| 【発明の名称】 |
圧力調整器 |
| 【発明者】 |
【氏名】三澤 一朗
【氏名】林 俊夫
【氏名】網谷 富治
|
| 【要約】 |
【課題】圧力調整するガスが揮発性有機化合物により汚染されるのを防止できる圧力調整器を提供する。
【解決手段】有機溶剤により脱脂洗浄される部品を含む複数の部品から組み立てられ、ガス圧力の調整に用いられる。その有機溶剤により脱脂洗浄される部品は、その脱脂洗浄後であって組み立て前に、その有機溶剤を除去できるように純水により洗浄される。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 有機溶剤により脱脂洗浄される部品を含む複数の部品から組み立てられ、ガス圧力の調整に用いられる圧力調整器において、前記有機溶剤により脱脂洗浄される部品は、その脱脂洗浄後であって組み立て前に、その有機溶剤を除去できるように純水により洗浄されることを特徴とする圧力調整器。
【請求項２】 その圧力調整器は、圧力調整対象のガスに接する金属製部品、合成樹脂製部品、金属製部材と合成樹脂製部材の複合部品を有し、その金属製部品と複合部品は有機溶剤による脱脂洗浄後であって組み立て前に、その有機溶剤を除去できるように純水により洗浄され、その合成樹脂製部品は有機溶剤により洗浄されることなく純水により洗浄される請求項１に記載の圧力調整器。
【請求項３】 前記純水の比抵抗値は１×１０6 Ω・ｃｍ以上である請求項１または２に記載の圧力調整器。
【請求項４】 前記純水の比抵抗値は１．８×１０7 Ω・ｃｍ以上である請求項１〜３の中の何れかに記載の圧力調整器。
【請求項５】 前記有機溶剤により脱脂洗浄される部品は、前記純水による洗浄後であって組み立て前に、前記有機溶剤の沸点以上の温度に加熱された後に窒素が吹き付けられる請求項１〜４の中の何れかに記載の圧力調整器。
【請求項６】 前記有機溶剤としてアセトン、塩化メチレン、テトラクロロエチレン、トリクロロエチレンの中の少なくとも一つが用いられる請求項５に記載の圧力調整器。
|
【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高圧ガス容器に充填されるガス濃度測定用分析機器の校正に用いられる低濃度標準ガスや純ガス等の圧力調整に用いられる圧力調整器に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、大気中から検出される様々の有害物質による人体への影響が懸念されている。従って、このような有害物質の濃度が所定レベルを超えないように、その濃度を定期的に測定して監視する必要がある。
【０００３】通常、有害な大気汚染物質の測定にはガスクロマトグラフなどのガス濃度測定用分析機器が用いられる。一般に、その測定値が低くなるほど測定精度が要求される。特に有害大気汚染物質の定量下限濃度はｐｐｂ（１０-9）〜ｐｐｔ（１０-12 ）オーダーと極めて低濃度であるため、その信頼性を確保するために適当な標準物質による定期的かつ正確な分析機器の校正が必要になる。
【０００４】有害物質が気体状の大気汚染物質の場合、その標準物質として有害物質を成分ガスとして含む標準ガスが用いられる。通常、その標準ガスは、高圧ガス容器に充填されて供給されるため、圧力調整器で大気圧近傍まで減圧した後に分析機器に導入される。従って、そのような高圧ガス容器と分析機器を接続するため、圧力調整器は必要不可欠の機器である。また、高圧ガス容器に充填された不純物を含まない純ガスを分析機器に送り込まれるキャリヤーガスとして用いるため、その純ガスの圧力調整にも圧力調整器が用いられている。通常、そのような圧力調整器は、弁本体、スプリング、バルブ等の金属製部品、パッキン、ガスケット等の合成樹脂製部品、ダイヤフラム等の金属製部材と合成樹脂製部材の複合部品から構成される。
【０００５】その金属製部品や複合部品を構成する金属製部材は、ＳＵＳ３１６等の金属を切削加工して製造される。その切削油を組み立て前に脱脂するため、その金属製部品や複合部品は塩化メチレン、テトラクロロエチレン、トリクロロエチレン等の有機溶剤を脱脂洗浄剤として超音波洗浄がなされる。また、その圧力調整器の合成樹脂製部品も、同様に有機溶剤を脱脂洗浄剤として用いる超音波洗浄がなされる。
【０００６】上記各部品は、脱脂洗浄された後に水道水またはイオン交換水により洗浄され、しかる後に、表面に付着した水分が窒素ブロー及び加熱により除去される。このようにして洗浄された部品から高圧ガス用圧力調整器が組み立てられた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、脱脂洗浄剤として使用される塩化メチレン（沸点３９．９５℃）、テトラクロロエチレン（沸点１２１．２℃）、トリクロロエチレン（沸点８８〜９０℃）等の有機溶剤は、水道水またはイオン交換水による洗浄では完全に除去されず、一部が圧力調整器内部に残存する。また、合成樹脂製部品や複合部品を有機溶剤で脱脂洗浄した場合、有機溶剤は部品表面に付着するのみならず合成樹脂材内部に浸透し、圧力調整器内部に残存する。さらに、部品表面に付着した有機溶剤を微量に含む水分は、窒素ブロー及び加熱によっても完全に除去されないため、超微量の有機溶剤が圧力調整器内部に残存する。
【０００８】上記のような有機溶剤が内部に残存する圧力調整器により、分析機器の校正に用いられる低濃度標準やガス純ガスを減圧すると、その純ガスや標準ガスが揮発性有機化合物によって汚染されてしまう。特に分析機器の校正用ガスが汚染された場合、大気中に超低濃度で存在する揮発性有機化合物を正しく分析できなくなるという問題がある。
【０００９】本発明は、上記問題を解決することのできる圧力調整器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、有機溶剤により脱脂洗浄される部品を含む複数の部品から組み立てられ、ガス圧力の調整に用いられる圧力調整器において、その有機溶剤により脱脂洗浄される部品は、その脱脂洗浄後であって組み立て前に、その有機溶剤を除去できるように純水により洗浄されることを特徴とする。本件発明者は、鋭意検討した結果、圧力調整器の部品を有機溶剤で脱脂洗浄した後に、純水により洗浄することにより、純水により洗浄を行わない場合に比べて、その部品に残存する有機溶剤のレベルを低減できることを見出した。これにより、圧力調整器により圧力調整されるガスが揮発性有機化合物によって汚染されるのを抑制し、あるいは防止できる。すなわち、本発明の圧力調整器を用いると二次側において有機溶剤を実質的に含まない、圧力調整されたガスを得ることができる。なお、圧力調整器を構成する全ての部品を有機溶剤と純水により洗浄する必要はなく、圧力調整対象のガスに接する部品のみ、あるいは、圧力調整対象のガスに接する部品の一部のみを、洗浄するものであってもよい。
【００１１】その圧力調整器は、圧力調整対象のガスに接する金属製部品、合成樹脂製部品、金属製部材と合成樹脂製部材の複合部品を有し、その金属製部品と複合部品は有機溶剤による脱脂洗浄後であって組み立て前に、その有機溶剤を除去できるように純水により洗浄され、その合成樹脂製部品は有機溶剤により洗浄されることなく純水により洗浄されるのが好ましい。これにより、切削油が付着する金属製部品と複合部品に脱脂洗浄後に付着した有機溶剤を純水により洗浄し、それら部品に残存する有機溶剤のレベルを低減できる。また、脱脂洗浄の必要性の低い合成樹脂製部品を、有機溶剤により洗浄することなく純水で洗浄することにより、合成樹脂製部品表面への有機溶剤の付着、および合成樹脂製部品内部への有機溶剤の浸透をなくすことができる。
【００１２】その純水の比抵抗値は１×１０6 Ω・ｃｍ以上であるのが好ましい。比抵抗値が１×１０6 Ω・ｃｍ未満の純水による洗浄効果は、水道水と実質的に同一であるためである。
【００１３】その純水の比抵抗値は１．８×１０7 Ω・ｃｍ以上であるのが好ましい。その比抵抗値が１．８×１０7 Ω・ｃｍ以上の超純水を用いることで、有機溶剤の洗浄効果を大きくできる。
【００１４】有機溶剤により脱脂洗浄される部品は、前記純水による洗浄後であって組み立て前に、前記有機溶剤の沸点以上の温度に加熱された後に窒素が吹き付けられるのが好ましい。これにより、脱脂洗浄用の有機溶剤を実質的に完全に除去し、いわゆる揮発性有機化合物フリーの圧力調整器が得られる。その窒素温度は、合成樹脂製部品と複合部品に吹きつける場合は高過ぎると部品の硬度、形状の変化等といった悪影響を与えるため４０〜７０℃が好ましく、金属製部品に吹きつける場合は４０〜１７０℃が好ましい。この場合、有機溶剤としてアセトン、塩化メチレン、テトラクロロエチレン、トリクロロエチレンの中の少なくとも一つが用いられるのが好ましい。部品を加熱して窒素を吹き付けて有機溶剤を除去する上では、その有機溶剤は低沸点であるのが好ましいことによる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施形態の圧力調整器１を説明する。図１、図２に示す圧力調整器１は、有害大気汚染物質の測定用分析機器の校正に用いられるガスの圧力調整に用いられるもので、本体２と、一次側ガス導入部３と、一次側バルブ４と、一次側調整機構５と、二次側バルブ６と、二次側調整機構７と、二次側ガス送り出し部８と、ガス逃がし部９とを備える。
【００１６】その本体２は円柱状金属製ブロックにより構成される。その一次側ガス導入部３は、その本体２の外周に一端がねじ込まれる金属管１１と、この金属管１１の一端内に配置される金属製フィルター１２と、その金属管１１の他端に取り付けられる金属製ナット１３と、このナット１３の内周に配置される合成樹脂製パッキン１４とを有する。そのナット１３に高圧ガス供給源（図示省略）から供給される高圧ガスの供給パイプ１５がねじ合わされ、そのパイプ１５と金属管１１とでパッキン１４が挟み込まれる。
【００１７】一次側バルブ４は、図３にも示すように、本体２の一端側に形成された凹部２１から本体２内にねじ込まれた金属製ガイド２２と、このガイド２２に本体２の軸方向（図において上下方向）に沿い移動可能に挿入された弁体２３と、この弁体２３がガイド２２の内周に形成された弁座２２ａに向かうように、金属製プッシャー２４を介して弾力を作用させる金属製スプリング２５とを有する。そのガイド２２と本体２との接合部間に合成樹脂製パッキン２６が介在される。その弁体２３は、金属製部材２３ａと合成樹脂製部材２３ｂとの複合部品とされている。その金属製部材２３ａにガス通路２３ａ′が形成されている。その合成樹脂製部材２３ｂと弁座２２ａとの間が一次側絞り部とされる。その凹部２１は、本体２に形成された第１通路２７を介して一次側ガス導入部３に通じ、図２に示すように第２通路２８を介して二次側バルブ６の凹部４１に通じる。上記一次側絞り部は第１通路２７と第２通路２８の間に位置し、各通路２７、２８に通じる。
【００１８】一次側調整機構５は、本体２の一端側に合成樹脂製ガスケット３０を介してねじ合わされる金属製カバー３１と、このカバー３１と本体２との間に合成樹脂製シールリング３２を介して配置されるダイヤフラム３３と、このダイヤフラム３３と金属製押し付け部材３４を介して上記弁体２３に弾力を作用させる金属製スプリング３５と、このスプリング３５の金属製バネ受け３６を支持するようにカバー３１にねじ合わされる金属製調節ネジ３７とを有する。そのダイヤフラム３３は、金属製フレーム３３ａと、このフレーム３３ａに取り付けられた合成樹脂製シート３３ｂとから構成され、そのシート３３ｂを介してスプリング３５の弾力が押し付け部材３４に付加される。
【００１９】二次側バルブ６は、図４にも示すように、本体２の他端側に形成された凹部４１から本体２内にねじ込まれた金属製ガイド４２と、このガイド４２に本体２の軸方向（図において上下方向）に沿い移動可能に挿入された弁体４３と、この弁体４３がガイド４２の内周に形成された弁座４２ａに向かうように、金属製プッシャー４４を介して弾力を作用させる金属製スプリング４５とを有する。そのガイド４２と本体２との接合部間には合成樹脂製パッキン４６が介在される。その弁体４３は、金属製部材４３ａと合成樹脂製部材４３ｂとの複合部品とされている。その金属製部材４３ａにガス通路４３ａ′が形成されている。その合成樹脂製部材４３ｂと弁座４２ａとの間が二次側絞り部とされる。上記のように第２通路２８を介して一次側バルブ４の凹部２１に通じる凹部４１は、第３通路４７を介して二次側ガス送り出し部８に通じる。上記二次側絞り部は第２通路２８と第３通路４７の間に位置し、各通路２８、４７に通じる。その二次側ガス送り出し部８が分析機器に接続される。その二次側ガス送り出し部８は、本体２に金属製パッキン８ａを介してねじ込まれる金属製ジョイント８ｂにより構成される。
【００２０】二次側調整機構７は、本体２の他端側に合成樹脂製ガスケット５０を介してねじ合わされる金属製カバー５１と、このカバー５１と本体２との間に合成樹脂製シールリング５２を介して配置されるダイヤフラム５３と、このダイヤフラム５３と金属製押し付け部材５４を介して上記弁体５３に弾力を作用させる金属製スプリング５５と、このスプリング５５の金属製バネ受け５６を支持するようにカバー５１にねじ合わされる金属製調節ネジ５７と、このネジ５７に取り付けられる合成樹脂製ハンドル５８とを有する。そのダイヤフラム５３は、金属製フレーム５３ａと、このフレーム５３ａに取り付けられた合成樹脂製シート５３ｂとから構成され、そのシート５３ｂを介してスプリング５５の弾力が押し付け部材５４に付加される。
【００２１】ガス逃がし部９は、図５にも示すように、本体２の外周にねじ込まれた金属製筒状ガイド６２と、このガイド６２に本体２の径方向（図において左右方向）に沿い移動可能に挿入された弁体６３と、この弁体６３がガイド６２の内周に形成された弁座６２ａに向かうように、金属製プッシャー６４を介して弁体６３に弾力を作用させる金属製スプリング６５と、このスプリング６５を支持する金属製支持部材６６と、この支持部材６６を支持するようにガイド６２にねじ合わされた金属製調節部材６７と、そのガイド６２と本体２との間に挟まれるパッキン６８とを有する。その弁体６３は、金属製部材６３ａと合成樹脂製部材６３ｂとの複合部品とされている。その金属製部材６３ａにガス通路６３ａ′が形成されている。その合成樹脂製部材６３ｂと弁座６２ａとの間が常閉の逃がし通路とされる。その逃がし通路は、上記第２通路２８とガイド６２の外端の排出口６２ｂとの間に位置し、その第２通路２８と排出口６２ｂとに通じる。
【００２２】上記圧力調整器１によれば、高圧ガス容器から供給パイプ１５を介して供給されるガスは、一次側ガス導入部３の金属管１１、金属製フィルター１２から、第１通路２７を介して一次側バルブ４に至り、この一次側バルブ４の一次側絞り部、ガス通路２３ａ′から、第２通路２８を介して二次側バルブ６に至る。その一次側絞り部の開度に応じてガスは減圧されて二次側バルブ６に至る。その一次側絞り部の開度は、一次側調整機構５の調節ネジ３７の回転により弁体２３に作用するスプリング３５の弾力を変更することで調節できる。その二次側バルブ６に至ったガスは、二次側バルブ６の二次側絞り部、ガス通路４３ａ′から、第３通路４７、二次側ガス送り出し部８を介して分析機器に送りこまれる。その二次側絞り部の開度に応じてガスは減圧されて分析機器に至る。その二次側絞り部の開度は、二次側調整機構７の調節ネジ５７の回転により弁体４３に作用するスプリング５５の弾力を変更することで調節できる。その二次側バルブ６と二次側ガス送り出し部８との間の圧力、一次側バルブ４と二次側バルブ６の間の圧力が設定値よりも上昇した場合、ガス逃がし部９の弁体６３が移動することで逃がし通路が開かれ、ガスが大気中に排出されることで、その圧力を設定値まで降下させることができる。その設定圧力は、スプリング６５に弁体６３に作用する弾力を金属製調節部材６７の回転により変更することで調節できる。その一次側バルブ４と二次側バルブ６の間の圧力が設定値よりも降下した場合、一次側調整機構５のダイヤフラム３３のシート３３ｂが一次側バルブ４に向かい変位することで、その圧力を設定値まで上昇させることができる。その二次側バルブ６と二次側ガス送り出し部８との間の圧力が設定値よりも降下した場合、二次側調整機構７のダイヤフラム５３のシート５３ｂが二次側バルブ６に向かい変位することで、その圧力を設定値まで上昇させることができる。これにより、分析機器に送り込まれるガス圧力を設定値に調節できる。
【００２３】その圧力調整対象のガスとしては、例えば、窒素等の純ガスや、ベンゼン、臭化メチル、四塩化炭素、クロロベンゼン、クロロホルム、塩化メチル、１，２‐ジプロモメタン、Ｏ‐ジクロロベンゼン、ｍ‐ジクロロベンゼン、ｐ‐ジクロロベンゼン、１，１‐ジクロロエタン、１，２‐ジクロロエタン、１，１‐ジクロロエチレン、ｃｉｓ‐１，２‐ジクロロエチレン、１，２‐ジクロロプロパン、ｃｉｓ‐１，３‐ジクロロプロペン、ｔｒａｎｓ‐１，３‐ジクロロプロペン、塩化エチル、エチルベンゼン、フロン１１、フロン１２、フロン１１３、フロン１１４、六塩化ブタジエン、塩化メチレン、スチレン、１，１，２，２‐テトラクロロエタン、テトラクロロエチレン、トルエン、トリクロロベンゼン、１，１，１‐トリクロロエタン、１，１，２‐トリクロロエタン、トリクロロエチレン、プソイドキュメン、メシチレン、塩化ビニル、Ｏ‐キシレン、ｍ‐キシレン、ｐ‐キシレン、１，３‐ブタジエン、アクリロニトリル、塩化アリル、４‐エチルトルエン等の低濃度標準ガスを挙げることができる。
【００２４】上記圧力調整器１を構成する部品の中で、少なくとも圧力調整対象のガスに接する金属製部品（本体２、パッキン８ａ、ジョイント８ｂ、金属管１１、フィルター１２、ガイド２２、４２、６２、プッシャー２４、４４、６４、スプリング２５、４５、６５、支持部材６６、調節部材６７）と複合部品（弁体２３、４３、６３、ダイヤフラム３３、５３）は、有機溶剤により脱脂洗浄された後に、組み立て前に、その有機溶剤を除去できるように純水により洗浄される。また、少なくとも圧力調整対象のガスに接する合成樹脂製部品（パッキン１４、２６、４６、６８、ガスケット３０、５０、シールリング３２、５２）は、有機溶剤により洗浄されることなく純水により洗浄される。
【００２５】その合成樹脂製部品あるいは複合部品を構成する合成樹脂部材の材料としては、例えば、三フッ化エチレン樹脂、四フッ化エチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂を用いることができる。
【００２６】その有機溶剤としては、例えばテトラクロロエチレン、トリクロロエチレン、塩化メチレン、アセトン、１，１，１‐トリクロロエタン、四塩化炭素（沸点７４．７４℃）、クロロホルム、１，２‐ジクロロエタン、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、ペンゼン、トルエン、キシレンが挙げられる。
【００２７】その純水の比抵抗値は好ましくは１×１０6 Ω・ｃｍ以上とされ、より好ましくは１．８×１０7 Ω・ｃｍ以上とされる。
【００２８】上記構成によれば、圧力調整器１の部品を有機溶剤で脱脂洗浄した後に、純水により洗浄することにより、純水により洗浄を行わない場合に比べて、その部品に残存する有機溶剤のレベルを低減できる。これにより、圧力調整器１により圧力調整されるガスが揮発性有機化合物によって汚染されるのを抑制し、あるいは防止できる。すなわち、切削油が付着する金属製部品と複合部品に脱脂洗浄後に付着した有機溶剤を純水により洗浄し、それら部品に残存する有機溶剤のレベルを低減できる。また、脱脂洗浄の必要性の低い合成樹脂製部品を、有機溶剤により洗浄することなく純水で洗浄することにより、合成樹脂製部品表面への有機溶剤の付着、および合成樹脂製部品内部への有機溶剤の浸透をなくすことができる。これにより、本発明の圧力調整器１を用いると二次側において有機溶剤を実質的に含まない、圧力調整されたガスを得ることができる。
【００２９】有機溶剤により脱脂洗浄される各部品は、前記純水による洗浄後であって組み立て前に、前記有機溶剤の沸点以上の温度に加熱された後に窒素が吹き付けられるのが好ましい。これにより、脱脂洗浄用の有機溶剤を実質的に完全に除去し、いわゆる揮発性有機化合物フリーの圧力調整器が得られる。その窒素温度は、合成樹脂製部品と複合部品に吹きつける場合は高過ぎると部品の硬度、形状の変化等といった悪影響を与えるため４０〜７０℃が好ましく、金属製部品に吹きつける場合は４０〜１７０℃が好ましい。この場合、有機溶剤としてアセトン、塩化メチレン、テトラクロロエチレン、トリクロロエチレンの中の少なくとも一つが用いられるのが好ましい。部品を加熱して窒素を吹き付けて有機溶剤を除去する上では、その有機溶剤は低沸点であるのが好ましいことによる。
【００３０】なお、本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、圧力調整器を構成する部品の有機溶剤による脱脂洗浄と純水による洗浄との間に、水道水による洗浄を行ってもよい。また、有機溶剤による脱脂洗浄を行わない合成樹脂製部品を、純水による洗浄前に水道水による洗浄してもよい。また、合成樹脂製部品を有機溶剤により脱脂洗浄してもよい。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、圧力調整するガスが揮発性有機化合物により汚染されるのを防止できる圧力調整器を提供できる。
【００３２】
【実施例１】上記実施形態に示した圧力調機器を、金属製部品、合成樹脂製部品、金属製部材と合成樹脂製部材の複合部品から組み立てる前に、各部品の洗浄を以下のように行い、その洗浄後に圧力調整器を組み立て、評価試験を行った。
（１）金属製部品および複合部品の洗浄第１洗浄工程として、脱脂洗浄用有機溶剤としてテトラクロロエチレンを用い、洗浄温度約８６℃で約５分間、超音波洗浄を行い、その後、常温にして約５分間、浸漬洗浄を行いった。次に、窒素エアーガンで窒素を吹きつけることで、部品の凹部および表面に付着したテトラクロロエチレンを除去した。窒素は活性炭塔を通して水分、有機溶剤等を除去した清浄な乾燥したものを用いた。第２洗浄工程として、水道水により、洗浄温度約９５℃で約３０分洗浄した。次に、窒素エアーガンで窒素を吹きつけることで、部品の凹部および表面に付着した水道水を除去した。第３洗浄工程として、比抵抗値１×１０6 Ω・ｃｍの純水２５リットルを洗浄槽に満たし、且つ、その洗浄槽に５分おきに新液１リットルを注ぐことでオーバーフローさせながら、約４０℃で約３０分間、超音波洗浄を行なった。第４洗浄工程として、窒素エアーガンで窒素を吹きつけることで、部品の凹部および表面に付着した純水を除去した。次に、テトラクロロエチレンの沸点以上の温度に加熱した後に約３０分窒素を吹き付けて乾燥させた。その加熱温度は金属製部品については約１５０℃、複合部品については約６０℃とした。
（２）合成樹脂製部品の洗浄合成樹脂製部品については、上記金属製部品および複合部品の第１洗浄工程を除いた以外は同様の洗浄工程により洗浄を行った。
（３）圧力調整器の評価試験上記洗浄された各部品から組み立てられた圧力調整器１の一次側ガス導入部３を、純窒素ガスが充填された高圧容器に接続し、二次側ガス送り出し部８を液体窒素で冷却したコールドトラップに導いた。なお、圧力調整器の組み立てはクリーンルーム内で行なった。約１０分間純窒素ガスを流した後、コールドトラップを約４０〜５０℃に加熱し、キャリヤーガスとしての純窒素を流し、キャリヤーガス中の有機不純物をキャピラリーガスクロマトフィーにより分離後、質量分析計（ＭＳ）で検出、定量を行なった。
【００３３】
【実施例２】脱脂洗浄用有機溶剤剤として塩化メチレンを用い、その塩化メチレンによる脱脂洗浄温度を３５℃にした以外は実施例１と同様にして、圧力調整器の金属製部品、複合部品、合成樹脂製部品を洗浄し、その洗浄後に圧力調整器を組み立て、実施例１と同様に圧力調整器の評価試験を行った。
【００３４】
【比較例１】実施例１における第３工程、第４工程を行わない以外は実施例１と同様にして、圧力調整器の金属製部品、複合部品、合成樹脂製部品を洗浄し、その洗浄後に圧力調整器を組み立て、実施例１と同様に圧力調整器の評価試験を行った。
【００３５】上記実施例１の圧力調整器の評価試験では、ガスクロマトグラムにテトラクロロエチレンあるいは塩化メチレンのピークは検出されなかった。これに対して、比較例１の圧力調整器の評価試験では、ガスクロマトグラムにテトラクロロエチレンのピークが検出され、その濃度は６０ｐｐｂであった。すなわち、本発明の実施例によれば所期の効果を奏することを確認できた。
|
| 【出願人】 |
【識別番号】０００１９５６６１
【氏名又は名称】住友精化株式会社
|
| 【出願日】 |
平成１０年（１９９８）４月２２日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】根本 進
|
| 【公開番号】 |
特開平１１−３０４０３８ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１１月５日 |
| 【出願番号】 |
特願平１０−１２９６１４ |
|