半導体装置のテストシステム

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【発明の名称】	半導体装置のテストシステム
【発明者】	【氏名】木田智之
【要約】	【課題】複数ロット、複数品種を複数のテスタにまたがって仕掛けることを可能とする機構・構成を行うことによって稼働ロスを低減させる半導体装置のテストシステムの提供。【解決手段】複数ロット、複数品種を複数のテスタにまたがって仕掛ける為の集合型ローダー１０５、アンローダー１０６と、個々がユニークの認識番号を有するパレットと、パレット搬送部１０４と、個々のパレットを認識・管理する為のバーコード及びバーコードリーダと、全情報を集中管理する為のホストコンピュータ１０９とネットワークを有している。

【特許請求の範囲】
【請求項１】半導体装置の電気特性試験を行うための複数のテスタと、前記各テスタに接続され、前記テスタが有する複数のテストヘッドに対して半導体装置の電気的接触を図る複数のハンドラ機構であって、各々がユニークの認識番号を有するハンドラ機構と、複数の前記ハンドラ機構を連結し、複数のロットを複数の前記ハンドラ機構及び複数の前記テスタに対して供給搬送する搬送機構と、複数個の半導体装置を一つの単位として該搬送機構中を搬送する複数のパレットであって、各々がユニークな認識番号を有するパレットと、前記電気特性試験の前後にある半導体装置の製造工程と電気特性試験を行う工程間の半導体装置の移送を行うための複数の工程間トレーと、前記工程間トレーから前記パレットへ半導体装置を移載し、前記ハンドラ機構からの配送要求に基づいて、移載後のパレットを前記移送機構へ送り出すローダ機構と、前記搬送機構から送られてくる、前記ハンドラ機構及び前記テスタによって電気特性試験の実施を完了した複数の半導体装置を載せた前記パレットを収納し、更に、前記ホストコンピュータから受理する電気特性試験結果に基づいて前記工程間トレーに該半導体装置を分類しながら移載するアンローダ機構と、半導体装置毎に、電気特性試験を行う過程で関与したハンドラ認識番号、パレット認識番号及び電気特性試験結果情報を、前記ハンドラ機構、前記ローダ機構及びテスタから収集し、収集した情報を前記アンローダにアップロードするネットワーク及びホストコンピュータを備え、前記ホストコンピュータは、前記複数のハンドラ機構、及び前記複数のテスタから前記ネートワークを介して収集した個別情報をパレット認識番号に基づいてロット単位の情報に再構築し、前記ホストコンピュータに対し前記パレット認識番号と前記ロットの因果関係を定義する制御端末と、前記パレット認識番号を読み取って前記ハンドラ機構、ローダ機構、アンローダ機構に伝達する認識機構と、を有することを特徴とする半導体装置のテストシステム。
【請求項２】複数のテスタがネットワーク接続されてホストコンピュータと接続し、前記テスタは１又は複数のテストヘッドを備え、前記テストヘッドにはハンドラが接続し、前記複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数の前記ハンドラ及び複数の前記テスタに対して供給搬送する搬送手段と、複数個の半導体装置を一つの単位とし前記搬送手段にて搬送される、ユニークな認識情報（ＩＤ）が付加されたパレットと、前記電気特性試験の前後にある半導体装置の製造工程と電気特性試験を行う工程間の半導体装置の移送を行うための工程間トレーから前記パレットへ半導体装置を移載し、前記ハンドラからの配送要求に基づいて、移載後のパレットを前記搬送手段へ送り出すローダと、前記搬送手段から送られてくる、前記ハンドラ及び前記テスタによって電気特性試験の完了した複数の半導体装置を載せた前記パレットを収納し、前記ホストコンピュータから受理する電気特性試験結果に基づいて前記工程間トレーに前記半導体装置を分類しながら移載するアンローダと、を備え、パレットＩＤ情報を認識し、該パレットＩＤ情報、ロット情報、テスタ、ハンドラ、テストプログラムの情報を前記ホストコンピュータで一元管理し、前記複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数の前記ハンドラ及び複数の前記テスタに対して供給搬送する前記搬送手段での前記パレットの搬送を制御することにより、複数ロット、複数品種を仕掛けることができるようにしたことを特徴とするテストシステム。
【請求項３】複数のテスタがネットワーク接続されてホストコンピュータと接続し、前記テスタは１又は複数のテストヘッドを備え、前記テストヘッドにはハンドラが接続し、ローダ機構、アンローダ機構が前記複数のハンドラ及びテスタにまたがって接続し、全てのパレットにＩＤ情報を付加し、パレットＩＤ情報、ロット情報、テスタ、ハンドラ、テストプログラムの情報を前記ホストコンピュータで一元管理し、前記複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数の前記ハンドラ及び複数の前記テスタに対して供給搬送する搬送手段での前記パレットの搬送を制御することにより、複数ロット、複数品種を仕掛けることができるようにしたことを特徴とするテストシステム。

【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置のテストシステムに関し、特に、複数台のテスタを用いて１つ又は複数のロットとして構成された複数の半導体装置の電気特性試験を行うテストシステムに関する。本発明は、異なる種類の半導体装置から構成される複数の異種ロットを、複数のテスタを用いて電気特性試験を行うテストシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣテスト装置として、例えば特開平５－２６９５９号公報には、テスタの同時測定個数が増えてもテストヘッドおよびハンドラ本体の設計の必要がないＩＣテスト装置の構成が提案されている。
【０００３】図１４は、上記特開平５－２６９５９号公報に提案されるＩＣテスト装置の構成を説明するための図である。図１９は、ＩＣテスト装置のテストヘッドの要部を拡大して示した斜視図である。
【０００４】図１４において、６０１はＩＣの電気特性試験をするテスタ、６０２はテスタ６０１にケーブル６０３を通じて電気的に接続されているテストヘッド、６０７はテストヘッド６０２が接続され複数台並列に列設されたハンドラ本体、６０８は電気特性試験前のＩＣが入ったパレット６０４を投入するローダ部、６０９はこのローダ部６０８から供給されたパレット６０４をそれぞれのハンドラ本体６０７へ搬送するためのパレット搬送部、６１０はそれぞれのハンドラ本体６０７から排出され、パレット搬送部６０９により送られてきた電気特性試験後のＩＣ入りパレット６０４を収納するアンローダ、６０４は装置内でＩＣを運搬する単位となるパレット、６０５は他の装置と当該装置の間でＩＣ４０１を運搬する単位となる工程間トレーである。
【０００５】また図１９において、４０２は電気特性試験の際、ＩＣ４０１を挿入・保持する測定用ソケットであり、４０３はこのソケット４０２を複数個実装し、これらに対してテストヘッド６０２との電気的接続を図るテストボードである。
【０００６】先ず、ＩＣ４０１のシステム内での流れと装置各部の動作について、図１４及び図１９を参照して説明する。
【０００７】電気特性試験前のＩＣ４０１が収納された工程間トレー６０５が投入されたローダ部６０８では、最初に、この工程間トレー６０５から当該装置専用のパレット６０４にＩＣ４０１の移載され、その後このパレット６０４がパレット搬送部６０９へ供給される。ここでセットされる工程間トレーは１ロット分である。
【０００８】パレット搬送部６０９は、順次、パレット６０４をそれぞれのハンドラ本体６０７へ供給する。それぞれのハンドラ本体６０７内ではパレット６０４内のＩＣ４０１がテストヘッド６０２上に固定されたテストボード４０３に電気的に接続され、ケーブル６０３を通じてテスタ６０１により電気的内容がテストされる。
【０００９】そして電気特性試験後のＩＣ入りパレット６０４は、ハンドラ本体６０７よりパレット搬送部６０９へ排出され、アンローダ部６１０へ送られて収納される。
【００１０】アンローダ部６１０内において、各々のパレット６０４に一端収納された電気特性試験後のＩＣ４０１は、それぞれを処理した一意に決定できるハンドラ６０７から伝達された良否情報及びカテゴリ機構（以下この２種類のデータを「テスト結果情報」と称す）に基づいて、不良品及び各カテゴリ毎に用意された工程間トレー６０５に分類収納される。
【００１１】以上はテスタ６０１における一回分の電気特性試験に関するＩＣ４０１の流れ及び各部の動作説明であり、ローダ６０８内のパレット６０４をすべて試験し、アンローダ部６１０に収納するまで繰り返される。
【００１２】次に、上述した動作を実現するための処理フローについて説明する。図１５乃至図１８は、その処理フローの詳細を説明するための図である。なお、上記特開平５－２６９５９号公報には、図１５乃至図１８に示す処理フローは開示されていないが、図１４に示したＩＣテスト装置を、実際のテスト工程で機能させるために必要と判断された処理フローを示したものである。
【００１３】・ステップ７００～７０５は、人手作業による装置各部（ローダ部６０８、テスタ６０１）の準備作業手順、・ステップ７１０～７２０は、ローダ部６０８内部におけるパレット６０４の切り出し及び各ハンドラ６０７への供給動作に関わる制御手順、・ステップ７３０及び７４０～７４２は、パレット搬送部６０９及び各ハンドラ６０７におけるパレット６０４及びＩＣ４０１ハンドリング動作手順、・ステップ７６０～７６６は、テスタ６０１内部における電気特性試験とハンドラ６０７に対する情報発信迄の制御手順、・ステップ７７０～７７８は、電気特性試験終了後のＩＣ４０１をテストヘッド６０２から回収し、次の未測定パレット６０４を配膳してもらうための情報発信迄の制御手順、・ステップ７８０は、パレット搬送部６０９におけるパレット６０４の回収及びアンローダ６１０に対する配送迄の制御手順、・ステップ７９０～７９４は、アンローダ６１０において、ハンドラ６０７からの分類情報に基づいて回収したパレット６０４からＩＣ４０１を工程間トレー６０５へ移載分類収納する迄の制御手順、を示している。
【００１４】ステップ７９４で電気特性試験終了後のＩＣ４０１を分類収納する際に、どのパレット６０４がどのハンドラ６０７で処理されたものかは、パレット６０４回収時の順序で認識している。例えば図１４に示した構成の場合、アンローダ６１０に近い側から順番に１、２、３、４とする。この順序と各ハンドラ６０７から転送されて来る各ＩＣ４０１の良否情報、カテゴリ情報を対応させて分類の判断としていた。
【００１５】また、ローダ部６０８にセットされるロットは１ロットであり、従って１台のテスタ６０１が試験するＩＣ４０１は、１つのロットから供給されたものである。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】被試験ＩＣとしてＤＲＡＭ（書き込み読み出し可能なメモリ）を対象に電気特性試験を行う場合、一般に、テスタ（メモリテスタ）６０１は、ＤＲＡＭの種類がシングルビットＩ／Ｏのものであれば、例えば最大６４個まで同時に測定することが可能である。
【００１７】上記装置の場合には、１台のハンドラ（テストヘッド）あたり１６個のＩＣを処理できることになるが、実際の測定では、この１６個は測定単位ではなく、６４個毎のサイクルで処理されるため、ロットサイズ（ロットを構成するＩＣの数量）が６４の整数倍で無い場合、ロットの最後１回分の電気特性試験において端数が生じ、テスタ６０１に稼働ロスが発生することになる。
【００１８】そして、電気特性試験は半導体装置工程の終盤工程であることから、試験工程迄の加工工程における歩留まり変動によって、ここで、常に、ロットサイズを６４の整数倍に調整することは不可能である。このため、上記従来の装置では、常に稼働ロスが発生していることになる。
【００１９】このように、ＩＣの電気特性試験は、１台のテスタとこれに繋がる複数台のハンドラにより行われるが、大容量ＤＲＡＭ等ＩＣのテスト時間長大化に伴い、１個でも端数が生じた場合でも、従来技術では、システム全体でこれを測定しなければならず、稼働ロスが大きい、という問題点を有している。
【００２０】したがって、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、複数ロット、複数品種を複数のテスタにまたがって仕掛けることを可能とし、稼働ロスを低減させるテストシステムを提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明のテストシステムは、上に挙げた稼働ロスを防ぐ仕組みとして、電気特性試験を行うための複数のテスタと、これらのテスタに接続され且つ各テスタが有する複数のテスタと、これらのテスタに接続され且つ各テスタが有する複数のテストヘッドに対してＩＣの電気的接触を図る複数のハンドラ機構で且つ個々それぞれに対して一意に振り当てた番号を有するハンドラ機構と、全てのハンドラ機構を連結し、複数のロットを複数のハンドラ機構及び複数テスタに対して供給搬送する搬送機構と、複数個のＩＣを一つの単位として搬送機構中を搬送する複数のパレットで、且つ個々が一意の認識番号を有するパレットと、電気特性試験の前後にあるＩＣの製造工程と電気特性試験を行う工程間のＩＣ移送を行うための複数の工程間トレーと、工程間トレーからパレットへＩＣを移載し、ハンドラ機構からの配送要求に基づいて移載後のパレットを移送機構へ送り出すからローダ機構と、搬送機構から送られてくる、ハンドラ機構及び前記テスタによって電気特性試験の実施を完了した複数のＩＣを載せたパレットを収納し、更にホストコンピュータから受理する電気特性試験結果に基づいて工程間トレーにＩＣを分類しながら移載するアンローダ機構と、ＩＣ毎に電気特性試験を行う過程で関与したハンドラ認識番号、パレット認識番号及び電気特性試験結果情報を、ハンドラ機構、ローダ機構及びテスタから収集し且つ収集した情報をアンローダにアップロードするネットワーク並びにホストコンピュータで、特に複数のハンドラ機構並びに複数のテスタから収集した個別情報をパレット認識番号に基づいてロット単位の情報に再構築するネットワーク並びにホストコンピュータと、ホストコンピュータに対しパレット認識番号とロットの因果関係を定義する制御端末と、パレット認識番号を読み取ってハンドラ機構、ローダ機構、アンローダ機構に伝達する認識機構を有している。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明する。本発明のテストシステムは、その好ましい実施の形態において、複数ロット、複数品種を複数のテスタにまたがって仕掛けるためのローダ機構、アンローダ機構と、複数個の半導体装置を一つの単位とし搬送手段で搬送する、ユニークな認識情報（ＩＤ）が付加されたパレットと、パレット搬送手段と、個々のパレットを認識・管理するためのバーコード及びバーコードリーダと、全情報を集中管理するためのホストコンピュータとネットワークを有している。
【００２３】本発明の実施の形態においては、複数のハンドラを連結し、複数のロットを複数のハンドラ及び複数のテスタに対して供給搬送する搬送部を備え、ローダ機構は、電気特性試験の前後にある半導体装置の製造工程と電気特性試験を行う工程間の半導体装置の移送を行うための工程間トレーからパレットへ半導体装置を移載し、かつハンドラからの配送要求に基づいて、移載後のパレットを搬送手段へ送り出し、アンローダ機構は、搬送手段から送られてくる、ハンドラ及びテスタによって電気特性試験の完了した複数の半導体装置を載せたパレットを収納し、ホストコンピュータから受理する電気特性試験結果に基づいて工程間トレーに半導体装置を分類しながら移載する。
【００２４】本発明の実施の形態においては、ローダ機構、アンローダ機構が複数のテスタにまたがって接続し、全てのパレットにＩＤ情報を付加し、パレットＩＤ情報、ロット情報の全てをホストコンピュータで制御し、パレット搬送部によりパレットの搬送等を制御することにより、複数ロット、複数品種を仕掛けることができる。
【００２５】
【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に詳細に説明すべく、本発明の実施例を図面を参照して以下に説明する。
【００２６】［実施例１］図１は、本発明のテストシステムの一実施例の構成を示すブロック図である。図２乃至図５は、本発明のテストシステムの一実施例の動作手順を示すフローチャートである。また図６は、本発明のテストシステムの一実施例におけるＩＣ移送用のパレットを示した斜視図である。図７は、本発明のテストシステムの一実施例におけるテストヘッドの要部を示した斜視図である。
【００２７】図１において、１０１はテスタ、１０２はテストヘッド、１０３はハンドラ本体、１０４はパレット搬送部、１０５はローダ部、１０６はアンローダ部、１０７はパレット、１０８は制御端末、１０９はホストコンピュータ、１０９ｂはデータベース、１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃはバーコードリーダ、６０５は工程トレーである。テスタ１０１、制御端末１０８、ホストコンピュータ１０９、アンローダ部１０６はネットワークを介して接続し、ローダ部１０５は制御端末１０８に接続する。
【００２８】図１、図２乃至図５を参照して、本実施例の動作について以下に説明する。
【００２９】図２のステップ２０１ａ～２０５ａは、テストシステムに対する被測定ロットの情報入力及び物理的にロットをローダ部１０５に仕掛ける段取作業に関する説明である。
【００３０】テストシステムの外部では、ロットは、複数の工程間トレー６０５から構成されており、作業者は、先ずこれらの工程間トレー６０５を、ローダ部１０５に対して供給する（ステップ２０１ａ）。
【００３１】工程間トレー６０５に搭載されたＩＣはローダ部１０５内で、テストシステム中のみでＩＣ搬送に使用するパレット１０７に移載されることになる。段取作業時点では、移載に使用するパレット１０７も同時に供給する。供給されるパレット１０７には、図３に示すように、各々に一意の識別情報（ＩＤ）としてバーコードＩＤ３０１が付されている。
【００３２】ネットワーク接続された制御端末１０８から作業者のキーボード入力によって、当該ロットのロットサイズ（ロットを構成するＩＣの個数）とロット番号とが入力され（ステップ２０２ａ）、また当該ロットの電気特性試験のためにセットした全てのパレット１０７について、バーコードＩＤ３０１が制御端末１０８付属のバーコードリーダ１１４ａより入力される（ステップ２０３ａ）。
【００３３】ここで、同じテストプログラムでテストできる他のロットが存在する場合（ステップ２０４ａのＹｅｓ分岐）、ローダ部１０５の許容量内であれば上記の手順（図２のステップ２０１ａ～２０４ａ）の繰り返しにより、複数ロットを仕掛ける。
【００３４】ローダ部１０５が満杯（ｆｕｌｌ）になるか、あるいは同じテストプログラムでテストできる他ロットが無くなった時点（ステップ２０４ａのＮｏ分岐）で、ＩＣの供給は終了し、次に作業者は、制御端末１０８からセットしたＩＣの電気特性試験を行うのに必要なテストプログラム名を入力し（ステップ２０５ａ）、段取作業を終わる。
【００３５】制御端末１０８のキーボード又はバーコードリーダ１１４ａから入力された上記の各種データのうち、ロット番号、ロットサイズ、パレットＩＤの３種について、制御端末１０８は、これの情報を、テストシステム全体を管轄するホストコンピュータ１０９とローダ部１０５に、結線されたネットワークを通じて転送し、テストプログラム名については、ホストコンピュータ１０９に対してのみ転送する（図２のステップ２１０ａ、２１１ａ）。
【００３６】ホストコンピュータ１０９では、制御端末１０８から入力された上記データを受信し、これらをデータベース１０９ｂに一時保存し、更に、テストプログラム名については、ネットワーク接続された全てのテスタ１０１へ送信する（図２のステップ２２０ａ～２２２ａ）。
【００３７】各テスタ１０１は、ホストコンピュータ１０９から転送されたテストプログラム名を受信すると（ステップ２３０ａ）、以前の電気特性試験の結果（テスト結果）を全てクリアし（ステップ２３１ａ）、受信したテストプログラムを自身のハードディスク装置（図１では不図示）から読み込んでテスタ１０１のメモリへ展開する（テストプログラムの自動ロード）（ステップ２３２ａ）。
【００３８】上記ステップ２１０ａ～２３２ａの各処理は、制御端末１０８、ホストコンピュータ１０９、各テスタ１０１によって自動的に行われる。
【００３９】各テスタ１０１でのテストプログラムロードが完了すると、テスタ１０１からホストコンピュータ１０９経由で制御端末１０８に、電気特性試験を行う準備ができた旨に表示がされ、この表示を待って、作業者は、制御端末１０８から作業開始のコマンドを入力する（ステップ２４０ａ）。
【００４０】この信号を受けて、制御端末１０８は、ローダ部１０５の動作開始の指示を送信し（ステップ２４１ａ）、ローダ部１０５は、作業開始情報を受けて、自身が動作開始すると共に、ローダ部１０５の動作に関連して動作する必要のあるパレット搬送部１０４、ハンドラ本体１０３、アンローダ部１０６の動作も開始させる（ステップ２４０ａ～２５１ａ）。
【００４１】ローダ部１０５は、動作開始すると、先ずハンドラ本体１０３からパレット１０７の供給リクエスト信号があるか否かを確認し（ステップ２１５ｂ）、リクエストが無い場合には以降の動作に入らない（待ち状態となる）。
【００４２】リクエストを確認した場合には（ステップ２１５ｂのＹｅｓ分岐）、リクエストを発信したハンドラ本体１０３がどのユニットであるかを判別し、また同時に、上記ステップ２２０ａで制御端末１０８から送信された最初の被測定ロットに関する各種情報（ロット番号、ロットサイズ、パレットｉｄ）を受信する（ステップ２２０ｂ）。
【００４３】ハンドラ本体１０３とローダ部１０５との間は、パレット搬送部１０４を介して、各ハンドラ本体１０３毎にポートを設定するように、ネットワーク接続されており、これによって、ローダ部１０５では、各ハンドラのネットワークにおける、ユニークな論理アドレス（以下「ハンドラｉｄ」という）で知ることができる（図３のステップ２２５ｂ）。
【００４４】次に、ローダ部１０５では、供給されたロットに含まれるＩＣの内、パレット１０７に移載されないまま残っているＩＣの数量を演算して求め、これが正の数であることを確認する（ステップ２３０ｂ）。
【００４５】ここで、演算の結果が「０」以下である場合は、このロットに対する移載処理を終了し、供給された次のロットの各種データ読み取り、及び移載に取り掛かる。
【００４６】次ロット情報が無い場合には（ステップ２３５ｂのＮｏ分岐）、供給するロットが無いものとして全ての動作を終了する（ステップ２９９ｂ）。
【００４７】また演算結果（パレット１０７に移載されないまま残っているＩＣの数量）が正の数である場合、続けて移載するＩＣが収納すべきパレット１０７があるかどうかを光学的センサー等によって確認し、供給すべきパレット１０７が無い場合には（ステップ２４０ｂのＮｏ分岐）、アラームを発して作業者の注意を喚起させ、同時に制御端末１０８はパレット１０７を追加供給を促す表示を行う（ステップ２８０ｂ）。
【００４８】ローダ部１０５は、パレット搬送部１０７との間、より詳細には、ローダ部１０５からパレット搬送部１０７への出口に取り付けられたバーコードリーダ１１４ｂによって、移載を完了した各パレット１０７に付されているバーコード３０１をパレットｉｄとして読み取り（ステップ２４５ｂ）、上記ステップ２２０ｂで読み取ったパレットｉｄの何れかに該当することを確認した後（ステップ２５０ｂ）、被測定ＩＣを工程間トレー６０５からパレット１０７へ移載する（ステップ２５５ｂ）。
【００４９】ステップ２５０において、認識したパレットｉｄが、上記ステップ２２０ｂで読み取ったパレットｉｄの何れにも該当しない場合には、アラームを発して作業者の注意を喚起させ、同時に制御端末１０８はパレットｉｄの確認要求を表示する（ステップ２８５ｂ）。
【００５０】移載を完了した被測定ＩＣは個数をカウントして（ステップ２５７ｂ）、ステップ２３０ｂの演算に用いられる。
【００５１】ステップ２５７ｂの移載数のカウント処理は、ローダ部１０５内のＩＣ移載アームのピック＆プレイスヘッド部分には、吸着センサーが取り付けられており、移載動作と吸着センサー信号のＯＲ（論理和）信号を取ることで、移載数をカウントできる。
【００５２】次にローダ部１０５は移載を完了したパレット１０７の、ハンドラ本体１０３に対する供給動作に入る。
【００５３】先ず、パレットの供給リクエストのあったハンドラ本体１０３に対し、被測定ＩＣの移載を完了して、これから配送するパレット４０１のパレットｉｄ番号を送信し（ステップ２６０ｂ）、続いてパレット搬送部１０４に対し、パレット４０１の届け先であるハンドラ本体１０３のハンドラｉｄを送信し（ステップ２６５ｂ）、その後このパレット１０７をパレット搬送部１０４に対して送り出す（ステップ２７０ｂ）。
【００５４】１枚のパレット１０７の配送を完了すると、他のハンドラ本体１０３からの同様の供給リクエストがあるか否かを調査し（ステップ２７５ｂ）、供給リクエストがあれば、ステップ２３０ｂに戻り、上記した動作をリクエストが無くなるか、あるいは供給するロット（又は被測定ＩＣ）が無くなるまで繰り返す。
【００５５】パレット搬送部１０４は、前記の如く、各ハンドラ本体１０３に対してローダ部１０５の延長線上のネットワークにあり、各ハンドラｉｄを認識することができるため、ローダ部１０５から図３のステップ２６５ｂで受けた配送先情報（ハンドラｉｄ）にしたがって、パレット１０７を、目的のハンドラ本体１０３迄搬送する（図４のステップ２１０ｃ、２１５ｃ）。
【００５６】図３のステップ２６０ｂで送信されたパレットｉｄデータは、パレット搬送部１０４による実際のパレット１０７供給以前に、目的のハンドラ本体１０３に着信しており（図４のステップ２２０ｃ）、パレット１０７が配送された時点で、ハンドラ本体１０３内部に設置されたバーコードリーダ４０４でパレット１０７に付されたバーコード３０１（図６参照）を読み取って、送信されたパレットｉｄデータを一致するかを確認する。ここで、バーコードｉｄが一致しなかった場合、ハンドラ本体１０３はアラームを発して動作を一時停止する。
【００５７】バーコードｉｄが一致した場合、ハンドラ本体１０３はパレット１０７からテストヘッド１０２の測定用ソケットへ被測定ＩＣをセットする（図４のステップ２２５ｃ）。被測定ＩＣ４０１、ソケット４０２、テストボード４０３の関係及びテスタ１０１による電気特性試験の実行については、前述の従来技術で説明したもの（図１６のステップ７４２から図１７のステップ７７６参照）と同様である。すなわち、ハンドラ１０３はテストスタート信号を送信し（図４のステップ２３０ｃ）、テスタ１０１は、このテストスタート信号を受信して、被測定ＩＣの電気特性テストを行い、テスト終了時テストエンド信号を送信し、被測定ＩＣ毎のテスト結果情報をハンドラ側に送信する（以上図４のステップ２４０ｃ～２５０ｃ）。ハンドラ１０３は、テスタ１０１からのテストエンド信号を受信した時、テスト結果情報を受信し、テストヘッド１０２からパレット１０７へ被測定ＩＣを戻し入れ、次のパレットを要求することになる（図５のステップ２１０ｄ～２２５ｄ）。
【００５８】パレット１０７、１枚分の電気特性試験が完了した時点で、ハンドラ本体１０３はテスタ１０１によるテスト結果情報及び電気特性試験を開始する前に、バーコードリーダ４０４で読み取ったパレットｉｄを、ホストコンピュータ１０９及びパレット搬送部１０４に対して送信する（図５のステップ２３０ｄ）。
【００５９】パレット搬送部１０４は信号を受信すると、当該するハンドラ本体１０３から電気特性試験済の被測定ＩＣを搭載したパレット１０７を回収し（ステップ２３５ｄ）、更にアンローダ部１０６迄配信する（ステップ２４０ｄ）。パレット搬送部１０４ではハンドラ本体１０３から送信されたデータを単なるパレット１０７回収のリクエストとして認識している。
【００６０】ここまでの動作においてホストコンピュータ１０９に対して送信された情報は、全てホストコンピュータ１０９付属のデータベース１０９ｂに保存されており、データ構造は、図１０に示すようなリスト構造になっている（データ構造（１）においてＸは、パレットｉｄ）。
【００６１】アンローダ部１０６は、パレット搬送部１０４から送られたパレット１０７について、先ずアンローダ部１０６の受入口に設けたバーコードリーダ１１４ｃによってパレットｉｄを読み取り（ステップ２４５ｄ）、パレットｉｄをホストコンピュータ１０９に送信し（ステップ２５０ｄ）、ホストコンピュータ１０９からのテスト情報の回答を待つ。
【００６２】ホストコンピュータ１０９では、アンローダ部１０６から送られたパレットｉｄを受信し（ステップ２６５ｄ）、受信したパレットｉｄを検索のキー情報として、データベース１０９ｂを検索し（ステップ２７０ｄ）、キーにマッチするデータレコードを見つけた時点で、キー以下のリスト情報を全てアンローダ部１０６へ返送する（ステップ２７５ｄ）。
【００６３】アンローダ部１０６は、ホストコンピュータ１０９からの情報を受信し、この情報から先ずロット番号を認識し、２ブロック有している収納部の何方に当該パレット１０７を収容するかを判断する。即ち、既にこのロット番号を持った他のパレット１０７を処理している場合には、それと同じ収納部へこれを収納し、初めてのロット番号である場合には先着のロットが無い側の収納部へ収納する。
【００６４】何れの収納部も空である場合は初期値に指定されたほうへ収納し、何れの収納部も異なるロット番号の先着ロットがある場合にはアラームを発して動作を一時停止し、何方かのロットを収納部から取り出すよう指示する。
【００６５】受け付けたパレット１０７を何方の収納部で処理するかを決定した後、アンローダ部１０６は、ホストコンピュータ１０９からの情報よりテスト結果情報を認識して、これに基づいて不良品及びカテゴリ毎に用意された工程間トレー６０５に分類収納する（ステップ２６０ｄ）。
【００６６】以上は、１枚のパレット１０７及びそこに搭載された被測定ＩＣに関する処理フローについて説明したものであり、ローダ部１０５内の全てのパレット１０７上のＩＣ４０１を試験するまで繰り返される（ステップ２４５ｄ～２７５ｄ）。
【００６７】図１１に示すデータ構造（２）は、複数のロットを、本実施例のテストシステムを用いて試験した場合に、ホストコンピュータ１０９のデータベース１０９ｂに蓄積される情報である。
【００６８】［実施例２］次に、本発明の第２の実施例として、複数ロットに対し、複数のテストプログラムを用いて同一システム上で電気特性試験を行うことを可能とした構成について説明する。
【００６９】本実施例は、その構成要素は、図１と同様であるため、説明は省略し、テストシステム動作フローについて、図８及び図９を参照して説明する。
【００７０】図８のステップ５０１ａ～５０７ａは、テストシステムに対する被測定ロットの情報入力及び物理的にロットをローダ部１０５に仕掛ける段取作業に関する説明である。
【００７１】前記第１の実施例と同様、作業者は、先ず被測定ＩＣの搭載された工程間トレー６０５及びこれから使用するパレット１０７をローダ部１０５に対して供給する。以後、ステップ５０１ａ～５０５ａの動作手順については前記実施例と同様であるため、説明を省略する。
【００７２】ステップ５０６ａ及び５０７ａが前記実施例と相違する点である。
【００７３】本実施例では仕掛けたロットについて、どのハンドラ本体１０３で電気特性試験を行うかを、制御端末１０８からの作業者入力によってシステムにインプットする。
【００７４】入力されたデータは、ステップ５１０ａ、５１１ａにおいてホストコンピュータ１０９に送信され、データベース１０９ｂに一時記憶されるが、ここでも前記実施例と異なり、データ構造として、各ロット番号毎に使用するハンドラｉｄの属性を持つような構造体を形成する（図１２のデータ構造（３）参照）。
【００７５】また、データベース１０９ｂ中には事前にテスタ１０１とハンドラ本体１０３の接続関係が、図１３に示すデータ構造（４）の形式でマスタデータとして定義されており、ステップ５２２ａにおいて各テスタ１０１へテストプログラム名を送信する際、ハンドラｉｄをキーにしてテストプログラム名とテスタを引き当て、各々のテスタに必要なテストプログラム名を送信する。
【００７６】例えば、データ構造（３）と（４）から、ハンドラｉｄが１１のものをキーにすると、テストプログラム名の１番がテスタ１番に送信される。
【００７７】以下、ステップ５３０ａ～５５１ａの動作手順については前記実施例のステップ２３０ａ～２５１ａの動作手順と同様であるため、説明を省略する。
【００７８】図８の最終ステップ５５１ａで作業開始信号が上げられてから、パレット１０７の各ハンドラ本体１０３迄の配送動作手順を示したものが図９であり、前記実施例の図３に示した手順に相当している。一部ステップ５２６ｂが本実施例に特有の手順として存在し、これに準じてステップ５２０ｂの処理内容が異なる。
【００７９】ステップ５２０ａでは、制御端末１０８から送信された最初の被測定ロットに関する各種情報（ロット番号、ロットサイズ、パレットｉｄ、ハンドラｉｄ）を受信しており、ステップ５１５ｂにおいてハンドラ本体１０３側からの供給リクエストがある場合でも、供給しようとするロット番号をキーにして検索されるデータ構造（３）に記述されたハンドラｉｄの中に、そのハンドラｉｄが無い場合はパレット１０７の供給を行わない。
【００８０】これ以後、ＩＣ収納迄の全てのステップは、前記実施例と同様であるため、説明を省略する。
【００８１】以上に示したとおり、本実施例では、ステップ５０６ａ、５０７ａ、５２６ｂの３ステップを設け、更にステップ２１０ａ、２２０ａ、２２０ｂでの情報授受において、ハンドラｉｄを加える変更（各々ステップ５１０ａ、５２０ａ、５２０ｂ）を行うことにより、複数ロットに対する複数のテストプログラムによる電気特性試験を実現している。
【００８２】例えば被測定ＩＣとしてＤＲＡＭを用いる場合、容量４ＭＢｉｔの半導体装置と容量１６ＭＢｉｔの半導体装置は、同じパッケージ外形形状とされていることがあり、この場合、ハンドラ本体１０３、ローダ部１０５、アンローダ部１０６、パレット搬送部１０４、といった機械的な位置決め機構を内部に有するユニットの調整無しに、テスタ１０１へ読み込ませるテストプログラムをソフト的に切り換えるだけで、同じシステムを両方に適用することができる。
【００８３】本発明の実施例によれば、従来技術に比べて稼働ロスを低減させることができる。
【００８４】・１ハンドラ本体当たりの取数：１６個、・１テスタ当たりのハンドラ数：４台、・ロットサイズが、２，５００を中心に±３１個の範囲で一様に分布するとき、従来技術における理論的稼働ロス（機械系のジャミング等を考慮しない理論的ロス）が０．６５％であるのに対し、本実施例では、０．１６％まで低減（０．４９％の低減）させることができる。
【００８５】また定性的ではあるが、本実施例において、構造上、テストシステムは連続でＩＣを供給できるため、内段取の外段取化を行うことが可能であり、上記定量的以上の効果を上げることができる。
【００８６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、従来技術に比べて稼働ロスを低減させることができる、という効果を奏する。その理由は、本発明においては、ローダ機構、アンローダ機構が複数のテスタにまたがって接続し、全てのパレットにＩＤ情報を付加し、パレットＩＤ情報、ロット情報の全てをホストコンピュータで制御し、パレット搬送部によりパレットの搬送等を制御することにより、複数ロット、複数品種を仕掛けることができるようにしたことによる。

【出願人】	【識別番号】０００００４２３７【氏名又は名称】日本電気株式会社
【出願日】	平成９年（１９９７）７月７日
【代理人】	【弁理士】【氏名又は名称】加藤朝道
【公開番号】	特開平１１－２３６５９
【公開日】	平成１１年（１９９９）１月２９日
【出願番号】	特願平９－１９６４３６