| 【発明の名称】 |
粘着マット |
| 【発明者】 |
【氏名】酒井 千秋
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| 【要約】 |
【課題】粘着シートの粘着力や寿命等の性能を効率的に十分用いることができ、しかも粘着シートの汚染状況の分析結果に対する考察及び補正作業を行うことが可能な粘着マットを提供する。
【解決手段】粘着マット１は、多層に重ねた粘着シート２と、この粘着シート２とベースシート４の間に挟持され、歩行等によって粘着シート２上を踏まれた圧力を感知する感圧シート３と、この感圧シート３の圧力変化から踏まれた回数をカウントする計数部６と、上記ベースシート４上の所定位置に設けられ、上記計数部６によるカウント数を表示する表示部７とからなる。これにより、計数部６が、粘着シートが踏まれた圧力を感圧シート３から検知して、その回数をカウントし、このカウント数が表示部７にて表示される。 |
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ベースシート上に粘着シートを多層に重ねた構成の粘着マットにおいて、上記粘着シートと上記ベースシートの間に挟持され、歩行によって粘着シート上を踏まれた圧力を感知する感圧シートと、上記感圧シートの圧力変化を検知して、踏まれた回数をカウントする計数部と、上記ベースシート上の所定位置に設けられ、上記計数部によるカウント数を表示する表示部とを具備することを特徴とする粘着マット。
【請求項２】 請求項１に記載の粘着マットにおいて、上記感圧シートは、踏まれた圧力で電気抵抗値を変化させる感導電性樹脂を有し、上記計数部は、上記感導電性樹脂を流れる電流の変化回数を検知して、踏まれた回数をカウントするものである、ことを特徴とする粘着マット。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、清浄度が必要となるクリーンルームにおいて使用され、多層に重ねた粘着シートが踏まれることによるその汚染状況をルーム内の清浄度の指標とする粘着マットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体の製造を実施する等のために使用されるクリーンルームにおいては、ルーム内、特に床表面の清浄度を維持するために、靴底の塵埃を付着させる粘着マットが随所に配置されている。図７は、従来の粘着マットを示す断面図である。図７に示すように、この粘着マット１０は、クリーンルームの床などに敷かれるベースシート４と、このベースシート４上に積層された数１０枚の粘着シート２とで構成されている。かかる構成により、最表面の粘着シート２によって靴底の塵埃を吸着し、汚れた最表面の粘着シート２を定期的に剥がして、粘着マット１０の表面を常に清浄にするようにしていた。そして、最近では、この粘着マット１０を単なる履物の底部に付着している塵埃を除去する目的に使用するだけでなく、粘着マットに付着した塵埃の成分分析や重量計測を行って、それらのデータを相対的な清浄度管理の指標として活用するという事例が見られるようになってきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来の粘着マットでは、次のような問題があった。粘着マット１０の最表面の粘着シート２を剥がす時期については、目視によって主観的に判断したり、単に時間によって管理していたため、当該シート２の粘着力の寿命等の性能を引き出すという点で不十分であった。また、粘着マット１０の表面の汚染に最も大きな影響を与える要因となるのは、マット表面の粘着シート２に靴底が触れるいわゆる靴底の踏み回数であるが、粘着マット１０の汚染状況は、マット１０の設置場所、設備レイアウト、人の移動経路等の変更よって大きく変動するので、これらの限られた結果を考察し、補正を加える等して清浄度管理の指標とするのが不可能であった。
【０００４】この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、粘着シートの粘着力や寿命等の性能を効率的に用いることができ、しかも粘着シートの汚染状況の分析結果に対する考察及び補正作業を行うことが可能な粘着マットを提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、この発明の粘着マットは、ベースシート上に、粘着シートを多層に重ねた構成であって、粘着シートとベースシートの間に挟持され、歩行によって粘着シート上を踏まれた圧力を感知する感圧シートと、この感圧シートの圧力変化を検知して、踏まれた回数をカウントする計数部と、ベースシート上の所定位置に設けられ、計数部によるカウント数を表示する表示部とを具備する構成とした。かかる構成により、歩行等によって、粘着シートを踏んだ圧力が感圧シートに伝わる。すると、計数部がその圧力変化を検知して、その検知回数（踏まれた回数）をカウントし、このカウント数が表示部にて表示される。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、この発明の一実施形態に係る粘着マットの断面図であり、図２は、粘着マットの外観図であり、図３は、粘着マットの分解斜視図である。なお、図７に示した部材と同一部材については同一符号を付して説明する。図１に示すように、粘着マット１は、ベースシート４の上に感圧シート３を取り付け、この感圧シート３の上に数１０枚の粘着シート２を積層した構造となっており、全体として約６００ｍｍ×９００ｍｍの大きさに設定されている。
【０００７】各粘着シート２は、靴底等の塵埃を吸着するためのシートであり、図４に示すように、ベースフィルム２ａ上に粘着層２ｂを形成した構造となっている。
【０００８】感圧シート３は、上記のような粘着シート２が踏まれたときの圧力を感知するシートである。図５は、この感圧シート３の分解斜視図であり、図６は感圧シート３の断面図である。図５及び図６に示すように、感圧シート３は、上層シート３ａと、下層シート３ｂと、これらのシート３ａ，３ｂ間に介設され且つ受けた圧力に応じて電気抵抗値を変化させる感導電性樹脂３ｃとで形成されている。具体的には、上層シート３ａと下層シート３ｂとの全面に、蛇行状の金属配線５が各々設けられ、これらの金属配線５が感導電性樹脂３ｃに電気的に接触されている。そして、各金属配線５の端子５ａが図示しない電源に接続され、電源から上層シート３ａの金属配線５と感導電性樹脂３ｃと下層シート３ｂの金属配線５とを通じて流れる電流が、感導電性樹脂３ｃが受けた圧力に応じて変化するようになっている。なお、このような感圧導電性樹脂３ｃは、現在では、ＣＭＰ（化学機械研磨）時に被研磨物に加わる圧力を観察する場合等、圧力を電気信号に変換する必要がある多方面の分野で用いられている周知の樹脂である。
【０００９】一方、ベースシート４には、図１ないし図３に示すように、計数部６と表示部７とが設けられている。計数部６は、感圧シート３の金属配線５を流れる電流の変化回数を計測、即ち踏まれた回数を計測する部分であり、金属配線５の端子５ａと接続された状態でベースシート４内に埋め込まれている。表示部７は、計数部６で計測された踏み回数を液晶画面を通じてディジタル表示する部分であり、計数部６の出力側に接続されている。
【００１０】次に、この実施形態の粘着マットが示す動作について説明する。歩行等により、粘着シート２が踏まれると、感圧シート３が圧力を受け、感圧導電性樹脂３ｃの電気抵抗値が変化する。これにより、上層シート３ａと下層シート３ｂの金属配線５間の電流が変化し、この電流変化が計数部６で検知しされる。そして、粘着シート２が複数回踏まれると、その検知回数（踏んだ回数）が計数部６で加算されて、その数字が表示部７にデジタル表示される。このようにして、人が歩行等によって粘着マット１表面を踏む回数が計数部６でカウントされ、随時、表示部７に表示される。
【００１１】そして、粘着マット１表面を人が繰り返し踏みつけることにより、粘着シート２の表面が塵埃で汚染されると、粘着力が低下してくるが、この粘着力が低下してくるときの踏まれた回数、即ちそのときの表示部７での表示数を予め剥離時回数として把握しておく。これにより、実際の使用時において、表示部７での表示数が剥離時回数になったことを確認することで、粘着シート２の表面の粘着力が低下したことを知ることができる。したがって、このときに、最表面の粘着シート２を随時剥がすことによって、汚れていない新たな表面を有した下層の粘着シート２を露出させ、粘着マット１の粘着力を回復させることができる。
【００１２】なお、この発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。例えば、感圧シート３で、同時に複数箇所に抵抗値変化が検知されると、複数とカウントされる方式を採用することができる。また、感圧シート３として、金属配線５を施した上層シート３ａと下層シート３ｂ間に感圧導電性樹脂３ｃを配したものを用いたが、これに限らず、他の有効な圧力感知機構を用いても良い。さらに、時計機能と組み合わせることにより、時間帯別に踏まれた回数を表示するようにして、時間帯別の集計も行う構成とすることもできる。
【００１３】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、この発明の粘着マットによれば、踏まれた回数を容易に確認できるので、所定の回数になったときに粘着シートを剥がすことにより、粘着シートの粘着力や寿命等の性能を効率的に十分利用することができる。即ち、粘着シートの剥離頻度の最適化を図ることができる。また、粘着マット表面の汚染状況を、表示部に表示されている踏み付け回数から的確に把握することができるので、汚染の分析結果に対する考察及び補正作業を容易に行うことができる。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００２１８５
【氏名又は名称】ソニー株式会社
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| 【出願日】 |
平成９年（１９９７）８月２５日 |
| 【代理人】 |
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| 【公開番号】 |
特開平１１−５６７４３ |
| 【公開日】 |
平成１１年（１９９９）３月２日 |
| 【出願番号】 |
特願平９−２２８３１５ |
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