイスが正常に動作可能な範囲を逸脱した異常値であるか否かを判断する異常値検出手段を独立して備えること、を特徴とするＩＣ試験装置。
【請求項２】前記異常値検出手段は、異常値でないと判断した前記パラメータのみを前記信号生成手段に出力し、前記試験信号生成手段は、前記異常値検出手段によって異常値でないと判断された前記試験用パラメータのみに基づいて前記試験信号を生成すること、を特徴とする請求項１記載のＩＣ試験装置。
【請求項３】入力される試験用パラメータをもとに試験信号を生成し、この試験信号を被試験デバイスに出力して、該試験信号に基づいて前記被試験デバイスに処理を実行させることによって得られた結果を判定して前記被試験デバイスの試験を行うＩＣ試験方法において、前記試験用パラメータが、前記被測定デバイスが正常に動作可能な範囲に適合しない異常値か否かを判断する異常値検出処理を、独立して実行すること、を特徴とするＩＣ試験方法。
【請求項４】前記試験信号は、前記異常値検出処理によって異常値でないと判断された前記試験用パラメータのみに基づいて生成されること、を特徴とする請求項３記載のＩＣ試験方法。
【請求項５】試験用パラメータを入力するためのコンピュータが実行可能なプログラムコードと、入力された前記試験用パラメータに基づいて試験信号を生成するコンピュータが実行可能なプログラムコードと、生成された試験信号を被試験デバイスに対して出力し、該被試験デバイスに処理を実行させるコンピュータが実行可能なプログラムコードと、前記被試験デバイスに処理を実行させて得られた結果を判定するコンピュータが実行可能なプログラムコードと、を含む第１のプログラムを格納した記憶媒体であって、前記試験用パラメータが、前記被試験デバイスが正常に動作可能な範囲を逸脱した異常値であるか否かを判断するコンピュータが実行可能なプログラムコードを含む第２のプログラムをさらに格納することを特徴とする記憶媒体。
【請求項６】前記第１のプログラムは、前記第２のプログラムをコンピュータによって実行して得られた結果を示すデータを読み込むコンピュータが実行可能なプログラムコードをさらに含むこと、を特徴とする請求項５記載の記憶媒体。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路を試験するＩＣ試験方法に係り、詳細には、被測定デバイスの試験時に被測定デバイスに対して入力される試験用パラメータの誤りを検出するＩＣ試験方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年様々な電子機器に用いられる回路のＩＣ（Integrated Circuit）化が急速に進められてきた。ＩＣ、ＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit）等は、抵抗や、コンデンサ、トランジスタ等の各素子の働きを、印刷、蒸着等の方法により形成した回路によって実現するが、大量生産されるそれぞれの製品間には多少の特性のばらつきが生じる。そこで、このようなＩＣやＬＳＩの特性が規格を満たしているか否かを判断するために試験が行われる。
【０００３】一般に、ＩＣの試験においては、試験対象である被試験デバイスに実際に処理を実行させ、処理結果を参照することによって、異常動作の有無を判断する方法が用いられる。この方法においては、正常に処理された後の結果が既に明らかになっているパラメータを被試験デバイスに入力して処理を実行させ、得られた結果を、正常動作による結果と照会することによって、異常動作の有無が判明する。また、入力されるパラメータは、例えば、処理速度の測定や誤動作発生率等、試験の目的によって異なり、被試験デバイスの種類によっても異なるパラメータが使い分けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のＩＣ試験のために入力されるパラメータは、試験を行う作業者が試験の度に入力しているため、入力ミスによって異常なパラメータを入力してしまうことがあった。この場合、被測定デバイスが正常であるか否かを判断することができず、かえって異常動作を招くことがあった。
【０００５】そこで従来は、ＩＣ試験を実行するためのアプリケーションプログラムにおいて、異常なパラメータの検出を行う機能を付与していた。即ち、上述のような様々な試験を行うために、ＩＣ試験装置においては試験目的毎に対応するアプリケーションプログラムが実行される。このアプリケーションプログラムに、異常なパラメータを検出する機能を持たせることによって、異常なパラメータをもとに試験が実行されないようにしていた。
【０００６】図５は、従来のＩＣ試験装置において実行されるアプリケーションプログラムに含まれる異常値検出処理を示すフローチャートである。この図５に示すように、試験用パラメータとしての測定値が入力されると（ステップＳ２１）、この測定値を解析して（ステップＳ２２）、有効な測定値か、あるいは不適切な異常値かを判断する（ステップＳ２３）。
【０００７】判断の結果、入力された測定値が有効であれば新たな測定値として更新処理を行い（ステップＳ２４）、不適切な異常値であればエラー表示を行う（ステップＳ２５）。
【０００８】ところが、ＩＣ試験のための全てのアプリケーションプログラムに上記のような処理を含ませると、各アプリケーションプログラムのサイズが拡大し、ＩＣ試験装置に備えられる記憶媒体等を対応させるためにコストが増大するという問題があった。また、各アプリケーションプログラムの開発作業が複雑化してしまうという問題があった。さらに、複数のアプリケーションプログラムがそれぞれ同じ処理を含むことは効率が悪かった。
【０００９】この発明は、上記問題点を解決するため、異常なパラメータが入力された際に該パラメータを検出することが可能であり、かつ、ＩＣ試験実行のためのアプリケーションプログラムにおいて重複した処理を省いて効率化とコストダウンを図ることが可能なＩＣ試験装置、ＩＣ試験方法及び記憶媒体を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、試験用パラメータを入力するための入力手段と、この入力手段によって入力された前記試験用パラメータに基づいて試験信号を生成する試験信号生成手段と、この試験信号生成手段によって生成された試験信号を被試験デバイスに対して出力し、該被試験デバイスに処理を実行させる試験手段と、この試験手段によって前記被試験デバイスに処理を実行させて得られた結果を判定する判定手段と、を備えるＩＣ試験装置において、前記試験用パラメータが、前記被試験デバイスが正常に動作可能な範囲を逸脱した異常値であるか否かを判断する異常値検出手段を独立して備えること、を特徴としている。
【００１１】この請求項１記載の発明によれば、入力手段により、試験用パラメータが入力され、試験信号生成手段により、入力された前記試験用パラメータに基づいて試験信号を生成し、試験手段により、生成された試験信号を被試験デバイスに対して出力し、該被試験デバイスに処理を実行させ、判定手段により、被試験デバイスに処理を実行させて得られた結果を判定するＩＣ試験装置において、独立して備えた異常値検出手段により、試験用パラメータが、前記被試験デバイスが正常に動作可能な範囲を逸脱した異常値であるか否かを判断する。
【００１２】請求項３記載の発明は、入力される試験用パラメータをもとに試験信号を生成し、この試験信号を被試験デバイスに出力して、該試験信号に基づいて前記被試験デバイスに処理を実行させることによって得られた結果を判定して前記被試験デバイスの試験を行うＩＣ試験方法において、前記試験用パラメータが、前記被測定デバイスが正常に動作可能な範囲に適合しない異常値か否かを判断する異常値検出処理を、独立して実行すること、を特徴としている。
【００１３】この請求項３記載の発明によれば、入力される試験用パラメータをもとに試験信号を生成し、この試験信号を被試験デバイスに出力して、この試験信号に基づいて被試験デバイスに処理を実行させることによって得られた結果を判定して被試験デバイスの試験を行うＩＣ試験方法において、試験用パラメータが、被測定デバイスが正常に動作可能な範囲に適合しない異常値か否かを判断する異常値検出処理を、独立して実行する。
【００１４】請求項５記載の発明は、試験用パラメータを入力するためのコンピュータが実行可能なプログラムコードと、入力された前記試験用パラメータに基づいて試験信号を生成するコンピュータが実行可能なプログラムコードと、生成された試験信号を被試験デバイスに対して出力し、該被試験デバイスに処理を実行させるコンピュータが実行可能なプログラムコードと、前記被試験デバイスに処理を実行させて得られた結果を判定するコンピュータが実行可能なプログラムコードと、を含む第１のプログラムを格納した記憶媒体であって、前記試験用パラメータが、前記被試験デバイスが正常に動作可能な範囲を逸脱した異常値であるか否かを判断するコンピュータが実行可能なプログラムコードを含む第２のプログラムをさらに格納することを特徴としている。
【００１５】この請求項５記載の発明によれば、試験用パラメータを入力するためのコンピュータが実行可能なプログラムコードと、入力された試験用パラメータに基づいて試験信号を生成するコンピュータが実行可能なプログラムコードと、生成された試験信号を被試験デバイスに対して出力し、該被試験デバイスに処理を実行させるコンピュータが実行可能なプログラムコードと、被試験デバイスに処理を実行させて得られた結果を判定するコンピュータが実行可能なプログラムコードと、を含む第１のプログラムを格納した記憶媒体であって、試験用パラメータが、被試験デバイスが正常に動作可能な範囲を逸脱した異常値であるか否かを判断するコンピュータが実行可能なプログラムコードを含む第２のプログラムをさらに格納する。
【００１６】従って、試験用パラメータが異常な値であるか否かを判断する処理を独立して実行させることができるので、例えば、試験の種類や被測定デバイスの種類に応じて設定を行うための設定用アプリケーションプログラムに試験用パラメータを判定する処理を盛り込む必要がなく、従来の設定用アプリケーションプログラムから重複する処理を省くことができる。これによって、該アプリケーションプログラムの開発作業、及び該アプリケーションプログラムを実行させる機器等において効率化とコストダウンを図ることができる。
【００１７】請求項２記載の発明は、請求項１記載のＩＣ試験装置において、前記異常値検出手段は、異常値でないと判断した前記パラメータのみを前記信号生成手段に出力し、前記試験信号生成手段は、前記異常値検出手段によって異常値でないと判断された前記試験用パラメータのみに基づいて前記試験信号を生成すること、を特徴としている。
【００１８】この請求項２記載の発明によれば、請求項１記載のＩＣ試験装置において、異常値検出手段は、異常値でないと判断したパラメータのみを信号生成手段に出力し、試験信号生成手段は、異常値検出手段によって異常値でないと判断された試験用パラメータのみに基づいて試験信号を生成する。
【００１９】請求項４記載の発明は、請求項３記載のＩＣ試験方法において、前記試験信号は、前記異常値検出処理によって異常値でないと判断された前記試験用パラメータのみに基づいて生成されること、を特徴としている。
【００２０】この請求項４記載の発明によれば、請求項３記載のＩＣ試験方法において、試験信号は、異常値検出処理によって異常値でないと判断された前記試験用パラメータのみに基づいて生成される。
【００２１】従って、試験信号生成手段において、異常な値の試験用パラメータをもとに試験信号の生成を試みるという無駄な処理を未然に防ぐことができる。これによって、処理速度の向上をはじめとして、より一層の効率化を図ることができる。
【００２２】請求項６記載の発明は、請求項５記載の記憶媒体であって、前記第１のプログラムは、前記第２のプログラムをコンピュータによって実行して得られた結果を示すデータを読み込むコンピュータが実行可能なプログラムコードをさらに含むこと、を特徴としている。
【００２３】この請求項６記載の発明によれば、請求項５記載の記憶媒体において、第１のプログラムは、第２のプログラムをコンピュータによって実行して得られた結果を示すデータを読み込むコンピュータが実行可能なプログラムコードをさらに含む。
【００２４】従って、試験用パラメータが異常値であるか否かを判断する判断処理を独立して実行させることによって効率化を図り、且つ、他の処理を実行させる際に、該判断処理の結果に基づいて実行させることができるので、より迅速に対応することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態について、図１〜図４の図面を参照しながら説明する。
【００２６】まず、構成を説明する。
【００２７】図１は、本発明の実施の形態としてのＩＣ試験システムの構成を示すブロック図である。この図１において、ＩＣ試験システム１は、制御／処理部２、入力装置３、出力装置４、ＩＣ試験装置５によって構成され、制御／処理部２は、さらにプログラム記憶装置６、設定装置７、通信管理装置８、制御／処理装置９より構成されている。
【００２８】入力装置３、出力装置４はそれぞれ設定装置７に接続され、設定装置７と通信管理装置８との間、通信管理装置８と制御／処理装置９との間及び制御／処理装置９とＩＣ試験装置５との間は、互いにデータ等の伝達が可能に接続されている。
【００２９】また、制御／処理部２内に設けられた設定装置７、通信管理装置８、制御／処理装置９の各部は、それぞれプログラム記憶装置６と接続され、６内に格納された各種プログラムを読み込んで実行することができる。
【００３０】入力装置３は、カーソルキー、数字入力キーおよび各種機能キーを備えたキーボード等によってなり、試験用パラメータである測定値や、各種データを入力する際に各キーが押下されると、該キーの押下信号を設定装置７に対して出力する。尚、この入力装置３は、マウス等のポインティングデバイス（Pointing Device ）を備える構成としても良い。
【００３１】出力装置４は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）によって構成される表示画面を有し、設定装置７から入力される表示信号に従って、表示画面上に測定値等を表示する。
【００３２】ＩＣ試験装置５は、試験対象である被試験デバイス（図示省略）に接続されて、制御／処理部２から入力される測定値をもとに試験信号を生成して、被測定デバイスに対して出力し、この試験信号に基づいて処理を実行させる。そして、この処理によって被試験デバイスが出力する処理結果を検知して、この処理結果の値をもとに各被試験デバイスの性能を判断することによって各被試験デバイスの試験を行う。また、この被試験デバイスの試験の結果を制御／処理部２を介して出力装置４に伝達し、表示画面上に表示させる。
【００３３】設定装置７は、プログラム記憶装置６内に格納されたアプリケーションプログラムを読み込んで実行し、ＩＣ試験装置５によって実行される被試験デバイスの試験のための各種設定を、試験の目的や被測定デバイスの種類毎に実行する。また、入力装置３から入力される測定値を通信管理装置８を介して制御／処理装置９に伝達し、制御／処理装置９によって該測定値が有効な値であるか、異常値であるか判断された結果が入力されると、測定値あるいは測定値エラー表示を表示するための表示情報を生成して４に出力し、表示画面上に出力する。
【００３４】通信管理装置８は、プログラム記憶装置６内に格納された通信管理プログラムを読み込んで実行し、例えば１個の測定値が設定装置７を介して入力され、その処理を実行している最中に他の指示や測定値が入力された場合や、設定装置７がプログラム記憶装置６から読み込んだ複数のアプリケーションプログラムによって複数の設定に関するデータが入力された場合などに、これらの各データの伝達を制御して、ＩＣ試験装置５の誤動作を防止する。
【００３５】制御／処理装置９は、プログラム記憶装置６内に格納される制御／処理プログラムを読み込んで実行し、入力装置３によって入力された測定値について、有効な値であるか、あるいはＩＣ試験装置５に接続された被試験デバイス（図示省略）の処理可能範囲から逸脱した異常値であるかを判断し、この判断の結果を通信管理装置８を介して設定装置７に出力する。
【００３６】プログラム記憶装置６は、磁気的、光学的記録媒体、若しくは半導体メモリで構成される記憶媒体を有しており、この記憶媒体はプログラム記憶装置６に固定的に設けたもの、若しくは着脱自在に装着するものであり、図２に示すように、各種プログラム等を格納する。
【００３７】図２は、プログラム記憶装置６の内部構成を模式的に示す図である。同図に示すように、プログラム記憶装置６は、設定装置７、通信管理装置８、制御／処理装置９によって実行されるべき各種アプリケーションプログラムや通信管理プログラム、制御／処理プログラム等の各種プログラムを格納し、設定装置７、通信管理装置８、制御／処理装置９から入力される読み出し信号に従って、各種プログラムを出力する。
【００３８】次に、動作を説明する。
【００３９】図３は、設定装置７によって実行される測定値入力処理を示すフローチャートである。
【００４０】まず、入力装置３から測定値が入力されたことを検知すると（ステップＳ１）、この測定値を新しい測定値として設定するよう要求する測定値更新要求を通信管理装置８を介し、制御／処理装置９に対して出力する（ステップＳ２）。
【００４１】制御／処理装置９に対して出力した測定値が有効な値であるか、あるいは試験に用いることのできない異常値であるかを制御／処理装置９が判断し、その結果が制御／処理装置９から通知されると（ステップＳ３）、該通知の内容を参照し（ステップＳ４）、測定値が有効である旨の通知であれば、表示画面上に測定値を表示させ（ステップＳ５）、測定値が異常値である旨の通知であった場合には、測定値エラー表示を表示画面上に表示させる（ステップＳ６）。
【００４２】図４は、制御／処理装置９によって実行される測定値判断処理を示すフローチャートである。
【００４３】制御／処理装置９は、設定装置７から測定値更新要求が送信されると（ステップＳ２）、ステップＳ１１においてこの測定値更新要求を検知し、ステップＳ１２に移行して該測定値を解析し、ステップＳ１３において、該測定値が有効値であるか、あるいは異常値であるかを判断する。
【００４４】ステップＳ１３における判断の結果、入力された測定値が有効値であった場合には、ステップＳ１４に移行して、測定値を新たに入力された測定値に更新し、ステップＳ１５に移行して、設定装置７に対して測定値更新通知を出力する。
【００４５】また、ステップＳ１３において、入力された測定値が異常値であると判断された場合には、ステップＳ１６に移行して、設定装置７に対し、測定値エラー通知を出力する。
【００４６】以上のように、本発明の実施の形態であるＩＣ試験システム１によれば、入力装置３から入力される試験用パラメータである測定値が、被試験デバイス（図示省略）の処理可能範囲を逸脱した異常値である場合には、制御／処理装置９によって異常値であることを判断して、測定値の更新を実行せず、出力装置４によって測定値エラー表示を行うので、ＩＣ試験装置５に対して異常な測定値が伝達されることを防止することができる。また、設定装置７は、測定値の判断処理を実行しないので、設定装置７によって実行される各種アプリケーションプログラムは測定値判断処理を含む必要がない。これによって、制御／処理装置９以外の装置によって実行されるプログラムにおいては測定値判断処理を省略することができる。
【００４７】尚、上記の実施の形態においては、設定装置７を、各種試験のための設定を、試験の目的や被測定デバイスの種類毎に実行する構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。また、ＩＣ試験システム１においては、測定値や各種データを記憶する記憶装置をさらに設けても良いし、出力装置として印刷装置を備えても良く、その他の細部構成についても、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００４８】
【発明の効果】請求項１、３及び５記載の発明によれば、試験用パラメータが異常な値であるか否かを判断する処理を独立して実行させることができるので、例えば、試験の種類や被測定デバイスの種類に応じて設定を行うための設定用アプリケーションプログラムに試験用パラメータを判定する処理を盛り込む必要がなく、従来の設定用アプリケーションプログラムから重複する処理を省くことができる。これによって、該アプリケーションプログラムの開発作業、及び該アプリケーションプログラムを実行させる機器等において効率化とコストダウンを図ることができる。
【００４９】請求項２及び４記載の発明によれば、試験信号生成手段において、異常な値の試験用パラメータをもとに試験信号の生成を試みるという無駄な処理を未然に防ぐことができる。これによって、処理速度の向上をはじめとして、より一層の効率化を図ることができる。
【００５０】請求項６記載の発明によれば、試験用パラメータが異常値であるか否かを判断する判断処理を独立して実行させることによって効率化を図り、且つ、他の処理を実行させる際に、該判断処理の結果に基づいて実行させることができるので、試験用パラメータが異常値であっても、より迅速に対応することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）１１月２６日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 博司 （外１名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−１６０３８７ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）６月１８日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−３２４８９２ |
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