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【発明の名称】 光導波路ブランクのコア／クラッド界面の検出方法及び装置
【発明者】 【氏名】ジェラルド リー ヘップバーン

【氏名】フランジスカ エル． ローリー

【氏名】デイビッド アンドリュー パステル

【氏名】ロバート エス． ワグナー
【要約】 【課題】

【解決手段】
【特許請求の範囲】
【請求項１】 光導波路ファイバを製造するための長手方向軸を有するブランクのコア/クラッド界面の検出方法であって、（a）コヒーレント光のビームを入射するステップと、（b）ブランクの少なくとも一部分を横切ってビームを横方向に走査するステップと、（c）光線を走査してブランクを通過した光を検出するステップと、（d）少なくとも２モードの検出光の強度パターンの開始点（onset）を識別することによってコア/クラッド界面を検出するステップと、を有することを特徴とする検出方法。
【請求項２】 長手方向軸が公称位置を有し、ビームが該位置近傍で収斂することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】 前記ステップ(c)は、前記ブランクを通過した光を前記検出器に導く光学システムを与えるステップを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】 閾値を前記開始点の識別に用いることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】 長手方向軸に関してブランクを回転し、回転した前記ブランクにおいて前記ステップ(a)から前記ステップ(d)を繰り返す追加ステップを有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項６】 長手方向軸に沿った複数の位置で前記ステップ(a)から前記ステップ(d)を繰り返す追加ステップを有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】 光導波路ファイバを製造するためのブランクのコア/クラッド界面の位置を決定する方法であって、前記ブランクは長手方向軸を有し、(a)コヒーレント光のビームを入射するステップと、(b)少なくともブランクの一部を横切ってビームを横方向に走査するステップと、(c)ビームの横方向の位置の関数として、ブランクを通過した光を検出するステップと、(d)少なくとも２モードの検出光の強度パターンの開始点、すなわちブランク内のコア/クラッド界面の位置に対応する前記開始点でのビームの横方向位置を識別するステップと、を有することを特徴とする方法。
【請求項８】 長手方向軸が公称位置を有し、ビームが該位置近傍で収斂することを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項９】 前記ステップ(c)は、ブランクを通過した光を検出器上に導く光学システムを与えるステップを含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項10】 閾値を前記開始点を識別に用いることを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項11】 長手方向軸に関して、ブランクを回転して、回転した前記ブランクに前記ステップ(a)から前記ステップ(d)を繰り返す追加ステップをさらに含むことを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項12】 長手方向軸に沿った複数の位置で前記ステップ(a)から前記ステップ(d)を繰り返す追加ステップをさらに有することを特徴とする請求項７記載の方法。
【請求項13】 光導波路ファイバを製造するためのブランクの検査方法であって、前記ブランクは、コア、クラッドおよび長手方向軸を有し、(a)光源および検出器をブランクの対向する端部に配して、前記光源がコヒーレント光を生成し、前記検出器が空間光強度パターンを検出するステップと、(b)ブランクを横切ってビームを横方向に移動させて検出器で空間光強度パターンを検出するステップと、(c)単一モード空間光強度パターンの幅の減少が長手方向軸の方へビームを移動させて生じた横方向位置によってクラッドのエッジを識別するステップと、(d)少なくとも２モードの空間光強度パターンが長手方向軸の方へビームを移動させて現れた横方向位置によってコアのエッジを識別するステップと、を有することを特徴とする方法。
【請求項14】 ビームを横方向に動かすことによって、単一モード空間光強度パターンが少なくとも２モードの空間光強度パターンによって両側を囲まれたところの横方向位置によってブランクの中心を識別する追加ステップを有することを特徴とする請求項13記載の方法。
【請求項15】 所定の角度に長手方向軸に関して、ブランクを回転して、回転した前記ブランクを前記ステップ(a)から前記ステップ(d)まで繰り返す追加ステップを有することを特徴とする請求項13記載の方法。
【請求項16】 コア/クラッドの同心性を前記ステップ(c)及び前記ステップ(d)による識別を最初及び繰り返しによって決定する追加ステップを有することを特徴とする請求項15記載の方法。
【請求項17】 前記ステップ(c)による識別を最初及び繰り返してブランクの楕円率を決定する追加ステップを有することを特徴とする請求項15記載の方法。
【請求項18】 前記ステップ(d)による識別を最初及び繰り返してコアの楕円率を決定する追加ステップを含むことを特徴とする請求項15記載の方法。
【請求項19】 長手方向軸に沿った複数の位置で前記ステップ(a)から前記ステップ(d)を繰り返す追加ステップを有することを特徴とする請求項13記載の方法。
【請求項20】 長手方向軸が公称位置を有し、ビームが前記位置の近傍で収斂することを特徴とする請求項13記載の方法。
【請求項21】 光学システムは、ブランクを通過した光を検出器上に導くための前記ステップ(a)を与えられることを特徴とする請求項13記載の方法。
【請求項22】 光導波路ファイバを製造するためのブランクの検査装置であって、前記ブランクは公称位置を有する長手方向軸を有し、前記装置は、(a)ブランク支持手段と、(b)コヒーレント光のビームを生成する手段と、(c)長手方向軸の公称位置の近傍でビームを収斂させる手段と、(d)ブランクを横切ってビームを横方向に走査する手段と、(e)空間光強度パターンを検出する手段と、(f)ブランクを横切ってビームを横方向に走査する手段とともに検出手段上へ光を導く手段と、を有することを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路ファイバ、特に、光ファイバを製造するためのブランクのコア/クラッド界面の検出方法及びその装置に関する。コア/クラッド界面は、ここにおいてコアのエッジでもある。
【０００２】
【従来の技術】良く知られるように、光導波路ファイバは、クラッドに囲まれた中央コアを有し、該コアはクラッドよりも高い屈折率を有している。このようなファイバは、「ブランク」（「プリフォーム」とも称する）の一端を加熱して、該ブランクから線引きして製造されており、ファイバの直径は、線引き率によって制御されている。このファイバの製造過程において、ブランクは低い屈折率のクラッドによって囲まれた高い屈折率の中央コアを有し、ブランクのコア及びクラッドの断面の大きさは、当然にファイバのコアおよびクラッドのそれよりも大きく、例えば10対100以上である。
【０００３】例えば、コア/クラッドの直径比及びコア/クラッドの同心性といったファイバの多様な幾何学的特徴は、ファイバが線引きされるブランクの幾何学的特徴によって決定され、故に、当業者は、ブランクの幾何学的形状を測定するための多くの装置を開発してきた。ブランクの直径を決定するのに広く用いられている装置の１つが、レーザー・マイク（LASERMIC）の商標の下にオハイオ州デイトンにあるレーザー・マイク（Laser Mike）社より販売されている。この装置は、ブランクを横切る方向に照らして操作し、電子カメラを用いてブランクの影の外側エッジを検出している。
【０００４】島田ら(Shimada et al.)による米国特許第5,408,309号は、コア/クラッドの同心性及びブランクの楕円率の測定に使用される横方向の照明の使用について述べている。該特許では、ブランクを回転させて、電子カメラによってコアとクラッドのエッジ位置を回転した角度の関数として検出して同心性および楕円率を決定している。ブランクが楕円であって、中心からずれたコアを有していたり、これらの欠陥のうちのどちらかを示しているかどうかについて、カメラの記録を分析するために多くの式が提案されている。レーザー光源を用いた従来例も提案されており、コアとクラッド層間での残留応力によって該層間のはっきりとした像が与えられるとしている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】従来の技術を考慮した上で、本発明の目的は、光導波路ファイバの製造に使用されるブランクのコア／クラッド界面位置を検出するための改良された技術を提供することである。また、本発明の目的は、コア/クラッド界面及びクラッドの外側のエッジ位置を検出するための改良された技術を提供することである。本発明のさらなる目的は、コア/クラッド界面の位置及びコア/クラッドの同心性、コアの楕円率及びブランク（クラッド）の楕円率を決定するためのクラッドの外側のエッジ位置を決定することである。本測定法によるコアの直径およびクラッドの直径、ファイバの既知のパラメータ、その使用条件（特に、線引き率、コア及びクラッドの屈折率および動作波長）が与えられて、モード場直径（MFD）及びカットオフ波長が、該ファイバに対して予測され得る。
【０００６】上述した目的及びその他の目的を達成するために、本発明はブランクのコア/クラッド界面を検出するための方法を提供する。該方法は、(a) コヒーレント光のビーム（例えば、レーザー光線）を入射し、(b) 少なくともブランクの一部を横切るようにビームを横方向に走査し、(c) ビームが走査されてブランクを通過した光を検出し、(d) 少なくとも２モード（bimodal）の検出光の空間強度パターンの開始点を識別することによってコア/クラッド界面を検出する、ことからなる。
【０００７】本発明によれば、走査されたレーザービームが、クラッドからブランクのコアへ通過するとき、空間強度パターンのローブされた（lobed）回折/干渉パターン、すなわち、少なくとも２モードのパターンが生起されることを発見した。ビームがコア内で動くとき、該パターンは、強度（及び検出可能なローブ部の数）を増加させる。それゆえに、該パターンの開始点の閾値を明らかにすることによって、コア/クラッド界面が容易に検出され得るのである。
【０００８】好ましき実施例において、コヒーレントビーム光が、ブランクの長手方向軸の公称位置に対応する位置に収斂されており、すなわち、ビームがブランクの中心の公称位置に焦点合わせされているのである。この収斂によって、コア/クラッド界面によって生じたローブパターンの強度を増加させることがわかった。更なる本発明の実施例において、ブランクを検査する方法が提供される。該方法は、(a) ブランクの対向する端部に光源および検出器を与え、光源はコヒーレント光のビームを生成し、検出器は空間光強度パターンを検出する能力を有し、(b) ブランクを横切るようにビームを横方向に移動して検出器で空間光強度パターンを検出し、(c)単一モードの空間光強度パターンの幅の減少が長手方向軸へのビームの動きによって生じた横方向位置、好ましくは所定の閾値に関して決定されるようにクラッドのエッジを識別し、(d)少なくとも２モードの空間光強度パターンが長手方向軸へのビームの動きによって生じた横方向位置、好ましくは所定の閾値に関して決定されるようにコアのエッジを識別する、ことからなる。
【０００９】所望により、本検査方法は、また単一モード空間光強度パターンが、ビームの横方向の動きに対して、少なくとも２モード空間光強度パターンによって両側を取り囲まれる横方向位置によってブランクの中心を識別することを含むことができる。本検査方法を用いたコア/クラッド同心性、クラッドの楕円率及び／若しくはコア楕円率は、クラッドのエッジを識別する（位置を決める）ことによって決定され、それから所定の角度、例えば90度ブランクを回転させて、再びクラッド及びコアのエッジを識別する（位置を決める）ことによって決定されている。本方法で得られたデータは、測定が行われた軸方向位置での同心性及び／若しくは楕円率値を引き出し得る。あるいは、２つのみの測定値を用いるよりむしろ、一連の角度において多数の測定を行って求め得る。
【００１０】好ましくは、それぞれの位置で決定された同心性及び／若しくは楕円率値について、本検査方法がブランクの長手方向に沿った複数の軸位置で繰り返し行われる。本発明は、また、ブランクを検査するための装置を提供する。これは、以下からなる。(a) 例えば、ブランクの下から一端でブランクに接していて、所定の角度で長手方向軸について、好ましくはブランクを回転させるのに用いることの出来る支持ローラー及びベルトのシステムのような、ブランク支持手段と、(b) 例えばレーザーの如きコヒーレント光のビームを発生させる手段と、(c) 例えば、上述のレーザー・マイク装置を使用して決定される長手方向軸の公称位置において可動なフォーカシングレンズのようなビームをブランクの長手方向軸の公称位置の近傍で収斂せしめる手段と、(d)例えば、ブランクの長手方向軸に通常の平面内で動くレーザーおよびフォーカシングレンズのために、例えば、DCサーボモータを使用しているロボティックス・システムの如き、ブランクを横切ってビームを横方向に走査する手段と、(e)例えば、線形CCDカメラの如き、空間光強度パターンを検出するための手段と、(f)例えば、空気/クラッド界面を表す空間光強度パターン及びコア/クラッド界面を表すパターンの双方をCCDカメラの上へ導くレンズシステムの如き、ブランクを横切ってビームを走査する横方向に走査する手段と、からなる。
【００１１】好ましくは、ロボティックス・システムは、ブランクに沿ってレーザー、フォーカシングレンズ、CCDカメラおよびレンズシステムを移動することができるようにすることで、その長さに沿ったブランクの幾何学的形状の変動を決定することができる。明細書の一部を構成する図面は、本発明の好ましき実施例を示しており、発明の詳細な説明とともに本発明の原理の説明を与えている。図面及び明細書の双方は説明的であって、本発明を制限するものではないことは、もちろんよく理解されていることである。
【００１２】
【発明の実施の形態】上述したように、本発明は、ブランクの（目的とする）異層領域に照射されたコヒーレント光ビームが生成する空間光強度パターンの変化を用いた空気/クラッドおよびコア/クラッド界面の識別に関するものである。図１は、該識別法を実施するための装置を模式的に示している。該図が示すように、ブランク13はその両端部を支持されて、その長手方向軸15について回転自在である。ブランクは好ましくは図１のように水平に回転自在に支持されるが、所望により垂直回転も行うことができる。
【００１３】測定装置10は、(1)例えば650ナノメートルで作動している1.0mWレーザー・ダイオードで且つ4×ビーム・エキスパンダを具備し、コヒーレント光のコリメートされたビームを発生する光源17と、(2)ブランクの公称中心にビームの焦点を合わせる可動レンズ19と、(3)ビームによってブランクを照らすことによる空間光強度パターンを検出する検出器21と、(4)ビームがブランクを横切って走査されるとき、目的のパターンが検出器21に届くことを補償するレンズシステム23と、からなる。
【００１４】装置10は、また、好ましくはブランクの同心性および楕円率値の計算と同様の処理、例えば空気/クラッドおよびコア/クラッド界面を識別する検出器21の出力をフィルタリングし、解析するために最適にプログラムされたコンピュータ・システム（図示せず）を含む。例えば、検出された空間光強度パターンは、市販のソフトウェアを使用してフィルタリングされて解析され得る。このソフトウェアは、テキサスのナショナル・インスツルメンツ・オブ・オースティン社（National Instruments of Austin, Texas）からラボビュー（LABVIEW）の商標の下に市販されている。コンピュータ・システムは、また、レーザー・ビームの位置に関して、ロボティックス・システムから入力信号を受け取って、そして検出器からの解析されたデータが、ブランク内の特定の位置と関連づけられる。
【００１５】ロボティックス・システムを模式的に示すことを意図した図１において、構成物17、19、21及び23は、台25および27によって支持されている。両方のテーブルはｙ方向に可動であり、ブランク13の長手方向に沿った異なる位置で測定を行い得る。台25は、また、ブランクを横切る光ビームを横方向に走査するためにｘ方向にも移動自在である。多くの販売元から市販されているロボティックス・システムが、本発明の実施に用いることができる。
【００１６】上述したように、ブランク13の公称中心は、レーザー・マイクまたは類似の測定装置（図示せず）を用いて決定することができる。レーザー・マイクを用いるとき、ブランクの公称中心は、装置によって定められるクラッドの影の中心点にとられる。公称中心値を得るための装置は、ロボティックス・システムによって移動し得るので、測定システムがブランクの長手方向に沿って移動して公称中心の位置が調整され得る。あるいは、公称中心値は、別々の試験台で得ることができ、そして、それらの値は装置10のコンピュータ・システムに供給され得る。
【００１７】一旦、公称中心が決定されると、フォーカシングレンズ19の位置が調節されて、フォーカシングレンズと公称中心との距離Zは以下の式を満たす。
Ｚ＝Ｆ−（ｎ−１)Ｒここで、Ｆはフォーカシングレンズの焦点距離、ｎはクラッドの屈折率、Ｒはクラッドの半径である。このように、光源17によって生じるビームは、ブランクの公称長手方向軸の近くで一点に収斂する。この収斂が、検出器21での信号強度を改善することがわかった。
【００１８】特に、およそ20ミクロンのスポット・サイズに収斂することで、信号強度を改善され得ることがわかった。（光源17によって生じるビームは、一般に円形でない点に注意されたい。例えば、ダイオード・レーザーは、楕円形に成形されたビームを生じることは良く知られる。このような場合に、楕円の長軸は、ブランクの長手方向軸（すなわち、図１で垂直方向）と直角に好ましくは配向しており、そして、この方向に焦点合わせされたビームのサイズが好ましくは20ミクロン未満である。）好ましくは、収斂は、光ビームの方向（図1のｚ方向）に沿っておよそ2ミリメートルの距離に保たれる。実際、150mmの焦点距離およびレンズでの光ビームの直径より大きい透明な開口を有している単一のレンズ素子が、ビームフォーカシングレンズとしての用途に適しているとわかった。
【００１９】図２から４は、検出器21上へ目的の空間強度パターンを導くための適当なレンズシステム23を示している。図２は、ブランクに到達する前のシステムを示している。この図からわかるように、ビームが軸上または軸外であっても、コリメートされた光ビーム30が検出器21に収斂し、すなわち、検出器はレンズシステムの焦点にあるのである。
【００２０】図３および４は、それぞれ小さい若しくは大きいブランクでのシステムの動作を示している。これらの図において、ブランクのコア32及びそのクラッド34が識別される。これらの図に示したように、大きいレンズ素子40,42,44及び小さいレンズ素子50,52の組合せによって、少なくとも、ビーム30の一部は、ちょうどクラッドの外側のビーム（各図内の上方のビーム）及びちょうどコアの外側のビーム（各図内の下方側のビーム）として検出器21に到達する。これらがブランクの幾何学的形状に関して最も重要なデータを得られる位置である故に、この５素子レンズシステムが、ブランクの大きさの範囲を検出器上へ、目的の空間強度パターンを導く目的を達成していることを図は示している。図２から４のレンズシステムに適した焦点距離及びレンズ間隔（中央から中央まで）は、以下の如きである。
レンズ素子 焦点距離（mm） レンズ間隔（mm）
40 1000 25 50 50 140 42 1000 50 52 100 75 44 250ここにおいて、レンズ素子40の中心とブランクの長手方向軸との間の距離は、250ミリメートルであって、レンズ素子44と検出器21の中心間距離は、300ミリメートルであって、そして、検出器21の作動領域は、16ミリメートルである。レンズ素子の開口は、検査されるブランクの大きさに対してビーム30を捕えるのに十分に大きいように選ばれる。さらに一般に、レンズシステム23は、検出器上に光強度パターンを十分に投射できるように十分に大きい視野を有していなければならず、故に、クラッドの外側エッジおよびコア/クラッド界面が検出できるのである。
【００２１】図５から図11は、ビーム30がブランクを横切って走査される時の検出器21で観測される空間光強度パターンを示している。これらの図のパターンは、図1の装置および図２から４のレンズシステムを使用して得られたものである。検出器の出力は、2048ピクセルの光強度値であった。図５および図６は、単一モード・パターンを示しており、これは光ビームがクラッドの外側にあるとき（図５）及びクラッドに当たっているが完全にその中にないとき（図６）を表している。これらの図を比較すると、図６のパターンの幅が図５のその幅よりも小さいことがわかる。幅の減少は、クラッドによって検出器から離れた位置にビームの一部が屈折させられるためである。
【００２２】図５と図６の間の幅の減少は、検出器の出力データから直接に検出でき得るが、データの標準偏差を計算することによってさらに便利に検出することができ得、パターン幅の減少に対応して標準偏差が減少する故に、ビームがクラッドに当たったとき、パターンの最大強度は増加しない。代替技術を使用して製造される直径測定器、例えば、上述したレーザーマイク装置を使用して製造された直径測定器であっても、単一モードパターンの幅の減少に相関させることによって、実質的に全く同じ直径値を決定できるような減少の閾値が決定され得る。
【００２３】一方で、閾値は、単なるノイズをクラッドのエッジと誤って検出することを避けられるように、十分に大きく選ばれる。この後者の場合において、本発明の手順によって製造されるクラッド径測定器は、それ自身の標準器として供される。図７は、ビームが完全にクラッド内にあって、コアのエッジから充分に離れたところにあるときの検出器の出力を示す。クラッドがすべてのビームを屈折させるため、実質的にビームからの光が検出器に届かない。故に、検出器の出力は実質的にゼロである。
【００２４】図８は、ビームがクラッド内にまだ完全にあるが、コアのエッジ近傍にあるときの検出器の出力を示している。ビームが垂直に近い角度でクラッドに当たって、単一モード信号がこの条件の下に反射すると検出器から離れた位置にビームを屈折させるクラッドの能力を減じる。図９は、ビームがコアのエッジと当たる時について示している。本図において、サイドローブ（両側部の高強度部分）が明瞭に見られ、すなわち、パターンはもはや単一モードでなく、少なくとも２モードである。ビームがコア内を動き続けるとき、パターンの強度及びそのモード特性が、ともに増加する。実際には、より大きい検出器および／または異なるレンズシステム23は、空間光強度パターンの回折/干渉型に特有である強度を減じた一連のローブを含むパターンを表す。図９（図10のそれらと同じ）のローブは、中心のローブおよび第１のサイドローブから成る。
【００２５】動作のいかなる特別な理論によっても拘束されるものではないが、ローブパターンは、回折格子として作用するコア内の線条によるものであって、すなわち中央ローブ及びサイドローブのような空間光強度パターンの回折／干渉型を形成されると言われている。特に、コア内に線条を有しないブランクは、ローブパターンを形成しないことがわかった。
【００２６】線条を有するブランクによって生じる多様なローブのその特定位置及び大きさは、他の多くの因子の中で、間隔の一様な線条の径方向の間隔、線条と所与の線条内のある範囲の最少のもの及び個々の線条の半径方向内のある範囲の最少のものとの間のこのような変化の一様性を含む線条を形成している屈折率変化、に依存している。多数の変数が含まれる故、180度に分けられた2つの円周上のコアの直径測定値がいくぶん異なり得ることが認められ、例えば、測定値は少なくともおよそ0.1ミクロンだけ異なり得るのである。動作のいかなる特別な理論によっても拘束されるものではないが、これらの差は、製造プロセスの間に生じるブランクの周りの異なる円周位置での線条における変動によるものである。
【００２７】図９の少なくとも２モードパターンでの開始点は、多くのピークを認識する公知の技術を用いて決定することができる。実用となる1つの技術は、サイドローブが生じると予想される検出器出力の領域を調べ、最小限の高さおよび最小限の幅の組合せに関してローブの閾値を定義することからなる。閾値は調整可能で、例えば、該ブランクから線引きされるファイバのコア/クラッドの同心性およびカットオフ波長の測定値に対応してコアの測定値がブランクを形成する。
【００２８】図10および11は、コア内（図10）及びコアの中央（図11）に対するビームの検出器からの出力を示している。図９と図10を比較すると、ビームがコア内で動くときにピーク強度が増加している。図11において、ビームがコアの中央に配されるとき、検出器によって検出される少なくとも２モード・パターンが単一モードになることを示している。
【００２９】図５から図11のパターンは、ビームがコアの中心を過ぎて、コアの胴体部分に、それからクラッドに、そして最後に空気の中へと動き、逆の順番で繰り返される。パターンのこの逆のセットは、ブランクの下半分のコアとエッジの位置を決定できる。一方で、ビームはブランクの下方の点にシフトし、上方へ走査し得る。パターンが図５−11で示す同じ順序で起こるならば、この後者方法がむしろ好ましく、故に、アルゴリズムの一回のセットのみで、分析を実行するこを要求される。
【００３０】実際、図1-5のシステムは、いろいろな大きさを有するブランクのコア及びクラッドの幾何形状をスピーディに、且つ信頼性高く測定できることがわかった。本システムによって行われた測定値は、本発明の装置及び方法を使用して調べられたブランクから線引きされたファイバについて計測されたコア/クラッドの同心性、カットオフ波長およびモード場直径と相関していることがわかった。しかしながら、上記したように、ブランクが１方向に計測されたとき、計測値にある程度の変動が観測され、180度回転させて再測定した。このような変動が、本発明の特別な使用に対して好ましくない場合、例えば、ブランクの一端で非円形対称形状である場合、例えば、絶えず一つの方向にブランクを向けて使用することによって適応することができる。
【００３１】本発明の具体的な実施例が図と共に説明されたが、変更態様は、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく作られることができることを理解されるであろう。例えば、他の光源、レンズ（例えば球状表面を有するレンズ）、検出器（多数の検出器を含む）、および上記された以外のソフトウェア・プログラムが、本発明の実行において用いることができる。同様に、光源を移動する代わりに、例えば多面的な回転ミラーを使用してビームをブランクを横切る方向にわたって走査することができる。また、電子的な検査システムを使用するのではなく、本発明の空間光強度パターンを手動でスクリーンに見ることもできる。同様に、ブランクを回転させるための垂直若しくは水平方向にブランクの状態を保つためのいろいろな機構を含み、いろいろなブランク保持機構が、本発明の実行において用いることができる。
【００３２】本発明の範囲及び精神から切り離されずにいろいろな他の変更態様があることは、本開示から当業者にとって明らかである。以下の請求項が、この種の変更態様、バリエーションおよび等価物のようなここで記載される具体的な実施例をカバーしていることを意図している。
【出願人】 【識別番号】３９００３７９０３
【氏名又は名称】コーニング インコーポレイテッド
【氏名又は名称原語表記】ＣＯＲＮＩＮＧ ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【出願日】 平成１０年（１９９８）９月２５日
【代理人】 【弁理士】
【氏名又は名称】藤村 元彦 （外１名）
【公開番号】 特開平１１−１８３３１６
【公開日】 平成１１年（１９９９）７月９日
【出願番号】 特願平１０−２７１１３０