| 公開番号 | 発明の名称 |
| 特開平11−31460 | 放電型平面表示装置 |
| 特開平11−31461 | カラー受像管及びその製造方法 |
| 特開平11−31462 | 陰極線管及びその色選別マスクの製造方法 |
| 特開平11−31463 | 陰極線管の色選別電極およびその製造方法 |
| 特開平11−31464 | カラー陰極線管の電子銃 |
| 特開平11−31465 | 受像管及びその製造方法 |
| 特開平11−31466 | 偏向ヨーク装置 |
| 特開平11−31467 | カラー陰極線管 |
| 特開平11−31468 | 蛍光表示管 |
| 特開平11−31469 | 電子銃 |
| 特開平11−31470 | 電子光学系 |
| 特開平11−31471 | 透過形電子顕微鏡 |
| 特開平11−31472 | 電子ビーム検査装置 |
| 特開平11−31473 | 質量分光計において分圧の測定を訂正する方法 |
| 特開平11−31474 | エネルギーアナライザ |
| 特開平11−31475 | 放電管用電極装置 |
| 特開平11−31476 | アマルガムセルおよび蛍光ランプ |
| 特開平11−31477 | 蛍光ランプ |
| 特開平11−31478 | 水冷型電極を有する高圧水銀ランプ |
| 特開平11−31479 | 放電管及び放電管の放電方法 |
| 特開平11−31480 | 誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置 |
| 特開平11−31481 | 管型白熱電球 |
| 特開平11−31482 | 反射器付き電球 |
| 特開平11−31639 | 半導体製造装置 |
| 特開平11−31640 | 貼り合わせSOI基板の作製方法 |
| 特開平11−31641 | 半導体製造装置用クリーニング装置 |
| 特開平11−31642 | 基板処理装置および基板処理装置の固定方法 |
| 特開平11−31643 | スピンナー装置 |
| 特開平11−31644 | 近接露光に適用される位置検出装置及び位置検出方法 |
| 特開平11−31645 | 位置合わせマーク形成方法 |
| 特開平11−31646 | 周辺露光方法及び露光装置 |
| 特開平11−31647 | 投影露光装置 |
| 特開平11−31648 | 基板冷却装置 |
| 特開平11−31649 | パターン寸法と重ね合わせ精度の測定パターン及びその測定方法 |
| 特開平11−31650 | 反射防止膜、被処理基板、被処理基板の製造方法、微細パターンの製造方法、および半導体装置の製造方法 |
| 特開平11−31651 | 電子ビーム描画装置 |
| 特開平11−31652 | 残存収差補正板及びそれを用いた投影露光装置 |
| 特開平11−31653 | 面位置検出装置及びそれを用いた投影露光装置 |
| 特開平11−31654 | 基板の端縁処理装置 |
| 特開平11−31655 | マーク基板,マーク基板の製造方法,電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画装置の光学系の調整方法 |
| 特開平11−31656 | 荷電ビーム描画装置の調整方法 |
| 特開平11−31657 | 貫通孔および埋め込みパターンの形成方法、ビーム調整方法、ならびに荷電ビーム露光方法 |
| 特開平11−31658 | 近接効果補正方法及び近接効果補正装置 |
| 特開平11−31659 | 半導体装置の製造方法 |
| 特開平11−31660 | 半導体膜の作製方法及び半導体装置の作製方法 |
| 特開平11−31661 | 半導体ウエハ成膜装置 |
| 特開平11−31662 | 加熱処理装置およびそれを用いた半導体装置の製法 |
| 特開平11−31663 | ウェハ冷却装置及びその冷却方法 |
| 特開平11−31664 | 半導体装置の製造方法及び評価方法 |
| 特開平11−31665 | 半導体集積回路装置の製造方法 |