| 【発明の名称】 |
粉塵除去装置 |
| 【発明者】 |
【氏名】大沢 政治
【氏名】福田 高雄
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| 【要約】 |
【課題】粉塵ろ過時の圧力損失の発生を極力抑制し、フィルタを長期に亘って使用することができる粉塵の除去装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成されたフィルタと、該筒状フィルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの内周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを備え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外側に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記フィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取り除く粉塵の除去装置において、上記回転ブラシに、その回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を形成する。例えば、前記回転ブラシの非植毛領域を回転中心軸の外周側の１５０〜２１０°の領域とし、前記回転ブラシの植毛部がその回転中心軸を中心にして螺旋状に形成することが推奨される。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 筒状に形成されたフィルタと、該筒状フィルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの内周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを備え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外側に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記フィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取り除く粉塵の除去装置であって、上記回転ブラシは、その回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を有していることを特徴とする粉塵除去装置。
【請求項２】 前記回転ブラシの非植毛領域が、回転中心軸の外周側の１５０〜２１０°の領域である請求項１に記載の粉塵除去装置。
【請求項３】 前記回転ブラシへの植毛部が、その回転中心軸を中心にして螺旋状に設けられている請求項２に記載の粉塵除去装置。
【請求項４】 前記フィルタを円筒型ケーシングに内装する請求項１〜３のいずれかに記載の粉塵除去装置であって、粉塵を含有する気体の導入口と、粉塵が分離された気体の排出口が、上記円筒型ケーシングの上面に形成されてなる粉塵除去装置。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程や廃棄物処理工程等において発生する有害な粉塵を分離して除去する粉塵の除去装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子製造工程等に用いられる粉塵除去装置としては、特開平６−１１４２２５号公報に記載の装置が知られており、粉塵を含有する気体を内側から外側に通過させることにより粉塵を分離するフィルタＩと、ろ過により上記フィルタ表面の内周側表面に付着した粉塵を取り除く機能を有すると共に、自らも前処理用のフィルタの機能を有する回転ブラシからなるフィルタIIを備えた粉塵除去装置（図３参照）が開示されている。尚、図３（ａ）において、１０はケーシング，１１は導入口，１２は排出口，２１はフィルタＩ，２２はモータ，２３はフィルタII（回転ブラシ）を夫々示す。
【０００３】上記装置は、フィルタIIの回転ブラシ２３にも粉塵除去のフィルタ機能を期待するものであることから、図３（ｂ）に示す様に、上記回転ブラシには回転軸の全周に密に植毛されたものが用いられている。また、粉塵を含有する気体を導入する導入口１１と、ろ過済みの気体を排出する排出口１２が共に上方に形成されていることから、導入口１１からフィルタＩの内部に導入された気体は、フィルタＩ内部の下方に行くまでにフィルタＩを通過して、気体の流れが上方に偏り易い。従ってフィルタＩの上部は短期間で目詰まりを起こし、圧力損失が大きくなることから、フィルタを頻繁に交換することが必要であり、フィルタの寿命が短いことが指摘されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に着目してなされたものであって、粉塵ろ過時の圧力損失の発生を極力抑制し、フィルタを長期に亘って使用することができる粉塵の除去装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成した本発明装置とは、筒状に形成されたフィルタと、該筒状フィルタの仮想中心軸上に回転中心軸を有し該フィルタの内周面に接触して回転し粉塵を除去する回転ブラシとを備え、粉塵を含有する気体を上記フィルタの内側から外側に貫流させることにより粉塵を分離すると共に、上記フィルタの内周面に付着した粉塵を上記回転ブラシで取り除く粉塵の除去装置であって、上記回転ブラシは、その回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を有していることを要旨とするものであり、例えば、前記回転ブラシの非植毛領域が回転中心軸の外周側の１５０〜２１０°の領域であり、前記回転ブラシの植毛部がその回転中心軸を中心にして螺旋状に設けられているものを採用することが推奨される。
【０００６】尚、上記回転ブラシが、その回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を有しているという構成を採用することは、前記フィルタを円筒型ケーシングに内装する粉塵除去装置であって、粉塵を含有する気体の導入口と、粉塵が分離された気体の排出口が、上記円筒型ケーシングの上面に形成されてなる粉塵除去装置において特に有効である。
【０００７】
【発明の実施の形態】従来の粉塵除去装置では、回転ブラシに粉塵除去のフィルタ機能も期待するものであることから、ブラシの毛は回転中心軸の全周に亘って密に植毛されていた。本発明者らが鋭意研究したところ、粉塵のろ過はブラシによる前処理がなくてもフィルタだけで十分であり、ブラシの毛はむしろできるだけ粗にして、フィルタの再生処理に必要最低限の範囲にし、粉塵を含有する気体がフィルタ内部の空間を全体的に拡がりやすく構成し、フィルタの一部の領域ではなく、できるだけフィルタの全域で粉塵のろ過を行うことが望ましいことを見出した。即ち、回転ブラシの回転中心軸の軸心方向に見て、上記非植毛領域を有する回転ブラシを採用することにより、粉塵含有気体の導入口と、粉塵除去後気体の排出口を、ケーシングの上面に形成した場合であっても、フィルタの上方部分だけを短絡して通過するのではなく、フィルタ全域で通過できる様になり、フィルタ寿命を延ばすことができ、フィルタの交換頻度を大幅に低減することを可能にしたものである。
【０００８】図１は本発明に係る粉塵除去装置の代表例を示す概略説明図である。本発明の粉塵除去装置の基本的構成は、従来の装置と同様でよく、円筒型のケーシング１０内にろ過ユニット２０を内装して、粉塵を含有する気体をケーシング１０の上面に設けられた導入口１１からろ過ユニットの内部に送給し、フィルタ２１を通過させることにより粉塵をろ過して気体だけをケーシング上面の排出口１２から装置外へ排出すればよい。
【０００９】尚、上記フィルタ２１は、ケーシング１０の内周面に固設されたフィルタ支持部材２５により保持され円筒形に形成されている。このフィルタ２１の内部には回転ブラシ２３が配設されており、その回転中心軸はモータ２２に連設され、ブラシ先端が上記フィルタ２１の内周面に内接して回転する様に構成されている。従って、上記回転ブラシを回転させることにより上記フィルタ２１の内周面に付着した粉塵を払い落すことができ、フィルタ２１は再生される。
【００１０】本発明において特徴的な構成は、回転ブラシの形状（ブラシの毛の配設方法）にあり、上記回転ブラシはその回転中心軸の軸心方向に見て、非植毛領域を有している。図１の装置においては、回転ブラシの半周に亘って螺旋状に植毛がなされ、回転中心軸の軸心方向に見て、回転中心軸の外周側の１８０°の領域が非植毛領域となっている。この様に回転中心軸を中心にして螺旋状に植毛がなされたブラシを採用する場合には、上記回転ブラシの非植毛領域を回転中心軸の外周側の１５０〜２１０°の領域とすることが望ましい。
【００１１】この回転ブラシの形状以外にも、図２の（Ａ）〜（Ｃ）の様に、一部の領域において回転中心軸の上端から下端まで軸心と平行に植毛部が形成された回転ブラシを採用してもよい。尚、図２の（Ｃ）は、軸心と平行に形成された植毛部を回転中心軸の正反対方向の２方向に有してなる例である。
【００１２】尚、ケーシング１０の下側をケース本体とは別体の下部ボックス１３とし、周囲からの気密性を保持することを目的として、図示しないＯリングやクランプを接続部に配設してもよい。この場合は、フィルタ２１の内周面から払い落とされた粉塵は、落下して下部ボックス１３内に貯留されることになる。上記下部ボックス１３内に貯留している粉塵は、定期的に又は必要に応じて下部ボックス１３をケーシング１０の本体から取りはずすことにより、下部ボックス１３に溜った粉塵を廃棄することができる。また図１に示す様に、ケーシング１０の一部にキャップ又は栓を有する清掃窓１４を設ければ、粉塵を取り除きたいときにキャップ又は栓を外し清掃窓１４から真空引き等をすることによりケーシング内部の粉塵を排出することができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているので、粉塵ろ過時の圧力損失の発生を抑制でき、フィルタを長期に亘って使用することが可能となり、フィルタの交換頻度の少ない粉塵除去装置が提供できることとなった。
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| 【出願人】 |
【識別番号】５９７１１９４４８
【氏名又は名称】エフテック株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）９月１８日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】小谷 悦司 （外２名）
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| 【公開番号】 |
特開平１１−９０１４７ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）４月６日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−２５３７６０ |
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