| 【発明の名称】 |
走査型プローブ顕微鏡 |
| 【発明者】 |
【氏名】伊東 修一
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| 【要約】 |
【課題】外界からの影響を受けること無く、高分解能な測定を行うことが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】カンチレバー２６及びカンチレバーと試料２４とを相対的に走査させるスキャナ３０を有するプローブ顕微鏡ユニットと、プローブ顕微鏡ユニットを支持可能であって且つこのプローブ顕微鏡ユニットに外部振動が伝わるのを除去する除振機構と、この除振機構に支持されたプローブ顕微鏡ユニットを外界からシールドするシールド機構とを備えており、このシールド機構には、外気圧よりも低い圧力に引かれた気密空間領域Ｔが形成されている。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 カンチレバー及びカンチレバーと試料とを相対的に走査させるスキャナを有するプローブ顕微鏡ユニットと、プローブ顕微鏡ユニットを支持可能であって且つこのプローブ顕微鏡ユニットに外部振動が伝わるのを除去する除振機構と、この除振機構に支持されたプローブ顕微鏡ユニットを外界からシールドするシールド機構とを備えており、このシールド機構には、外気圧よりも低い圧力に引かれた気密空間領域が形成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】 前記シールド機構には、遮音性を有する複数のカバー部材によって区画された１つの気密空間領域が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】 前記シールド機構には、遮音性を有する複数のカバー部材によって区画された複数の気密空間領域が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば原子オーダーの分解能で試料の表面情報を測定するための走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の走査型プローブ顕微鏡は、自由端に尖鋭化した探針を持つカンチレバーと、探針と試料とを相対的に移動させるスキャナとを備えている。そして、探針を試料に対向して近接させると、探針先端と試料表面との間に働く相互作用（原子間力、斥力、引力、粘性、磁気力など）によって、カンチレバーの自由端が変位する。この自由端に生じる変位量を電気的あるいは光学的に検出しながら、探針を試料表面に沿ってＸＹ方向に相対的に走査することによって、試料の表面情報等（例えば、凹凸情報）を三次元的にＳＰＭ測定している。
【０００３】また、近年では、上述したようなＳＰＭ測定に際し、外界からの影響を除去して高分解能化を実現するために、走査型プローブ顕微鏡全体をシールドする装置が開発されている。
【０００４】例えば特開平５−４０００５号公報には、図６（ａ）に示すように、探針２及びこの探針２を試料４に対して走査させるチューブスキャナ６等から成るプローブ顕微鏡ユニットを外界からシールドする装置が開示されている（第１の従来技術）。
【０００５】この第１の従来技術のシールド装置は、プローブ顕微鏡ユニット全体を覆う所定の厚さの箱体８と、この箱体８の内面全体に亘って貼着された吸音材１０とから構成されており、外的磁気ノイズや外的騒音等の影響を受けること無くＳＰＭ測定を行うことができるように構成されている。
【０００６】例えば特開昭６３−１２１７４０号公報には、図６（ｂ）に示すように、レーザー光源１２から試料１４表面にレーザー光を照射しながら、探針１６と試料１４表面との間に流れるトンネル電流を検出することによって試料１４の表面を分析する装置が開示されており、探針１６及びこの探針１６を試料１４に対して走査させるアクチュエータ１８等から成るプローブ顕微鏡ユニットが、シールド装置によって外界からシールドされている（第２の従来技術）。
【０００７】この第２の従来技術のシールド装置は、プローブ顕微鏡ユニット全体を真空環境下に置くことが可能な真空容器２０を備えており、外界からの影響を受けること無くＳＰＭ測定を行うことができるように構成されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第１の従来技術のシールド装置には、以下のような問題が存在する。箱体８の厚さを例えば１ｍｍから５ｍｍ程度まで厚くした場合でも、音の強さは、約１０ｄＢ程度（約３０％程度）しか低減させることはできない。即ち、音の強さＩと音圧Ｐとの間には、Ｉ＝Ｐ2 ／（ρｃ）
ρ：空気密度、 ｃ：空気粒子の速度なる関係があるため、音圧Ｐは、約５５％程度低減するに過ぎない。
【０００９】この場合、箱体８の内面全体に吸音材１０を貼着しても、例えば１００Ｈｚ程度の低周波の音を減衰させることは困難であり、音の強さは、せいぜい１０％程度）しか低減させることはできない。
【００１０】また、第２の従来技術のシールド装置には、以下のような問題が存在する。プローブ顕微鏡ユニットには、図示しないステージ等の摺動部が設けられており、真空中では、この摺動部に用いられている潤滑剤が蒸発してしまうため、円滑な摺動動作を維持することができなくなってしまう。
【００１１】また、プローブ顕微鏡ユニットには、光学部品等を固定するために接着剤が用いられており、真空中では、この接着剤が蒸発して光学部品に付着してしまうため、光学部品の光学特性が低下してしまう。
【００１２】更に、プローブ顕微鏡ユニットには、電気信号のプリアンプ等としてＩＣが用いられており、真空中では、このＩＣの足同士の間で放電が起こりやすくなっているため、放電が起こった場合にはＩＣが破壊してしまう。
【００１３】本発明は、このような問題を解決するために成されており、その目的は、外界からの影響を受けること無く、高分解能な測定を行うことが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成するために、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバー及びカンチレバーと試料とを相対的に走査させるスキャナを有するプローブ顕微鏡ユニットと、プローブ顕微鏡ユニットを支持可能であって且つこのプローブ顕微鏡ユニットに外部振動が伝わるのを除去する除振機構と、この除振機構に支持されたプローブ顕微鏡ユニットを外界からシールドするシールド機構とを備えており、このシールド機構には、外気圧よりも低い圧力に引かれた気密空間領域が形成されている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態に係る走査型プローブ顕微鏡について、図１を参照して説明する。本実施の形態の走査型プローブ顕微鏡に適用可能な測定法としては、探針接触圧設定時のカンチレバーの撓み状態を一定に維持しながら、カンチレバーを励振させること無く探針を試料に沿って走査することによって、試料の表面情報を測定するスタティックモード測定法と、所定の共振周波数でカンチレバーを励振させた状態において、例えば振動中心と試料表面との間の距離を一定に維持しながら、探針を試料に沿って走査することによって、試料の表面情報を測定するダイナミックモード測定法とが知られているが、以下の説明では、両測定法を総称して単にＳＰＭ測定ということとする。
【００１６】また、走査型プローブ顕微鏡は、固定した試料に対して探針を所定方向に移動させることによって、試料の表面情報をＳＰＭ測定する探針走査型と、固定した探針に対して試料を所定方向に移動させることによって、試料の表面情報をＳＰＭ測定する試料走査型とに大別されるが、いずれにも本実施の形態に適用することができる。
【００１７】なお、探針走査型の走査型プローブ顕微鏡は、スキャナ（例えば、チューブ型圧電体スキャナ）の可動端にカンチレバーが取り付けられており、スキャナに印加する電圧を制御することによって、探針を試料に沿って所定方向に所定量だけ移動させることができるように構成されている。一方、試料走査型の走査型プローブ顕微鏡は、スキャナの可動端に試料を載置することができるようになっており、スキャナに印加する電圧を制御することによって、試料を探針に対して所定方向に移動させることができるように構成されている。
【００１８】本実施の形態では、その一例として、図１に示すように、ＸＹステージ２２上にセットされた試料２４の表面に沿ってカンチレバー２６先端の探針２８を走査させることによって、試料２４の表面情報をＳＰＭ測定する探針走査型のプローブ顕微鏡を想定する。
【００１９】カンチレバー２６は、スキャナ３０（例えば、チューブ型圧電体スキャナ）の可動端に取り付けられており、このスキャナ３０は、スキャナ支持体３２を介してＺステージ３４に固定されている。このＺステージ３４は、ＸＹステージ２２と共に筐体３６に対して移動自在に取り付けられている。そして、以下の説明では、このような構成を有する走査型プローブ顕微鏡をプローブ顕微鏡ユニットと言うこととする。
【００２０】また、本実施の形態の走査型プローブ顕微鏡に適用したシールド装置は、プローブ顕微鏡ユニットを支持可能であって且つこのプローブ顕微鏡ユニットに外部振動が伝わるのを除去する除振機構と、この除振機構に支持されたプローブ顕微鏡ユニットを外界からシールドするシールド機構とを備えている。
【００２１】除振機構は、プローブ顕微鏡ユニット全体をセット可能な定盤３８と、この定盤３８を床面４０上に支持すると共にプローブ顕微鏡ユニットに外部振動が伝わるのを除去する除振台４２とを備えている。除振台４２としては、例えば、エアスプリング、ゴム（樹脂）、機械的バネに代表されるような弾性体（弾性部材、弾性機構など）を用いることが効果的である。
【００２２】シールド機構は、プローブ顕微鏡ユニット全体を覆うような形状（例えば、矩形状）を成しており、定盤３８上に取付可能な遮音性の外カバー４４と、この外カバー４４の内側に配置され且つ定盤３８上に取付可能な遮音性の内カバー４６とを備えている。
【００２３】これら外カバー４４及び内カバー４６は、シール材４８を介して定盤３８上に取り付けられている。このため、外カバー４４と内カバー４６との間には、外界からの空気が流入しない気密空間領域Ｔが形成される。
【００２４】ところで、ある物体を通過する音に対する遮音性は、その物体の面密度の増加に伴って向上する（一般に質量則という）。従って、外カバー４４及び内カバー４６は、共に、面密度の高い材質（例えば、鉄やステンレス等の金属）で形成することが好ましい。
【００２５】また、外カバー４４及び内カバー４６には、夫々、プローブ顕微鏡ユニットのメンテナンス（例えば、カンチレバーの取換など）や、試料２４の交換等のために、外扉５０及び内扉５２が開閉自在に取り付けられており、外扉５０と外カバー４４との間及び内扉５２と内カバー４６との間には、外扉用シール材５４及び内扉用シール材５６が設けられている。
【００２６】また、外カバー４４と内カバー４６との間に形成された気密空間領域Ｔには、外カバー４４に取り付けられたチューブ５８を介して真空ポンプ６０が連通接続されており、外カバー４４とチューブ５８との間には、チューブ接続用シール材６２が設けられている。
【００２７】真空ポンプ６０としては、例えば真空機工株式会社製の型式ＤＡ−２０Ｄのポンプを使用することが可能であり、この真空ポンプ６０によってチューブ５８を介して気密空間領域Ｔの真空圧力を例えば１００ｋＰａから５ｋＰａ程度まで低圧にすることができる。
【００２８】このような構成によれば、外扉５０及び内扉５２を閉めた状態において、真空ポンプ６０によって気密空間領域Ｔを真空（外気よりも低圧）にした後には、外扉５０と外カバー４４との間及び内扉５２と内カバー４６との間並びに外カバー４４とチューブ５８との間を介して外部空気が気密空間領域Ｔに流入するのを防止することができる。
【００２９】なお、外扉５０及び内扉５２には、夫々、図示しないロック機構が設けられており、外扉５０及び内扉５２を閉めた際の空気漏れ等が防止されている。次に、本実施の形態の動作について説明する。
【００３０】例えば外扉５０及び内扉５２を開いた後、試料２４をプローブ顕微鏡ユニットのＸＹステージ２２上にセットする。次に、外扉５０及び内扉５２を閉めてロックさせると、この状態で、外カバー４４と内カバー４６との間には、外界からの空気が流入しない気密空間領域Ｔが形成される。
【００３１】続いて、真空ポンプ６０を駆動して気密空間領域Ｔの空気を抜く。ここで、外カバー４４の幅寸法を１ｍ、高さ寸法を０．６ｍ、奥行寸法を１ｍとすると共に、内カバー４６の幅寸法を０．９ｍ、高さ寸法を０．５５ｍ、奥行寸法を０．９ｍとすると、気密空間領域Ｔの容積は、約１５０リットルとなる。この場合、真空機工株式会社製の型式ＤＡ−２０Ｄのポンプを用いると、約１分で気密空間領域Ｔの圧力を３．３２ｋＰａ（大気圧の３％）まで低減することができる。
【００３２】そして、気密空間領域Ｔを目標の圧力（例えば、３．３２ｋＰａ）に低減した後は、上述したようなＳＰＭ測定が外部コントローラ（図示しない）を操作することにより行われる。
【００３３】このＳＰＭ測定中において、真空ポンプ６０の脈動がチューブ５８から気密空間領域Ｔを介して伝達され、ＳＰＭ測定データにノイズとなって重畳するような場合には、例えばチューブ５８の途中にバルブ（図示しない）を取り付けて、このバルブを閉めてから真空ポンプ６０を停止したり、或いは、例えばチューブ５８の途中にアキュムレータ（図示しない）を取り付けて、真空ポンプ６０の脈動に起因した圧力変動を吸収すれば良い。この結果、真空ポンプ６０の脈動の影響を受けること無く、高分解能なＳＰＭ測定を行うことができる。
【００３４】また、ＳＰＭ測定中において、外部振動が外カバー４４に伝わった場合、この外部振動は、外カバー４４を振動させた後、気密空間領域Ｔから内カバー４６を介してシールド機構内に侵入しようとする。
【００３５】しかし、気密空間領域Ｔは、大気圧の３％程度の低圧（３．３２ｋＰａ）に引かれており、この気密空間領域Ｔの空気密度は、０．０３ｋｇ／ｃｍ3 まで減少している。
【００３６】ここで、音圧Ｐと空気密度ρとの間には、Ｐ＝ρｃｖｃ：音速、 ｖ：空気粒子の速度なる関係があり、音圧Ｐと空気密度ρとは比例関係にある。
【００３７】また、シールド機構のシールド性実験結果によれば、装置に与えた音圧Ｐと、この音圧Ｐに起因するノイズ（外部振動）とは比例関係にあることが知られている。
【００３８】従って、気密空間領域Ｔの圧力を大気圧の３％程度に減圧することによって、外部振動に起因したノイズを３％程度に減少させることができる。即ち、第１の従来技術（音圧を約５５％程度に低減させた技術）に比べて、本実施の形態に適用したシールド機構は、音圧を約２０倍程度低減させることができる。
【００３９】また、本実施の形態に適用したシールド機構によれば、外カバー４４及び内カバー４６自体も遮音性を有するため、上記の音圧低減効果を計算値以上に向上させることができる。
【００４０】更に、本実施の形態に適用したシールド機構において、大気圧１００ｋＰａに対する気密空間領域Ｔの圧力を３．３２ｋＰａに低減した場合、この圧力差（約９７ｋＰａ）に対応した圧力で外カバー４４及び内カバー４６が圧迫される。従って、外部振動によって外カバー４４及び内カバー４６が振動しても、その振動振幅は、圧力がかかっていない場合に比較して小さくなる。つまり、外カバー４４及び内カバー４６が外部振動に起因して振動しても、その振動振幅は小さくなる。
【００４１】また、本実施の形態に適用したシールド機構によれば、外気に対する気密空間領域Ｔの空気密度が小さくしているため、断熱効果を向上させることができる。従って、外気温度が変化（気密空間領域Ｔの温度よりも増加又は減少）しても、その外気温度変化は、外気よりも空気密度の小さい気密空間領域Ｔによって断熱されるため、シールド機構内に配置された走査型プローブ顕微鏡は、外気温度変化の影響を受けることは無い。この結果、ＳＰＭ測定データが、外気温度変化に起因してドリフトすることは無い。
【００４２】更に、本実施の形態に適用したシールド機構によれば、プローブ顕微鏡ユニットの周囲及び雰囲気は、真空に引かれておらず、大気と同一の空間領域を形成することができるため、従来技術のようなステージを円滑に摺動させるための潤滑剤の蒸発、光学部品等を固定するための接着剤の蒸発等が生じることは無い。このため、常に円滑なステージ移動を確保することができると共に、光学部品の光学的特性を低下させることも無い。この結果、高分解能なＳＰＭ測定を行うことができる。
【００４３】このように本実施の形態によれば、外界からの影響を受けること無く、高分解能な測定を行うことが可能な遮音性及び断熱性に優れた走査型プローブ顕微鏡を提供することができる。
【００４４】なお、本発明は、上述した実施の形態の構成に限定されることは無く、種々変更することが可能である。例えば図２（ａ）には、第１の変形例に適用したシールド機構の構成が示されており、このシールド機構は、プローブ顕微鏡ユニット全体を覆うように組み立てることが可能な複数のカバーユニット６４から構成されている。なお、プローブ顕微鏡ユニットの構成は、図１と同一であるため、図２（ａ）中では、省略する。
【００４５】これらカバーユニット６４は、夫々、中空気密構造を成しており、各々のカバーユニット６４内には、気密空間領域Ｔが形成されている。また、図３（ａ）に示すように、各々のカバーユニット６４は、チューブ５８を介して真空ポンプ６０が連通接続させることができるようになっており、カバーユニット６４とチューブ５８との間には、チューブ接続用シール材６２が設けられている。
【００４６】このような構成によれば、真空ポンプ６０によって各々のカバーユニット６４の気密空間領域Ｔを真空（外気よりも低圧）にした状態において、図３（ｂ）に示すように、チューブ５８の途中をバンド６６で気密状に締めた後、このバンド６６と真空ポンプ６０との間でチューブ５８を切断すれば、各々のカバーユニット６４の気密空間領域Ｔを半永久的に真空状態に維持させることができる。
【００４７】そして、このように真空に引かれた気密空間領域Ｔを有する各々のカバーユニット６４を図２（ａ）のように組み立てれば、遮音性及び断熱性に優れたシールド機構によってプローブ顕微鏡ユニット全体を覆うことができる。
【００４８】また、プローブ顕微鏡ユニットのメンテナンス（例えば、カンチレバーの取換など）や試料２４の交換等のために、複数のカバーユニット６４によって構成したシールド機構には、気密性に優れた開閉扉６８を設けることが好ましい。
【００４９】この開閉扉６８は、中空気密構造を成しており、その内部には、気密空間領域Ｔが形成されている。この開閉扉６８の気密空間領域Ｔも各カバーユニット６４の気密空間領域Ｔと同低圧にすることが好ましい。
【００５０】開閉扉６８の気密空間領域Ｔを真空に引く方法としては、例えば真空ポンプ６０によって開閉扉６８の気密空間領域Ｔを真空にした状態において（図３（ａ）参照）、チューブ５８の途中をバンド６６で気密状に締めた後、このバンド６６と真空ポンプ６０との間でチューブ５８を切断すれば良い（図３（ｂ）参照）。また、図示しない真空装置によって気密空間領域Ｔが予め真空に引かれた開閉扉６８を用意しても良い。
【００５１】また、開閉扉６８を締めた状態において、外部空気がプローブ顕微鏡ユニット周囲及び雰囲気に流入するのを防止するために、開閉扉６８とこの開閉扉６８に隣接する各カバーユニット６４との間には、シールド部材７０を設けることが好ましい。
【００５２】また、開閉扉６８の開閉機構としては、例えばヒンジ７２を用いることが可能である。この第１の変形例によれば、開閉扉６８の開閉動作に関係無く、常に、プローブ顕微鏡ユニット全体を覆っている各々のカバーユニット６４の気密空間領域Ｔを低圧に保持することができるため、開閉扉６８の開閉毎に各々のカバーユニット６４を真空に引く必要が無くなる。この結果、個々の試料に対するＳＰＭ測定準備時間を短くすることができる。更に、各々のカバーユニット６４が箱構造となるため、カバーユニット６４全体の剛性が上がり、外部振動に対して強固なシールド機構を実現することができる。
【００５３】なお、その他の作用効果は、上述した一実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。また、例えば図２（ｂ）には、第２の変形例に適用したシールド機構の構成が示されており、このシールド機構は、プローブ顕微鏡ユニット全体を覆うように延出した１つのカバーユニット６４´から構成されている。なお、プローブ顕微鏡ユニットの構成は、図１と同一であるため、図２（ｂ）中では省略する。
【００５４】このカバーユニット６４´は、上記第１の変形例に適用した複数のカバーユニット６４を一体化した形状を成しており、その内部には、１つの気密空間領域Ｔが形成されている。また、このカバーユニット６４´には、第１の変形例に適用した開閉扉６８が気密状に開閉自在に取り付けられている。
【００５５】また、図３（ａ）に示すように、カバーユニット６４´は、第１の変形例と同様に、チューブ５８を介して真空ポンプ６０が連通接続させることができるようになっており、カバーユニット６４´とチューブ５８との間には、チューブ接続用シール材６２が設けられている。
【００５６】この第２の変形例によれば、真空ポンプ６０によってカバーユニット６４´の気密空間領域Ｔを真空（外気よりも低圧）にした状態において、図３（ｂ）に示すように、チューブ５８の途中をバンド６６で気密状に締めた後、このバンド６６と真空ポンプ６０との間でチューブ５８を切断すれば、カバーユニット６４´の気密空間領域Ｔを半永久的に真空状態に維持させることができる。
【００５７】そして、このように真空に引かれた気密空間領域Ｔを有するカバーユニット６４´を図２（ｂ）のように配置すれば、遮音性及び断熱性に優れたシールド機構によってプローブ顕微鏡ユニット全体を覆うことができる。
【００５８】なお、この第２の変形例の作用効果は、第１の変形例と同様であるため、その説明は省略する。また、例えば図４には、第３の変形例に適用したシールド機構の構成が示されている。このシールド機構は、上述した一実施の形態に適用した外カバー４４及び内カバー４６に加えて、内カバー４６の内側に配置され且つプローブ顕微鏡ユニット全体を覆うように定盤３８上に取付可能な最内カバー７４を備えている。なお、プローブ顕微鏡ユニットの構成は、図１と同一であるため、図４中では省略する。
【００５９】最内カバー７４は、シール材４８を介して定盤３８上に取り付けられており、最内カバー７４と内カバー４６との間には、外界からの空気が流入しない気密空間領域Ｔが形成されている。
【００６０】最内カバー７４は、外カバー４４及び内カバー４６と同様に、面密度の高い材質（例えば、鉄やステンレス等の金属）で形成することが好ましい。また、最内カバー７４には、プローブ顕微鏡ユニットのメンテナンス（例えば、カンチレバーの取換など）や試料２４の交換等のために、最内扉７６が開閉自在に取り付けられており、最内扉７６と最内カバー７４との間には、最内扉用シール材７８が設けられている。
【００６１】最内カバー７４と内カバー４６との間の形成された気密空間領域Ｔには、内カバー４４に取り付けられたチューブ５８を介して真空ポンプ６０が連通接続されており、内カバー４４とチューブ５８との間には、チューブ接続用シール材８０が設けられている。
【００６２】このような構成によれば、外扉５０及び内扉５２並びに最内扉７６を閉めた状態において、真空ポンプ６０によって２つの気密空間領域Ｔを真空（外気よりも低圧）にした後には、外扉５０と外カバー４４との間及び内扉５２と内カバー４６との間並びに外カバー４４とチューブ５８との間、最内扉７６と最内カバー７４との間及び内カバー４６とチューブ５８との間を介して外部空気が２つの気密空間領域Ｔに流入するのを防止することができる。
【００６３】なお、その他の構成は、上述した一実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。この第３の変形例によれば、遮音性を有するカバー４４，４６，７４の数を増やして、低圧の気密空間領域Ｔを２重（即ち、上述した一実施の形態に比べて２倍）にしたことによって、シールド機構の遮音性及び断熱性を２倍に向上させることが可能となる。
【００６４】また、上述した変形例では、気密空間領域Ｔを２重にしたが、これに限定されることは無く、３重、４重及びそれ以上に増やすことが可能であり、気密空間領域Ｔを増やすことによって、シールド機構の遮音性及び断熱性を更に向上させることができる。
【００６５】また、このような遮音性及び断熱性の向上は、例えば図２（ａ），（ｂ）に示されたカバーユニット６４，６４´を複数層に重ねることによっても実現することができる。
【００６６】なお、その他の作用効果は、上述した一実施の形態と同様であるため、その説明を省略する。また、例えば図５には、第４の変形例に適用した除振機構の構成が示されている。上述した実施の形態及び第１〜第３の変形例では、気密空間領域Ｔを介してプローブ顕微鏡ユニットに伝搬される外部振動を除去する点に着目した実施の形態を記載した。しかしながら、外部振動は、外カバー４４及び内カバー４６を少なからず振動させるため、シール材４８を介して定盤３８を振動させる可能性がある。従って、定盤３８の振動は、即ち、外部振動であり、プローブ顕微鏡ユニットに影響を与える。
【００６７】そこで、図５に示された除振機構には、プローブ顕微鏡ユニットを載置可能な第２の定盤９０と、この第２の定盤９０を定盤３８上に支持すると共にプローブ顕微鏡ユニットに定盤３８からの外部振動が伝わるのを除去する第２の除振台９２とを更に備えている。この第２の除振台９２としては、例えば、エアスプリング、ゴム（樹脂）、機械的バネに代表されるような弾性体（弾性部材、弾性機構など）を用いることが効果的である。
【００６８】なお、他の構成は、上述した一実施の形態（図１参照）と同様であるため、その説明は省略する。このような構成によれば、気密空間領域Ｔを介してプローブ顕微鏡ユニットに伝搬される外部振動及び定盤３８からの外部振動を除去することができるため、より効果的に外部振動が除去され、外界からの影響を受け難い高分解能な測定を行うことが可能な走査型プローブ顕微鏡を実現することができる。
【００６９】
【発明の効果】本発明によれば、外界からの影響を受けること無く、高分解能な測定を行うことが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供することができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】００００００３７６
【氏名又は名称】オリンパス光学工業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年（１９９８）３月２３日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴江 武彦 （外４名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−２７１３３５ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１０月８日 |
| 【出願番号】 |
特願平１０−７４５１２ |
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