| 【発明の名称】 |
光学干渉縞計測装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】川崎 和彦
【氏名】光谷 直樹
【氏名】配野 宏
【氏名】岡本 清和
|
| 【要約】 |
【課題】機械的な可動部がなく、計測光と参照光から複数の干渉縞画像が同時に得られる光学干渉縞計測装置を得るにある。
【解決手段】ビームスプリッタ３によって光源１からの光を、被測定面４からの反射光である複数の分光計測光９Ａ〜９Ｃとそれぞれ位相の異なった複数の分光参照光１１Ａ〜１１Ｃとに同時的に分割し、前記各分光計測光９Ａ〜９Ｃに組み合わされる前記各分光参照光１１Ａ〜１１Ｃで複数の光学干渉系を構成し、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込む光電変換手段１９Ａ〜１９Ｃを各光学干渉系に設けた光学干渉縞計測装置。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ビームスプリッタによって光源からの光を、被測定面からの反射光である複数の分光計測光とそれぞれ位相の異なった複数の分光参照光とに同時的に分割し、前記各分光計測光に組み合わされる前記各分光参照光で複数の光学干渉系を構成し、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込む光電変換手段を各光学干渉系に設けたことを特徴とする光学干渉縞計測装置。
【請求項２】 光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記投射光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の位相とは異なる位相の参照光を生成する光学媒質あるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の位相とは異なる位相の計測光を生成する光学媒質と、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備えることを特徴とする光学干渉縞計測装置。
【請求項３】 光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記投射光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の位相とは異なる位相の参照光を生成する液晶位相シフト板あるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の位相とは異なる位相の計測光を生成する液晶位相シフト板と、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備えることを特徴とする光学干渉縞計測装置。
【請求項４】 光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記投射光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の位相とは異なる位相の参照光を生成する光学クサビあるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の位相とは異なる位相の計測光を生成する光学クサビと、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備えることを特徴とする光学干渉縞計測装置。
【請求項５】 光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記投射光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の光路長とは異なる光路長とすることにより異なった位相の分光参照光とする少なくとも１組の参照光スプリッタと光路長ミラーあるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の光路長とは異なる光路長とすることにより異なった位相の分光計測光とする少なくとも１組の計測光スプリッタと光路長ミラーと、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備えることを特徴とする光学干渉縞計測装置。
|
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学干渉縞計測装置に関し、特に、高精度解析が可能な位相シフト法による光学干渉縞計測装置に関する。
【０００２】
【背景技術】周知のように、光の干渉により生じる干渉縞を解析して被測定面の形状を解析する光学干渉縞計測装置においては、参照面を光軸方向に移動させて参照光の位相を変化させ、移動前後の複数枚の干渉縞画像を解析して、被測定面の形状を知る（例えば、特開平８−１５９７０９号公報）。
【０００３】即ち、図５はこのような位相シフト法よる従来の光学干渉縞計測装置の光学系を示し、レンズＡで平行光とされた光源Ｂからのコヒーレント光はビームスプリッタＣを透過して被測定面Ｄで反射され、ビームスプリッタＣにて反射されて、結像レンズＥでＣＣＤ素子等のカメラＦに入力される。また、前記ビームスプリッタＣと前記被測定面Ｄとの間には、測定光の光軸方向に移動される参照面部材Ｇが位置され、この参照面部材Ｇの介在により前記被測定面Ｄからの反射光が干渉される。
【０００４】つまり、このような従来の光学干渉縞計測装置では、参照面部材Ｇの光軸方向の位置変化により参照光の位相がシフトされるから、参照面部材Ｇの移動前後の干渉縞をカメラＦから処理装置Ｈに取り込んで解析することにより、被測定面Ｄの形状を知ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このような構成の光学干渉縞計測装置によると、参照面部材Ｇの移動により参照光の位相をシフトするので、参照面部材Ｇの精密な移動のために装置が高価になりがちで、実際の解析のためには、参照面部材Ｇの移動の度に複数枚の干渉縞画像を順次処理装置に取り込む必要があるから、解析作業に時間がかかる難点がある。このため、各干渉縞画像の取り込み時に、空気揺らぎ、機械的な振動、温度変化といった環境の変化があると、これらの影響により干渉縞画像が変化してしまう。勿論、この光学干渉縞計測装置にあっては、参照面部材Ｇの移動による時間的に異なった干渉縞画像の取り込みであるから、その解析手法自体高速移動体の計測はできなかった。
【０００６】本発明の目的は、以上に述べたような従来の光学干渉縞計測装置の問題に鑑み、機械的な可動部がなく、計測光と参照光との間の複数の干渉縞画像が同時に得られる光学干渉縞計測装置を得るにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため、本発明は、ビームスプリッタによって光源からの光を、被測定面からの反射光である複数の分光計測光とそれぞれ位相の異なった複数の分光参照光とに同時的に分割し、前記各分光計測光に組み合わされる前記各分光参照光で複数の光学干渉系を構成し、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込む光電変換手段を各光学干渉系に設けた光学干渉縞計測装置を提案するものである。
【０００８】後述する本発明の好ましい実施例の説明においては、1)光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記計測光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の位相とは異なる位相の参照光を生成する光学媒質あるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の位相とは異なる位相の計測光を生成する光学媒質と、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備える構成、2)光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記計測光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の位相とは異なる位相の参照光を生成する液晶位相シフト板あるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の位相とは異なる位相の計測光を生成する液晶位相シフト板と、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備える構成、3)光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記計測光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の位相とは異なる位相の参照光を生成する光学クサビあるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の位相とは異なる位相の計測光を生成する光学クサビと、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備える構成、4)光源からの平行光を被測定面への投射光と参照光に分割するビームスプリッタと、被測定面から反射された前記計測光を複数の分光計測光に分解する複数の計測光スプリッタと、前記参照光を複数の分光参照光に分解する参照光スプリッタと、前記分光参照光の少なくともひとつに介在されて他の分光参照光の光路長とは異なる光路長とすることにより異なった位相の分光参照光とする少なくとも１組の参照光スプリッタと光路長ミラーあるいは前記分光計測光の少なくともひとつに介在されて他の分光計測光の光路長とは異なる光路長とすることにより異なった位相の分光計測光とする少なくとも１組の計測光スプリッタと光路長ミラーと、前記各分光計測光に前記分光参照光を組み合わせて複数の光学干渉系を構成する複数の干渉部スプリッタと、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込んで記憶させる手段とを備える構成が説明される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図１から図４について本発明の実施例の詳細を説明する。図１は本発明の第１実施例による光学干渉縞計測装置の光学系を示し、光源１から出射されるコヒーレント光はレンズ２で平行光束とされる。
【００１０】この平行光束はその光軸上に位置するビームスプリッタ３により被測定面４への投射光と被測定面４からの反射光に対する参照光とに分割される。被測定面４への投射光は被測定面４により反射され、再び前記ビームスプリッタ３により反射された後、計測光反射ミラー５で全反射されて計測光となるけれども、この計測光は２つの計測光スプリッタ６，７及び第１全反射ミラー８により３系統の分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃに分岐される。
【００１１】即ち、計測光反射ミラー５からの計測光は第１計測光スプリッタ６を通る間に反射光と透過光に分けられ、同第１計測光スプリッタ６の反射光が第１分光計測光９Ａとなり、同第１計測光スプリッタ６の透過光は第２計測光スプリッタ７で同様に反射光と透過光とに分けられ、第２計測光スプリッタ７の反射光が第２分光計測光９Ｂとなる。また、第２計測光スプリッタ７の透過光は第１全反射ミラー８で反射されて、第１分光計測光９Ａ及び第２分光計測光９Ｂに平行な第３分光計測光９Ｃとされる。
【００１２】一方、ビームスプリッタ３からの反射光である参照光は、波面を左右反転させる反転光学レンズ１０に通過された後、前記各分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃに対応された３系統の分光参照光１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃとされる。つまり、参照光は第１参照光スプリッタ１２を通る間に反射光と透過光に分けられ、同第１参照光スプリッタ１２の反射光が第１分光参照光１１Ａとされ、同第１参照光スプリッタ１２の透過光は第２参照光スプリッタ１３で同様に反射光と透過光とに分割され、第２参照光スプリッタ１３の反射光が第２分光参照光１１Ｂとされ、この第２分光参照光１１Ｂの光路には特定の屈折率をもつ第１屈折媒質１４が位置される。また、第２参照光スプリッタ１３の透過光は第２全反射ミラー１５で反射されて第１分光参照光１１Ａ及び第２分光参照光１１Ｂに平行な第３分光参照光１１Ｃとされるが、この第３分光参照光１１Ｃの光路には前記第１屈折媒質１４とは異なった屈折率をもつ第２屈折媒質１６が位置される。
【００１３】略直角に交差される第１分光計測光９Ａと第１分光参照光１１Ａはそれらの交差部に位置する第１干渉部スプリッタ１７Ａを介して干渉され、得られた干渉縞画像情報は第１結像レンズ１８Ａ及びＣＣＤ素子等の第１光電変換カメラ１９Ａに取り込まれる。同様に、第２分光計測光９Ｂと第２分光参照光１１Ｂはそれらの交差部に位置する第２干渉部スプリッタ１７Ｂを介して、また、第３分光計測光９Ｃと第３分光参照光１１Ｃはそれらの交差部に位置する第３干渉部スプリッタ１７Ｃを介してそれぞれ干渉され、第２結像レンズ１８Ｂ及び第３結像レンズ１８Ｃに組み合わされる第２光電変換カメラ１９Ｂ及び第３光電変換カメラ１９Ｃに取り込まれる。また、第１から第３光電変換カメラ１９Ａ〜１９Ｃに取り込まれた３つの干渉縞情報は記憶装置２０に記憶され、記憶された複数の干渉縞情報より形状を算出した結果がモニタ２１に再現される。
【００１４】第１実施例による光学干渉縞計測装置は、以上のような構成であるので、光源１からの投射光に対して位相の異なった複数系統の分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが同時に作られ、これらの分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが被測定面４からの反射光からなる分光計測光９Ａ〜９Ｃにそれぞれ干渉され、これらの干渉縞情報が同時的に複数の光電変換カメラ１９Ａ〜１９Ｃに取り込まれ、記憶装置２０に記憶されて、複数枚の干渉縞画像情報の比較により、被測定面４の表面の形状が解析される。したがって、第１実施例の光学干渉縞計測装置は精密加工が要求される機械的可動部がないばかりでなく、複数の分光計測光９Ａ〜９Ｃに組み合わされる位相の異なった複数の分光参照光１１Ａ〜１１Ｃで複数の光学干渉系が同時的に構成されるため、高速移動体の計測も可能となり、空気揺らぎ、機械的な振動、温度変化等の環境の変化による影響の少ない光学干渉縞計測装置を得ることができる。
【００１５】なお、前述した第１実施例においては、第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃに屈折率が異なった屈折媒質１４，１６を用いるものを例示したけれども、これらの屈折媒質１４，１６は、互いに屈折率が同一で厚みのみが異なる複数の厚み媒質にそれぞれ置換して、結果的に第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃの光路長を異ならせて位相シフトを行っても、同一の効果を得ることができる。ここで、屈折媒質１４，１６の屈折率や厚みを調節あるいは選択することにより、任意の位相シフトを得ることができる。
【００１６】図２は本発明の第２実施例による光学干渉縞計測装置を示し、前述した第１実施例の場合と同一構成部分については、図１と同一符号を付して示してある。即ち、光源１から出射されるコヒーレント光はレンズ２で平行光束とされ、ビームスプリッタ３により被測定面４への投射光と被測定面４からの反射光に対する参照光とに分割される。前記被測定面４からの反射光は再び前記ビームスプリッタ３により反射された後、計測光反射ミラー５で全反射され、２つの計測光スプリッタ６，７及び第１全反射ミラー８により３系統の分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃとされる。
【００１７】また、ビームスプリッタ３から反射される参照光は、波面を左右反転させる反転光学レンズ１０に通過された後、参照光スプリッタ１２，１３及び第２全反射ミラー１５により３系統の分光参照光１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃとされる。また、各分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃと対応された分光参照光１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃはそれらの交差部に位置する干渉部スプリッタ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃを介してそれぞれ干渉され、得られた干渉縞画像情報は複数の結像レンズ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ及び光電変換カメラ１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃに取り込まれる。そして、各光電変換カメラ１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃに取り込まれた３つの干渉縞情報は記憶部と処理部を有する記憶処理装置２０に記憶され、記憶された複数の干渉縞情報より形状を算出した結果がモニタ２１に再現される点では第１実施例の場合と同様である。
【００１８】第２実施例による光学干渉縞計測装置の特徴は、第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃにそれぞれ組み込まれた２つの液晶位相シフト板１４Ａ，１６Ａにあり、前述の屈折媒質１４，１６に置換された液晶位相シフト板１４Ａ，１６Ａにより第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃの参照光は位相をそれぞれ異ならせた状態とされる。
【００１９】第２実施例による光学干渉縞計測装置は、以上のような構成であるので、光源１からの投射光に対して位相の異なった複数系統の分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが同時に作られ、これらの分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが被測定面４からの反射光からなる分光計測光９Ａ〜９Ｃにそれぞれ干渉され、これらの干渉縞情報が同時的に複数の光電変換カメラに取り込まれ、記憶装置２０に記憶されて、複数枚の干渉縞画像情報の比較により、被測定面４の表面の形状が解析される。この場合、液晶位相シフト板１４Ａ，１６Ａの組み込みにより分光参照光１１Ａ〜１１Ｃの参照光の位相が異なった状態とされるので、第２実施例の構成でも、第１実施例と全く同様の作用効果を期待できる。
【００２０】図３は本発明の第３実施例による光学干渉縞計測装置を示し、前述した第１実施例及び第２実施例の場合と同一構成部分については、図１と同一符号を付して示してある。即ち、光源１から出射されるコヒーレント光はレンズ２で平行光束とされ、ビームスプリッタ３により被測定面４への投射光と被測定面４からの反射光に対する参照光とに分割される。前記被測定面４からの反射光は再び前記ビームスプリッタ３により反射された後、計測光反射ミラー５で全反射され、２つの計測光スプリッタ６，７及び第１全反射ミラー８により３系統の分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃとされる。
【００２１】また、ビームスプリッタ３から反射される参照光は、波面を左右反転させる反転光学レンズ１０に通過された後、参照光スプリッタ１２，１３及び第２全反射ミラー１５により３系統の分光参照光１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃとされる。また、各分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃと対応された分光参照光１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃはそれらの交差部に位置する干渉部スプリッタ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃを介してそれぞれ干渉され、得られた干渉縞画像情報は複数の結像レンズ１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ及び光電変換カメラ１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃに取り込まれることになる。そして、各光電変換カメラ１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃに取り込まれた３つの干渉縞情報は記憶処理装置２０に記憶され、記憶された複数の干渉縞情報より形状を算出した結果がモニタ２１に再現される点では第１実施例及び第２実施例の場合と同様である。
【００２２】第３実施例による光学干渉縞計測装置の特徴は、第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃにそれぞれ組み込まれた２つの光学クサビ１４Ｂ，１６Ｂにあり、前述の屈折媒質１４，１６及び液晶位相シフト板１４Ａ，１６Ａに置換されたこれらの光学クサビ１４Ｂ，１６Ｂにより第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃの参照光の光路長を異ならせ、結果として第２分光参照光１１Ｂ及び第３分光参照光１１Ｃの位相をそれぞれ異ならせてある。
【００２３】第３実施例による光学干渉縞計測装置は、以上のような構成であるので、光源１からの投射光に対して位相の異なった複数系統の分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが同時に作られ、これらの分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが被測定面４からの反射光からなる分光計測光９Ａ〜９Ｃにそれぞれ干渉され、これらの干渉縞情報が同時的に複数の光電変換カメラに取り込まれ、記憶装置２０に記憶されて、複数枚の干渉縞画像情報の比較により、被測定面４の表面の形状が解析される。この場合、光学クサビ１４Ｂ，１６Ｂの組み込みにより分光参照光１１Ａ〜１１Ｃの参照光の位相が異なった状態とされるので、第３実施例の構成であっても、第１実施例及び第２実施例と全く同様の作用効果を期待できる。
【００２４】図４は本発明の第４実施例による光学干渉縞計測装置を示し、前述した各実施例の場合と同一構成部分については、図１と同一符号を付して示してある。即ち、光源１から出射されるコヒーレント光はレンズ２で平行光束とされ、ビームスプリッタ３により被測定面４への投射光と被測定面４からの反射光に対する参照光とに分割され、前記被測定面４からの反射光は再び前記ビームスプリッタ３により反射された後、計測光反射ミラー５で全反射され、２つの計測光スプリッタ６，７及び第１全反射ミラー８により３系統の分光計測光９Ａ，９Ｂ，９Ｃとされる。
【００２５】また、ビームスプリッタ３から反射される参照光は、光路長のそれぞれ異なる３系統の分光参照光１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃとされる。即ち、第１分光参照光１１Ａ、第２分光参照光１１Ｂ、第３分光参照光１１Ｃには、位置の異なった参照光スプリッタ２２Ａ，２２Ｂ，第２全反射ミラー２２Ｃ及び参照光スプリッタ２２Ａ，２２Ｂ，第２全反射ミラー２２Ｃからの参照光を対応する干渉部スプリッタ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃに向かって反射する光路長ミラー２３Ａ〜２３Ｃが介装され、これらの参照光スプリッタ２２Ａ，２２Ｂ，第２全反射ミラー２２Ｃ及び光路長ミラー２３Ａ〜２３Ｃにより第１分光参照光１１Ａ、第２分光参照光１１Ｂ、第３分光参照光１１Ｃに対して相互に異なった位相差を与えている。
【００２６】第４実施例による光学干渉縞計測装置は、以上のような構成であるので、参照光スプリッタ２２Ａ，２２Ｂ，第２全反射ミラー２２Ｃ及び光路長ミラー２３Ａ〜２３Ｃの介装により位相の異なった複数系統の分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが同時に作られ、これらの分光参照光１１Ａ〜１１Ｃが被測定面４からの反射光からなる分光計測光９Ａ〜９Ｃにそれぞれ干渉されることになる。そして、これらの干渉縞情報は同時的に複数の光電変換カメラに取り込まれ、記憶装置２０に記憶されて、複数枚の干渉縞画像情報の比較により、被測定面４の表面の形状が解析されるから、第４実施例の構成であっても、第１実施例及び第２実施例と全く同様の作用効果を期待できる。
【００２７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ビームスプリッタによって光源からの光を、被測定面からの反射光である複数の分光計測光とそれぞれ位相の異なった複数の分光参照光とに同時的に分割し、前記各分光計測光に組み合わされる前記各分光参照光で複数の光学干渉系を構成し、これらの光学干渉系の干渉縞光学情報を取り込む光電変換手段を各光学干渉系に設けるので、精密加工を要求される機械的可動部が全くなく、同時に任意位相を異ならせた複数の光学干渉縞画像情報を同時的に得られるから、高速移動体の形状解析を行うことができ、環境変化による影響の少ない光学干渉縞計測装置を達成できる。また、請求項２〜請求項５に記載のように、複数の分光参照光に屈折媒質、厚み媒質、液晶位相シフト板、複数の光路長ミラーを組み込むだけで位相の異なった複数の光学干渉縞情報を簡単に得ることができる。
|
| 【出願人】 |
【識別番号】０００１３７６９４
【氏名又は名称】株式会社ミツトヨ
|
| 【出願日】 |
平成１０年（１９９８）４月１７日 |
| 【代理人】 |
|
| 【公開番号】 |
特開平１１−３０４４１７ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１１月５日 |
| 【出願番号】 |
特願平１０−１２３９６１ |
|