| 【発明の名称】 |
弁構造 |
| 【発明者】 |
【氏名】大石 隆宏
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| 【要約】 |
【課題】長期にわたって高気密性を保持して流体の外部漏洩を防止することができ,かつ安全かつ簡単にメンテナンスを行えるようにする。
【解決手段】弁体21が、円筒形状の筒部12の内周面12Nと摺接しつつ縦軸線21yを中心として回動可能に設けられかつ周面部22Sに流体通し穴22Hが貫通穿設された本体22と、この本体22の両端部に設けられた軸部25とからなり、弁体21の軸部25に連結され当該弁体21を流体通し穴22Hと筒部12の両開口部(13,14)とが整合する開放位置と、当該開口部(13,14)を本体周面部22Sで塞ぐ閉鎖位置とのいずれかに選択的に位置決め保持可能な操作部26を設け、筒部12の弁座形成部分12Eと弁体21の本体周面部22Sとの間にOリング31を介装するとともに、弁箱10の軸受部(15)より内方のシール部10Sと弁体21の軸部25の外周面25Sとの間にOリング32を介装した。 |
【特許請求の範囲】
【請求項1】 弁箱と、この弁箱内に設けられ入口部と出口部との間の流体通路を開閉可能な弁体とを有する弁構造において、弁箱の入口部と出口部との間に配設されかつ周面部に当該入口部および出口部に対向して開口部が貫通穿設された円筒形状の筒部を具備し、弁体が、筒部の内周面と摺接しつつ縦軸線を中心として回動可能に設けられかつ周面部に流体通し穴が貫通穿設された本体と、この本体の両端部に設けられかつ弁箱の軸受部に縦軸線を中心として回動可能に支持された軸部とからなり、弁体の軸部に連結されかつ当該弁体を流体通し穴と筒部の両開口部とが整合する開放位置と当該開口部を本体周面部で塞ぐ閉鎖位置とのいずれかに選択的に位置決め保持可能な操作部を設け、筒部の弁座形成部分と弁体の本体周面部との間に閉鎖時漏洩防止用のOリングを介装するとともに、弁箱の軸受部より内方のシール部と弁体の軸部の外周面との間に外部漏洩防止用のOリングを介装したことを特徴とする弁構造。
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【発明の詳細な説明】【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、弁箱と、この弁箱内に設けられ入口部と出口部との間の流体通路を開閉可能な弁体とを有する弁構造に関する。 【0002】 【従来の技術】例えば、毒性ガスを流すための配管系に使用される弁(バルブ)は、極めて高度な気密性が要求される。 【0003】上記配管系において使用可能な弁の1つであるベローズ弁40の代表的構造を図3に示す。図において、10は弁箱、41は弁体、42は弁体操作部、46はベローズである。弁箱10は、入口部11Aと出口部11Bとを有し、当該入口部11Aと出口部11Bとの間には毒性ガスの通路(流体通路11C)が形成されている。なお、入口部11Aおよび出口部11Bには、それぞれ配管系を形成する配管(図示省略)が接続されている。 【0004】弁体41は、弁体操作部42によって弁座11Dと密接した閉鎖位置と、弁座11Dより離隔した開放位置(図3で示す位置)とに位置決め保持可能に設けられている。弁体41の弁座11Dと接触する底面にはOリング48が装着されている。 【0005】弁体操作部42は、弁箱10のねじ穴11Sと螺合しかつ図3中下端部が弁体41と接続されたねじ軸43と、このねじ軸43の上端部に取付けられたハンドル44等とから形成されている。 【0006】ベローズ46は、その胴体部分が蛇腹状に形成されており、図3中下端部が弁体41の上面に固定されるとともに上端部が弁箱10の天井面11Tに固定されて上記ねじ軸43およびねじ穴11Sを被覆している。なお、このベローズ46は、弁体41の上下動に伴い伸縮するので、当該弁体41を開放位置,閉鎖位置に円滑に位置決めすることができる。 【0007】上記ベローズ弁40において、ハンドル44を適宜回転(例えば、15回転)させて弁体41を図3に示す開放位置から閉鎖位置へ位置決めすると、弁体41はOリング48を介して弁座11Dと密接される。これにより、弁箱10内の流体通路11Cは閉鎖され、毒性ガスの入口部11Aから出口部11Bへ向けての流動は停止される。 【0008】次に、ハンドル44を上記した場合とは反対方向に回転させて、弁体41を開放位置に位置決めすると、流体通路11Cの閉鎖は解除され、毒性ガスが入口部11Aから出口部11Bへ向けて流動する。この際、ねじ軸43およびねじ穴11Sはベローズ46によって被覆されているので、流体がねじ軸43とねじ穴11Sとの間の隙間を通って外部に漏洩するような事態の発生が防止される。 【0009】なお、上記ベローズ弁40ほどの高度の気密性は有さないものの、流体(ガス,液体)を流す配管系で開閉装置として広く使用されているものに図4に示すボール弁50がある。ボール弁50は、弁箱10内で一対のテフロンパッキン(53A,53B)によって保持されかつ流体通し穴51Hが形成された球状の弁体51と、この弁体51を縦軸線51yを中心として回動して流体通し穴51Hがテフロンパッキン(53A,53B)の穴部と整合する位置(開放位置)および不整合となる位置(閉鎖位置)のいずれかに位置決め可能な弁体操作部52(ねじ軸53,ハンドル54)等とから形成されている。 【0010】上記弁体操作部52を回動操作して弁体51を開放位置に位置決めすると、入口部11Aと出口部11Bとの間の流体通路11Cは開放され、流体は入口部11Aから出口部11Bへ流れる。また、弁体操作部52を用いて弁体51を開放位置から半回転させて閉鎖位置に位置決めすると、流体通路11Cは閉鎖される。 【0011】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ベローズ弁40は、弁体41と弁座11DとをOリング48を介して密接させる構造とされているので、流体通路11Cを完全に閉鎖することができる。ここで、ベローズ46の蛇腹状の外面にゴミ等が付着した場合、弁体41の上下動に伴いベローズ46が伸縮すると、ゴミ等が当該ベローズ46の外面を突き破って穴を開けてしまう事態が生ずることがある。 【0012】かかる事態が生じると、流体(毒性ガス)が上記穴を通ってねじ軸43とねじ穴11Sとの間の隙間から外部に漏洩してガス中毒等が引き起こされることになる。そこで、適時、ベローズ46をクリーニングして外面に付着したゴミ等を除去する必要があるが、当該外面は凹凸が激しいのでゴミ等を完全に除去することは困難である。また、ベローズ弁40は、1回の開閉操作でねじ軸43を何十回転(例えば、15+15=30回転)もさせるため、ねじ穴11S等が破損しやすい。 【0013】ここにおいて、上記したボール弁50を、シール構造を改良することによりベローズ弁の代用品として使用することが考えられる。しかし、上記ボール弁50では、デッドスペース11DSに流体(毒性ガス)が残留しやすく、メンテナンス時に弁箱10を分解等した場合、かかる流体が空気中に放出されて作業者に重大な危害を与えるおそれがある。 【0014】すなわち、ボール弁50においては、流体流し時に開放位置に位置決めされた弁体51は、流体の圧力によって出口側に押されて図4中2点鎖線で示す位置に移動させられる。そのため、弁体51と入口側のテフロンパッキン53Aとの間に隙間が生じてデッドスペース11DSに流体が入り込みやすくなる。 【0015】次に、弁体51が閉鎖位置に位置決めされて流体の流れが停止させられると、弁体51に加わっていた流体の圧力は大幅に減少し弁体51は図中実線で示す位置に戻される。これにより、デッドスペース11DSは、両パッキン(51A,51B)によって密閉されることになり、流体流し時にデッドスペース11DS内に入り込んだ流体(毒ガス)は残留することになる。 【0016】本発明の目的は、長期にわたって高気密性を保持して流体の外部漏洩を防止することができ、かつメンテナンスを安全・簡単に行うことができる弁構造を提供することにある。 【0017】 【課題を解決するための手段】本発明は、弁箱と、この弁箱内に設けられ入口部と出口部との間の流体通路を開閉可能な弁体とを有する弁構造において、弁箱の入口部と出口部との間に配設されかつ周面部に当該入口部および出口部に対向して開口部が貫通穿設された円筒形状の筒部を具備し、弁体が、筒部の内周面と摺接しつつ縦軸線を中心として回動可能に設けられかつ周面部に流体通し穴が貫通穿設された本体と、この本体の両端部に設けられかつ弁箱の軸受部に縦軸線を中心として回動可能に支持された軸部とからなり、弁体の軸部に連結されかつ当該弁体を流体通し穴と筒部の両開口部とが整合する開放位置と当該開口部を本体周面部で塞ぐ閉鎖位置とのいずれかに選択的に位置決め保持可能な操作部を設け、筒部の弁座形成部分と弁体の本体周面部との間に閉鎖時漏洩防止用のOリングを介装するとともに、弁箱の軸受部より内方のシール部と弁体の軸部の外周面との間に外部漏洩防止用のOリングを介装したことを特徴とする。 【0018】かかる構成の場合、操作部を用いて弁体が回動されて開放位置へ位置決めされると、入口部から流入した流体は弁体の流体通し穴を通って出口部へ流れる。この際、流体が弁体の本体周面部と筒部の内周面との間を通り抜けて弁箱内のデッドスペースへ侵入したとしても、弁箱のシール部と弁体の軸部の外周面との間に介装されたOリングによって外部に漏洩するのが防止される。 【0019】また、操作部を用いて弁体が閉鎖位置へ位置決めされると、筒部の開口部は弁体の本体周面部によって塞がれる。そして、筒部の弁座形成部分と弁体の本体周面部とは、Oリングによってシールされる。したがって、流体通路は完全に閉鎖される。なお、この際にも、外部漏洩防止用Oリングによって流体の外部漏洩は防止される。したがって、長期にわたって高気密性を保持して流体の外部漏洩を防止することができる。 【0020】また、筒部の弁座形成部分と弁体の本体周面部との間だけがOリングによってシールされるので、デッドスペースが密閉されるようなことはなく、当該スペースに流体が残留するような事態は生じない。しかも、弁体の周面部に付着したゴミ等もクリーニングして簡単に除去することができるので、メンテナンスを安全にかつ簡単に行うことができる。 【0021】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係る弁構造は、図1および図2に示す如く、弁箱10内に筒部12を設けるとともに、筒部12内に弁体21(円柱形状の本体22,軸部25)を回動可能に設け、筒部12の内周面12Nと弁体21の本体周面部22Sとの間および弁箱10のシール部10Sと弁体21の軸部25との間にそれぞれOリング(31,32)を設けて、高気密性保持可能に構成されている。 【0022】具体的には、筒部12は、円筒形状に形成されており、弁箱10の入口部(例えば、真空配管継手)11Aと出口部(真空配管継手)11Bとの間に設けられている。筒部12には、入口部11Aおよび出口部11Bに対向して開口部(13,14)が貫通穿設されている。 【0023】この実施形態では、組立等が一段と簡単に行えるように、筒部12は、外筒12Aと、この外筒12Aの内側に設けられた内筒12Bとから形成されている。外筒12Aは、弁箱10に図示しないボルト等を介して固定されており、内筒12Bはキー12Kを介して固定されている。 【0024】弁体21は、円柱形状の本体22と軸部25とから形成されている。本体22は、筒部12(詳しくは、内筒12B)の内周面12Nと摺接しつつ縦軸線21yを中心として回動可能に設けられており、その周面部22には縦軸線21yと直交する方向に流体通し穴22Hが貫通穿設されている。 【0025】軸部25は、本体21の両端部にそれぞれ軸線が縦軸線21yと一致するように設けられており、弁箱10の軸受部(15)に縦軸線21yを中心として回動可能に支持されている。 【0026】この実施形態では、弁体21,筒部12(外筒12A,内筒12B)および内内筒12Dは、いずれもステンレス鋼製とされている。そして、弁体21の周面部22S,筒部12および内内筒12Dの各内周面12Nは、研磨仕上げ〔#800の研磨(Rmax=0.3μm)〕と同等とされている。筒部12の開口部(13,14)および全体21の流体通し穴22Hは、一直線上に配列され、各内径は入口部11Aおよび出口部11Bと略同一とされている。また、上記軸受部は、ベアリング15から形成されている。なお、図1で、15Nはベアリング15を固定するための軸受ナットである。 【0027】操作部26は、弁体21の軸部25に連結され当該弁体21を流体通し穴22Hと筒部12の両開口部(13,14)とが整合する図1に示す開放位置と、当該開口部(13,14)を本体周面部22Sで塞ぐ図2に示す閉鎖位置とのいずれかに選択的に位置決め保持可能に形成されている。具体的には、操作部26は、弁体21の軸部25の先端部に一体的に設けられた操作軸27と、この操作軸27に装着されたハンドル28とから形成されている。 【0028】閉鎖時漏洩防止用Oリング31は、筒部12(詳しくは、内筒12B)の内周面12Nに設けられた弁座形成部分12Eと弁体21の本体周面部22Sとの間に介装されている。より具体的には、Oリング31は、内筒12Bの穴部12BNに内側から内内筒12Dによって補強された状態で装着されている。かかるOリング31によって入口部11Aから出口部11Bへ流体が流れるのを完全に防止することができる。 【0029】外部漏洩防止用Oリング32は、弁箱10の軸受部(15)より内方のシール部10Sと弁体21の軸部25の外周面25Sとの間に介装されている。 【0030】次に、この実施形態の作用について説明する。操作部26を用いて弁体21が回動操作されて図1に示す開放位置へ位置決めされると、入口部11Aから流入した流体(例えば、毒性ガス)は弁体21の流体通し穴22Hを通って出口部11Bへ向けて流れる。この際、流体が弁体21の本体周面部22Sと筒部12の内周面12Nとの間を通り抜けたとしても、弁箱10のシール部10Sと弁体21の軸部25の外周面25Sとの間に介装されたOリング32によって外部に漏洩するのが防止される。 【0031】また、操作部26を用いて弁体21が閉鎖位置へ位置決めされると、筒部12の開口部(13,14)は弁体21の本体周面部22Sによって塞がれる。そして、筒部12の弁座形成部分12Eと弁体21の本体周面部22Sとの間に介装されたOリング31によってシールされる。したがって、流体通路11Cは完全に閉鎖される。この際にも、外部漏洩防止用Oリング32によって流体の漏洩は防止される。 【0032】ここにおいて、筒部12側の弁座形成部分12Eと弁体21の本体周面部22Sとの間だけがOリング31によってシールされるので、弁箱10内のデッドスペース11DSに流体が残留するような事態は生じない。なお、弁体21の本体周面部22Sにゴミ等が付着しても、当該弁体21が開閉動作される際に本体周面部22Sと摺接する筒部12の内周面12Nによって剥離されるので、一段と確実にシールすることができる。 【0033】しかして、この実施形態によれば、弁箱10の入口部11Aと出口部11Bとの間に配置されかつ周面部に当該入口部11Aおよび出口部11Bに対向して開口部(13,14)が貫通穿設された円筒形状の筒部12を設け、弁体21が、筒部12の内周面12Nと摺接しつつ縦軸線21yを中心として回動可能に設けられかつ周面部22に流体通し穴22Hが貫通穿設された本体22と、この本体22の両端部に設けられかつ弁箱10の軸受部(15)に縦軸線21yを中心として回動可能に支持された軸部25とからなり、弁体21の軸部25に連結され当該弁体21を流体通し穴22Hと筒部12の両開口部(13,14)とが整合する開放位置と、当該開口部(13,14)を本体周面部22Sで塞ぐ閉鎖位置とのいずれかに選択的に位置決め保持可能な操作部26を設け、筒部12の弁座形成部分12Eと弁体21の本体周面部22Sとの間に閉鎖時漏洩防止用のOリング31を介装するとともに、弁箱10の軸受部(15)より内方のシール部10Sと弁体21の軸部25の外周面25Sとの間に外部漏洩防止用のOリング32を介装したので、長期にわたって高気密性を保持して流体の外部漏洩を防止することができる。したがって、長期にわたって高気密性を保持して流体の外部漏洩を防止することができる。 【0034】また、筒部12の弁座形成部分12Eと弁体21の本体周面部22Sとの間だけがOリング31によってシールされるので、弁箱10内のデッドスペース11DSが密閉されるようなことはなく、当該スペース11DSに流体が残留することもなく、弁体21の周面部22Sに付着したゴミ等もクリーニングして簡単に除去することができるので、メンテナンスを安全にかつ簡単に行うことができる。 【0035】また、弁体21を開放位置に位置決めした際に、入口部11Aと弁体21の流体通し穴22Hと出口部11Bとは一直線上に並ぶとともに略同一内径とされているので、流体損失を一段と低く抑えることができる。 【0036】さらに、弁体21の本体周面部22S等が研磨仕上げされているので、本体周面部22S等にゴミ等が付着しても一段と簡単かつ確実に除去することができる。 【0037】また、弁体21の軸部25を支持する軸受部をベアリング15から形成したので、弁体21を長期にわたって円滑に回動操作して流体通路11Cの開閉を行わせることができる。 【0038】 【発明の効果】本発明によれば、弁箱の入口部と出口部との間に配置されかつ周面部に当該入口部および出口部に対向して開口部が貫通穿設された円筒形状の筒部を設け、弁体が、筒部の内周面と摺接しつつ縦軸線を中心として回動可能に設けられかつ周面部に流体通し穴が貫通穿設された本体と、この本体の両端部に設けられかつ弁箱の軸受部に縦軸線を中心として回動可能に支持された軸受部とからなり、弁体の軸部に連結され当該弁体を流体通し穴と筒部の両開口部とが整合する開放位置と、当該開口部を本体周面部で塞ぐ閉鎖位置とのいずれかに選択的に位置決め保持可能な操作部を設け、筒部の内周面のうち弁座を形成する部位と弁体の本体周面部との間に閉鎖時漏洩防止用のOリングを介装するとともに、弁箱の軸受部より内方のシール部と弁体の軸部の外周面との間に外部漏洩防止用のOリングを介装したので、長期にわたって高気密性を保持して流体の外部漏洩を防止することができ、かつメンテナンスを安全かつ簡単に行うことができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】598020712 【氏名又は名称】大和半導体株式会社
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| 【出願日】 |
平成10年(1998)2月16日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】 【氏名又は名称】長島 悦夫
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| 【公開番号】 |
特開平11−230377 |
| 【公開日】 |
平成11年(1999)8月27日 |
| 【出願番号】 |
特願平10−32771 |
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