| 【発明の名称】 |
ディスペンサ装置の脱泡方法およびディスペンサ装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】高橋 良一
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| 【要約】 |
【課題】この発明はノズル体の先端と液晶用基板の板面との間隔が変動しても、シ−ル剤を均一に塗布することができるディスペンサ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】シ−ル剤Ｓを液所用基板５に塗布するためのディスペンサ装置において、上記 シ−ル剤が収容されるバレル１と、このバレルの先端部に設けられバレル内のシ−ル剤が先端開口から吐出されるとともにその先端面における内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.0 ≦ｎ≦1.2 ）｝で限定されたノズル体２とを具備したことを特徴とする。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 液状体が充填されたバレルおよびこのバレルの先端に設けられたノズル体とからなり、上記液状体に含まれる気体を除去するディスペンサ装置の脱泡方法において、上記ディスペンサ装置を脱泡容器内にバレル側とノズル体側とを気密に隔別して保持する第１の工程と、上記脱泡容器のバレル側の空間部とノズル側の空間部とを減圧し上記液状体に含まれた気泡を膨張させて上記液状体内を浮上させる第２の工程と、この脱泡容器のバレル側の空間部の圧力を上昇させて上記バレル内の液状体を上記ノズル体へ流す第３の工程と、上記バレル側の空間部とノズル側の空間部とを大気圧にして上記ノズル体内の空間部に液状体を充満させる第４の工程とを具備したことを特徴とするディスペンサ装置の脱気方法。
【請求項２】 液状体を板状体に塗布するためのディスペンサ装置において、上記液状体が収容されるバレルと、このバレルの先端部に設けられバレル内の液状体が先端開口から吐出されるとともにその先端における内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.0 ≦ｎ≦1.2 ）｝で限定されたノズル体とを具備したことを特徴とするディスペンサ装置。
【請求項３】 上記ノズル体の先端部外周面は、径方向内方に向かって傾斜したテ−パ面あるいは曲面であることを特徴とする請求項１記載のディスペンサ装置。
【請求項４】 上記ノズル体の先端部内周面は、径方向外方に向かって傾斜したテ−パ面あるいは曲面であることを特徴とする請求項１記載のディスペンサ装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は液晶表示パネルの製造工程においてシ−ル剤を塗布するためにディスペンサ装置およびこのディスペンサ装置に充填された上記シ−ル剤から気泡を取り除く脱泡方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルは板状体である一対の液晶用基板をシ−ル剤を介して所定の間隔で貼り合わせ、これら液晶用基板の間の空間部に液状体としての液晶を充填することで構成されている。
【０００３】上記液晶用基板にシ−ル剤を塗布する方法としては、パタ−ンが形成されたマスクを用い、このマスク上に供給されたシ−ル剤をスキ−ジで上記マスクのパタ−ンを介して上記液晶用基板に塗布するスクリ−ン法と、ディスペンサ装置を用い、そのノズル体から吐出されるシ−ル剤を上記液晶用基板に所定のパタ−ンで塗布するディスペンサ法とが知られている。
【０００４】スクリ−ン法は、マスクを液晶用基板に接触させてシ−ル剤を塗布するため、上記液晶用基板の汚れを招いたり、マスクをスキ−ジで擦ることで静電気の発生を招くということがある。
【０００５】それに対してディスペンサ法は、上記シ−ル剤を液晶用基板に非接触で塗布することができるため、液晶用基板の汚れや静電気の発生を招くことがないという利点に着目され、多用される傾向にある。上記ディスペンサ法によってシ−ル剤を線引き塗布する場合、上記液晶用基板に対して均一に塗布することが要求される。
【０００６】図８（ａ）に示すように、ディスペンサ法を実施するに際して用いられるディスペンサ装置Ａは、液状体としてのシ−ル剤Ｓが充填されたバレル１と、このバレル１の先端部に着脱自在に取付けられたノズル体２とからなる。バレル１の上端開口は着脱自在な蓋体３によって閉塞され、この蓋体３には内部のシ−ル剤Ｓを加圧して上記ノズル体２の先端開口から吐出させる圧縮空気の供給口４が形成されている。
【０００７】そして、上記ノズル体２の先端面を図示しないテ−ブル上に載置された液晶用基板５の板面に所定の間隔で位置決めし、上記液状体Ｓを加圧してノズル体２の先端開口から吐出させながら、上記ノズル体２あるいは上記テ−ブルによって上記液晶用基板５のどちらかを走行させることで、上記液晶用基板５に上記シ−ル剤Ｓを所定のパタ−ンで線引き塗布するようになっている。
【０００８】図８（ｂ）に示すように、液晶用基板５にシ−ル剤Ｓを塗布するに際し、ノズル体２から吐出される上記シ−ル剤Ｓの流体抵抗Ｒは、ノズル体２の内部２ａで発生する流体抵抗Ｒ1 と、ノズル体２の下端面２ｂと液晶用基板５の板面との対向面間のギャップｇの領域で発生する流体抵抗Ｒ2 との和になる。
【０００９】シ−ル剤Ｓを加圧する圧縮空気の圧力が一定の場合、流体抵抗Ｒが大きくなるとシ−ル剤Ｓが流れにくくなるため、ノズル体２の先端開口から吐出されるシ−ル剤Ｓの量が減少することになる。
【００１０】ノズル体２と液晶用基板５のギャップｇで発生する流体抵抗Ｒ2 はこのギャップｇの変動によって大きく左右されることになる。そのため、ギャップｇの変動をなくすことが要求されるが、液晶用基板５のうねりや搬送精度などの要因によって上記ギャップｇの変動をなくすことは容易でない。
【００１１】そのため、上記ギャップｇの変動により流体抵抗Ｒも変動し、液晶用基板５に塗布されるシ−ル剤Ｓの塗布断面積が一定とならず、不良品の発生を招くということがあった。
【００１２】一方、図９（ａ）に示すように、デイスペンサ装置Ａのバレル１に充填されたシ−ル剤Ｓには気泡Ｂが含まれていることがある。その場合、上記バレル１に接続されたノズル体２からシ−ル剤Ｓを吐出させて液晶用基板５に塗布すると、図１０に示すように気泡Ｂが吐出されたときにシ−ル剤Ｓが途切れ、不塗布部６が生じて不良品の発生を招くということある。
【００１３】そこで、液晶用基板５にシ−ル剤Ｓを塗布する前に、図９（ａ）の状態から図９（ｂ）に示すように所定量のシ−ル剤Ｓを捨て吐出させることで、気泡Ｂをなくすことが行われている。
【００１４】しかしながら、シ−ル剤Ｓの捨て吐出を行うだけでは、図９（ｃ）に示すようにシ−ル剤Ｓに含まれる気泡Ｂを確実に除去できるものでなく、しかもシ−ル剤Ｓの捨て吐出を行っても、バレル１の先端面とノズル体２の内面との段差部によって形成された空隙部７にシ−ル剤Ｓを充填させることが難しいので、その空隙部７の気体が気泡Ｂとなって出てくるということがある。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来はノズル体の先端面と板状体との間のギャップが変動することで、液状体の流出抵抗が変化するため、液状体を均一に塗布することができないということがあった。
【００１６】また、液状体に含まれる気泡を確実に除去することができないため、塗布時に気泡が出てきて液状体が塗布されない部分が生じるということがあった。この発明の目的は、液状体に含まれる気泡を確実に除去し、液状体を途切れることのないように塗布できるようにするためのディスペンサ装置の脱泡方法を提供することにある。
【００１７】この発明の目的は、ノズル体の先端と板状体との間のギャップが変動しても、液状体をほぼ一定の圧力で均一に塗布できるようにしたディスペンサ装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液状体が充填されたバレルおよびこのバレルの先端に設けられたノズル体とからなり、上記液状体に含まれる気体を除去するディスペンサ装置の脱泡方法において、上記ディスペンサ装置を脱泡容器内にバレル側とノズル体側とを気密に隔別して保持する第１の工程と、上記脱泡容器のバレル側の空間部とノズル側の空間部とを減圧し上記液状体に含まれた気泡を膨張させて上記液状体内を浮上させる第２の工程と、この脱泡容器のバレル側の空間部の圧力を上昇させて上記バレル内の液状体を上記ノズル体へ流す第３の工程と、上記バレル側の空間部とノズル側の空間部とを大気圧にして上記ノズル体内の空間部に液状体を充満させる第４の工程とを具備したことを特徴とする請求項２の発明は、液状体を板状体に塗布するためのディスペンサ装置において、上記液状体が収容されるバレルと、このバレルの先端部に設けられバレル内の液状体が先端開口から吐出されるとともにその先端における内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.0 ＜ｎ＜1.2 ）｝で限定されたノズル体とを具備したことを特徴とする。
【００１９】請求項３の発明は、請求項１の発明において、上記ノズル体の先端部外周面は、径方向内方に向かって傾斜したテ−パ面あるいは曲面であることを特徴とする。
【００２０】請求項４の発明は、請求項１の発明において、上記ノズル体の先端部内周面は、径方向外方に向かって傾斜したテ−パ面あるいは曲面であることを特徴とする。
【００２１】請求項１の発明によれば、ディスペンサ装置が保持された脱泡容器内を減圧すると、バレルに充填された液状体内の気泡が膨張して浮上するため、上記液状体から除去することができ、ついでバレル内の液状体をノズル体へ流してからバレル側とノズル体側を大気圧にすることで、ノズル体内部に空隙部が生じることなく液状体を充満させることができる。
【００２２】請求項２の発明によれば、ノズル体の先端における内径寸法と外形寸法との差を他の部分に比べて小さくしたことで、ノズル体先端と板状体との間のギャップの変動による液状体の吐出抵抗の変動を小さくできるから、液状体を均一に塗布することが可能となる。
【００２３】請求項３と請求項４の発明によれば、ノズル体の先端部の外周面あるいは内周面をテ−パ面あるいは曲面としてことで、その先端における内径寸法と外形寸法との差を小さくすることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、図８（ａ）、（ｂ）、図９および図１０に示す従来構造と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。この発明のディスペンサ装置Ａは従来のものに比べてノズル体２の先端部の構造が異なっている。つまり、図１と図２（ａ）に示すようにノズル体２の先端部の外周面は、先端にゆくにつれて径方向内方へ向かって傾斜したテ−パ面１１に形成されている。
【００２５】それによって、ノズル体２の先端における内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの差は十分に小さく設定されている。この実施の形態では、内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの比は、 Ｄ＝ｎ（1.0 ≦ｎ≦1.5 ） …（１）式の範囲に設定されている。
【００２６】このように、ノズル体２の先端面の内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの差を十分に小さくすることで、シ−ル剤Ｓの塗布時に、ノズル体２の先端面と液晶用基板５の板面とのギャップｇが変動しても、以下の理由によってノズル体２からのシ−ル剤Ｓの吐出量を一定にすることができる。
【００２７】まず、ノズル体２の内部２ａで発生する流体抵抗Ｒ1 は、Haggen-Poiseuilleの式から求めることができる。つまり、流量Ｑは、 Ｑ＝（π・ｄ4 ・Ｐ1 ）／128 μ・Ｌ …（２）式であるから、 Ｒ1 ＝Ｐ1 ／Ｑ …（３）式ただし、Ｑ：流量（ｍ3 ／ｓ）、ｄ：ノズル内径（ｍ）、Ｐ1 ：ノズル内部で発生する圧力損失（Ｐａ）、μ：シ−ル剤粘度（Ｐａ・ｓ）、Ｌ：ノズル長さ（ｍ）である。
【００２８】ノズル体２の下端面と液晶用基板５の板面とのギャップ（ｇ＋Δｇ）で発生する流体抵抗Ｒ2 は、「平行二円盤間の細げきを放射状に流れる流量」と考えて、機械工学便覧Ａ５流体工学（１１３）式を用いて次式で表すことができる。
【００２９】
Ｑ＝｛π・(g+ g)3 ・Ｐ2 ｝／｛６μ・ｌｏｇ(D/d) ｝ …（４）式であるから、 Ｒ2 ＝Ｐ2 ／Ｑ …（５）式ただし、（ｇ＋Δｇ）：ギャップ（ｍ）で、これはギャップ量ｇとギャップ変動量Δｇの和で、全体のｇギャップ量を表し、Ｄ：ノズル外径（ｍ）、Ｐ2 ：上記ギャップＧで発生する圧力損失（Ｐａ）である。よって、線引き塗布されるシ−ル剤Ｓの塗布断面積Ａ（ｍ2 ）は次式で表すことができる。
【００３０】
【数１】
【００３１】ただし、Ｖt ：ディスペンサ装置と液晶用基板との相対的移動速度（ｍ／ｓ）、Ｐ：バレル容器内の圧力である。上記（１）式のごとくＤ＝１〜１．５ｄに設定することで、ギャップ（ｇ＋Δｇ）における流体抵抗Ｒ2 をノズル体２の内部２ａにおける流体抵抗Ｒ1 と比較して無視できる程、小さくできることになり、そのことは上記（６）式の分母の第１項を第２項に比べて無視できる程、小さくすることを意味する。とくに、Ｄ＝ｄとすれば、上記（６）式の分母の第１項のｌｏｇ(D/d) ＝０となり、この第１項を０にできる。
【００３２】したがって、この発明のノズル体２を用いてシ−ル剤Ｓを塗布すれば、ノズル体２の先端と液晶用基板５の板面とのギャップｇが変動しても、シ−ル剤Ｓの吐出量を一定にすることができるから、このシ−ル剤Ｓの塗布断面積Ａ、つまりシ−ル剤Ｓの塗布幅を一定にして線引き塗布することができる。
【００３３】ノズル体２の先端の外径寸法Ｄと内径寸法ｄとを、Ｄ＝ｎ（1.0 ≦ｎ≦1.5 ）の範囲に設定するために、上記一実施の形態ではノズル体２の先端部の外周面をテ−パ面１１にしたが、テ−パ面に代わり、曲面によって実現するようにしてもよい。
【００３４】また、図２（ｂ）に示すようにノズル体２の先端部外周面にはテ−パ面１１を形成し、内周面には曲面１２を形成することで、ノズル体２の先端面における外径寸法Ｄと内径寸法ｄとの差を小さくするようにしてもよい。この場合、ノズル体２の内面には曲面１２に代わりテ−パ面を形成してもよい。
【００３５】図３はノズル体２の内径ｄと外径Ｄとの比を変え、それぞれのノズル体ごとにギャップｇの変化とシ−ル剤Ｓの塗布断面積の変化との関係を測定したグラフである。つまり、従来構造のノズル体とこの発明のノズル体とを用いてそれぞれギャップｇを変化させたときのシ−ル剤Ｓの塗布断面積の変化を測定した。
【００３６】同図中曲線ＡはＤ／ｄ＝２．０で、曲線ＢはＤ／ｄ＝１．５であり、これらは従来の範囲である。曲線ＣはＤ／ｄ＝１．２、曲線ＤはＤ／ｄ＝１．１、曲線ＥはＤ／ｄ＝１．０３３ｄで、これらはこの発明の範囲である。なお、各曲線Ａ〜Ｅにおける各種の条件は下記表１に示す通りである。
【００３７】
【表１】
【００３８】このような条件でシ−ル剤を塗布したところ、この発明の範囲である曲線Ｃ〜Ｅによれば、図３から明らかなようにギャップｇが100 μｍ以上になった場合でも、シ−ル剤Ｓの塗布断面積はほぼ一定であったが、曲線Ａ、Ｂで示す従来の構造の場合（ｎ≧1.5 ）、図３に示すようにギャップｇの変動に応じてシ−ル剤Ｓの塗布断面積も少しずつ変動してしまうことが確認された。
【００３９】なお、上記（６）式において求めた理論値と実験値との比較を図４に示す（Ｄ＝1.2 ｄ）。上記構成のディスペンサ装置Ｄを用いてシ−ル剤Ｓを液晶用基板５に洗浄塗布するに先立ち、バレル１にノズル体２を接続したならば、上記バレル１に充填されたシ−ル剤Ｓに含まれる気泡Ｂを取り除く、脱泡処理が行われる。この脱泡処理には図５に示す脱泡装置２０が用いられる。
【００４０】上記脱泡装置２０は、内部にディスペンサ装置Ｄを保持する脱泡容器２１を有する。この脱泡容器２１は本体部２１ａと蓋体部２１ｂとに分割されていて、本体部２１ａと蓋体部２１ｂとが気密な状態で分解自在に接合固定できるようになっている。
【００４１】上記本体部２１ａには上面に開放した円柱状の収納部２２が形成され、この収納部２２の内周面上部にはＯリング２３が設けられている。ディスペンサ装置Ａは上記収容部２２に挿通され、そのバレル１の外周面の中途部が上記Ｏリング２３によって気密に保持されている。
【００４２】その状態で、上記脱泡容器２１は、上記Ｏリング２３を境にしてバレル１の上端開口側の上部空間部２４（蓋体部２１ｂの内部空間）と、ノズル体２側の下部空間部２５（収納部２２の空間）とが気密に隔別されている。
【００４３】上記上部空間部２４を形成する蓋体部２１ｂには内部に連通した第１の口体２６が設けられている。この第１の口体２６には継手２７を介して第１の主配管２８の一端が接続されている。
【００４４】上記第１の主配管２８の他端は第１の開閉弁２９を介して第１の吸引ポンプ３１に接続されている。上記継手２７と第１の開閉弁２９との間には、中途部に第２の開閉弁３２が設けられた第１の開放管３３が接続されている。
【００４５】したがって、第１の開閉弁２９を開放し、第２の開閉弁３２を閉じて第１の吸引ポンプ３１を作動させれば、上部空間部２４を減圧することができ、また第１の開閉弁２９を閉じて第２の開閉弁３２を開放すれば、上部空間部２４を大気圧にできるようになっている。
【００４６】上記本体部２１ａには収納部２２に連通する第２の口体３５が設けられている。この第２の口体３５には第２の主配管３６の一端が継手３７を介して接続されている。この第２の主配管３６の他端は第３の開閉弁３８を介して第２の吸引ポンプ３９に接続されている。上記継手３７と第３の開閉弁３８との間には中途部に第４の開閉弁４１が設けられた第２の開放管４２が接続されている。
【００４７】したがって、第３の開閉弁３８を開き、第４の開閉弁４１を閉じて第２の吸引ポンプ３９を作動させれば、下部空間部２５を減圧することができ、第３の開閉弁３８を閉じ、第４の開閉弁４１を開放することで、上記下部空間部２５を大気圧に上昇させることができる。
【００４８】上記構成の脱泡装置２０によってバレル１に充填されたシ−ル剤Ｓに含まれた気泡Ｂを取り除く工程を図６（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。通常、ディスペンサ装置Ａのバレル１は使い捨てであって、シ−ル剤Ｓが充填された新たなバレル１を使用する場合には、そのバレル１にノズル体２を接続する。
【００４９】ついで、本体部２１ａから蓋体部２１ｂを外し、図６（ａ）に示すように、ディスペンサ装置Ａを本体部２１ａの収納部２２に挿入し、そのバレル１の外周面中途部をＯリング２３によって気密に保持したならば、上記蓋体部２１ｂを本体部２１ａに気密に接合固定する。
【００５０】つぎに、第２の開閉弁３２と第４の開閉弁４１とを閉じ、第１の開閉弁２９と第３の開閉弁３８とを開き、第１の吸引ポンプ３１と第２の吸引ポンプ３９とを作動させることで、上部空間部２４と下部空間部２５とを減圧する。
【００５１】各空間部２４、２５を減圧することで、その圧力がバレル１の上端開口とノズル体２の先端開口からバレル１内のシ−ル剤Ｓに作用する。そのため、シ−ル剤Ｓに含まれた気泡Ｂは図６（ａ）に示す状態から図６（ｂ）に示すように膨張するから、その気泡Ｂの浮力が増大してシ−ル剤Ｓ内を上昇し、上部空間部２４に噴出する。
【００５２】それによって、シ−ル剤Ｓに含まれる気泡Ｂのほとんどは取り除かれることになるものの、たとえばバレル１の細径な先端部内に含まれる気泡Ｂは膨張しにくいために、取り除かれないことがある。
【００５３】そこで、上部空間部２４と下部空間部２５とを減圧したのち、第１の開閉弁２９を閉じ、第２の開閉弁３２を徐々に開くことで、上部空間部２４の圧力を徐々に上昇させる。それによって、バレル１内のシ−ル剤Ｓは加圧され、バレル１からノズル体２へ流れるから、図６（ｃ）に示すようにバレル１の先端部内に残留する気泡Ｂがノズル体２から押出され、下部空間部２５へ噴出する。
【００５４】シ−ル剤Ｓをノズル体２へ流しても、図５（ｄ）に示すようにバレル１の先端面とノズル体２の内周面との間の段差部にはシ−ル剤Ｓが流れ込みにくいため、その部分に空隙部Ｃが生じる。しかしながら、この空隙部Ｃは減圧されている。そのため、ノズル体２の先端からシ−ル剤Ｓを所定量捨て吐出させたのちに、第３の開閉弁３８を閉じ、第４の開閉弁４１を開くことで下部空間部２５も大気圧にすれば、図６（ｅ）に示すように減圧された上記空隙部Ｃにシ−ル剤Ｓが回り込むから、空隙部Ｃを消滅させることができる。
【００５５】以上のことにより、シ−ル剤Ｓに含まれる気泡Ｂを確実に取り除くことができるばかりか、バレル１の先端面とノズル体２の内周面との段差部の空隙部Ｃに気体が残留するということもない。
【００５６】そのため、上記脱泡装置２０によって気泡が除かれたディスペンサ装置Ｄを用いてシ−ル剤Ｓを塗布すれば、液晶用基板５にシ−ル剤Ｓを途切れることなく、線引き塗布することができる。
【００５７】なお、上記第１乃至第４の開閉弁２９、３２、３８、４１の開閉を予め設定されたプログラムに基づいて図示しない制御装置で自動制御すれば、シ−ル剤Ｓの脱泡作業を自動化することができる。
【００５８】図７はこの発明の変形例を示す。通常、ノズル体２から吐出されるシ−ル剤Ｓの供給と遮断はバレル１を加圧する圧縮空気を供給したり、その供給を停止して行われるが、この変形例ではバレル１の上端に冠着された蓋体３の供給口４にニ−ドル軸５１を挿通する。このニ−ドル軸５１は上下駆動装置５３によって上下駆動されるとともに、その先端部はニ−ドル弁５１ａに形成されていてる。したがって、ニ−ドル軸５１が上下駆動されることで、ノズル体２の上端開口を開閉できるようになっている。
【００５９】ニ−ドル軸５１のニ−ドル弁５１ａでノズル体２を開閉してシ−ル剤Ｓの供給を制御すれば、圧縮空気を供給を制御してシ−ル剤Ｓの供給を制御する場合に比べて制御速度を高速化することが可能となる。
【００６０】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、ディスペンサ装置が保持された脱泡容器内を減圧することで、バレルに充填された液状体内の気泡が膨張して浮上するから、その気泡を液状体から除くことができ、さらにバレル内の液状体をノズル体へ流してからバレル側とノズル体側を大気圧にすることで、ノズル体内部に空隙部が生じるのを防止できる。
【００６１】したがって、液状体を塗布する際に、気泡が吐出されて液状体が途切れるのを防止できるから、液状体の線引き塗布を均一かつ確実に行うことのできるディスペンサ装置を提供できる。請求項２の発明によれば、ノズル体の先端における内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.0 ≦ｎ≦1.2 ）｝で限定される形状にした。
【００６２】そのため、ノズル体先端と板状体との間のギャップが変動しても、その変動による液状体の吐出抵抗の変動を小さくできるから、液状体を上記板状体に均一に塗布することが可能となる。
【００６３】請求項３と請求項４の発明によれば、ノズル体の先端部の外周面あるいは内周面をテ−パ面あるいは曲面とすることで、その先端面における内径寸法と外形寸法との差を小さくした。そのため、簡単な構成で確実にノズル体からの液状体の吐出抵抗の変動をなくすことができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００３０７８
【氏名又は名称】株式会社東芝
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）７月１４日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴江 武彦 （外６名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−２８４０５ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）２月２日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−１８８５１７ |
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