| 【発明の名称】 |
超音波探触子の製造方法及び超音波探触子 |
| 【発明者】 |
【氏名】藤原 光浩
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| 【要約】 |
【課題】
【解決手段】 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】電極導出用の帯状金属薄膜を圧電板の一主面の少なくても一側辺部に接着して、前記圧電板の一主面側をバッキング材に固着し、前記圧電板上から前記バッキング材に到達する切れ目を設けて前記圧電板を複数の圧電素子に分割するとともに前記帯状金属薄膜の一部を切断した後、前記帯状金属薄膜の残存部を前記切れ目に沿って個々の金属薄膜に分割し、前記圧電素子毎に電極を導出してなる超音波探触子の製造法において、前記バッキング材の側面と前記金属薄膜との間に相互に接着された補強板を設け、前記金属薄膜の残存部を切断したことを特徴とする超音波探触子の製造方法。
【請求項２】複数の圧電素子を幅方向にバッキング材上に並べて、各圧電素子のバッキング材側の駆動電極を金属薄膜により個々に導出した配列型の超音波探触子において、前記金属薄膜とバッキング材の側面との間には相互に接着する補強板を設けたことを特徴とする超音波探触子。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は医用等の超音波診断装置に超音波の送受波部として使用される超音波探触子を利用分野とし、特に金属薄膜により電極を導出した配列型の超音波探触子（以下配列型探触子とする）の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】（発明の背景）配列型探触子は、圧電素子を幅方向に並べてなり、例えばリニア型及びセクタ型の電子走査により超音波を送受波し、生体の疾患部からの情報を得るものとして知られている。近年では、医用の高度化や診断装置の高級化に伴い、超音波周波数が高周波化し、さらに高品質及び高信頼性の超音波探触子が望まれている。
【０００３】（従来技術の一例）第６図は一従来例を説明する配列型探触子の正面図である。配列型探触子は、両主面に駆動電極１（ａｂ）を有する圧電素子２をバッキング材３上に固着して、駆動電極１を金属薄膜４により導出してなる。さらに金属薄膜４は、例えばフレキシブル基板５の線路６に銀線等の金属細線７を図示しない半田等によって接続し、外部のケーブルに接続される。
【０００４】通常では、先ず、第７図に示すように、圧電板８のバッキング材５と対向する一主面の一側辺部に帯状金属薄膜４ａを接着する。なお、圧電板８には駆動電極１（ａｂ）となる金属膜が形成されている。次に、帯状金属薄膜４ａを有する圧電板８の一主面側をバッキング材３上に固着する。この場合、帯状金属薄膜４ａはバッキング材３の側面に圧電板８とともに一体的に固着される。そして、ダイシングソウ等により、圧電板８上からバッキング材３に到達する切れ目９を設けて複数の圧電素子２に分割する（前第５図参照）。このとき、帯状金属薄膜４ａも同時に上端側の一部が切断される。最後に、カッタ−により、帯状金属薄膜４ａの残存部が切れ目９に沿って、個々の金属薄膜４に切断される。
【０００５】このようなものでは、フレキシブル基板５を圧電板８に直接接着して分割するものに比較して、金属薄膜４は極めて柔らかなので、圧電板８に反りや歪みを与えることがない。これに対し、フレキシブル基板５は剛性なので圧電板８に接着後、フレキシブルの熱変形等により、圧電板８に反りや歪みの機械的変形を発生させ、超音波特性を悪化させる。このことから、前述のように金属薄膜４による第１次の電極導出が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする解決課題】（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の配列型探触子では、帯状金属薄膜４ａはバッキング材３の側面に接着され、残存部を例えば人がカッターにより、切断する。しかし、バッキング材３はゴム系樹脂であるため、その柔軟性により金属薄膜４が揺らぎ、思うようには切れない。また、フレキシブル基板５と接続する金属細線７の半田付けの場合にも、同様にゴム系樹脂の柔軟性が災いして、スムーズな作業を困難とし、破損及び欠損による断線を招くことがあった。
【０００７】（発明の目的）本発明は、圧電板の機械的変形が少ない電極導出を維持し、作業性を良好にして、金属薄膜の断線を防止した配列型探触子を提供することを目的とする。
【０００８】
【発明が解決しようとする手段】本発明は、バッキング材の側面と帯状金属薄膜との間に補強板を設けて相互に接着したことを、基本的な解決手段とする。
【０００９】
【作用】本発明では、バッキング材３と帯状金属薄膜４ａとの間に補強板を設けたので、帯状金属薄膜４ａの強度を高めて揺らぎがなく、切断を容易にする。以下、本発明の一実施形態を説明する。
【００１０】
【発明の実施形態】第１図乃至第３図は本発明の一実施形態を説明する超音波探触子及び工程図図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略する。配列型探触子は、前述したように、帯状金属薄膜４ａの一端側を圧電板８の一主面の一側辺部に接続する。そして、この実施形態では、先ず、帯状金属薄膜４ａの他端側に補強板１０を設ける。次に、バッキング材３上に接着剤１１により圧電板８を固着するとともに、バッキング材３の側面に補強板１０を貼り付ける。なお、図では、圧電板８とバッキング材３との間の接着剤は省略してある。次に、前述同様に、圧電板８上からバッキング材３に到達する切れ目９を設けて、複数の圧電素子２に分割するとともに、金属薄膜４の上端側の一部を切断する。最後に、切れ目９に沿って、帯状金属薄膜４ａの残存部を個々の金属薄膜４に切断して駆動電極１ｂを導出する。そして、個々の金属薄膜４とフレキシブル基板５の各線路６とを金属細線７により接続する（第３図）。
【００１１】このような構成であれば、帯状金属薄膜４ａは補強板１０により固定されて揺るぎがないので、スムーズな切断を行える。したがって、帯状金属薄膜４ａから個々の金属薄膜４に切断する際、欠損を生ずることなく、断線を防止できる。また、このような個々の金属薄膜４は各補強板１０上に形成されているので、前述したようなフレキシブル基板５に金属細線７を接続する場合でも、金属薄膜４が補強板１０上に固定されているので、その作業を容易にして、超音波特性を良好に維持できる。
【００１２】
【他の事項】上記の実施例形態では駆動電極１を圧電板８の一側辺部のみから導出する例について述べたが、両側辺部から駆動電極１を交互にいわゆる千鳥状に導出する場合でも適用できる。また、補強板１０はバッキング材５の側面に突出させたが、バッキング材５側面に凹部を設けて面内に収容してもよい（第４図）。また、補強板１０は帯状金属薄膜４に接続した後に圧電板８とともにバッキング材５に貼り付けたが、補強板１０をバッキング材５に貼り付けた後に圧電板８と帯状金属薄膜４ａをバッキング材に固着したとしてもよい。
【００１３】また、バッキング材５は固形のものを使用して接着剤により圧電板８等を固着したが、例えば樹脂の流し込みでバッキング材を製作する場合は、これ自体が接着剤となるので別個の接着剤は要しない。また、金属薄膜４は金属細線７によりフレキシブル基板５に接続するとしたが、フレキシブル基板５に限らず線路の形成された単なる基板であったとしてもよい。
【００１４】また、上記の実施形態では、金属薄膜４とフレキシブル５の線路６とを接続したが、例えば第５図に示したようにしてもよい。すなわち、補強板１０を例えば表面に導体の形成されたガラスエポキシ板として、表面上に帯状金属薄膜４ａを貼り付け、個々の圧電素子２に分割した後、補強板１０をダイシングソウ等により個々に分割する。そして、個々の補強板１０とフレキシブル基板５の線路６とを金属細線７により接続する。このようにすれば、個々の金属薄膜４に半田付けする必要がないので、破損等をさらに防止できる。
【００１５】本発明は、要するに、帯状金属薄膜４ａの切断時及び金属薄膜４への金属細線７の取り付け時の破損を防止する目的をもって補強板を１０を設けたもので、これらを趣旨とするものは本発明の技術的範囲に属する。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、バッキング材の側面と帯状金属薄膜との間に補強板を設けて相互に接着したので、圧電板の機械的変形が少ない電極導出を維持し、作業性を良好にして、金属薄膜の断線を防止した配列型探触子を提供できる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００２３２４８３
【氏名又は名称】日本電波工業株式会社
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| 【出願日】 |
平成１０年（１９９８）４月２８日 |
| 【代理人】 |
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| 【公開番号】 |
特開平１１−３０９１４３ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）１１月９日 |
| 【出願番号】 |
特願平１０−１３４５６９ |
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