| 【発明の名称】 |
共振器の周波数調整方法 |
| 【発明者】 |
【氏名】岡村 尚武
【氏名】谷口 哲夫
【氏名】鶴 輝久
【氏名】利根川 謙
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| 【目的】 |
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| 【構成】 |
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【特許請求の範囲】
【請求項１】 コイル電極層の両側に誘電体層を挟んで一対のシールド電極層が設けられ、前記少なくとも一方のシールド電極層の外側に誘電体層を介してトリミング用コンデンサ電極が形成されてなる共振器を所定の位置にセットし、トリミング器を相対的に移動させて前記電極の一部をトリミングして共振器の周波数を調整する周波数調整方法において、前記トリミング用コンデンサ電極の面積を所定の面積に形成し、前記トリミング用コンデンサ電極の中央部を、１本の閉じたトリミング線によって、一定面積分トリミングすることを特徴とする周波数調整方法。
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【発明の詳細な説明】【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共振器のコンデンサ容量を、トリミングにより調節して周波数を調整する周波数調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】上述した共振器の周波数調整は、従来では次のようにして行っていた。即ち、ネットワークアナライザなどの測定器を使用して共振周波数を測定しつつ、レーザトリマなどのトリミング器を用いてトリミングを行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、従来の方法による場合は、製品１個をトリミングするのに、測定器とトリミング器が各１台必要であり、トリミング器に待ち時間が多く、生産能率が上がらないという欠点があった。また、例えば図７に示すように、従来のトリミング用電極２０が、積層構造に作製された電子部品の表面に、一部を内部に設けられた回路と接続した状態で印刷などにより形成されているので、共振器の端からトリミング用電極２０までの距離ａに誤差が生じ、また、作製された共振器を所定のセット位置にセットし、その後、上述のようにしてトリミングしているため、セットの際の位置ずれにより、共振器の端からトリミング位置（一点鎖線にて示す）までの距離ｂに誤差が生じていた。このため、いくらトリミング器をその待機位置から所望の位置まで正確に移動させても、トリミングされる電極上の位置が０．３〜０．５ｍｍ程度ずれてしまい、正確なトリミングを行えず、製品が不良品となっていた。
【０００４】本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、トリミング用電極を形成するときの誤差や、共振器のセットの際に位置的な誤差があっても、それにかかわらずに正確にトリミングすることができ、歩留の向上を図れ、しかもトリミング器の稼働率を向上できる周波数調整方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するため、本発明に係る共振器の周波数調整方法は、コイル電極層の両側に誘電体層を挟んで一対のシールド電極層が設けられ、前記少なくとも一方のシールド電極層の外側に誘電体層を介してトリミング用コンデンサ電極が形成されてなる共振器を所定の位置にセットし、トリミング器を相対的に移動させて前記電極の一部をトリミングして共振器の周波数を調整する周波数調整方法において、前記トリミング用コンデンサ電極の面積を所定の面積に形成し、前記トリミング用コンデンサ電極の中央部を、１本の閉じたトリミング線によって、一定面積分トリミングすることを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体的に説明する。図１は本発明に用いるトリミング用電極の一例が形成された電子部品を示す平面図である。この電子部品は、例えば共振器を構成するように作製され、例えば図２に示すように、厚み方向中央部にはコイル電極層１が配設され、このコイル電極層１の下側には間に誘電体層３を挟んでシールド電極層５が形成され、更にその下側には保護層９が形成されている。
【０００７】一方、コイル電極層１の上側は、間に誘電体層２を挟んでシールド電極層４が形成され、このシールド電極層４とコイル電極層１との間には、シールド電極層４と対向させ、かつ間に前記誘電体層２の一部２ａが存在する状態で対向電極６が形成されており、そのシールド電極層４の上側にはこれと対向し、誘電体層７を間に介装して例えば矩形状のトリミング用電極８が形成されている。
【０００８】かかる積層構造体の側面には、対向する２箇所に外部接続端子１１，１２が形成されおり、両外部接続端子１１，１２には、図３に示すように、誘電体層３の上側に形成しているコイル電極層１の両端部が接続されている。また、一方の外部接続端子１２には、図４に破線にて示すように誘電体層７の下側に形成されたシールド電極層４の一端部が接続されている。なお、シールド電極層５についても、同図に破線にて示すように形成されていて、同様にして外部接続端子１２と接続されている。他方の外部接続端子１１には、シールド電極層４の両側にある対向電極６とトリミング用電極８の一端部が接続されており、シールド電極層４よりも上側にある矩形状をしたトリミング用電極８は、トリミング用に作製したもので、下側の対向電極６よりも面積を小さくしてある。
【０００９】したがって、このように構成された共振器にあっては、外部接続端子１１，１２を所定の外部端子と接続すると、コイル電極層１はコイルとして働き、またシールド電極層４と上下で対向する対向電極６とトリミング用電極８は、シールド電極層４との間で夫々コンデンサを形成する。図５はその等価回路図である。よって、上記トリミング用電極８をトリミングすると容量が変化し、周波数を調整することができる。
【００１０】次に、上記共振器を本発明方法によりトリミングする場合を例に挙げて説明する。先ず、図示しないレーザトリマなどのトリミング器の周辺に配したセット位置に、上記共振器を稼働させてセットする。その後、トリミング器を待機位置から移動させて、トリミング電極８の中央部を、図１に一点鎖線で示す一本の閉じた線Ｄで方形状にトリミングする。これにより、トリミング用電極８の閉じた線Ｄで囲まれた部分が電気的に分断された状態となる。これにより、トリミングが完了する。
【００１１】なお、トリミング電極８は、トリミング部分よりも十分大きな所定の面積に形成し、閉じた線Ｄで囲まれる部分の面積も一定となるようにしておく。したがって、このようにしてトリミングを行うと、閉じた線Ｄが全体的に左右上下に移動しても残った電極部分の面積は各製品毎に一定となる。これにより、印刷などにより一定面積に形成されたトリミング用電極８の残りの部分で構成されるコンデンサ容量が所望の値となり、共振器の周波数が目的とする周波数に調整されたものとなる。
【００１２】よって、本発明による場合には、トリミング用電極の形成のときや、電子部品をセットするときに多少の位置的誤差が存在していても、各製品を同一量で必要な容量分だけトリミングすることができ、正確に周波数を調整することが可能である。したがって、製品を作製する工程を次のようにすることができる。即ち、■予め、トリミングにより周波数を調整できる範囲内にある電子部品を多数作製する。
■次いで、目的周波数の製品個数に応じて上記電子部品を区分けする。
■区分けされた電子部品に本発明方法によるトリミングを施す。
■その後、各電子部品の周波数特性を測定して良品、不良品に選別する。
【００１３】このため、多数の電子部品を連続的にトリミング器ではトリミングだけを、また測定器では測定だけを行うようにでき、従来の場合のように製品１個をトリミングする際に、測定器とトリミング器の両方を同時に必要としないので、トリミング器及び測定器の稼働率を向上させることが可能となる。なお、本発明は、上記実施の形態では共振器の周波数を調整しているが、図６に示すようなトリミング用電極８を２つ有するフィルタや、コンデンサ成分を有する他の電子部品にも同様に適用できることは勿論である。図６中のＤは前同様トリミング線を示す。
【００１４】更に、上記実施の形態ではトリミング用電極を電子部品の表面に形成しているが、このトリミング用電極は電子部品の内部であって、外側からトリミングが可能な表層部分に形成してもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明による場合には、一定の容量分だけトリミングすることが可能となり、残りの電極部分の面積を一定値とすることができるので、電子部品を所望の周波数に調整でき、製品の歩留を向上できる。また、トリミングを行う際に特性を測定する必要がなく、よってトリミング器の待ち時間を少なくできる。更には、トリミングと特性測定とを別の工程で行って電子部品を製造することにより生産能率を上げることができるという優れた効果を奏する。
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| 【出願人】 |
【識別番号】０００００６２３１
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
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| 【出願日】 |
平成２年（１９９０）１１月２９日 |
| 【代理人】 |
【弁理士】
【氏名又は名称】中島 司朗
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| 【公開番号】 |
特開平９−１２１１３３ |
| 【公開日】 |
平成９年（１９９７）５月６日 |
| 【出願番号】 |
特願平８−２２２０６３ |
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