| 【発明の名称】 |
制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式 |
| 【発明者】 |
【氏名】廣井 肇
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| 【要約】 |
【課題】測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視することができる制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式を提供することにある。
【解決手段】直流モータ４２Ａで回転するファン４０Ａと、ファン４０Ａによって冷却された測定ユニット６０Ａの温度を測定する温度センサ３０Ａと、温度情報Ｔ及び回転情報Ｒを読み取る制御コンピュータ１０を備えている。制御コンピュータ１０は、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを制御するための制御信号Ｓを、ファン制御・電力供給部５０へ送信し、測定ユニット６０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 半導体検査装置の測定ユニット（６０Ａ）を冷却する方式において、直流モータ（４２Ａ）の回転により、測定ユニット（６０Ａ）を冷却するファン（４０Ａ）と、ファン（４０Ａ）によって冷却される測定ユニット（６０Ａ）の温度を測定する温度センサ（３０Ａ）と、温度監視回路（２０）を介して温度センサ（３０Ａ）に、ファン制御・電力供給部（５０）を介してファン（４０Ａ）にそれぞれ接続され、測定ユニット（６０Ａ）の温度情報（Ｔ）と、ファン（４０Ａ）の回転情報（Ｒ）を読み取ると共に、ファン（４０Ａ）の回転数（Ｎｄｃ）を制御するための制御信号（Ｓ）を出力する制御コンピュータ（１０）と、制御コンピュータ（１０）から送信された制御信号（Ｓ）に基づいて、測定ユニット（６０Ａ）の動作状態ごとの発熱量（Ｑa ）に応じてファン（４０Ａ）の回転数（Ｎｄｃ）の最適制御を行うファン制御・電力供給部（５０）を備えたことを特徴とする制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式。
【請求項２】 前記制御コンピュータ（１０）は、判断ソフト（１０Ａ）を有し、測定ユニット（６０Ａ）の温度が異常温度領域に属さないと判断した場合には、ファン（４０Ａ）が、発熱量（Ｑa ）に応じて測定ユニット（６０Ａ）を冷却するのに必要な回転数（Ｎｄｃ）を得るように、直流モータ（４２Ａ）の電圧（Ｖ）の値を設定し、測定ユニット（６０Ａ）の温度が異常温度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット（６０Ａ）への電力（Ｐ）の供給を停止させると共に、ファン（４０Ａ）を最高回転数で回転させ冷却するように、直流モータ（４２Ａ）の電圧（Ｖ）の値を設定する請求項１記載の制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式。
【請求項３】 前記測定ユニット（６０）と、ファン（４０）と、温度センサ（３０）と、温度監視回路（２０）が２つ以上設けられ、共通のファン制御・電力供給部（５０）が１つ設けられている請求項１記載の制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式。
【請求項４】 前記測定ユニット（６０）と、ファン（４０）と、温度センサ（３０）と、温度監視回路（２０）が２つ以上設けられ、これらに対応してファン制御・電力供給部（５０）も２つ以上設けられている請求項１記載の制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式、特に直流モータで駆動するファンを使用することにより、測定ユニットの発熱量に応じた風量が得られるようにファンの回転数を制御し、無駄な電力を消費しないようにし、更に装置全体の稼働状況を監視できる制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体検査装置は、図３（Ａ）に示すように、本体２００とテストヘッド３００を備え、本体２００の制御により、テストヘッド３００に装着された被測定デバイスの電気的特性を検査する。
【０００３】このような半導体検査装置において、本体２００やテストヘッド３００の一部である測定ユニット１００Ａを冷却する場合（図４）、従来は、図４に示す方式を使用していた。
【０００４】即ち、図４において、測定ユニット１００Ａに隣接してファン８０Ａを設置し、このファン８０Ａの三相交流モータ８２Ａを回転させることにより、測定ユニット１００Ａの発熱により温められた空気を吸い出す。
【０００５】このとき、空気が吸い出された部分に負圧が生じるので、この部分に、ファン８０Ａと対向位置に設けられた測定ユニット１００Ａの開放部分を介して、外部の冷たい空気が取り込まれる。
【０００６】その結果、測定ユニット１００Ａの放熱が行われ、その測定ユニット１００Ａは冷却される。
【０００７】この場合、ファン８０Ａを駆動させる三相交流モータ８２Ａの回転数は、モータの交流電源の周波数と、モータの回転磁界の極数により、決定される。このことから、三相交流モータ８２Ａの回転数は、一般には、特定の固定値となる。
【０００８】即ち、三相交流モータ８２Ａにおいて、回転数をＮａｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、交流電源の周波数をＦ（単位：Ｈｚ）、回転磁界の極数をｐとすれば、よく知られているように、下記の関係式が成立する。
Ｎａｃ＝２Ｆ／ｐ・・・・・・・■■式において、交流電源の周波数Ｆは、一般に５０Ｈｚ、又は６０Ｈｚであり、また回転磁界の極数ｐは、モータを製造するときに決まる固定値である。
【０００９】従って、■式より、三相交流モータ８２Ａの回転数Ｎａｃは、固定値となる。
【００１０】また、測定ユニット１００Ａを冷却するのに必要な風量は、既述した三相交流モータ８２Ａの回転数Ｎａｃと、ファン８０Ａの断面積により、決定される。
【００１１】更に、図４において、温度センサ７０Ａは、一般に、特定温度以上（異常温度領域）になると動作するサーマルリレータイプであり、リレーの動作状況（ＯＮ／ＯＦＦ）は、信号ケーブル７１Ａにより電源コントローラ９０へ伝達される。
【００１２】これにより、電源コントローラ９０は、電源ケーブル１０１Ａを介して測定ユニット１００Ａへ供給している電源を遮断する。
【００１３】即ち、従来は、三相交流モータ８２Ａを用いたファン８０Ａにより測定ユニット１００Ａを冷却すると共に、測定ユニット１００Ａの周囲の温度が異常温度領域に到達した場合には、電源を遮断していた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】既述したように、従来技術においては（図４）、測定ユニット１００Ａを冷却するのに必要な風量は、三相交流モータ８２Ａの回転数Ｎａｃと、ファン８０Ａの断面積により、決定される。
【００１５】ところが、■式から明らかなように、三相交流モータ８２Ａの回転数Ｎａｃは、固定値であり、またファン８０Ａの断面積も一定であることから、三相交流モータ８２Ａを使用した場合には、測定ユニット１００ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態（発熱量Ｑa が少）にあるか、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態（発熱量Ｑa が多）にあるかに関係なく、冷却用の風量は不変である。
【００１６】例えば、図３（Ａ）に示す半導体検査装置の測定ユニットをＵ１、Ｕ２、Ｕ３とし、Ｓｔａｎｄ−ｂｙ状態を×、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態を○で表し、図３（Ｂ）に示す動作状態があるとする。
【００１７】このうち、ａの場合は、全ての測定ユニットＵ１〜Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態にあり、ｂの場合は、２つの測定ユニットＵ２、Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ１がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にあり、ｃの場合は、１つの測定ユニットＵ１がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ２、Ｕ３がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にあり、ｄの場合は、全ての測定ユニットＵ１〜Ｕ３がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にある。
【００１８】従って、図３（Ｂ）に示す場合、発熱量Ｑa については、最も多い場合がａであり、ｂ、ｃの順に少なくなり、最も少ないのがｄである。即ち、半導体検査装置内（図３（Ａ））の被測定デバイスにより、測定ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態とＳｔａｎｄ−ｂｙ状態によって消費する電力、即ち、発熱量が異なる場合がある。
【００１９】しかし、従来は、三相交流モータ８２Ａで駆動するファン８０Ａを使用していることが起因し、冷却に必要な風量を、発熱量Ｑa に応じて変えることができない。
【００２０】このため、測定ユニット１００ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態であっても、最大発熱量状態の測定ユニット１００Ａを冷却するのと同じだけの風量が必要となる。例えば、図３（Ｂ）のｄの状態であっても（すべての測定ユニットがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態）、ａの状態（すべての測定ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態）と同じ風量が必要となる。
【００２１】従って、その分だけファン８０Ａの回転数も多くなり、必要以上の電力を消費することになり、無駄な電力を消費していた。
【００２２】更に、図４に示す従来技術は、装置全体の稼働状況を監視する機能がなく、誤動作をした場合に、容易に動作状況の確認を行えなかった。
【００２３】例えば、温度センサ７０Ａが故障し、測定ユニット１００Ａが適正な温度であるにもかかわらず、電源コントローラ９０が異常温度領域に到達したと判断し、誤って測定ユニット１００Ａへの電源の供給を停止してしまう場合がある。
【００２４】この発明の目的は、測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視することができる制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式を提供することにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するために、この発明によれば、半導体検査装置の測定ユニット６０Ａを冷却する方式において、直流モータ４２Ａの回転により、測定ユニット６０Ａを冷却するファン４０Ａと、ファン４０Ａによって冷却される測定ユニット６０Ａの温度を測定する温度センサ３０Ａと、温度監視回路２０を介して温度センサ３０Ａに、ファン制御・電力供給部５０を介してファン４０Ａにそれぞれ接続され、測定ユニット６０Ａの温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転情報Ｒを読み取ると共に、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを制御するための制御信号Ｓを出力する制御コンピュータ１０と、制御コンピュータ１０から送信された制御信号Ｓに基づいて、測定ユニット６０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行うファン制御・電力供給部５０を備えている。
【００２６】従って、この発明の構成によれば、ファン４０Ａが直流モータ４２Ａにより駆動するので、例えば、直流モータ４２Ａの電圧Ｖを制御することにより（■式）、測定ユニット６０Ａ（図１）の動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じた適正な風量が得られるように、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを制御することができるので、ファン４０Ａの無駄な電力消費が防止される。
【００２７】更に、測定ユニット６０Ａの温度等の温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを決定している電圧Ｖ等の回転情報Ｒをそれぞれ読み取る制御コンピュータ１０を設けたことにより、装置全体の稼働状況が監視できるので、誤動作等を確認し易くなり、より適切な冷却制御が行われる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施形態により添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の第１実施形態を示す図であり、参照符号１０は制御コンピュータ、２０は温度監視回路、３０Ａは温度センサ、４０Ａはファン、５０はファン制御・電力供給部、６０Ａは測定ユニットである。
【００２９】測定ユニット６０Ａは、半導体検査装置（図３（Ａ））の本体２００やテストヘッド３００の一部であって、電力が供給されることにより発熱し、冷却が必要な部分である。
【００３０】温度センサ３０Ａは、測定ユニット６０Ａの周囲の空気の温度を測定し、その温度情報Ｔを、信号ケーブル３１Ａを介して、後述する温度監視回路２０へ伝送する。
【００３１】ファン４０Ａは、測定ユニット６０Ａに隣接して設置され、直流モータ４２Ａが回転することにより、測定ユニット６０Ａの発熱により温められた空気を吸い出し、外部からの冷たい空気により測定ユニット６０Ａを冷却する。
【００３２】このファン４０Ａを駆動する直流モータ４２Ａの回転数は、次式で表される。
【００３３】即ち、直流モータ４２Ａにおいて、回転数をＮｄｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、モータの直流電源の電圧をＶ（単位：Ｖ）、モータの電機子回路の抵抗をｒ（単位：Ω）、モータの電機子電流をＩ（単位：Ａ）、毎極の磁束数をΦ（単位：Ｗｂ）、モータの構造により決まる定数をＫとすると、よく知られているように、下記の関係式が成立する。
Ｎｄｃ＝Ｋ（Ｖ−ｒＩ）／Φ・・・・・■この■式において、回転数Ｎｄｃを制御する方法としては、直流電源の電圧Ｖ、電機子回路の抵抗ｒ、毎極の磁束数Φのいずれかを変える方法がある。
【００３４】このうち、一般的には、直流電源の電圧Ｖを制御する方法が取られている。従って、本実施形態においても、直流モータ４２Ａを使用したファン４０Ａを、電力ケーブル４１Ａを介して、ファン制御・電力供給部５０に接続し、電圧Ｖを制御することにより、ファン４０Ａの回転数を制御することにした。
【００３５】制御コンピュータ１０は、温度監視回路２０を介して温度センサ３０Ａに、ファン制御・電力供給部５０を介してファン４０Ａにそれぞれ接続されている（図１）。
【００３６】これにより、制御コンピュータ１０は、測定ユニット６０Ａの温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転情報Ｒを読み取ると共に、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを制御するための制御信号Ｓを出力する。
【００３７】温度情報Ｔには、測定ユニット６０Ａの温度、及びこの温度が異常温度領域に属するか否か等の情報が含まれ、また回転情報Ｒには、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを決定している電圧Ｖの設定値（■式）等が含まれている。
【００３８】更に、制御信号Ｓには、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃが最適になるための電圧Ｖの設定値、測定ユニット６０Ａの温度が異常温度領域に属する場合の電力Ｐの停止命令や、そのときのファン４０Ａが最高回転数で回転するための電圧Ｖの設定値等が含まれる。
【００３９】この制御コンピュータ１０は、例えば、判断ソフト１０Ａを有し、次のような動作をする。
【００４０】即ち、測定ユニット６０Ａの温度が異常温度領域に属さないと判断した場合には、その発熱量Ｑa に応じて測定ユニット６０Ａを冷却するのに必要な回転数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖを設定し、その設定値を制御信号Ｓとして、次段のファン制御・電力供給部５０へ送信する。
【００４１】また、測定ユニット６０Ａの温度が異常温度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０Ａへの電力Ｐの供給を停止する命令と、その場合にファン４０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な電圧Ｖの設定値とを、それぞれ制御信号Ｓとして、次段のファン制御・電力供給部５０へ送信する。
【００４２】ファン制御・電力供給部５０には、既述したように、信号ケーブル１１を介して制御コンピュータ１０が、電力ケーブル４１Ａを介してファン４０Ａがそれぞれ接続されていると共に、測定ユニット６０Ａが電力ケーブル６１Ａを介して接続されている。
【００４３】この構成により、ファン制御・電力供給部５０は、制御コンピュータ１０の判断ソフト１０Ａの制御により、既述したように、制御信号Ｓに基づき、測定ユニット６０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００４４】更に、ファン制御・電力供給部５０は、制御コンピュータ１０の判断ソフト１０Ａの制御により、測定ユニット６０Ａに電力Ｐを供給し、測定ユニット６０Ａの温度が、ファン４０Ａでは冷却不可能な異常温度領域に到達した場合には、測定ユニット６０Ａへ電力Ｐの供給を停止すると共に、ファン４０Ａを最高回転数で回して冷却する。
【００４５】図２は、この発明の第２実施形態を示す図であり、測定ユニットが２つの例を示している。
【００４６】即ち、図１の測定ユニット６０Ａと同様の構成を備えたもう１つの測定ユニット６０Ｂが設けられ、測定ユニット６０Ｂの温度を測定する温度センサ３０Ｂ、及び直流モータ４２Ｂで回転することにより、測定ユニット６０Ｂを冷却するファン４０Ｂがそれぞれ設けられている。
【００４７】そして、測定ユニット６０Ｂは、電力ケーブル６１Ｂを介して、ファン４０Ｂは、電力ケーブル４１Ｂを介して、共通の温度制御・電力供給部５０にそれぞれ接続されている。また、温度センサ３０Ｂは、信号ケーブル３１Ｂを介して、温度監視回路２０に接続されている。
【００４８】この図２の例では、共通の温度制御・電力供給部５０並びに温度監視回路２０が使用されているが、温度制御・電力供給部並びに温度監視回路を、測定ユニット６０Ａと測定ユニット６０Ｂに対応してそれぞれ別々に設けてもよい。また、図２では、測定ユニットが２つの場合について説明したが、これに限定されず、測定ユニットは３つ以上設けられていてもよい。
【００４９】以下、前記構成を備えたこの発明の作用を説明する。
【００５０】１．測定ユニットが１つの場合の作用この場合は、図１において、測定ユニット６０Ａから発生する熱により温められた空気を、直流モータ４２Ａにより回転するファン４０Ａで吸い出し、測定ユニット６０Ａを冷却する。
【００５１】このとき、温度センサー３０Ａにより、測定ユニット６０Ａの現在の温度を測定し、この温度情報Ｔは、信号ケーブル３１Ａを介して、温度監視回路２０に送信され、温度監視回路２０は、温度情報Ｔを、信号ケーブル２１を介して、次段の制御コンピュータ１０へ送信する。
【００５２】制御コンピュータ１０は、前記温度監視回路２０から送信されて来る温度情報Ｔを常に監視している。
【００５３】そして、制御コンピュータ１０は、その判断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ａの温度が異常温度領域に属さないと判断した場合には、発熱量Ｑa に応じて測定ユニット６０Ａを冷却するのに必要な回転数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖを設定し、その設定値を制御信号Ｓとして、信号ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０に送信する。
【００５４】即ち、測定ユニット６０ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑa が少なく、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃ（■式）も小さくてよいので、電圧Ｖの設定値も小さくする。
【００５５】しかし、測定ユニット６０ＡがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑaが多く、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃ（■式）を大きくしなければならないので、電圧Ｖの設定値も大きくする。
【００５６】そして、このような制御信号Ｓを受信したファン制御・電力供給部５０は、その電圧設定値に対応した電圧Ｖを発生し、それをファン４０Ａに印加すると、ファン４０Ａは、この電圧Ｖに応じた回転数Ｎｄｃにより（■式）、回転する。
【００５７】また、測定ユニット６０Ａの温度が異常温度領域に属さない場合には、ファン制御・電力供給部５０から、電力ケーブル６１Ａを介して、測定ユニット６０Ａへ所定の電力Ｐを供給する。
【００５８】反対に、制御コンピュータ１０は、判断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ａの温度が、ファン４０Ａでは冷却不可能な異常温度領域に到達したと判断した場合、即ち、測定ユニット６０Ａの温度が異常温度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０Ａへの電力供給停止命令と、ファン４０Ａを最高回転数で回す場合の電圧の設定値を、制御信号Ｓとして、信号ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０へ送信する。
【００５９】これにより、ファン制御・電力供給部５０は、測定ユニット６０Ａへの電力供給を停止すると共に、ファン４０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な電圧Ｖを、電力ケーブル４１Ａを介して、ファン４０Ａに印加し、ファン４０Ａは、最高回転数で回転する。
【００６０】このように、測定ユニット６０Ａが、発熱量Ｑa が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑa が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑa が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット６０Ａを冷却をするために必要な風量を得るように、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００６１】更に、この間、制御コンピュータ１０は、温度情報Ｔと回転情報Ｒを読み取ることにより、装置全体の稼働状況を監視することができる。
【００６２】２．測定ユニットが２つの場合の作用この場合は、図２において、測定ユニット６０Ａに関しては、ファン４０Ａと温度センサ３０Ａと、温度監視回路２０と、制御コンピュータ１０と、ファン制御・電力供給部５０が、前記と同じ動作を行う。
【００６３】また、測定ユニット６０Ｂに関しては、その測定ユニット６０Ｂから発生する熱により温められた空気を、直流モータ４２Ｂにより回転するファン４０Ｂで吸い出し、測定ユニット６０Ｂを冷却する。
【００６４】このとき、温度センサ３０Ｂにより、測定ユニット６０Ｂの現在の温度を測定し、この温度情報Ｔｂは、信号ケーブル３１Ｂを介して、温度監視回路２０に送信され、温度監視回路２０は、温度情報Ｔｂを、信号ケーブル２１を介して、次段の制御コンピュータ１０へ送信する。
【００６５】制御コンピュータ１０は、前記温度監視回路２０から送信されて来る温度情報Ｔｂを常に監視している。
【００６６】そして、制御コンピュータ１０は、その判断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ｂの温度が異常温度領域に属さないと判断した場合には、発熱量Ｑｂに応じて測定ユニット６０Ｂを冷却するのに必要な回転数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖｂを設定し、その設定値を制御信号Ｓｂとして、信号ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０に送信する。
【００６７】即ち、測定ユニット６０ＢがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑｂが少なく、ファン４０Ｂの回転数Ｎｄｃ（■式）も小さくてよいので、電圧Ｖｂの設定値も小さくする。
【００６８】しかし、測定ユニット６０ＢがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑｂが多く、ファン４０Ｂの回転数Ｎｄｃ（■式）を大きくしなければならないので、電圧Ｖｂの設定値も大きくする。
【００６９】そして、このような制御信号Ｓｂを受信したファン制御・電力供給部５０は、その電圧設定値に対応した電圧Ｖｂを発生し、それをファン４０Ｂに印加すると、ファン４０Ｂは、この電圧Ｖｂに応じた回転数Ｎｄｃにより（■式）、回転する。
【００７０】また、測定ユニット６０Ｂの温度が異常温度領域に属さない場合には、ファン制御・電力供給部５０から、電力ケーブル６１Ｂを介して、測定ユニット６０Ｂへ所定の電力Ｐｂを供給する。
【００７１】反対に、制御コンピュータ１０は、判断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ｂの温度が異常温度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０Ｂへの電力供給停止命令と、ファン４０Ｂを最高回転数で回す場合の電圧の設定値を、制御信号Ｓｂとして、信号ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０へ送信する。
【００７２】これにより、ファン制御・電力供給部５０は、測定ユニット６０Ｂへの電力供給を停止すると共に、ファン４０Ｂを最高回転数で回転させるのに必要な電圧Ｖｂを、電力ケーブル４１Ｂを介して、ファン４０Ｂに印加し、ファン４０Ｂは、最高回転数で回転する。
【００７３】このように、測定ユニット６０Ｂが、発熱量Ｑｂが少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑｂが多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑｂが変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット６０Ｂを冷却をするために必要な風量を得るように、ファン４０Ｂの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００７４】更に、この間、制御コンピュータ１０は、２つの測定ユニット６０Ａ、６０Ｂについて（図２）、温度情報Ｔａ、Ｔｂと回転情報Ｒａ、Ｒｂを読み取ることにより、装置全体の稼働状況を監視することができる。
【００７５】尚、測定ユニットが３つ以上の場合にも、前記測定ユニットが２つ以上の場合と同様の動作が行われる。
【００７６】
【発明の効果】前記のとおり、この発明によれば、半導体検査装置の冷却方式を、直流モータで回転して測定ユニットを冷却するファンと、測定ユニットの温度を測定する温度センサと、測定ユニットの温度情報とファンの回転情報を読み取る制御コンピュータと、制御コンピュータからの指令によりファンの回転数を制御するファン制御・電力供給部で構成したことにより、測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視することができるという効果がある。
【００７７】
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００１１７７４４
【氏名又は名称】安藤電気株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）６月３０日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】齊藤 明
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| 【公開番号】 |
特開平１１−２３６５８ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１月２９日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−１９０４０８ |
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